ES2863098T3 - Conmutador microelectromecánico robusto - Google Patents
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Abstract
Conmutador microelectromecánico (MEMS) (1), que comprende: - un sustrato (S), - una línea de suministro de señal (4) formada en el sustrato (S), - una línea de salida de señal (5) formada en el sustrato (S), - una membrana conductora deformable (2), en conexión conductora con la línea de salida de señal (5), estando dicha membrana conductora deformable (2) suspendida en un plano paralelo al del sustrato (S) mediante anclajes (6) dispuestos en el sustrato (S), comprendiendo dicha membrana conductora deformable (2) una placa de contacto (9) frente a la línea de suministro de señal (4), de tal manera que en un estado no deformado de la membrana conductora deformable (2), la placa de contacto (9) no esté en contacto con la línea de suministro de señal (4) y que en un estado deformado de la membrana conductora deformable (2), dicha placa de contacto (9) esté en contacto con la línea de suministro de señal (4) para pasar una señal de la línea de suministro de señal (4) a la línea de salida de señal (5), - un electrodo de activación (3), formado en el sustrato (S) debajo de la membrana conductora deformable (2), estando dicho electrodo de activación (3) destinado a deformar dicha membrana conductora deformable (2) para realizar un contacto eléctrico entre la placa de contacto (9) de la membrana conductora deformable (2) y la línea de suministro de señal (4), - siendo la membrana conductora deformable (2) de forma redondeada y plana, estando los anclajes (6) dispuestos en su borde con el fin de concentrar una menor rigidez en la región central de la membrana conductora deformable (2), con una abertura radial (2a) formando un ángulo agudo en la dirección de la línea de suministro de señal (4) que se estrecha del borde hacia el centro de la membrana conductora deformable (2), estando la placa de contacto (9) formada en la región central de la membrana conductora deformable (2) de tal manera que el extremo de la línea de suministro de señal (4) esté nivelado con la placa de contacto (9), - el electrodo de activación (3) tiene la misma forma que la membrana conductora deformable (2), rodeando en el sustrato (S) el extremo de la línea de suministro de señal (4), y - el espacio entre la superficie inferior de la membrana conductora deformable (2), frente al electrodo de activación (3), y el electrodo de activación (3) es sólo un espacio de aire.
Description
DESCRIPCIÓN
Conmutador microelectromecánico robusto
[0001] La presente invención se refiere al campo de los sistemas microelectromecánicos (MEMS) y trata en particular de un conmutador microelectromecánico.
[0002] Las solicitudes de patente internacionales WO2006/023724; WO2006/023809; WO2007/022500 y WO2007/022500, así como las solicitudes de patente norteamericanas US 2012/031744 A1 y US 2010/181631 a 1 describen conmutadores MEMS según el estado anterior de la técnica.
[0003] Los sistemas microelectromecánicos de radiofrecuencia (MEMS RF) permiten realizar operaciones de conmutación para aplicaciones que abordan una amplia gama de frecuencias (DC-100 GHz). Su ventaja competitiva en términos de rendimiento y bajo consumo de potencia energética en relación con su tamaño los convierte en un componente muy solicitado por los fabricantes de sistemas.
[0004] Sin embargo, para que estos componentes puedan integrar sistemas electrónicos, deben garantizar una cierta estabilidad mecánica y térmica.
[0005] Por ejemplo, la activación prolongada del componente no debe provocar una deformación permanente de la membrana mecánica que pudiera dar lugar a un fallo irreversible.
[0006] Asimismo, la activación repetida no debe acelerar el envejecimiento de las zonas de contacto lo que provocaría un deterioro en el rendimiento o la inmovilización del componente vinculado a la «adherencia» del contacto.
[0007] Finalmente, las altas temperaturas sufridas durante las fases de embalaje («encapsulación») o de transferencia a la tarjeta no deben causar deformaciones que pudieran modificar las características mecánicas y eléctricas de forma permanente.
[0008] La presente invención se refiere a un conmutador microelectromecánico robusto cuya estructura garantiza una sensibilidad a la temperatura reducida y permite un contacto eléctrico estable con fenómenos de adherencia limitados, garantizando al mismo tiempo el rendimiento inherente a la tecnología MEMS RF.
