EP3210230B1 - Commutateur microelectromecanique robuste - Google Patents

Commutateur microelectromecanique robuste Download PDF

Info

Publication number
EP3210230B1
EP3210230B1 EP15805568.1A EP15805568A EP3210230B1 EP 3210230 B1 EP3210230 B1 EP 3210230B1 EP 15805568 A EP15805568 A EP 15805568A EP 3210230 B1 EP3210230 B1 EP 3210230B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
conducting membrane
deformable conducting
deformable
supply line
membrane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
EP15805568.1A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP3210230A1 (fr
Inventor
Pierre Blondy
Romain STEFANINI
Ling Yan ZHANG
Abedel Halim ZAHR
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airmems
Original Assignee
Airmems
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Airmems filed Critical Airmems
Publication of EP3210230A1 publication Critical patent/EP3210230A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP3210230B1 publication Critical patent/EP3210230B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H51/00—Electromagnetic relays
    • H01H51/22—Polarised relays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H01H2059/0072—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics with stoppers or protrusions for maintaining a gap, reducing the contact area or for preventing stiction between the movable and the fixed electrode in the attracted position

Definitions

  • the present invention relates to the field of microelectromechanical systems (MEMS) and relates in particular to a microelectromechanical switch.
  • MEMS microelectromechanical systems
  • Radio frequency microelectromechanical systems allow switching operations for applications addressing a wide range of frequencies (DC-100 GHz). Their competitive advantage in terms of performance and low power consumption compared to their size make them a very popular component for system manufacturers.
  • the present invention relates to a robust microelectromechanical switch, the structure of which guarantees reduced temperature sensitivity and allows stable electrical contact with limited sticking phenomena, while guaranteeing the performance inherent in RF MEMS technology.
  • the end of the signal supply line is to the right of the contact pad means that the signal supply line extends slightly under the deformable conductive membrane, beyond the contact pad so that the latter can enter in contact with the signal supply line when the deformable conductive membrane deforms.
  • the activation electrode and the deformable conductive membrane have the same or substantially the same shape means that the projection of the shape of the deformable conductive membrane in the plane of the substrate is the same or almost identical to that of the d electrode. 'activation, with adjustments due to the fact that the activation electrode must not come into contact with the anchors or the signal supply line.
  • the acute radial opening formed in the deformable conductive membrane makes it possible to have the minimum surface area of the signal supply line opposite the deformable conductive membrane, which makes it possible to reduce the electrical capacitance between the supply line of signal and the deformable conductive membrane, thus ensuring good isolation of the switch.
  • the acute angle may for example be between 5 ° and 135 °, preferably 50 °, without these values being limiting.
  • the deformable conductive membrane thus has the shape of a circular diagram with an acute sector representing the radial opening and a complementary sector representing the deformable conductive membrane.
  • the activation electrode and the deformable conductive membrane have substantially the same shape and are located one above the other makes it possible to generate a maximum of attraction force.
  • the contact area "contact pad / signal supply line” is surrounded by the activation electrode through the radial opening, which allows the generation of a high localized contact force and ensures stability of the contact resistance during activation.
  • the shape of the deformable conductive membrane and its thickness with regard to the maximum displacement limit the permanent deformations thereof and ensure better thermal stability.
  • the surface surrounding the contact pad facing the signal supply line is larger and therefore the surface attracted by the activation electrode is larger. This feature confers a greater activation force and ensures better stability of the electrical contact when the switch is activated.
  • an anchor is formed in the median axis of the radial opening.
  • two anchors are formed symmetrically with respect to the median axis of the radial opening, on a circle with the same center as the circle circumscribing the deformable conductive membrane, the angle formed on the circle with the same center that the circle circumscribing the deformable conductive membrane between each anchoring and the median axis of the radial opening being at most 30 °.
  • the other anchors are formed symmetrically with respect to this median axis.
  • This alignment makes it possible to concentrate the mechanically weakest zone in the vicinity of the contact pad.
  • At least one opening is formed on the deformable conductive membrane between two diametrically opposed anchors on a circle of the same center as the circle circumscribing the deformable conductive membrane.
  • louvers make it possible to accommodate the deformation of the component at high temperature during packaging for example, but also to reduce the activation voltage of the component.
  • a louver is formed on the deformable conductive membrane in the vicinity of each anchorage, the louvers being formed on the contour of a circle with the same center as the circle circumscribed on the deformable conductive membrane and, preferably, of lower radius at least the width of the hearing.
  • the orifice (s) can pass through the thickness of the deformable conductive membrane.
  • the contact pad is slightly eccentric from the weakest mechanical part of the deformable conductive membrane (that is to say located at a distance from the center of the deformable conductive membrane of less than 30% of the radius of the deformable conductive membrane). This slightly eccentric position of the contact pad limits sticking phenomena.
  • through holes are formed on a circle with the same center as the circle circumscribed on the deformable conductive membrane.
  • the hole or holes pass through the thickness of the deformable conductive membrane and promote the release process during the manufacturing step, without modifying the electrical and mechanical properties of the component.
  • one or more stop pads are formed on the lower surface of the deformable conductive membrane, each stop pad facing a metal island electrically isolated from the activation electrode.
