EP1570504B1 - Commutateur micro-mecanique et procede de realisation - Google Patents

Commutateur micro-mecanique et procede de realisation Download PDF

Info

Publication number
EP1570504B1
EP1570504B1 EP03815100A EP03815100A EP1570504B1 EP 1570504 B1 EP1570504 B1 EP 1570504B1 EP 03815100 A EP03815100 A EP 03815100A EP 03815100 A EP03815100 A EP 03815100A EP 1570504 B1 EP1570504 B1 EP 1570504B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
bridge
conducting element
conducting
substrate
insulating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP03815100A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP1570504A1 (fr
Inventor
Pierre-Louis Charvet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of EP1570504A1 publication Critical patent/EP1570504A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP1570504B1 publication Critical patent/EP1570504B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics

Definitions

  • the invention relates to a micromechanical switch, comprising a deformable bridge, connected at its ends to a substrate, and actuating means for deforming the deformable bridge so as to establish an electrical contact between a first conductive element, integral with the substrate and disposed between the bridge and the substrate, and a third conductive element disposed on the substrate at the periphery of the bridge.
  • Micro-mechanical switches often have problems with contact resistances.
  • the contact resistance may fluctuate over time or be too high when the contact is not sufficiently intimate.
  • a known embodiment comprises a deformable bridge and first conductive elements, intended to be connected together, arranged on a substrate between the substrate and the bridge.
  • the bridge has a second conductive element on its underside.
  • the electrical contact between the first conductive elements is established when the bridge is deformed by actuating means so that the second conductive element touches all the first conductive elements.
  • this is a hyperstatic structure (comparable to a four-legged table where a foot is superabundant), i.e. only one of the contacts is intimate and has a low contact resistance while the contact resistances of the other contacts are higher.
  • it would require a very important precision during the manufacture of the switch, which would make the manufacture difficult and expensive.
  • the document WOO2 / 01584 discloses a micro-mechanical switch having a metal bridge, disposed on a substrate and deformable by means of an electrostatic actuator, and a conductive element disposed between the bridge and the substrate.
  • the actuation of the electrostatic actuator causes the deformation of the bridge, so as to establish an electrical contact between the bridge and the conductive element.
  • the bridge can undergo hardening, in use, which can lead to its breaking.
  • the object of the invention is to overcome these drawbacks and, more particularly, to provide a more robust switch, while avoiding problems of hyperstatic structure.
  • the deformable bridge comprises at least a first insulating layer pierced with an orifice, in which is disposed a conductive material projecting from the face lower part of the bridge so as to form a second conductive element, intended to come into contact with the first conductive element during the deformation of the bridge, a conductive line connecting the second conductive element to the third conductive element being disposed on the first insulating layer.
  • the micro-mechanical switch shown in figure 1 is composed of a deformable bridge 1, connected at its ends to a substrate 2, and actuating means 3a and 3b for deforming the deformable bridge 1 so as to establish an electrical contact between first conductive elements 4 (three on the figure 1 ), formed on the substrate 2 between the bridge 1 and the substrate 2, and a second conductive element 5, integral with a lower face of the bridge 1.
  • This switch according to the prior art establishes the electrical contact between the first conductive elements 4 when the actuating means 3 deform the bridge 1.
  • the second conductive element 5 is permanently connected, via a conductive line 6 integral with the bridge 1, to a third conductive element 7 disposed on the substrate 2 at the periphery of the bridge 1.
  • the deformation of the bridge 1 establishes an electrical contact, via the conductive line 6 and the second conductive element 5, between the third conductive element 7 and a first single conductive element 4, arranged with respect to the second conductive element 5.
  • the deformable bridge 1 is constituted by a first insulating layer pierced with an orifice 10, in which is disposed a conductive material projecting from the underside of the bridge 1 so as to form a second conductive element 5, intended to come into contact with the first conductive element during the deformation of the bridge 1.
  • the underside of the bridge 1 is made of insulating material.
  • a conductive line 6 disposed on the first insulating layer connects the second conductive element 5 to the third conductive element 7.
