FI120921B - Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare - Google Patents

Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare Download PDF

Info

Publication number
FI120921B
FI120921B FI20085441A FI20085441A FI120921B FI 120921 B FI120921 B FI 120921B FI 20085441 A FI20085441 A FI 20085441A FI 20085441 A FI20085441 A FI 20085441A FI 120921 B FI120921 B FI 120921B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
angular velocity
phase
primary
motion
velocity sensor
Prior art date
Application number
FI20085441A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20085441A0 (sv
FI20085441A (sv
Inventor
Anssi Blomqvist
Original Assignee
Vti Technologies Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FI20075403A external-priority patent/FI20075403A0/sv
Publication of FI20085441A0 publication Critical patent/FI20085441A0/sv
Priority to FI20085441A priority Critical patent/FI120921B/sv
Application filed by Vti Technologies Oy filed Critical Vti Technologies Oy
Priority to PCT/FI2008/050313 priority patent/WO2008145823A1/en
Priority to EP08761709.8A priority patent/EP2150822B1/en
Priority to CN2008800176406A priority patent/CN101688884B/zh
Priority to JP2010509856A priority patent/JP5450394B2/ja
Priority to US12/155,059 priority patent/US8474316B2/en
Priority to KR1020097025290A priority patent/KR101500307B1/ko
Publication of FI20085441A publication Critical patent/FI20085441A/sv
Publication of FI120921B publication Critical patent/FI120921B/sv
Application granted granted Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
    • G01C19/5762—Structural details or topology the devices having a single sensing mass the sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/02—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5726—Signal processing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Claims (21)