[0009] La presente invención tiene por consiguiente como objetivo un conmutador microelectromecánico (MEMS), que comprende:
- un sustrato,
- una línea de suministro de señal formada en el sustrato,
- una línea de salida de señal formada en el sustrato,
- una membrana conductora deformable, en conexión conductora con la línea de salida de señal, estando suspendida dicha membrana conductora deformable en un plano paralelo al del sustrato mediante anclajes dispuestos en el sustrato, comprendiendo dicha membrana conductora deformable una placa de contacto frente a la línea de suministro de señal, de tal manera que en un estado no deformado de la membrana conductora deformable, la placa de contacto no esté en contacto con la línea de suministro de señal y que en un estado deformado de la membrana conductora deformable, dicha placa de contacto esté en contacto con la línea de suministro de señal para pasar una señal de la línea de suministro de señal a la línea de salida de señal,
- un electrodo de activación, formado en el sustrato debajo de la membrana conductora deformable, estando dicho electrodo de activación destinado a deformar dicha membrana conductora deformable para hacer contacto eléctrico entre la placa de contacto de la membrana conductora deformable y la línea de suministro de señal,
- siendo la membrana conductora deformable de forma redondeada y plana, estando dispuestos los anclajes en su borde de modo que concentren una menor rigidez en la zona central de la membrana conductora deformable, con una abertura radial que forma un ángulo agudo en la dirección de la línea de suministro de señal y se estrecha del borde hacia el centro de la membrana conductora deformable, formándose la placa de contacto en la región central de la membrana conductora deformable de tal manera que el extremo de la línea de suministro de señal está nivelado con la placa de contacto, - el electrodo de activación que tiene la misma forma que la membrana conductora deformable, rodea en el sustrato el extremo de la línea de suministro de señal, y
- siendo el espacio entre la superficie inferior de la membrana conductora deformable, frente al electrodo de activación, y el electrodo de activación sólo un espacio de aire.
[0010] El extremo de la línea de suministro de señal está nivelado con la placa de contacto, es decir, que la línea de suministro de señal se prolonga ligeramente por debajo de la membrana conductora deformable, más allá de
la placa de contacto para que pueda entrar en contacto con la línea de suministro de señal cuando la membrana conductora deformable se deforma.
[0011] El electrodo de activación y la membrana conductora deformable tienen la misma forma o notablemente la misma forma, es decir, que la proyección de la forma de la membrana conductora deformable en el plano del sustrato es idéntica o casi idéntica a la del electrodo de activación, mediante los ajustes debidos al hecho de que el electrodo de activación no debe entrar en contacto con los anclajes ni con la línea de suministro de señal.
[0012] La abertura radial aguda formada en la membrana conductora deformable permite tener el mínimo de superficie de la línea de suministro de señal frente a la membrana conductora deformable, para poder reducir la capacidad eléctrica entre la línea de suministro de señal y la membrana conductora deformable, garantizando así un correcto aislamiento del conmutador. El ángulo agudo puede ser, por ejemplo, de entre 5° y 135°, preferiblemente de 50°, sin que estos valores sean limitativos. La membrana conductora deformable tiene así la forma de un diagrama circular con un sector agudo que representa la abertura radial y un sector complementario que representa la membrana conductora deformable.
[0013] El hecho de que el electrodo de activación y la membrana conductora deformable tengan notablemente la misma forma y estén situados uno por encima del otro permite generar un máximo de fuerza de atracción.
[0014] Además, la zona de contacto «placa de contacto/línea de suministro de señal» está rodeada por el electrodo de activación gracias a la abertura radial, lo que permite la generación de una fuerza de contacto localizada alta y garantiza la estabilidad de la resistencia de contacto en el momento de la activación.
[0015] La forma de la membrana conductora deformable y su espesor con respecto al desplazamiento máximo limitan las deformaciones permanentes de la misma y garantizan una mejor termoestabilidad.
[0016] La ausencia de dieléctrico entre la superficie inferior de la membrana conductora y el electrodo de activación reduce los fenómenos de carga, facilita la fabricación del conmutador microelectromecánico según la invención y disminuye su coste.