  • the stop pads make it possible to limit the deformation of the deformable conductive membrane and to ensure electrical insulation between the deformable conductive membrane and the activation electrode, which ensures greater longevity of the component, and also prevents sticking of the deformable conductive membrane on the activation electrode.
  • the contact pad and where appropriate the stop pads, are made of a metal from the platinum group or their oxides or both.
  • a metal from the platinum group makes it possible to obtain a contact pad, if necessary stop pads, of high hardness, capable of withstanding mechanical shocks due to the closing of the switch. Also, they ensure better temperature resistance of the microelectromechanical switch of the invention during the passage of high currents in the contact pad for example.
  • the deformable conductive membrane is made of a multi-layer combining dielectric layers and metal layers.
  • the deformable conductive membrane is made of gold, or is a metal alloy or a set of layers comprising at least one conductor.
  • the activation electrode is made of gold or any other conductive or semiconductor material.
  • MEMS microelectromechanical switch
  • the microelectromechanical switch 1 is formed on a substrate S, and mainly comprises a deformable conductive membrane 2, an activation electrode 3, a signal supply line 4 and a signal output line 5.
  • the signal supply line 4, the signal output line 5 and the activation electrode are formed on the substrate S.
  • the deformable conductive membrane 2 is planar, generally round in shape, with a radial opening 2a in the direction of the signal feed line 4, tapering from the periphery towards the center of the deformable conductive membrane 2.
  • the conductive membrane deformable 2 is formed suspended above the activation electrode 3, by means of anchors 6, distributed around its periphery, so as to concentrate the zone of lowest stiffness of the deformable conductive membrane 2 at the level of the pad contact with the signal supply line 4 (described below) located at a distance from the top of the radial opening less than 30% of the radius of the deformable conductive membrane 2.
  • One of the anchors 6 is located in the extension of the signal supply line 4, and allows a conductive connection to be made between the deformable conductive membrane 2 and the signal output line 5.
  • the other anchors 6 are distributed in pairs, opposite with respect to the center of the circle circumscribing the deformable conductive membrane 2. It should be noted that, although the embodiment shown has five anchors 6, the invention is not limited in this regard within the scope of the present invention.
  • the number of anchors is odd, one of the anchors 6 therefore being located on the median axis of the radial opening 2a, in the extension of the signal supply line 4.
  • Each anchor 6 is constituted by a tab extending perpendicularly to the surface of the deformable conductive membrane 2, towards the substrate S, said tab extending along two tabs 6a, framing a block 6b integral with the substrate S, the two tabs 6a being suspended in the same plane as the deformable conductive membrane 2, ensuring optimum distribution of stresses during the rise in temperature.
  • Louvers 7 are formed on the deformable conductive membrane 2, in front of each anchor 6, the louvers 7 being aligned on a circle with the same center as the circle circumscribing the deformable conductive membrane 2.
  • holes 8 are formed on a smaller circle, having the same center as the circle circumscribing the deformable conductive membrane 2. These holes are optional in the context of the invention.
  • the lower surface of the deformable conductive membrane 2, facing the activation electrode 3, carries a contact pad 9, near the top of the opening 2a, intended, under deformation of the membrane deformable conductor 2 by the activation electrode 3, to come into contact with the end of the signal supply line 4.
  • Stop pads 10, formed on substantially the same circles as the holes 8 and the openings 7, are formed on the lower surface of the conductive membrane deformable 2, their role being described in more detail below.
  • the activation electrode 3 has substantially the same shape as the deformable conductive membrane 2, and surrounds the end of the signal supply line 4.
  • stop pads 10 and the islands 3a The role of the stop pads 10 and the islands 3a is to allow, during the deformation of the deformable conductive membrane 2 attracted by the activation electrode, to limit the deformation of the deformable conductive membrane 2 by contact with the pads d. 'stop 10 on islets 3a. Although the presence of islands 3a and stop pads 10 is preferred, since it limits the deformation of the deformable conductive membrane 2 and enables them to be electrically isolated, a switch not having these also comes within the scope of the present invention. invention, which is not limited in this regard.
  • the substantially identical shapes of the deformable conductive membrane 2 and of the activation electrode 3 make it possible to guarantee a homogeneous and uniform deformation while ensuring the generation of a high electrostatic force.
  • the general shape of the microelectromechanical switch 1 according to the invention, round with an opening 2a on the signal supply line 4, makes it possible to guarantee a significant contact force, located in the center of the circle due to the position of the anchors and of the shape of the membrane, which guarantees an electrically stable contact with the end of the signal supply line 4.
  • the opening 2a also makes it possible to limit the surface of the deformable conductive membrane 2, facing the current supply line 4, which reduces the electrical couplings between them.
  • FIGS 3 and 4 illustrate the two positions, respectively open and closed, of the microelectromechanical switch 1 according to the invention.
  • the contact pad 9 is in contact with the end of the signal supply line 4, the stop pads 10 being in contact with the islands 3a.
  • the microelectromechanical switch 1 is closed, the signal passes between the signal input line 4 and the signal output line 5.
  • the substrate is advantageously silicon.
  • the activation electrode is advantageously made of gold, but can also be any other conductive or semiconductor material.
  • the deformable conductive membrane 2 is advantageously made of gold, but can also be a metal alloy or a set of layers comprising at least one conductor.
  • the contact pads 9 and stop 10 are formed integrally with the deformable conductive membrane 2. They can advantageously be covered with a harder material to increase their resistance.
  • a switch according to the invention is inscribed in a circle with a radius of 140 ⁇ m.
  • the thickness of the switch is 7 ⁇ m, its pull-down voltage is 55V, its restoring force is 1.8 mN, and its contact force is between 2 and 4 mN at 70 V .