  • the deformable bridge 1 may be formed by a superposition of thin layers.
  • a conductive layer constituting the conductive line 6 and connecting the second conductive element and the third conductive element 7 may be formed on the first insulating layer.
  • the second conductive element 5 and the conductive line 6 may be constituted by the same conductive layer.
  • a second insulating layer 8 may be formed above the conductive line 6.
  • a conductive line 6 connects the second conductive element 5 to two third conductive elements 7, arranged on either side of the bridge 1.
  • the bridge 1 may comprise an insulating layer 8 above the conductive line 6.
  • An insulating layer 9 is preferably arranged between the first conductive element 4 and the substrate 2, the insulating layer 9 having side dimensions smaller than the lateral dimensions of the first conductive element 4, so that the first conductive element 4 is convex. Thanks to the convex shape of the first conductive element 4, the contact between the first conductive element 4 and the second conductive element 5 forms a contact located in the center of the bump.
  • a switch according to the invention has the advantage of being robust and having a single contact, which can be made sufficiently intimate by appropriate actuation. Therefore, the contact resistance is very low.
  • the micro-mechanical switch may be a normally open radio frequency switch, the actuating means 3 comprising an electrostatic actuator.
  • the first conductive element 4 is a radiofrequency line.
  • the actuating means 3 are preferably constituted by electrodes 3a and 3b of an electrostatic actuator.
  • the electrodes 3a may be arranged in the first insulating layer of the bridge 1, as shown in FIG. figure 3 .
  • the electrodes 3a, integral with the bridge 1, are connected to a voltage source.
  • the electrodes 3b formed on the substrate 2, between the deformable bridge 1 and the substrate 2, on either side of the radiofrequency line constituting the first conductive element 4, constitute two ground planes substantially parallel to the radiofrequency line. They fulfill a dual function. On the one hand, the electrodes 3b make it possible to establish an attractive electric force between the electrodes 3a and the electrodes 3b making it possible to deform the bridge 1 when a voltage is applied between the electrodes 3a and 3b. On the other hand, the electrodes 3b serve as a waveguide for the signal transmitted by the radiofrequency line constituting the first conductive element 4.
  • the third conductive elements 7 are constituted by electrical ground planes arranged on the substrate 2 on either side of the deformable bridge 1.
  • the operation of the switch puts the radiofrequency line into contact with the electric ground planes constituting the third conductive elements 7.
  • the electrical signal is then absorbed by the electrical ground.
  • the radiofrequency switch described above represents the advantage of transmitting, in the on state, the radiofrequency signal without any loss of contact.
  • the entire radiofrequency component can be made on the substrate 2 by conventional techniques for manufacturing integrated circuits.
  • the surface of the substrate 2, on which are disposed the third and first conductive elements 4 and 7, must be made of insulating material to avoid a short circuit permanent conductive elements.
  • the insulating material is typically silicon oxide.
  • an insulating layer 9 is deposited on the substrate 2 at the locations of the electrodes 3b and at the location of the first conductive element 4, the insulating layer 9 having side dimensions smaller than the lateral dimensions of the electrodes 3b and the first conductive element 4 respectively.
  • the material of the insulating layer 9 may be, for example, Si 3 N 4 or SiO 2 .
  • the first conductive element 4 and the electrodes 3b can be deposited on the insulating layer 9 by depositing a metal layer, preferably gold.
  • the sacrificial layer may then be deposited above the first conductive element 4 and the electrodes 3b.
  • the material of the sacrificial layer is typically a polymeric material, allowing it to be easily removed after bridge fabrication.
  • a layer of insulating material forming the framework of the bridge 1 is deposited.
  • the insulating material of this layer may for example be Si 3 N 4 or SiO 2 .
  • the electrodes 3a can be produced by a metallic deposit on the insulating layer forming the framework of the bridge 1 and the covering of the electrodes 3a by an additional insulating layer (not shown) intended to isolate the electrodes 3a from the conductive line 6.
  • the orifice 10 is pierced by etching in the insulating layer forming the framework of the bridge 1, in the additional insulating layer and in the sacrificial layer.
  • the second conductive element 5 and the conductive line 6 are then made, preferably simultaneously, by deposition of a metal layer so as to fill the orifice 10 and to form a layer connecting the second conductive element 5 and the third conductive element 7
  • a second insulating layer 8 Si 3 N 4 or SiO 2 .
  • the sacrificial layer is then removed.