1. Ett förfarande för mätning av vinkelhastighet med hjälp av en vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare, vilken vinkelhastighetsgivare omfattar minst en seismisk massa och en tillhörande rörlig elektrod, vilken massa har en primär rörelse, som skall aktiveras i densamma, samt utöver den primära rörelsen en andra frihetsgrad i förhällande tili en detektionsaxel som stär i det närmaste vinkelrätt mot den primära rörelsen, och vilken massa är uppburen vid givarkomponentens stomme med hjälp av en fjäderkonstruktion, kännetecknat av, att man vid förfarandet upphängt den nämnda massan med hjälp av en fjädring med icke-ortogonala primär-och sekundäraxlar sälunda, att man ästadkommer en testaktivering i en detektionsresonator i fas med den primära rörelsen, och man faskänsligt med hjälp av en fasdetektor ur fasskillnaden mellan den primära rörelsen och en sekundär rörelse detekterar den vinkelhastighet som skall mätäs. a
· ··· 2. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av, att den *··· ··· ena av signalerna frän den primära rörelsen och den sekundära ·»·· • rörelsen har fasförskjutits 90 grader. • M I • · · • · * · :^"ϊ
3. Förfarande enligt patentkrav 1 eller 2, kännetecknat av, att ätminstone den ena av signalerna frän den primära aaa rörelsen och den sekundära rörelsen är förstärkt. a • ♦
4. Förfarande enligt patentkrav 1, 2 eller 3, kännetecknat a a :***· av, att den faskänsliga detekteringen förverkligas med hjälp • •a j av en X-OR-krets (49) sälunda, att man med hjälp av en • · S aaa a .···. komparator (48) , (50) av signalerna frän den primära och den a a taa sekundära rörelsen gör fyrkantvägor som man leder tili X-OR-kretsen (49).
5. Förfarande enligt patentkrav 4, kännetecknat av, att man som utsignal frän den faskänsliga detekteringen fär en pulsbreddmodulerad signal som är proportionell mot fasförskjutningen mellan signalerna.
6. Förfarande enligt patentkrav 5, kännetecknat av, att man av den som utsignal frän den faskänsliga detekteringen erhällna, mot fasförskjutningen mellan signalerna proportionella pulsbreddmodulerade signalen med hjälp av lägpassfiltrering gör en analog utsignal.
7. Förfarande enligt nägot av de föregäende patentkraven 1-6, kännetecknat av, att man detekterar den primära rörelsen direkt med hjälp av en resisitiv koppling.
8. Ett arrangemang för mätning av vinkelhastighet med hjälp av en vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare, vilken vinkelhastighetsgivare omfattar minst en seismisk massa och *ϊ*·ϊ en tillhörande rörlig elektrod, vilken massa har en primär *ϊ* rörelse, som skall aktiveras i densamma, samt utöver den ···· primära rörelsen en andra frihetsgrad i förhällande tili en : : i detektionsaxel som star i det närmaste vinkelrätt mot den ·*· · • · primära rörelsen, och vilken massa är uppburen vid i·· givarkomponentens stomme med hjälp av en fjäderkonstruktion, kännetecknat av, att arrangemanget omfattar en fasdetektor ··· (11)/ (49) sä, att den nämnda massan i arrangemanget är e *:**· upphängd med hjälp av en fjädring med icke-ortogonala primär- ·*·.· och sekundäraxlar sälunda, att det i en detektionsresonator • · ;***· orsakas en testaktivering i fas med den primära rörelsen, och ··· • [*m den vinkelhastighet som skall mätäs detekteras faskänsligt • « * ··· * .···, med hjälp av fasdetektorn ur fasskillnaden mellan den primära • « ··· rörelsen och en sekundär rörelse.
9. Arrangemang enligt patentkrav 8, kännetecknat av, att arrangemanget ytterligare omfattar en fasförskjutare (13), (50) för att fasförskjuta den ena av den primära rörelsens och den sekundära rörelsens signaler 90 grader.
10. Arrangemang enligtpatentkrav 8 eller 9, kännetecknat av, att arrangemanget ytterligare omfattar en förstärkare (10), (12), (48), (50) för förstärkning av ätminstone den ena av den primära rörelsens och den sekundära rörelsens signaler.
11. Arrangemang enligtpatentkrav 8, 9 eller 10, kännetecknat av, att arrangemanget ytterligare omfattar en X-OR-krets (49) och en komparator (48), (50), sä, att faskänslig detektering utförs med hjälp av X-OR-kretsen (49) sälunda, att av den primära rörelsens och den sekundära rörelsens signaler med hjälp av komparatorn (48), (50) görs fyrkantvägor, som leds tili X-OR-kretsen (49).
12. Arrangemang enligtpatentkrav 11, kännetecknat av, att *:*·· arrangemanget ytterligare omfattar medel för att som utsignal ·*· av den faskänsliga detekteringen avge en pulsbreddmodulerad ·*· ··* signal som är proportionell mot fasförskjutningen mellan ···· : ;*: signalerna. *** · • i • · • · · • ·
13. Arrangemang enligtpatentkrav 12, kännetecknat av, att arrangemanget ytterligare omfattar medel för att • e* !...ϊ lägpassfiltrera den pulsbreddmodulerade signalen, som är ***** proportionell mot fasförskjutningen mellan signalerna, och •\* för att som utsignal av den faskänsliga detekteringen avge en 9 * ·***· analog utsignal. • · • · · • · m
··· · ,···, 14. Arrangemang enligt nägot av de föregaende patentkraven • · ··· 8-13, kännetecknat av, att arrangemanget omfattar medel for att detektera den primära rörelsen direkt med hjälp av en resisitiv koppling.
15. En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare, som omfattar minst en seismisk massa och en tillhörande rörlig elektrod, vilken massa har en primär rörelse, som skall aktiveras, samt utöver den primära rörelsen en andra frihetsgrad i förhällande till en detektionsaxel som star i det närmaste vinkelrätt mot den primära rörelsen, och vilken massa är uppburen vid givarkomponentens stomme med hjälp av en fjäderkonstruktion, kännetecknad av, att den nämnda massan är upphängd med hjälp av en fjädring med icke-ortogonala primär- och sekundäraxlar sälunda, att en testaktivering i fas med den primära rörelsen ästadkoms i en detektionsresonator, och där den vinkelhastighet som skall uppmätas i vinkelhastighetsgivaren detekteras faskänsligt med hjälp av en fasdetektor ur fasskillnaden mellan den primära rörelsen och en sekundär rörelse.
*:*·: 16. Vinkelhastighetsgivare enligt patentkrav 15, ji* kännetecknad av, att vinkelhastighetsgivaren omfattar medel 4>·ϊ* för att fasförskjuta den ena av den primära rörelsens och den • · ♦J J sekundära rörelsens signaler 90 grader. • ♦ • · · • ♦ ♦ • · a··
17. Vinkelhastighetsgivare enligt patentkrav 15 eller 16, kännetecknad av, att vinkelhastighetsgivaren omfattar medel ··· *...· för att förstärka ätminstone den ena av den primära rörelsens * · och den sekundära rörelsens signaler. • · t t · • ·· • · •>t*:
18. Vinkelhastighetsgivare enligt patentkrav 15, 16 eller ϊ .·, 17, kännetecknad av, att vinkelhastighetsgivaren ytterligare ··· S 1. omfattar en X-OR-krets (49) och en komparator (48), (50) sä, ···* att en faskänslig detektering utförs med hjälp av X-OR-kretsen (49) sä, att det med hjälp av komparatorn (48), (50) av den primära rörelsens och den sekundära rörelsens signaler görs fyrkantvägor som leds tili X-OR-kretsen (49).
19. Vinkelhastighetsgivare enligt patentkrav 18, kännetecknad av, att vinkelhastighetsgivaren ytterligare omfattar medel för att som utsignal av den faskänsliga detekteringen avge en pulsbreddmodulerad signal som är proportionell mot fasförskjutningen mellan signalerna.
20. Vinkelhastighetsgivare enligt patentkrav 19, kännetecknad av, att vinkelhastighetsgivaren ytterligare omfattar medel för att lagpassfiltrera den pulsbreddmodulerade signalen, som är proportionell mot fasförskjutningen mellan signalerna, och för att som utsignal av den faskänsliga detekteringen avge en analog utsignal.
21. Vinkelhastighetsgivare enligt nägot av de föregaende patentkraven 15-20, kännetecknad av, att vinkelhastighetsgivaren omfattar medel för att detektera den *:*·· primära rörelsen direkt med hjälp av en resisitiv koppling. Mt *··· ·· »«·· • · • · * · t *·· · • · • · ♦ • · · • · e·· • * • m «·· ··· • · • · ··· * ♦ · e • · • ♦ · • *· • · ··· • e • e • •e • · • · * • · · ·♦* ψ 1 • · • · • e*
FI20085441A 2007-06-01 2008-05-12 Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare FI120921B (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20085441A FI120921B (sv) 2007-06-01 2008-05-12 Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare
PCT/FI2008/050313 WO2008145823A1 (en) 2007-06-01 2008-05-29 A method for measuring angular velocity and a vibrating micromechanical sensor of angular velocity
KR1020097025290A KR101500307B1 (ko) 2007-06-01 2008-05-29 각속도 측정 방법 및 각속도의 진동 마이크로기계적 센서
EP08761709.8A EP2150822B1 (en) 2007-06-01 2008-05-29 A method for measuring angular velocity and a vibrating micromechanical sensor of angular velocity
CN2008800176406A CN101688884B (zh) 2007-06-01 2008-05-29 角速度测量方法和振动微机械角速度传感器
JP2010509856A JP5450394B2 (ja) 2007-06-01 2008-05-29 角速度を測定する方法及び振動型微小機械角速度センサ
US12/155,059 US8474316B2 (en) 2007-06-01 2008-05-29 Method for measuring angular velocity and a vibrating micromechanical sensor of angular velocity