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Description

  • La présente invention concerne le domaine des systèmes microélectromécaniques (MEMS) et porte en particulier sur un commutateur microélectromécanique.
  • Les demandes de brevets internationales WO2006/023724 , WO2006/023809 , WO2007/022500 et WO2007/022500 , ainsi que les demandes de brevets américains US 2012/031744 A1 et US 2010/181631 A1 décrivent des commutateurs MEMS selon l'état antérieur de la technique.
  • Les systèmes microélectromécaniques radiofréquences (MEMS RF) permettent de réaliser des opérations de commutation pour des applications adressant une large gamme de fréquences (DC-100 GHz). Leur avantage concurrentiel en termes de performances et de faible consommation de puissance au regard de leur taille en font un composant très prisé des systémiers.
  • Néanmoins, pour que ces composants puissent intégrer les systèmes électroniques, ils doivent assurer une certaine stabilité mécanique et thermique.
  • Par exemple, une activation prolongée du composant ne doit pas engendrer une déformation permanente de la membrane mécanique pouvant mener à une défaillance irréversible.
  • De la même manière, une activation répétée ne doit pas accélérer le vieillissement des zones de contact et provoquer une dégradation des performances ou une immobilisation du composant lié à un « collage » du contact.
  • Enfin, les fortes températures subies lors des phases de packaging (« mise en boîtier ») ou de report sur carte ne doivent pas engendrer des déformations qui modifieraient les caractéristiques mécaniques et électriques de manière permanente.
  • La présente invention a pour objet un commutateur microélectromécanique robuste dont la structure garantit une sensibilité à la température réduite et permet un contact électrique stable avec des phénomènes de collage limités, tout en garantissant les performances inhérentes à la technologie MEMS RF.
  • La présente invention a donc pour objet un commutateur microélectromécanique (MEMS), comprenant :
    • un substrat,
    • une ligne d'amenée de signal formée sur le substrat,
    • une ligne de sortie de signal formée sur le substrat,
    • une membrane conductrice déformable, en liaison conductrice avec la ligne de sortie de signal, ladite membrane conductrice déformable étant suspendue dans un plan parallèle à celui du substrat par des ancrages disposés sur le substrat, ladite membrane conductrice déformable comprenant un plot de contact en regard de la ligne d'amenée de signal, de telle sorte que dans un état non déformé de la membrane conductrice déformable, le plot de contact n'est pas en contact avec la ligne d'amenée de signal et que dans un état déformé de la membrane conductrice déformable, ledit plot de contact est en contact avec la ligne d'amenée de signal pour faire passer un signal de la ligne d'amenée de signal à la ligne de sortie de signal,
    • une électrode d'activation, formée sur le substrat sous la membrane conductrice déformable, ladite électrode d'activation étant destinée à déformer ladite membrane conductrice déformable pour réaliser un contact électrique entre le plot de contact de la membrane conductrice déformable et la ligne d'amenée de signal,
    • la membrane conductrice déformable étant de forme arrondie, plane, les ancrages étant disposés à sa périphérie de façon à concentrer une raideur plus faible dans la région centrale de la membrane conductrice déformable, avec une ouverture radiale formant un angle aigu dans la direction de la ligne d'amenée de signal s'amincissant de la périphérie vers le centre de la membrane conductrice déformable, le plot de contact étant formé dans la région centrale de la membrane conductrice déformable de telle sorte que l'extrémité de la ligne d'amenée de signal est au droit du plot de contact,
    • l'électrode d'activation ayant la même forme que la membrane conductrice déformable, entourant sur le substrat l'extrémité de la ligne d'amenée de signal, et
    • l'espace entre la surface inférieure de la membrane conductrice déformable, en regard de l'électrode d'activation, et l'électrode d'activation étant un espace d'air uniquement.
  • L'extrémité de la ligne d'amenée de signal est au droit du plot de contact signifie que la ligne d'amenée de signal se prolonge légèrement sous la membrane conductrice déformable, au-delà du plot de contact afin que celui-ci puisse entrer en contact avec la ligne d'amenée de signal lorsque la membrane conductrice déformable se déforme.
  • L'électrode d'activation et la membrane conductrice déformable ont la même forme ou sensiblement la même forme signifie que la projection de la forme de la membrane conductrice déformable dans le plan du substrat est identique ou quasi-identique à celle de l'électrode d'activation, moyennant les ajustements dus au fait que l'électrode d'activation ne doit pas entrer en contact avec les ancrages ou la ligne d'amenée de signal.
  • L'ouverture radiale aiguë formée dans la membrane conductrice déformable permet d'avoir le minimum de surface de la ligne d'amenée de signal en regard de la membrane conductrice déformable, ce qui permet de réduire la capacité électrique entre la ligne d'amenée de signal et la membrane conductrice déformable, assurant ainsi une bonne isolation du commutateur. L'angle aigu peut par exemple être compris entre 5° et 135°, de préférence de 50°, sans que ces valeurs ne soient limitatives. La membrane conductrice déformable a ainsi la forme d'un diagramme circulaire avec un secteur aigu représentant l'ouverture radiale et un secteur complémentaire représentant la membrane conductrice déformable.
  • Le fait que l'électrode d'activation et la membrane conductrice déformable aient sensiblement la même forme et soient situées l'une au-dessus de l'autre permet de générer un maximum de force d'attraction.
  • En outre, la zone de contact « plot de contact/ligne d'amenée de signal » est entourée de l'électrode d'activation grâce à l'ouverture radiale, ce qui permet la génération d'une force de contact localisée élevée et assure une stabilité de la résistance de contact lors de l'activation.
  • La forme de la membrane conductrice déformable et son épaisseur au regard du déplacement maximal limitent les déformations permanentes de celle-ci et assurent une meilleure stabilité thermique.
  • L'absence de diélectrique entre la surface inférieure de la membrane conductrice et l'électrode d'activation réduit les phénomènes de chargement, facilite la fabrication du commutateur microélectromécanique selon l'invention et diminue son coût.
