ES2909488T3 - Polarización de transductores ultrasónicos micromecanizados capacitivos (CMUT) y aparato y métodos relacionados - Google Patents

Polarización de transductores ultrasónicos micromecanizados capacitivos (CMUT) y aparato y métodos relacionados Download PDF

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Abstract

Dispositivo (100) de ultrasonidos, que comprende: un sustrato (202); una pluralidad de transductores (106) ultrasónicos micromecanizados capacitivos, CMUT, integrados con el sustrato (202) y que incluyen un primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos y un segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos; y una pluralidad de electrodos (210) de polarización controlables eléctricamente de manera individual que incluyen: un primer electrodo (210) de polarización correspondiente al primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos; y un segundo electrodo (210) de polarización correspondiente al segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos; caracterizado porque el primer electrodo de polarización comprende una primera membrana (204) común del primer grupo de transductores ultrasónicos y el segundo electrodo de polarización comprende una segunda membrana (204) común del segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos.

Description

DESCRIPCIÓN
Polarización de transductores ultrasónicos micromecanizados capacitivos (CMUT) y aparato y métodos relacionados Antecedentes
Campo
La tecnología descrita en el presente documento se refiere a transductores ultrasónicos micromecanizados (CMUT) y a un aparato y métodos relacionados.
Técnica relacionada
Los transductores ultrasónicos micromecanizados capacitivos (CMUT) son dispositivos conocidos que incluyen una membrana encima de una cavidad micromecanizada. La membrana puede usarse para transducir una señal acústica en una señal eléctrica, o viceversa. Por tanto, los CMUT pueden hacerse funcionar como transductores ultrasónicos. El documento WO 2010/146838 A2 divulga un transductor electromecánico que puede variar arbitrariamente la cantidad de desviación de una membrana vibratoria para cada elemento. El transductor electromecánico incluye una pluralidad de elementos que incluyen al menos una celda que incluye un primer electrodo y un segundo electrodo opuesto al primer electrodo con un espacio intercalado entre ellos y una unidad de aplicación de tensión de corriente continua configurada para proporcionarse para cada elemento y para aplicar por separado una tensión de corriente continua a los primeros electrodos en cada elemento. Los primeros electrodos y los segundos electrodos están separados eléctricamente para cada elemento.
El documento US 2003/0048698 A1 divulga un método y un sistema para controlar la tensión de polarización para su uso con un transductor electrostático. La tensión de polarización se varía dinámicamente o se establece como una función del modo de obtención de imágenes, la compensación de ganancia de profundidad, la apodización de elevación, la apodización azimutal, la sincronización con respecto a la forma de onda de transmisión, la frecuencia central de las ondas de transmisión y recepción y la modulación deseada. También se proporciona polaridad opuesta sobre subelementos para eliminar señales de la interferencia electromagnética y diafonía entre elementos. Se divulga técnica anterior adicional en el documento WO 2015/086413.
Breve sumario
La presente invención proporciona un dispositivo de ultrasonidos según la reivindicación 1. La presente invención también proporciona un método para hacer funcionar un dispositivo de ultrasonidos según la reivindicación 7.
Breve descripción de dibujos
Se describirán diversos aspectos y realizaciones de la solicitud con referencia a las siguientes figuras. Debe apreciarse que las figuras no están dibujadas necesariamente a escala. Los elementos que aparecen en múltiples figuras se indican mediante el mismo número de referencia en todas las figuras en las que aparecen.
La figura 1 ilustra una vista de arriba abajo de un dispositivo de ultrasonidos que incluye una pluralidad de regiones de polarización de CMUT, según una realización no limitativa.
La figura 2 es una vista en sección transversal de un CMUT, según una realización no limitativa.
La figura 3 es una vista en sección transversal de una pluralidad de CMUT del tipo mostrado en la figura 2, que comparten una membrana común, según una realización no limitativa.
La figura 4 es una vista de arriba abajo de una oblea que incluye una pluralidad de dispositivos de ultrasonidos del tipo ilustrado en la figura 1, según una realización no limitativa.
La figura 5 es una vista de arriba abajo de un dispositivo de ultrasonidos del tipo ilustrado en la figura 1 junto con una pluralidad de fuentes de tensión y circuitos de detección, según una realización no limitativa.