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20075403 2007-06-01
FI20075403A FI20075403A0 (sv) 2007-06-01 2007-06-01 Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastightesgivare
FI20085441A FI120921B (sv) 2007-06-01 2008-05-12 Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare
FI20085441 2008-05-12

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20085441A0 FI20085441A0 (sv) 2008-05-12
FI20085441A FI20085441A (sv) 2008-12-02
FI120921B true FI120921B (sv) 2010-04-30

Family

ID=39523096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20085441A FI120921B (sv) 2007-06-01 2008-05-12 Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8474316B2 (sv)
EP (1) EP2150822B1 (sv)
JP (1) JP5450394B2 (sv)
KR (1) KR101500307B1 (sv)
CN (1) CN101688884B (sv)
FI (1) FI120921B (sv)
WO (1) WO2008145823A1 (sv)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007327781A (ja) * 2006-06-06 2007-12-20 Fujitsu Media Device Kk 振動センサ
FI119895B (sv) * 2007-10-05 2009-04-30 Vti Technologies Oy Svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare
JP2010190706A (ja) 2009-02-18 2010-09-02 Panasonic Corp 慣性力センサ
FI20095201A0 (sv) * 2009-03-02 2009-03-02 Vti Technologies Oy Oscillerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor
DE102014105205A1 (de) * 2013-04-26 2014-11-13 Maxim Integrated Products, Inc. Gyroskop-Stoß- und -Störungsmessschaltung
FI126071B (sv) * 2014-01-28 2016-06-15 Murata Manufacturing Co Förbättrad gyroskopstruktur och gyroskop
WO2015200850A2 (en) 2014-06-26 2015-12-30 Lumedyne Technologies Incorporated System and methods for determining rotation from nonlinear periodic signals
DE102014215038A1 (de) * 2014-07-31 2016-02-04 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors
FI20146153A (sv) * 2014-12-29 2016-06-30 Murata Manufacturing Co Mikromekanisk gyroskopstruktur
FR3035736B1 (fr) 2015-04-29 2019-08-23 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Systeme electronique combinable a un instrument de musique a vent pour produire des sons electroniques et instrument comprenant un tel systeme
US10030976B2 (en) * 2015-05-13 2018-07-24 Kionix, Inc. Phase-based measurement and control of a gyroscope
TWI650558B (zh) 2015-05-20 2019-02-11 美商路梅戴尼科技公司 用於決定慣性參數之方法及系統
US20170153266A1 (en) * 2015-11-30 2017-06-01 Lumedyne Technologies Incorporated Systems and methods for determining inertial parameters using integration
US10234477B2 (en) 2016-07-27 2019-03-19 Google Llc Composite vibratory in-plane accelerometer
JP6984342B2 (ja) 2017-11-22 2021-12-17 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体
US10732199B2 (en) * 2017-12-20 2020-08-04 Apple Inc. Multi-stage MEMS accelerometer for mixed g-level operation
CN113135548B (zh) * 2021-04-20 2024-06-11 广州蜂鸟传感科技有限公司 一种压电微机械执行器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06160102A (ja) * 1992-11-20 1994-06-07 Mitsutoyo Corp 振動ジャイロ
US5817940A (en) * 1996-03-14 1998-10-06 Aisin Seiki Kabishiki Kaisha Angular rate detector
JPH09250928A (ja) * 1996-03-14 1997-09-22 Aisin Seiki Co Ltd 角速度検出装置
US6230563B1 (en) * 1998-06-09 2001-05-15 Integrated Micro Instruments, Inc. Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability
JP4126833B2 (ja) * 1999-03-12 2008-07-30 株式会社デンソー 角速度センサ装置
US6370937B2 (en) * 2000-03-17 2002-04-16 Microsensors, Inc. Method of canceling quadrature error in an angular rate sensor
JP2001356017A (ja) 2000-06-14 2001-12-26 Alps Electric Co Ltd 振動子の駆動検出装置
US6674108B2 (en) * 2000-12-20 2004-01-06 Honeywell International Inc. Gate length control for semiconductor chip design
US6946695B2 (en) 2002-08-08 2005-09-20 Triad Sensors, Inc. Solid-state rotational rate sensor device and method
CN100437116C (zh) * 2003-04-28 2008-11-26 模拟器件公司 提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴的微加工多传感器
US6837107B2 (en) 2003-04-28 2005-01-04 Analog Devices, Inc. Micro-machined multi-sensor providing 1-axis of acceleration sensing and 2-axes of angular rate sensing
DE10360963B4 (de) * 2003-12-23 2007-05-16 Litef Gmbh Verfahren zur Messung von Drehraten/Beschleunigungen unter Verwendung eines Drehraten-Corioliskreisels sowie dafür geeigneter Corioliskreisel
US7526957B2 (en) * 2006-04-18 2009-05-05 Watson Industries, Inc. Vibrating inertial rate sensor utilizing skewed drive or sense elements