  • Grâce à l'unique ouverture radiale formée dans la membrane conductrice déformable du commutateur selon l'invention, la surface entourant le plot de contact en vis-à-vis de la ligne d'amenée de signal est plus importante et donc la surface attirée par l'électrode d'activation est plus importante. Cette particularité confère une force d'activation plus importante et assure une meilleure stabilité du contact électrique lors de l'activation du commutateur.
  • Selon un mode de réalisation, un ancrage est formé dans l'axe médian de l'ouverture radiale.
  • Selon un mode de réalisation, deux ancrages sont formés symétriquement par rapport à l'axe médian de l'ouverture radiale, sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable, l'angle formé sur le cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable entre chaque ancrage et l'axe médian de l'ouverture radiale étant au maximum de 30°.
  • Selon un mode de réalisation, les autres ancrages sont formés symétriquement par rapport à cet axe médian.
  • Cet alignement permet de concentrer la zone la plus faible mécaniquement au voisinage du plot de contact.
  • Selon un mode de réalisation, au moins une ouïe est formée sur la membrane conductrice déformable entre deux ancrages diamétralement opposés sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable.
  • La ou les ouïes permettent de s'accommoder des déformations du composant à haute température lors de la mise en boîtier par exemple, mais aussi de réduire la tension d'activation du composant.
  • Selon un mode de réalisation, une ouïe est formée sur la membrane conductrice déformable au voisinage de chaque ancrage, les ouïes étant formées sur le contour d'un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable et, de préférence, de rayon inférieur d'au moins la largeur de l'ouïe.
  • La ou les ouïes peuvent traverser l'épaisseur de la membrane conductrice déformable.
  • Selon un mode de réalisation, le plot de contact est légèrement excentré de la partie mécanique la plus faible de la membrane conductrice déformable (c'est-à-dire situé à une distance du centre de la membrane conductrice déformable inférieure à 30% du rayon de la membrane conductrice déformable). Cette position du plot de contact légèrement excentrée limite les phénomènes de collage.
  • Selon un mode de réalisation, des trous traversants sont formés sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable.
  • Le ou les trous traversent l'épaisseur de la membrane conductrice déformable et favorisent le processus de libération lors de l'étape de fabrication, sans modifier les propriétés électriques et mécaniques du composant.
  • Selon un mode de réalisation, un ou des plots d'arrêt sont formés sur la surface inférieure de la membrane conductrice déformable, chaque plot d'arrêt étant en regard d'un îlot métallique électriquement isolé de l'électrode d'activation.
  • Les plots d'arrêt permettent de limiter la déformation de la membrane conductrice déformable et d'assurer une isolation électrique entre la membrane conductrice déformable et l'électrode d'activation, ce qui assure une longévité plus importante du composant, et évite également un collage de la membrane conductrice déformable sur l'électrode d'activation.
  • Selon un mode de réalisation, le plot de contact, et le cas échéant les plots d'arrêt, sont constitués d'un métal du groupe du platine ou leurs oxydes ou les deux.
  • L'utilisation d'un métal du groupe du platine permet d'obtenir un plot de contact, le cas échéant des plots d'arrêt, de dureté élevée, capables de résister aux chocs mécaniques dus à la fermeture du commutateur. Aussi, ils assurent une meilleure tenue en température du commutateur microélectromécanique de l'invention lors du passage de courants élevés dans le plot de contact par exemple.
  • Selon un mode de réalisation, la membrane conductrice déformable est faite d'un multi-couches associant couches diélectriques et couches métalliques.
  • Selon un mode de réalisation, la membrane conductrice déformable est en or, ou est un alliage de métaux ou un ensemble de couches comprenant au moins un conducteur.
  • Selon un mode de réalisation, l'électrode d'activation est en or ou tout autre matériau conducteur ou semi-conducteur.
  • Pour mieux illustrer l'objet de la présente invention, nous allons en décrire ci-après, à titre illustratif et non limitatif, un mode de réalisation particulier, avec référence au dessin annexé.
  • Sur ce dessin :
    • la Figure 1 est une vue de dessus d'un commutateur microélectromécanique selon un mode de réalisation particulier de la présente invention, l'électrode d'activation étant représentée en pointillés ;
    • la Figure 2 est une vue analogue à la Figure 1, avec les éléments situés sous la membrane conductrice déformable représentés en pointillés ;
    • la Figure 3 est une vue en coupe du commutateur de la Figure 1 selon la ligne A-A', dans sa position au repos ;
    • la Figure 4 est une vue en coupe du commutateur de la Figure 1 selon la ligne A-A', dans sa position activée ;
    • la Figure 5 présente une simulation de la déflection de la membrane du commutateur de la Figure 1 pour différentes températures, selon l'axe y indiqué sur la vue de détail, la membrane simulée étant en or ;
    • la Figure 6 présente la mesure de l'évolution de la résistance de contact du commutateur de la Figure 1 en fonction du nombre de cycles, un cycle étant défini comme l'alternance d'une action d'activation (état passant) puis de repos (état isolant) du commutateur, le commutateur étant cyclé à une fréquence de 4 kHz ; et
    • la Figure 7 présente la mesure de l'évolution de la tension d'activation du commutateur de la Figure 1 en fonction du nombre de cycles, à une fréquence de 4 kHz.
  • Si l'on se réfère aux Figures 1 à 4, on peut voir que l'on y a représenté un commutateur microélectromécanique (MEMS) 1 selon l'invention.
  • Le commutateur microélectromécanique 1 est formé sur un substrat S, et comprend principalement une membrane conductrice déformable 2, une électrode d'activation 3, une ligne d'amenée de signal 4 et une ligne de sortie de signal 5.
  • La ligne d'amenée de signal 4, la ligne de sortie de signal 5 et l'électrode d'activation sont formées sur le substrat S.