Descripción detallada
Según un aspecto de la presente solicitud, se implementa un esquema de polarización segmentada para polarizar grupos de transductores ultrasónicos de un dispositivo de ultrasonidos. El dispositivo de ultrasonidos puede ser una sonda de ultrasonidos, e incluye una pluralidad de transductores ultrasónicos configurados para producir y/o detectar señales de ultrasonidos. Los transductores ultrasónicos son CMUT. El funcionamiento apropiado de los CMUT implica polarizar eléctricamente los CMUT polarizando sus membranas. En lugar de proporcionar una sola señal de polarización a todos los CMUT, a través de un electrodo común, se crean dos o más segmentos de polarización distintos. Por tanto, diferentes grupos de los CMUT pueden recibir diferentes señales de polarización, lo que permite un funcionamiento mejorado.
Los aspectos y realizaciones descritos anteriormente, así como aspectos y realizaciones adicionales, se describen adicionalmente a continuación. Estos aspectos y/o realizaciones pueden usarse individualmente, todos juntos, o en cualquier combinación de dos o más, ya que la solicitud no está limitada a este respecto.
La figura 1 es una vista de arriba abajo de un dispositivo de ultrasonidos según un primer aspecto de la presente solicitud, en la que se incluyen múltiples regiones de polarización. El dispositivo 100 incluye una superficie 102 de dispositivo que tiene una altura H y una anchura W y ocho regiones 104a-104h de polarización. La superficie 102 de dispositivo puede representar la superficie de un sustrato tal como un sustrato semiconductor o un sustrato semiconductor complementario de óxido metálico (CMOS) y, por tanto, puede denominarse superficie de dispositivo semiconductor en algunas realizaciones. Pueden formarse una pluralidad de CMUT en la superficie 102 de dispositivo del dispositivo 100. Para simplificar la ilustración, se muestra una pluralidad de CMUT 106 para las regiones 104b y 104c de polarización simplemente como cuadros discontinuos, ya que no pueden ser visibles a partir de la vista de arriba abajo de la figura 1. En algunas realizaciones, la superficie superior visible en la figura 1 puede representar una membrana de los CMUT 106, tal como la membrana 204 de la figura 2, descrita a continuación. Sin embargo, los aspectos de la presente solicitud no están limitados a este respecto y se aplican igualmente a otras configuraciones. Debe apreciarse que cada una de las regiones 104a-104h de polarización ilustradas puede incluir, y en algunas realizaciones incluye, uno o más CMUT 106. Las regiones 104a-104h de polarización representan grupos de CMUT independientes que pueden polarizarse eléctricamente de manera independiente.
La figura 2 es una vista en sección transversal de un ejemplo no limitativo de un CMUT que puede implementarse según aspectos de la presente solicitud. El CMUT ilustrado puede representar el CMUT 106 de la figura 1. El CMUT 106 incluye un sustrato 202 y una membrana 204 separados por un espacio 206 de anchura (o diámetro) D como resultado de un separador 203. El espacio 206 puede ser una cavidad de vacío, aunque son posibles alternativas. El diámetro D puede ser de micrómetros, decenas de micrómetros, centenas de micrómetros o cualquier otro diámetro adecuado. Un conjunto 208 de circuitos integrados puede incluirse opcionalmente en el sustrato 202. Por ejemplo, el sustrato 202 puede ser un sustrato semiconductor, tal como un sustrato de silicio, y el conjunto 208 de circuitos integrados puede ser un conjunto de circuitos de silicio. El conjunto 208 de circuitos integrados puede estar configurado para controlar el funcionamiento del CMUT 106 y/o para detectar respuestas de los CMUT 106 tal como se describe en detalle adicional con respecto a la figura 5.
El CMUT 106 puede incluir opcionalmente capas adicionales, tales como capas de aislamiento, óxidos (por ejemplo, óxido de silicio), u otras capas. Estas no se ilustran por motivos de simplificad y porque los diversos aspectos descritos en el presente documento no se limitan al uso con ningún tipo particular de CMUT.