[0017] Gracias a la única abertura radial formada en la membrana conductora deformable del conmutador según la invención, la superficie que rodea la placa de contacto frente a la línea de suministro de señal es mayor y por lo tanto la superficie atraída por el electrodo de activación es mayor. Esta particularidad confiere una mayor fuerza de activación y garantiza una mayor estabilidad del contacto eléctrico en el momento de la activación del conmutador.
[0018] Según una forma de realización, se forma un anclaje en el eje medio de la abertura radial.
[0019] Según una forma de realización, se forman dos anclajes simétricamente con respecto al eje mediano de la abertura radial, en un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable, siendo el ángulo formado en el círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable entre cada anclaje y el eje mediano de la abertura radial como máximo de 30°.
[0020] Según una forma de realización, el resto de los anclajes se forma simétricamente con respecto a dicho eje mediano.
[0021] Esta alineación permite concentrar la zona más vulnerable mecánicamente en el entorno cercano de la placa de contacto.
[0022] Según una forma de realización, se forma al menos una toma de aire en la membrana conductora deformable entre dos anclajes diametralmente opuestos en un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable.
[0023] La o las tomas de aire no sólo permiten adaptarse a las deformaciones del componente a alta temperatura durante el encapsulado, por ejemplo, sino también reducir la tensión de activación del componente.
[0024] Según una forma de realización, se forma una toma de aire sobre la membrana conductora deformable a proximidad de cada anclaje, formándose las tomas de aire en el contorno de un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable y, preferiblemente, de radio inferior de por lo menos la anchura de la toma de aire.
[0025] La o las tomas de aire pueden atravesar el espesor de la membrana conductora deformable.
[0026] Según una forma de realización, la placa de contacto está ligeramente descentrada de la parte mecánica más vulnerable de la membrana conductora deformable (es decir, situada a una distancia del centro de la
membrana conductora deformable inferior al 30% del radio de la membrana conductora deformable). Esta posición ligeramente descentrada de la placa de contacto limita los fenómenos de adherencia.
[0027] Según una forma de realización, los orificios de paso se forman sobre un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable.
[0028] El o los orificios atraviesan el espesor de la membrana conductora deformable y favorecen el proceso de liberación durante la etapa de fabricación, sin modificar las propiedades eléctricas y mecánicas del componente.
[0029] Según una forma de realización, se forman una o varias placas de interrupción en la superficie inferior de la membrana conductora deformable, situándose cada placa de interrupción frente de una isla metálica eléctricamente aislada del electrodo de activación.
[0030] Las placas de interrupción permiten limitar la deformación de la membrana conductora deformable y garantizar el aislamiento eléctrico entre la membrana conductora deformable y el electrodo de activación, lo que garantiza una mayor longevidad del componente, y evita también una adherencia de la membrana conductora deformable al electrodo de activación.
[0031] Según una forma de realización, la placa de contacto y, en su caso, las placas de interrupción, están constituidas por un metal del grupo del platino o sus óxidos o ambos.
[0032] El uso de un metal del grupo del platino permite obtener una placa de contacto, en su caso, placas de interrupción, de dureza elevada, capaces de resistir a los choques mecánicos debidos al cierre del conmutador. Además, garantizan una mayor resistencia a la temperatura del conmutador microelectromecánico de la invención durante el paso de corrientes elevadas en la placa de contacto, por ejemplo.
[0033] Según una forma de realización, la membrana conductora deformable está hecha de una multicapa que asocia capas dieléctricas y capas metálicas.
[0034] Según una forma de realización, la membrana conductora deformable es de oro, o es una aleación de metales o un conjunto de capas que incluyen al menos un conductor.
[0035] Según una forma de realización, el electrodo de activación es de oro o de cualquier otro material conductor o semiconductor.
[0036] Para ilustrar mejor el objeto de la presente invención, vamos a describir a continuación, a título ilustrativo y no limitativo, una forma de realización particular, con referencia al dibujo anexo.