  • La membrane conductrice déformable 2 est plane, de forme généralement ronde, avec une ouverture radiale 2a dans la direction de la ligne d'amenée de signal 4, s'amincissant de la périphérie vers le centre de la membrane conductrice déformable 2. La membrane conductrice déformable 2 est formée suspendue au-dessus de l'électrode d'activation 3, au moyen d'ancrages 6, répartis à sa périphérie, de manière à concentrer la zone de raideur la plus faible de la membrane conductrice déformable 2 au niveau du plot de contact avec la ligne d'amenée de signal 4 (décrit ci-après) situé à une distance du sommet de l'ouverture radiale inférieure à 30% du rayon de la membrane conductrice déformable 2.
  • L'un des ancrages 6 est situé dans le prolongement de la ligne d'amenée de signal 4, et permet de réaliser une liaison conductrice entre la membrane conductrice déformable 2 et la ligne de sortie de signal 5.
  • Les autres ancrages 6 sont répartis par paires, opposés par rapport au centre du cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable 2. Il est à noter que, bien que le mode de réalisation représenté possède cinq ancrages 6, l'invention n'est pas limitée à cet égard dans le cadre de la présente invention.
  • Selon un mode de réalisation préféré, le nombre d'ancrages est impair, l'un des ancrages 6 étant donc situé sur l'axe médian de l'ouverture radiale 2a, dans le prolongement de la ligne d'amenée de signal 4.
  • Chaque ancrage 6 est constitué par une patte s'étendant perpendiculairement à la surface de la membrane conductrice déformable 2, vers le substrat S, ladite patte se prolongeant selon deux languettes 6a, encadrant un bloc 6b solidaire du substrat S, les deux languettes 6a étant suspendues dans le même plan que la membrane conductrice déformable 2, assurant une répartition optimale des contraintes lors de la montée en température.
  • Des ouïes 7 sont formées sur la membrane conductrice déformable 2, devant chaque ancrage 6, les ouïes 7 étant alignées sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable 2.
  • Enfin, des trous 8 sont formés sur un cercle plus petit, de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable 2. Ces trous sont facultatifs dans le cadre de l'invention.
  • Si l'on se réfère plus particulièrement à la Figure 2, on peut voir que la surface inférieure de la membrane conductrice déformable 2, en regard de l'électrode d'activation 3, porte un plot de contact 9, au voisinage du sommet de l'ouverture 2a, destiné, sous déformation de la membrane conductrice déformable 2 par l'électrode d'activation 3, à entrer en contact avec l'extrémité de la ligne d'amenée de signal 4.
  • Des plots d'arrêts 10, formés sensiblement sur les mêmes cercles que les trous 8 et les ouïes 7, sont formés sur la surface inférieure de la membrane conductrice déformable 2, leur rôle étant décrit plus détail ci-dessous.
  • L'électrode d'activation 3 a sensiblement la même forme que la membrane conductrice déformable 2, et entoure l'extrémité de la ligne d'amenée de signal 4.
  • Si l'on se réfère à la Figure 2, on peut voir que des îlots 3a, électriquement isolés du reste de l'électrode d'activation, sont formés au droit des plots d'arrêt 10.
  • Le rôle des plots d'arrêt 10 et des îlots 3a est de permettre, lors de la déformation de la membrane conductrice déformable 2 attirée par l'électrode d'activation, de limiter la déformation de la membrane conductrice déformable 2 par contact des plots d'arrêt 10 sur les îlots 3a. Bien que la présence des îlots 3a et des plots d'arrêt 10 soit préférée, car limitant la déformation de la membrane conductrice déformable 2 et permettant de les isoler électriquement, un commutateur ne présentant pas ceux-ci entre également dans le cadre de la présente invention, qui n'est pas limitée à cet égard.
  • Les formes sensiblement identiques de la membrane conductrice déformable 2 et de l'électrode d'activation 3 permettent de garantir une déformation homogène et uniforme tout en assurant la génération d'une force électrostatique élevée.
  • La forme générale du commutateur microélectromécanique 1 selon l'invention, rond avec une ouverture 2a sur la ligne d'amenée de signal 4, permet de garantir une force de contact importante, localisée au centre du cercle du fait de de la position des ancrages et de la forme de la membrane, ce qui garantit un contact électriquement stable avec l'extrémité de la ligne d'amenée de signal 4.
  • L'ouverture 2a permet également de limiter la surface, de la membrane conductrice déformable 2, en regard de la ligne d'amenée de courant 4, ce qui réduit les couplages électriques entre celles-ci.
  • Les Figures 3 et 4 illustrent les deux positions, respectivement ouvert et fermé, du commutateur microélectromécanique 1 selon l'invention.
  • Sur la Figure 3, on peut remarquer un intervalle d'air entre la membrane conductrice déformable 2 et l'électrode d'activation 4. Le commutateur microélectromécanique 1 est ouvert, le signal ne passe pas entre la ligne d'amenée de signal 4 et la ligne de sortie de signal 5.
  • Sur la Figure 4, on peut remarquer que le plot de contact 9 est en contact avec l'extrémité de la ligne d'amenée de signal 4, les plots d'arrêt 10 étant en contact des îlots 3a. Le commutateur microélectromécanique 1 est fermé, le signal passe entre la ligne d'amenée de signal 4 et la ligne de sortie de signal 5.
  • Sur la Figure 5, on peut observer la faible déflection (<0,15 µm) de la membrane selon l'invention lorsqu'elle est soumise à de fortes contraintes en température (500°C).
  • Sur la Figure 6, on peut observer la stabilité de la résistance de contact due à la force de contact localisée importante que génère la présente invention, durant plus d'un milliard d'activation.
  • Sur la Figure 7, on peut observer la stabilité de la tension d'activation due à la déformation homogène et à l'espace d'air que permet l'invention.
  • Le substrat est avantageusement du silicium.
  • L'électrode d'activation est avantageusement en or, mais peut également être tout autre matériau conducteur ou semi-conducteur.
  • La membrane conductrice déformable 2 est avantageusement en or, mais peut également être un alliage de métaux ou un ensemble de couches comprenant au moins un conducteur.
  • Les plots de contact 9 et d'arrêt 10 sont formés d'un seul tenant avec la membrane conductrice déformable 2. Ils peuvent avantageusement être recouverts d'un matériau plus dur pour augmenter leur résistance.
  • A titre d'exemple non limitatif, un commutateur selon l'invention est inscrit dans un cercle de rayon 140 µm.
  • Dans un mode de réalisation, l'épaisseur du commutateur est de 7 µm, sa tension d'abaissement est de 55V, sa force de rappel est de 1,8 mN et sa force de contact est comprise entre 2 et 4 mN à 70 V.