La membrana 204, puede estar compuesta por silicio o cualquier material adecuado, puede hacerse que vibre o bien aplicándole una tensión, tal como una tensión de corriente alterna (CA), o bien en respuesta a recibir una señal de ultrasonidos. Puede ser deseable aplicar una señal de polarización de corriente continua (CC) a la membrana. Una señal de polarización de este tipo puede producir la denominada “suavización de resorte”, o más generalmente puede usarse para ajustar la capacidad de la membrana para vibrar. Por tanto, la aplicación de una señal de polarización adecuada puede alterar la sensibilidad del CMUT para el modo de funcionamiento tanto de transmisión como de recepción. Tal como se muestra en la figura 2, puede aplicarse una tensión de polarización V mediante una fuente 210 de tensión. La fuente 210 de tensión puede compartirse por dos o más CMUT 106, y en algunas realizaciones puede estar integrada con el dispositivo 100. La figura 3 ilustra un ejemplo.
En la figura 3, tres CMUT 106 comparten la fuente 210 de tensión. También comparten un sustrato 202 común y una membrana 204. Por tanto, puede usarse una sola fuente 210 de tensión para polarizar los tres CMUT ilustrados con una tensión común. Debe apreciarse que más de tres CMUT pueden compartir una membrana común, y asimismo pueden polarizarse por una fuente de tensión común. De hecho, en referencia de nuevo a la figura 1, cada una de las regiones 104a-104h de polarización puede representar un grupo de CMUT que tienen una membrana común. Los CMUT para una región de polarización dada pueden polarizarse por la misma señal de polarización, pero pueden usarse diferentes señales de polarización para diferentes regiones de polarización. Como ejemplo, los CMUT 106 de la región 104b de polarización pueden compartir una membrana común y pueden polarizarse por la misma señal de polarización, por ejemplo a partir de una fuente de tensión tal como la fuente 210 de tensión. Asimismo, los CMUT 106 de la región 104c de polarización pueden compartir una membrana común y pueden polarizarse por la misma señal de polarización. Sin embargo, las regiones 104b y 104c de polarización puede polarizarse de manera independiente.
Aunque las figuras 2 y 3 ilustran la aplicación de una tensión de polarización directamente a una membrana de CMUT, debe apreciarse que en algunos ejemplos que no forman parte de la presente invención puede disponerse un electrodo en las membranas. Por ejemplo, puede proporcionarse un electrodo en la membrana 204, de manera que las regiones 104a-104h de polarización puedan corresponder a ocho electrodos diferentes configurados para polarizar grupos de CMUT correspondientes. En tales situaciones, los electrodos independientes pueden fabricarse formando un solo electrodo de cobertura a través del dispositivo 100 y luego grabando el electrodo de cobertura para dar ocho segmentos correspondientes a las regiones 104a-104h de polarización. Todavía son posibles otras configuraciones y técnicas de fabricación.
Cuanto mayores sean las dimensiones H y W más beneficiosa puede ser la capacidad para polarizar independientemente diferentes grupos de CMUT de un dispositivo de ultrasonidos. Los procedimientos de fabricación usados para realizar CMUT pueden dar como resultado variaciones entre los CMUT de un dispositivo de ultrasonidos. Por ejemplo, la fabricación de muchos CMUT en una oblea normalmente implicará el uso de procedimientos tales como deposición, litografía y grabado, que no pueden aplicarse de manera uniforme a través de la oblea. En referencia a la figura 4, una oblea 400 puede incluir una pluralidad de dispositivos 100 de ultrasonidos del tipo mostrado en la figura 1. Cada dispositivo 100 puede ser, en algunas realizaciones, un dado distinto. Las etapas de microfabricación típicas aplicadas a la oblea 400, tal como deposición y grabado, pueden aplicarse de manera diferente a los dispositivos 100 en el centro de la oblea 400 que a los dispositivos 100 hacia la periferia de la oblea 400. Si las dimensiones H y W son suficientemente grandes, las etapas de fabricación pueden aplicarse de manera no uniforme dentro de un dispositivo 100. Como ejemplos no limitativos, W puede ser de entre 20 mm y 40 mm en algunas realizaciones, puede ser mayor de 10 mm, mayor de 20 mm, entre 10 mm y 50 mm, o cualquier valor o intervalo de valores dentro de tales intervalos. H puede ser de entre 2 mm y 10 mm, entre 3 mm y 5 mm, mayor de 2 mm, o cualquier otro valor o intervalo de valores dentro de tales intervalos. Estas dimensiones pueden abarcar decenas, centenas, miles o más CMUT. Los procedimientos de microfabricación convencionales pueden variar en tales dimensiones. Por tanto, los CMUT pueden fabricarse de manera no uniforme y pueden mostrar diferentes características de funcionamiento inherentes. Por consiguiente, pueden ser ventajosos aspectos de la presente solicitud que proporcionan regiones discretas de CMUT que se polarizan de manera independiente.