[0037] En este dibujo:
- la figura 1 es una vista desde arriba de un conmutador microelectromecánico según una forma de realización particular de la presente invención, representándose el electrodo de activación mediante líneas de puntos;
- la figura 2 es una vista análoga a la figura 1, con los elementos situados debajo de la membrana conductora deformable representados mediante líneas de puntos;
- la figura 3 es una vista en sección del conmutador de la figura 1 según la línea A-A', en su posición en reposo;
- la figura 4 es una vista en sección del conmutador de la figura 1 según la línea A-A', en su posición activada;
- la figura 5 muestra una simulación de la desviación de la membrana del conmutador de la figura 1 para diferentes temperaturas, a lo largo del eje Y indicado en la vista de detalle, siendo la membrana simulada de oro;
- la figura 6 muestra la medida de la evolución de la resistencia de contacto del conmutador de la figura 1 en función del número de ciclos, definiéndose un ciclo como la alternancia de una acción de activación (estado de encendido) y después de reposo (estado de aislamiento) del conmutador, estando los ciclos del conmutador regulados a una frecuencia de 4 kHz; y
- la figura 7 muestra la medida de la evolución de la tensión de activación del conmutador de la figura 1 en función del número de ciclos, a una frecuencia de 4 kHz.
[0038] Si se hace referencia a las figuras 1 a 4, se puede observar que se ha representado un conmutador microelectromecánico (MEMS) 1 según la invención.
[0039] El conmutador microelectromecánico 1 se forma sobre un sustrato S, y comprende principalmente una membrana conductora deformable 2, un electrodo de activación 3, una línea de suministro de señal 4 y una línea de salida de señal 5.
[0040] La línea de suministro de señal 4, la línea de salida de señal 5 y el electrodo de activación están formados en el sustrato S.
[0041] La membrana conductora deformable 2 es plana y de forma generalmente redonda, con una abertura radial 2a en la dirección de la línea de suministro de señal 4, que se estrecha del borde hacia el centro de la membrana conductora deformable 2. La membrana conductora deformable 2 se forma suspendida por encima del electrodo de activación 3, mediante anclajes 6, distribuidos en su borde, de manera que se concentre la zona de menor rigidez de la membrana conductora deformable 2 al nivel de la placa de contacto con la línea de suministro de señal 4 (descrita a continuación) situada a una distancia de la parte superior de la abertura radial inferior al 30% del radio de la membrana conductora deformable 2.
[0042] Uno de los anclajes 6 se sitúa en la prolongación de la línea de suministro de señal 4, y permite realizar una conexión conductora entre la membrana conductora deformable 2 y la línea de salida de señal 5.
[0043] El resto de los anclajes 6 se redistribuye por pares, opuestos con respecto al centro del círculo circunscrito en la membrana conductora deformable 2. Cabe señalar que, aunque la forma de realización representada cuenta con cinco anclajes 6, la invención no se limita en este aspecto dentro del marco de la presente invención.
[0044] Según una forma de realización preferida, el número de anclajes es impar, por lo que uno de los anclajes 6 está situado en el eje mediano de la abertura radial 2a, en la prolongación de la línea de suministro de señal 4.
[0045] Cada anclaje 6 consta de una patilla que se extiende perpendicularmente a la superficie de la membrana conductora deformable 2, hacia el sustrato S, prolongándose dicha patilla a lo largo de dos lengüetas 6a, enmarcando un bloque 6b integral con el sustrato S, estando ambas lengüetas 6a suspendidas en el mismo plano que la membrana conductora deformable 2, garantizando una distribución óptima de los esfuerzos durante el aumento de la temperatura.
[0046] Las tomas de aire 7 se forman en la membrana conductora deformable 2, delante de cada anclaje 6, estando las tomas de aire 7 alineadas en un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable 2.
[0047] Finalmente, los orificios 8 se forman en un círculo más pequeño, con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable 2. Dichos orificios son opcionales en el contexto de la invención.
[0048] Si se hace referencia más en particular a la figura 2, se puede observar que la superficie inferior de la membrana conductora deformable 2, frente al electrodo de activación 3, consta de una placa de contacto 9, a proximidad de la parte superior de la abertura 2a, prevista, debajo de la deformación de la membrana conductora deformable 2 por el electrodo de activación 3, para entrar en contacto con el extremo de la línea de suministro de señal 4.
[0049] Las placas de interrupción 10, formadas notablemente en los mismos círculos que los orificios 8 y las tomas de aire 7, se forman en la superficie inferior de la membrana conductora deformable 2, describiéndose su función más detalladamente a continuación.