Claims (12)

  1. Commutateur microélectromécanique (MEMS) (1), comprenant :
    - un substrat (S),
    - une ligne d'amenée de signal (4) formée sur le substrat (S),
    - une ligne de sortie de signal (5) formée sur le substrat (S),
    - une membrane conductrice déformable (2), en liaison conductrice avec la ligne de sortie de signal (5), ladite membrane conductrice déformable (2) étant suspendue dans un plan parallèle à celui du substrat (S) par des ancrages (6) disposés sur le substrat (S), ladite membrane conductrice déformable (2) comprenant un plot de contact (9) en regard de la ligne d'amenée de signal (4), de telle sorte que dans un état non déformé de la membrane conductrice déformable (2), le plot de contact (9) n'est pas en contact avec la ligne d'amenée de signal (4) et que dans un état déformé de la membrane conductrice déformable (2), ledit plot de contact (9) est en contact avec la ligne d'amenée de signal (4) pour faire passer un signal de la ligne d'amenée de signal (4) à la ligne de sortie de signal (5),
    - une électrode d'activation (3), formée sur le substrat (S) sous la membrane conductrice déformable (2), ladite électrode d'activation (3) étant destinée à déformer ladite membrane conductrice déformable (2) pour réaliser un contact électrique entre le plot de contact (9) de la membrane conductrice déformable (2) et la ligne d'amenée de signal (4),
    - la membrane conductrice déformable (2) étant de forme arrondie, plane, les ancrages (6) étant disposés à sa périphérie de façon à concentrer une raideur plus faible dans la région centrale de la membrane conductrice déformable (2), avec une ouverture radiale (2a) formant un angle aigu dans la direction de la ligne d'amenée de signal (4) s'amincissant de la périphérie vers le centre de la membrane conductrice déformable (2), le plot de contact (9) étant formé dans la région centrale de la membrane conductrice déformable (2) de telle sorte que l'extrémité de la ligne d'amenée de signal (4) est au droit du plot de contact (9),
    - l'électrode d'activation (3) ayant la même forme que la membrane conductrice déformable (2), entourant sur le substrat (S) l'extrémité de la ligne d'amenée de signal (4), et
    - l'espace entre la surface inférieure de la membrane conductrice déformable (2), en regard de l'électrode d'activation (3), et l'électrode d'activation (3) étant un espace d'air uniquement.
  2. Commutateur microélectromécanique (1) selon la revendication 1, caractérisé par le fait qu'un ancrage (6) est formé dans l'axe médian de l'ouverture radiale (2a) .
  3. Commutateur microélectromécanique (1) selon la revendication 1, caractérisé par le fait que deux ancrages sont formés symétriquement par rapport à l'axe médian de l'ouverture radiale (2a), sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable (2), l'angle formé sur le cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable (2) entre chaque ancrage et l'axe médian de l'ouverture radiale (2a) étant au maximum de 30°.
  4. Commutateur microélectromécanique (1) selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé par le fait que les autres ancrages (6) sont formés symétriquement par rapport à l'axe médian de l'ouverture radiale (2a).
  5. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait qu'au moins une ouïe (7) est formée sur la membrane conductrice déformable (2) entre deux ancrages (6) diamétralement opposés sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable (2) .
  6. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé par le fait qu'une ouïe (7) est formée sur la membrane conductrice déformable (2) au voisinage de chaque ancrage (6), les ouïes (7) étant formées sur le contour d'un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable (2).
  7. Commutateur microélectromécanique (1) selon la revendication 6 caractérisé par le fait que la ou les ouïes (7) traversent l'épaisseur de la membrane conductrice déformable (2).
  8. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé par le fait que des trous (8) traversants sont formés sur un cercle de même centre que le cercle circonscrit à la membrane conductrice déformable (2).
  9. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé par le fait qu'un ou des plots d'arrêt (10) sont formés sur la surface inférieure de la membrane conductrice déformable (2), chaque plot d'arrêt (10) étant en regard d'un îlot métallique (3a) électriquement isolé de l'électrode d'activation (3).
  10. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé par le fait que le plot de contact (9), et le cas échéant les plots d'arrêt (10), sont constitués d'un métal du groupe du platine ou leurs oxydes ou les deux.
  11. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé par le fait que la membrane conductrice déformable (2) est en or, ou est un alliage de métaux ou un ensemble de couches comprenant au moins un conducteur.
  12. Commutateur microélectromécanique (1) selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé par le fait que l'électrode d'activation (3) est en or ou tout autre matériau conducteur ou semi-conducteur.
EP15805568.1A 2014-10-21 2015-10-19 Commutateur microelectromecanique robuste Active EP3210230B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1460104A FR3027448B1 (fr) 2014-10-21 2014-10-21 Commutateur microelectromecanique robuste
PCT/FR2015/052802 WO2016062956A1 (fr) 2014-10-21 2015-10-19 Commutateur microelectromecanique robuste