Also Published As

Publication number Publication date
FI20085441A0 (sv) 2008-05-12
CN101688884A (zh) 2010-03-31
JP5450394B2 (ja) 2014-03-26
US20080314144A1 (en) 2008-12-25
WO2008145823A1 (en) 2008-12-04
CN101688884B (zh) 2012-07-04
KR20100017610A (ko) 2010-02-16
KR101500307B1 (ko) 2015-03-09
EP2150822A4 (en) 2012-08-01
JP2010529426A (ja) 2010-08-26
EP2150822A1 (en) 2010-02-10
EP2150822B1 (en) 2015-03-25
US8474316B2 (en) 2013-07-02
FI20085441A (sv) 2008-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI120921B (sv) Förfarande för mätning av vinkelhastigheten och svängande mikromekanisk vinkelhastighetsgivare
KR100936638B1 (ko) 발진 마이크로-기계 각속도 센서
Söderkvist Micromachined gyroscopes
FI127063B (sv) Själv-test i sluten sling vibrationgyroskop
US5375336A (en) Gyro-compass
US7640803B1 (en) Micro-electromechanical system inertial sensor
JP5028281B2 (ja) センサバイアスキャンセルを用いた慣性計測システム及び方法
US10260878B2 (en) Gyroscope with simplified calibration and simplified calibration method for a gyroscope
JP2011141281A (ja) 角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサー
JP2005530124A (ja) 静電的整列および同調を有するクローバーリーフマイクロジャイロスコープ
EP3835795B1 (en) Vibrating beam accelerometer with pressure damping
US6598455B1 (en) Non-inertial calibration of vibratory gyroscopes
US9121865B2 (en) Hung mass accelerometer with differential Eddy current sensing
JP2015072277A (ja) 磁気感度が低減されたｍｅｍｓジャイロスコープ
Söderkvist Design of a solid-state gyroscopic sensor made of quartz
KR100254114B1 (ko) 2축 동시 측정용 압전 회전 센서 및 그 측정 회로
RU2719327C2 (ru) Гироскоп
JP5684374B2 (ja) 経年劣化特性を改善した角速度センサ
EP0647831A1 (en) Driving and detecting circuit of a vibrator
CN108332732B (zh) 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置
Shi et al. Tactical grade MEMS gyro with low acceleration sensitivity
EP1808685A3 (en) Pressure sensor with vibrating member
CN108318018B (zh) 微机械单振子三轴陀螺仪
Shaban et al. Analysis and design of gyro-drive mode loop with amplitude control
RU2662456C2 (ru) Способ непрерывного съёма навигационной информации с кориолисова вибрационного гироскопа

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 120921

Country of ref document: FI

MM Patent lapsed