Landscapes

  • Micromachines (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Control Of El Displays (AREA)

Description

    Domaine technique de l'invention
  • L'invention concerne un commutateur micro-mécanique, comportant un pont déformable, rattaché par ses extrémités à un substrat, et des moyens d'actionnement destinés à déformer le pont déformable de manière à établir un contact électrique entre un premier élément conducteur, solidaire du substrat et disposé entre le pont et le substrat, et un troisième élément conducteur disposé sur le substrat à la périphérie du pont.
    • État de la technique
  • Les commutateurs micro-mécaniques présentent souvent des problèmes concernant les résistances de contact. Par exemple, la résistance de contact peut fluctuer dans le temps ou être trop élevée lorsque le contact n'est pas suffisamment intime.
  • Pour commuter un signal radiofréquence avec un interrupteur micro-mécanique, une réalisation connue comporte un pont déformable et des premiers éléments conducteurs, destinés à être connectés entre eux, disposés sur un substrat entre le substrat et le pont. Le pont comporte un deuxième élément conducteur à sa face inférieure. Le contact électrique entre les premiers éléments conducteurs est établi lorsque le pont est déformé par des moyens d'actionnement de manière à ce que le deuxième élément conducteur touche tous les premiers éléments conducteurs. Or, ceci constitue une structure hyperstatique (comparable à une table à quatre pieds où un pied est surabondant), c'est-à-dire qu'un seul des contacts est intime et présente une faible résistance de contact tandis que les résistances de contact des autres contacts sont plus élevées. Pour assurer que les résistances de contacts des différents contacts électriques soient sensiblement égales, il faudrait une précision très importante lors de la fabrication du commutateur, ce qui rendrait la fabrication difficile et coûteuse.
  • Le document WOO2/01584 décrit un commutateur micro-mécanique comportant un pont métallique, disposé sur un substrat et déformable au moyen d'un actionneur électrostatique, et un élément conducteur disposé entre le pont et le substrat. L'actionnement de l'actionneur électrostatique provoque la déformation du pont, de manière à établir un contact électrique entre le pont et l'élément conducteur. Le pont peut subir un écrouissage, à l'usage, qui peut conduire à sa rupture.
    • Objet de l'invention
  • L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et, plus particulièrement, de réaliser un commutateur plus robuste, tout en évitant les problèmes de structure hyperstatique.
  • Selon l'invention, ce but est atteint par les revendications annexées et, en particulier, par le fait que le pont déformable comporte au moins une première couche isolante percée d'un orifice, dans lequel est disposé un matériau conducteur faisant saillie à la face inférieure du pont de manière à former un deuxième élément conducteur, destiné à venir en contact avec le premier élément conducteur lors de la déformation du pont, une ligne conductrice connectant le deuxième élément conducteur au troisième élément conducteur étant disposée sur la première couche isolante.
  • L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un commutateur selon l'invention, dans lequel la fabrication du pont déformable est réalisée par :
    • dépôt d'une couche sacrificielle au-dessus du premier élément conducteur,
    • dépôt d'une première couche isolante sur la couche sacrificielle,
    • gravure d'un orifice dans la première couche isolante et dans la couche sacrificielle,
    • dépôt d'une couche métallique de manière à remplir l'orifice et à former le deuxième élément conducteur et la ligne conductrice,
    • enlèvement de la couche sacrificielle.
    Description sommaire des dessins
  • D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels :