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP3210230A1 EP3210230A1 (fr) 2017-08-30
EP3210230B1 true EP3210230B1 (fr) 2020-12-30

Family

ID=52627301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP15805568.1A Active EP3210230B1 (fr) 2014-10-21 2015-10-19 Commutateur microelectromecanique robuste

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10121623B2 (fr)
EP (1) EP3210230B1 (fr)
CN (1) CN107078000B (fr)
ES (1) ES2863098T3 (fr)
FR (1) FR3027448B1 (fr)
IL (1) IL251793B (fr)
WO (1) WO2016062956A1 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3051784B1 (fr) 2016-05-24 2018-05-25 Airmems Membrane mems a ligne de transmission integree
FR3074793B1 (fr) * 2017-12-12 2021-07-16 Commissariat Energie Atomique Dispositif microelectromecanique et/ou nanoelectromecanique offrant une robustesse augmentee
FR3098340B1 (fr) * 2019-07-03 2022-03-25 Airmems Commutateur de puissance, large bande hautes frequences et dispositif integrant des commutateurs de puissance

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5619061A (en) * 1993-07-27 1997-04-08 Texas Instruments Incorporated Micromechanical microwave switching
US6707355B1 (en) * 2001-06-29 2004-03-16 Teravicta Technologies, Inc. Gradually-actuating micromechanical device
WO2003028059A1 (fr) * 2001-09-21 2003-04-03 Hrl Laboratories, Llc Commutateurs mems et leurs procedes de fabrication
US6717496B2 (en) * 2001-11-13 2004-04-06 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Electromagnetic energy controlled low actuation voltage microelectromechanical switch
US6876282B2 (en) * 2002-05-17 2005-04-05 International Business Machines Corporation Micro-electro-mechanical RF switch
US6639494B1 (en) * 2002-12-18 2003-10-28 Northrop Grumman Corporation Microelectromechanical RF switch
KR100554468B1 (ko) * 2003-12-26 2006-03-03 한국전자통신연구원 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치 및그의 제조방법
US7373717B2 (en) * 2004-03-16 2008-05-20 Electronics And Telecommunications Research Institute Method of manufacturing a self-sustaining center-anchor microelectromechanical switch
US20050225412A1 (en) * 2004-03-31 2005-10-13 Limcangco Naomi O Microelectromechanical switch with an arc reduction environment
US20050248424A1 (en) * 2004-05-07 2005-11-10 Tsung-Kuan Chou Composite beam microelectromechanical system switch
FR2871950B1 (fr) * 2004-06-22 2006-08-11 Commissariat Energie Atomique Filtre frequentiel et son procede de realisation.
US7310033B2 (en) * 2004-08-19 2007-12-18 Teravicta Technologies, Inc. MEMS switch electrode configuration to increase signal isolation
US7119943B2 (en) 2004-08-19 2006-10-10 Teravicta Technologies, Inc. Plate-based microelectromechanical switch having a three-fold relative arrangement of contact structures and support arms
US20070040637A1 (en) * 2005-08-19 2007-02-22 Yee Ian Y K Microelectromechanical switches having mechanically active components which are electrically isolated from components of the switch used for the transmission of signals
US7528691B2 (en) * 2005-08-26 2009-05-05 Innovative Micro Technology Dual substrate electrostatic MEMS switch with hermetic seal and method of manufacture
KR100837741B1 (ko) * 2006-12-29 2008-06-13 삼성전자주식회사 미세 스위치 소자 및 미세 스위치 소자의 제조방법
US8093971B2 (en) * 2008-12-22 2012-01-10 General Electric Company Micro-electromechanical system switch
US8957485B2 (en) * 2009-01-21 2015-02-17 Cavendish Kinetics, Ltd. Fabrication of MEMS based cantilever switches by employing a split layer cantilever deposition scheme
US7928333B2 (en) * 2009-08-14 2011-04-19 General Electric Company Switch structures
US8847087B2 (en) * 2009-09-17 2014-09-30 Panasonic Corporation MEMS switch and communication device using the same
US8354899B2 (en) * 2009-09-23 2013-01-15 General Electric Company Switch structure and method
FR2963784B1 (fr) * 2010-08-11 2012-08-31 Univ Limoges Microsystemes electromecaniques a gaps d'air.