[0050] El electrodo de activación 3 tiene notablemente la misma forma que la membrana conductora deformable 2, y rodea el extremo de la línea de suministro de señal 4.
[0051] Si se hace referencia a la figura 2, se puede observar que las islas 3a, eléctricamente aisladas del resto del electrodo de activación, se forman niveladas con las placas de interrupción 10.
[0052] La función de las placas de interrupción 10 y de las islas 3a consiste en permitir, durante la deformación de la membrana conductora deformable 2 atraída por el electrodo de activación, la limitación de la deformación de la membrana conductora deformable 2 por contacto con las placas de interrupción 10 en las islas 3a. Aunque se prefiere la presencia de las islas 3a y de las placas de interrupción 10, puesto que limitan la deformación de la membrana conductora deformable 2 y permiten aislarla eléctricamente, un conmutador desprovisto de las mismas también se incluye dentro del marco de la presente invención, que no se limita en este aspecto.
[0053] Las formas notablemente idénticas de la membrana conductora deformable 2 y del electrodo de activación 3 permiten garantizar una deformación homogénea y uniforme al tiempo que garantizan la generación de una fuerza electrostática elevada.
[0054] La forma general del conmutador microelectromecánico 1 según la invención, redonda con una abertura 2a en la línea de suministro de señal 4, permite garantizar una fuerza de contacto significativa, localizada en el centro del círculo debido a la posición de los anclajes y a la forma de la membrana, lo que garantiza un contacto eléctricamente estable con el extremo de la línea de suministro de señal 4.
[0055] La abertura 2a permite asimismo limitar la superficie de la membrana conductora deformable 2, frente a la línea de suministro de corriente 4, reduciendo los acoplamientos eléctricos entre las mismas.
[0056] Las figuras 3 y 4 ilustran las dos posiciones, respectivamente abierta y cerrada, del conmutador microelectromecánico 1 según la invención.
[0057] En la figura 3, se puede observar un intervalo de aire entre la membrana conductora deformable 2 y el electrodo de activación 4. El conmutador microelectromecánico 1 está abierto, la señal no pasa entre la línea de suministro de señal 4 y la línea de salida de señal 5.
[0058] En la figura 4, se puede observar que la placa de contacto 9 está en contacto con el extremo de la línea de suministro de señal 4, estando las placas de interrupción 10 en contacto con las islas 3a. El conmutador microelectromecánico 1 está cerrado, la señal pasa entre la línea de suministro de señal 4 y la línea de salida de señal 5.
[0059] En la figura 5, se puede observar la baja desviación (<0,15 jm ) de la membrana según la invención cuando ésta se somete a esfuerzos de temperatura (500°C) considerables.
[0060] En la figura 6, se puede observar la estabilidad de la resistencia de contacto debido a la considerable fuerza de contacto localizada que genera la presente invención, durante más de mil millones de activaciones.
[0061] En la figura 7, se puede observar la estabilidad de la tensión de activación debida a la deformación homogénea y al espacio de aire que permite la invención.
[0062] Ventajosamente, el sustrato es el silicio.
[0063] Ventajosamente, el electrodo de activación es de oro, pero también puede ser de cualquier otro material conductor o semiconductor.
[0064] Ventajosamente, la membrana conductora deformable 2 es de oro, pero también puede ser una aleación de metales o un conjunto de capas que incluyen al menos un conductor.
[0065] Las placas de contacto 9 y de interrupción 10 están formadas en una sola pieza con la membrana conductora deformable 2. Ventajosamente, se pueden recubrir con un material más duro para aumentar su resistencia.
[0066] A modo de ejemplo no limitativo, un conmutador según la invención se inscribe en un círculo con un radio de 140 |jm.
[0067] En una forma de realización, el espesor del conmutador es de 7 jm , su voltaje de descenso es de 55V, su fuerza de restauración es de 1,8 mN y su fuerza de contacto está comprendida entre 2 y 4 mN a 70 V.