En referencia de nuevo a la figura 1, aunque se muestran aproximadamente veinte CMUT en relación con cada una de las regiones 104b y 104c de polarización, en la práctica puede haber cualquier número adecuado, incluyendo muchas más de las mostradas. Por ejemplo, el dispositivo 100 puede incluir miles, cientos de miles o millones de CMUT extendidos a través de la anchura W y la altura H en una matriz u otra disposición.
En algunas realizaciones, la diferencia en las tensiones de polarización aplicadas a las diferentes regiones 104a-104h de polarización puede ser de entre el 3% y el 30%, entre el 5% y el 20%, o cualquier valor o intervalo de valores dentro de tales intervalos. Por ejemplo, puede aplicarse una tensión de polarización de aproximadamente 60 voltios a la región 104a de polarización y puede aplicarse una tensión de polarización de aproximadamente 80 voltios a la región 104d de polarización. Sin embargo, estos son ejemplos no limitativos. En algunas realizaciones, dos o más de las regiones 104a-104h de polarización pueden recibir el mismo valor de polarización. En algunas realizaciones, todas las regiones 104a-104h de polarización pueden recibir diferentes valores de polarización. El valor de polarización aplicado a una región de polarización dada puede depender de la aplicación deseada del dispositivo y del comportamiento determinado de los CMUT dentro de esta región de polarización.
Por consiguiente, un aspecto de la presente solicitud proporciona un conjunto de circuitos y métodos para determinar un valor de polarización para aplicar a una región de polarización de un dispositivo de ultrasonidos. En referencia a la figura 5, el dispositivo 500 es similar al dispositivo 100 de la figura 1, pero adicionalmente incluye una pluralidad de fuentes de tensión y una pluralidad de circuitos de detección. La fuente 502a de tensión está acoplada a la región 104a de polarización para proporcionar una señal de polarización a través de la línea 504a de polarización. Puede aplicarse la señal de polarización y puede detectarse una respuesta de los CMUT de esa región de polarización por el circuito 506a de detección. La respuesta puede ser una respuesta eléctrica. Dependiendo de la respuesta detectada, puede determinarse que la señal de polarización debe alterarse para lograr la operación de CMUT deseada. De manera similar, con respecto a la región 104b de polarización, puede aplicarse una señal de polarización por la fuente 502b de tensión a través de la línea 504b de polarización, y puede detectarse una respuesta por el circuito 506b de detección. El valor de la señal de polarización aplicada puede ajustarse según sea necesario para lograr la operación de CMUT deseada.
Aunque la figura 5 ilustra fuentes de tensión y circuitos de detección sólo para las regiones 104a y 104b de polarización, debe apreciarse que puede proporcionarse una fuente de tensión y un circuito de detección para cada región de polarización. Los circuitos de detección pueden implementarse como un conjunto 208 de circuitos integrados en algunas realizaciones. Además, son posibles configuraciones alternativas a la de la figura 5. Por ejemplo, puede proporcionarse una sola fuente de tensión para todas las regiones de polarización, con un conjunto de circuitos adecuado para ajustar la tensión proporcionada por la fuente de tensión a valores específicos para cada una de las regiones de polarización (por ejemplo, divisores de tensión, amplificadores, etc.). Más generalmente, el dispositivo 500 puede ser un dispositivo de sustrato único, con todos los componentes ilustrados integrados de manera monolítica en el mismo sustrato. Son posibles configuraciones alternativas, incluyendo configuraciones de múltiples chips.
La operación descrita de detectar el comportamiento de CMUT y ajustar una señal de polarización aplicada puede realizarse en tiempos limitados en algunas realizaciones. Por ejemplo, la determinación de la tensión de polarización apropiada puede determinarse una vez, después de la fabricación, según una realización. En este sentido, la determinación de la tensión de polarización apropiada puede considerarse una etapa de calibración en la fabricación. En algunas realizaciones, la determinación puede realizarse periódicamente para tener en cuenta el envejecimiento del dispositivo, por ejemplo después de un número establecido de usos del dispositivo 500 de ultrasonidos. En algunas realizaciones, la determinación puede realizarse dinámicamente durante el funcionamiento del dispositivo 500 de ultrasonidos.