    • La figure 1 représente un commutateur micro-mécanique selon l'art antérieur.
    • La figure 2 représente un commutateur micro-mécanique selon l'invention.
    • La figure 3 représente un mode de réalisation préférentiel d'un commutateur micro-mécanique selon l'invention.
    • La figure 4 représente une vue de dessus d'un mode de réalisation d'un commutateur selon l'invention.
    Description de modes particuliers de réalisation.
  • Le commutateur micro-mécanique représenté à la figure 1 est composé d'un pont déformable 1, rattaché par ses extrémités à un substrat 2, et des moyens d'actionnement 3a et 3b destinés à déformer le pont déformable 1 de manière à établir un contact électrique entre des premiers éléments conducteurs 4 (trois sur la figure 1), formés sur le substrat 2 entre le pont 1 et le substrat 2, et un deuxième élément conducteur 5, solidaire d'une face inférieure du pont 1. Ce commutateur selon l'art antérieur établit le contact électrique entre les premiers éléments conducteurs 4 lorsque les moyens d'actionnement 3 déforment le pont 1.
  • Dans le commutateur micro-mécanique représenté à la figure 2, le deuxième élément conducteur 5 est connecté en permanence, par l'intermédiaire d'une ligne conductrice 6 solidaire du pont 1, à un troisième élément conducteur 7 disposé sur le substrat 2 à la périphérie du pont 1. La déformation du pont 1 établit un contact électrique, par l'intermédiaire de la ligne conductrice 6 et du deuxième élément conducteur 5, entre le troisième élément conducteur 7 et un premier élément conducteur 4 unique, disposé vis-à-vis du deuxième élément conducteur 5.
  • Sur la figure 2, le pont 1 déformable est constitué par une première couche isolante percée d'un orifice 10, dans lequel est disposé un matériau conducteur faisant saillie à la face inférieure du pont 1 de manière à former un deuxième élément conducteur 5, destiné à venir en contact avec le premier élément conducteur lors de la déformation du pont 1. Ainsi, la face inférieure du pont 1 est en matériau isolant. Une ligne conductrice 6, disposée sur la première couche isolante, connecte le deuxième élément conducteur 5 au troisième élément conducteur 7.
  • Le pont déformable 1 peut être formé par une superposition de couches minces. Ainsi, une couche conductrice, constituant la ligne conductrice 6 et reliant le deuxième élément 5 conducteur et le troisième élément 7 conducteur, peut être formée sur la première couche isolante. Dans une variante de réalisation, le deuxième élément conducteur 5 et la ligne conductrice 6 peuvent être constitués par une même couche conductrice. Comme représenté à la figure 3, une deuxième couche isolante 8 peut être formée au-dessus de la ligne conductrice 6.
  • Dans le commutateur représenté à la figure 3, une ligne conductrice 6 relie le deuxième élément conducteur 5 à deux troisièmes éléments conducteurs 7, disposés de part et d'autre du pont 1. Le pont 1 peut comporter une couche isolante 8 au-dessus de la ligne conductrice 6. Une couche isolante 9 est, de préférence, disposée entre le premier élément conducteur 4 et le substrat 2, la couche isolante 9 ayant des dimensions latérales inférieures aux dimensions latérales du premier élément conducteur 4, de manière à ce que le premier élément 4 conducteur soit convexe. Grâce à la forme convexe du premier élément conducteur 4, le contact entre le premier élément conducteur 4 et le deuxième élément conducteur 5 forme un contact localisé au centre de la bosse.
  • Un commutateur selon l'invention présente l'avantage d'être robuste et d'avoir un seul contact, qui peut être rendu suffisamment intime par un actionnement approprié. Par conséquent, la résistance de contact est très faible.