Claims (12)
1. Conmutador microelectromecánico (MEMS) (1), que comprende:
- un sustrato (S),
- una línea de suministro de señal (4) formada en el sustrato (S),
- una línea de salida de señal (5) formada en el sustrato (S),
- una membrana conductora deformable (2), en conexión conductora con la línea de salida de señal (5), estando dicha membrana conductora deformable (2) suspendida en un plano paralelo al del sustrato (S) mediante anclajes (6) dispuestos en el sustrato (S), comprendiendo dicha membrana conductora deformable (2) una placa de contacto (9) frente a la línea de suministro de señal (4), de tal manera que en un estado no deformado de la membrana conductora deformable (2), la placa de contacto (9) no esté en contacto con la línea de suministro de señal (4) y que en un estado deformado de la membrana conductora deformable (2), dicha placa de contacto (9) esté en contacto con la línea de suministro de señal (4) para pasar una señal de la línea de suministro de señal (4) a la línea de salida de señal (5), - un electrodo de activación (3), formado en el sustrato (S) debajo de la membrana conductora deformable (2), estando dicho electrodo de activación (3) destinado a deformar dicha membrana conductora deformable (2) para realizar un contacto eléctrico entre la placa de contacto (9) de la membrana conductora deformable (2) y la línea de suministro de señal (4),
- siendo la membrana conductora deformable (2) de forma redondeada y plana, estando los anclajes (6) dispuestos en su borde con el fin de concentrar una menor rigidez en la región central de la membrana conductora deformable (2), con una abertura radial (2a) formando un ángulo agudo en la dirección de la línea de suministro de señal (4) que se estrecha del borde hacia el centro de la membrana conductora deformable (2), estando la placa de contacto (9) formada en la región central de la membrana conductora deformable (2) de tal manera que el extremo de la línea de suministro de señal (4) esté nivelado con la placa de contacto (9),
- el electrodo de activación (3) tiene la misma forma que la membrana conductora deformable (2), rodeando en el sustrato (S) el extremo de la línea de suministro de señal (4), y
- el espacio entre la superficie inferior de la membrana conductora deformable (2), frente al electrodo de activación (3), y el electrodo de activación (3) es sólo un espacio de aire.
2. Conmutador microelectromecánico (1) según la reivindicación 1, caracterizado por el hecho de que se forma un anclaje (6) en el eje mediano de la abertura radial (2a).
3. Conmutador microelectromecánico (1) según la reivindicación 1, caracterizado por el hecho de que se forman dos anclajes simétricamente con respecto al eje mediano de la abertura radial (2a), en un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable (2), siendo el ángulo formado en el círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable (2) entre cada anclaje y el eje mediano de la abertura radial (2a) como máximo de 30°.
4. Conmutador microelectromecánico (1) según la reivindicación 1 o la reivindicación 2, caracterizado por el hecho de que el resto de los anclajes (6) se forma simétricamente con respecto al eje mediano de la abertura radial (2a).
5. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 4, caracterizado por el hecho de que al menos una toma de aire (7) se forma en la membrana conductora deformable (2) entre dos anclajes (6) diametralmente opuestos en un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable (2).
6. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizado por el hecho de que se forma una toma de aire (7) en la membrana conductora deformable (2) a proximidad de cada anclaje (6), estando las tomas de aire (7) formadas en el contorno de un círculo con el mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformable (2).
7. Conmutador microelectromecánico (1) según la reivindicación 6 caracterizado por el hecho de que la o las tomas de aire (7) atraviesan el espesor de la membrana conductora deformable (2).
8. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 7, caracterizado por el hecho de que los orificios (8) de paso se forman sobre un círculo del mismo centro que el círculo circunscrito en la membrana conductora deformables (2).
9. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 8, caracterizado por el hecho de que se forman una o varias placas de interrupción (10) en la superficie inferior de la membrana conductora deformable (2), situándose cada placa de interrupción (10) frente a una isla metálica (3a) eléctricamente aislada del electrodo de activación (3).
10. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 9, caracterizado por el hecho de que la placa de contacto (9), y en su caso, las placas de interrupción (10), están constituidas por un metal del grupo del platino o sus óxidos o ambos.
11. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 10, caracterizado por el hecho de que la membrana conductora deformable (2) es de oro, o es una aleación de metales o un conjunto de capas que incluyen al menos un conductor.
12. Conmutador microelectromecánico (1) según una de las reivindicaciones 1 a 11, caracterizado por el hecho de que el electrodo de activación (3) es de oro o de cualquier otro material conductor o semiconductor.
Applications Claiming Priority (2)
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