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Also Published As

Publication number Publication date
IL251793A0 (en) 2017-06-29
US10121623B2 (en) 2018-11-06
FR3027448B1 (fr) 2016-10-28
FR3027448A1 (fr) 2016-04-22
EP3210230A1 (fr) 2017-08-30
ES2863098T3 (es) 2021-10-08
IL251793B (en) 2021-02-28
US20170316907A1 (en) 2017-11-02
CN107078000A (zh) 2017-08-18
WO2016062956A1 (fr) 2016-04-28
CN107078000B (zh) 2019-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3210230B1 (fr) Commutateur microelectromecanique robuste
CA2687161C (fr) Element rayonnant planaire a polarisation duale et antenne reseau comportant un tel element rayonnant
EP3465724B1 (fr) Membrane mems à ligne de transmission intégrée
EP1743349A2 (fr) Microcommutateur a faible tension d&#34;actionnement et faible consommation
WO2013083385A1 (fr) Dispositif mecanique de commutation electrique integre possedant un etat bloque
CA2949344A1 (fr) Connecteur electrique notamment pour dispositif cutane.
EP1570504B1 (fr) Commutateur micro-mecanique et procede de realisation
WO2004051687A1 (fr) Micro-commutateur electrostatique pour composant a faible tension d’actionnement
EP1850361B1 (fr) Actionneur sensible à une surintensité électrique et à déclenchement rapitde, et application
EP2980936B1 (fr) Cartouche de dispositif de protection d&#39;installation électrique à connecteurs croisés
EP2600105B1 (fr) Elément de cadre d&#39;un gyroscope laser comprenant un substrat comportant des ions mobiles et une électrode.
EP1836713B1 (fr) Microsysteme integrant un circuit magnetique reluctant
FR3122944A1 (fr) Contact mobile configuré pour être intégré dans un disjoncteur
EP3007198B1 (fr) Actuateur
EP3237324B1 (fr) Mems rf capacitif destine a des applications de forte puissance.
FR3022691A1 (fr) Dispositif capacitif commandable integre
FR2983627A3 (fr) Composant
EP3852945A1 (fr) Ensemble pour déformer des pièces métalliques par impulsion magnétique
EP2833482B1 (fr) Organe de contact entre un support et un dispositif et connecteur électrique comprenant un tel organe de contact.
WO2007115945A1 (fr) Microsysteme pour commuter un circuit electrique de puissance
FR2770029A1 (fr) Plage de test a positionnement automatique de microsonde et procede de realisation d&#39;une telle plage de test
EP3301761A1 (fr) Connecteur pour circuit d&#39;électronique de puissance
EP1244123A1 (fr) Dispositif assurant le passage d&#39;un courant éléctrique entre des bras conducteurs articulés
FR2955998A1 (fr) Composant electromecanique ou electronique montable en surface

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20170519

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: ZAHR, ABEDEL HALIM

Inventor name: BLONDY, PIERRE

Inventor name: ZHANG, LING YAN

Inventor name: STEFANINI, ROMAIN

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: STEFANINI, ROMAIN

Inventor name: ZAHR, ABEDEL HALIM

Inventor name: BLONDY, PIERRE

Inventor name: ZHANG, LING YAN

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20200721

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE PATENT HAS BEEN GRANTED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 1350763

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20210115

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 602015064210

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: FP

REG Reference to a national code

Ref country code: SE

Ref legal event code: TRGR

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: RS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210330

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210331

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MK05

Ref document number: 1350763

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20201230

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210330

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG9D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210430

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210430

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 602015064210

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2863098

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

Effective date: 20211008

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

26N No opposition filed

Effective date: 20211001

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210430

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20211019

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20151019

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 20231016

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20231018

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Payment date: 20231107

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 20231018

Year of fee payment: 9

Ref country code: IT

Payment date: 20231023

Year of fee payment: 9

Ref country code: IE

Payment date: 20231027

Year of fee payment: 9

Ref country code: FR

Payment date: 20231012

Year of fee payment: 9

Ref country code: DE

Payment date: 20231026

Year of fee payment: 9

Ref country code: CH

Payment date: 20231101

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Payment date: 20231012

Year of fee payment: 9

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20201230