Aunque las figuras 1 y 5 ilustran ocho regiones de polarización, debe apreciarse que pueden proporcionarse otros números de regiones de polarización. Por ejemplo, en algunas realizaciones, pueden proporcionarse más de dos regiones de polarización. En algunas realizaciones, pueden proporcionarse entre dos y doce regiones de polarización, cualquier número dentro de ese intervalo, o más. Cuantas más regiones de polarización se proporcionan, mayor será la capacidad de proporcionar una señal de polarización adaptada de manera apropiada a un grupo específico de CMUT. Sin embargo, puede ser necesario un número mayor de líneas de polarización, lo que puede ocupar espacio y aumentar la complejidad del cableado. Por tanto, puede lograrse un equilibrio.
Además, aunque las figuras 1 y 5 ilustran regiones de polarización que son sustancialmente rectangulares, la presente solicitud no está limitada a este respecto. Las regiones de polarización puede adoptar cualquier forma adecuada y cualquier colocación adecuada en relación entre sí.
Debe apreciarse a partir de lo anterior que un aspecto de la presente solicitud proporciona un método para polarizar CMUT de un dispositivo de ultrasonidos. El método incluye polarizar eléctricamente a una primera tensión de polarización un primer electrodo de polarización correspondiente a un primer grupo de transductores ultrasónicos y, simultáneamente a polarizar el primer electrodo de polarización, polarizar eléctricamente a una segunda tensión de polarización diferente de la primera tensión de polarización un segundo electrodo de polarización correspondiente a un segundo grupo de transductores ultrasónicos. Polarizar eléctricamente el primer electrodo de polarización implica polarizar eléctricamente una membrana común de una pluralidad de CMUT.
Opcionalmente, en respuesta a polarizar eléctricamente el primer electrodo de polarización, puede detectarse una respuesta eléctrica del primer grupo de transductores ultrasónicos y puede alterarse la señal de polarización. La primera tensión de polarización puede ser hasta aproximadamente un 30% mayor que la segunda tensión de polarización, o puede diferir de la segunda tensión de polarización en cualquiera de los porcentajes enumerados previamente en el presente documento.
Por tanto, habiendo descrito diversos aspectos y realizaciones de la tecnología de esta solicitud, ha de apreciarse que a los expertos habituales en la técnica se les ocurrirán fácilmente diversas alteraciones, modificaciones y mejoras.
Además, tal como se ha descrito, algunos aspectos pueden implementarse como uno o más métodos. Las acciones realizadas como parte del método pueden ordenarse de cualquier modo adecuado. Por consiguiente, pueden construirse realizaciones en las que las acciones se realicen en un orden diferente del ilustrado, lo que puede incluir realizar algunas acciones simultáneamente, aunque se muestren como acciones secuenciales en las realizaciones ilustrativas.
Debe entenderse que todas las definiciones, tal como se definen y se usan en el presente documento, dominan sobre las definiciones de diccionarios, definiciones en documentos incorporados como referencia, y/o significados habituales de los términos definidos.
Debe entenderse que los artículos indefinidos “un” y “una”, tal como se usan en el presente documento en la memoria descriptiva y en las reivindicaciones, a menos que se indique claramente lo contrario, significan “al menos uno”.
Debe entenderse que la expresión “y/o”, tal como se usa en el presente documento en la memoria descriptiva y en las reivindicaciones, significa “cualquiera o ambos” de los elementos así combinados, es decir, elementos que están presentes de manera conjunta en algunos casos y que están presentes de manera disyuntiva en otros casos.
Tal como se usa el presente documento en la memoria descriptiva y en las reivindicaciones, debe entenderse que la expresión “al menos uno”, en referencia a una lista de uno o más elementos, significa al menos un elemento seleccionado de uno cualquiera o más de los elementos en la lista de elementos, pero sin incluir necesariamente al menos uno de todos y cada uno de los elementos enumerados específicamente dentro de la lista de elementos y sin excluir ninguna combinación de elementos en la lista de elementos. Esta definición también permite que puedan estar presentes opcionalmente elementos distintos de los elementos identificados específicamente dentro de la lista de elementos a los que se refiere la expresión “al menos uno”, ya esté relacionado o no con esos elementos identificados específicamente.
En las reivindicaciones, así como en la memoria descriptiva anterior, se entiende que todas las expresiones de transición tales como “que comprende”, “que incluye”, “que porta”, “que tiene”, “que contiene”, “que implica”, “que sostiene”, “compuesto por”, y similares son abiertas, es decir, pretenden incluir pero no se limitan a. Sólo las expresiones de transición “que consiste en” y “que consiste esencialmente en” serán expresiones de transición cerradas o semicerradas, respectivamente.

Claims (10)

  1. REIVINDICACIONES
    i. Dispositivo (100) de ultrasonidos, que comprende:
    un sustrato (202);
    una pluralidad de transductores (106) ultrasónicos micromecanizados capacitivos, CMUT, integrados con el sustrato (202) y que incluyen un primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos y un segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos; y
    una pluralidad de electrodos (210) de polarización controlables eléctricamente de manera individual que incluyen:
    un primer electrodo (210) de polarización correspondiente al primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos; y
    un segundo electrodo (210) de polarización correspondiente al segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos;
    caracterizado porque el primer electrodo de polarización comprende una primera membrana (204) común del primer grupo de transductores ultrasónicos y el segundo electrodo de polarización comprende una segunda membrana (204) común del segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos.
  2. 2. Dispositivo (100) de ultrasonidos según la reivindicación 1, en el que el sustrato (202) es un dado semiconductor, y en el que los transductores ultrasónicos micromecanizados capacitivos están integrados monolíticamente con el dado semiconductor.
  3. 3. Dispositivo (100) de ultrasonidos según la reivindicación 1, en el que el sustrato (202) tiene una superficie (102) de dispositivo con una anchura de entre aproximadamente 20 mm y aproximadamente 40 mm y una altura de entre aproximadamente 2 mm y aproximadamente 10 mm, y en el que la pluralidad de electrodos (210) de polarización controlables eléctricamente de manera individual incluye entre cuatro electrodos de polarización y diez electrodos de polarización correspondientes a grupos (104a-104h) respectivos de la pluralidad de transductores ultrasónicos.
  4. 4. Dispositivo (100) de ultrasonidos según la reivindicación 1, que comprende además una pluralidad de líneas (504a-504b) de polarización correspondientes a la pluralidad de electrodos (210) de polarización controlables eléctricamente de manera individual y que incluye una primera línea (504a) de polarización acoplada al primer electrodo (210) de polarización y a una primera fuente (502a) de alimentación y una segunda línea (504b) de polarización acoplada al segundo electrodo (210) de polarización y a una segunda fuente (502b) de alimentación.
  5. 5. Dispositivo (100) de ultrasonidos según la reivindicación 1, que comprende además un circuito (506a-506b) de detección integrado con el sustrato (202) y configurado para detectar una respuesta eléctrica del primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos.
  6. 6. Dispositivo (100) de ultrasonidos según la reivindicación 1, que comprende además un circuito (208) integrado, integrado con el sustrato (202) y acoplado a los grupos (104a-104h) primero y segundo de transductores ultrasónicos.
  7. 7. Método para hacer funcionar un dispositivo (100) de ultrasonidos que tiene un sustrato (202) y una pluralidad de transductores (106) ultrasónicos micromecanizados capacitivos, CMUT, integrados con el sustrato (202), comprendiendo el método:
    polarizar eléctricamente a una primera tensión de polarización un primer electrodo (210) de polarización correspondiente a un primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos de la pluralidad de transductores (106) ultrasónicos; y
    simultáneamente a polarizar el primer electrodo (210) de polarización, polarizar eléctricamente a una segunda tensión de polarización diferente de la primera tensión de polarización un segundo electrodo (210) de polarización correspondiente a un segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos de la pluralidad de transductores (106) ultrasónicos,
    caracterizado porque el primer electrodo de polarización comprende una primera membrana (204) común del primer grupo de transductores ultrasónicos y el segundo electrodo de polarización comprende una segunda membrana (204) común del segundo grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos.
  8. 8. Método según la reivindicación 7, que comprende además, en respuesta a polarizar eléctricamente el primer electrodo (210) de polarización, detectar una respuesta eléctrica del primer grupo (104a-104h) de transductores ultrasónicos.
  9. 9. Método según la reivindicación 7, en el que la primera tensión de polarización es hasta aproximadamente un 30% mayor que la segunda tensión de polarización.
  10. 10. Método según la reivindicación 7, en el que polarizar eléctricamente el primer electrodo (210) de polarización se realiza usando un circuito (208) integrado, integrado con el sustrato (202).
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