  • A titre d'exemple, le commutateur micro-mécanique peut être un interrupteur radiofréquence normalement ouvert, les moyens d'actionnement 3 comportant un actionneur électrostatique. Dans ce cas, comme représenté à la figure 4, le premier élément conducteur 4 est une ligne radiofréquence. Lorsque le commutateur est ouvert, le signal radiofréquence peut passer par la ligne radiofréquence constituant le premier élément conducteur 4, les pertes de contact étant ainsi évitées. Les moyens d'actionnement 3 sont, de préférence, constitués par des électrodes 3a et 3b d'un actionneur électrostatique. Les électrodes 3a peuvent être disposées dans la première couche isolante du pont 1, comme représenté à la figure 3. Les électrodes 3a, solidaires du pont 1, sont connectées à une source de tension. Les électrodes 3b, formées sur le substrat 2, entre le pont déformable 1 et le substrat 2, de part et d'autre de la ligne radiofréquence constituant le premier élément conducteur 4, constituent deux plans de masse sensiblement parallèles à la ligne radiofréquence. Elles remplissent ainsi une double fonction. D'une part, les électrodes 3b permettent d'établir une force électrique attractive entre les électrodes 3a et les électrodes 3b permettant de déformer le pont 1 lorsqu'une tension est appliquée entre les électrodes 3a et 3b. D'autre part les électrodes 3b servent de guide d'onde pour le signal transmis par la ligne radiofréquence constituant le premier élément conducteur 4. Dans l'application considérée, les troisièmes éléments conducteurs 7 sont constitués par des plans de masse électrique disposés sur le substrat 2 de part et d'autre du pont déformable 1. Ainsi, l'actionnement du commutateur met en contact la ligne radiofréquence et les plans de masse électrique constituant les troisièmes éléments conducteurs 7. Le signal électrique est alors absorbé par la masse électrique. L'interrupteur radiofréquence décrit ci-dessus représente l'avantage de transmettre, dans l'état passant, le signal radiofréquence sans aucune perte de contact.
  • L'ensemble du composant radiofréquence peut être réalisé sur le substrat 2 par des techniques classiques de fabrication de circuits intégrés. La surface du substrat 2, sur laquelle sont disposés les troisième et premier éléments conducteurs 4 et 7, doit être en matériau isolant pour éviter un court-circuit permanent des éléments conducteurs. Le matériau isolant est typiquement de l'oxyde de silicium. Dans un mode de réalisation préférentiel, une couche isolante 9 est déposée sur le substrat 2 aux emplacements des électrodes 3b et à l'emplacement du premier élément conducteur 4, la couche isolante 9 ayant des dimensions latérales inférieures aux dimensions latérales des électrodes 3b et du premier élément conducteur 4 respectivement. Le matériau de la couche isolante 9 peut être par exemple du Si3N4 ou du SiO2. Le premier élément conducteur 4 et les électrodes 3b peuvent être déposés sur la couche isolante 9 par dépôt d'une couche métallique, préférentiellement en or. La couche sacrificielle peut ensuite être déposée au-dessus du premier élément conducteur 4 et des électrodes 3b. Le matériau de la couche sacrificielle est typiquement un matériau polymère, permettant d'être enlevé facilement après la fabrication du pont. Sur la couche sacrificielle, une couche de matériau isolant formant l'ossature du pont 1 est déposée. Le matériau isolant de cette couche peut par exemple être du Si3N4 ou du SiO2. Pour réaliser un actionneur électrostatique, les électrodes 3a peuvent être fabriquées par un dépôt métallique sur la couche isolante formant l'ossature du pont 1 et couverture des électrodes 3a par une couche isolante supplémentaire (non-représentée), destinée à isoler les électrodes 3a de la ligne conductrice 6. L'orifice 10 est percé par gravure dans la couche isolante formant l'ossature du pont 1, dans la couche isolante supplémentaire et dans la couche sacrificielle. Le deuxième élément conducteur 5 et la ligne conductrice 6 sont alors réalisés, de préférence simultanément, par dépôt d'une couche métallique de manière à remplir l'orifice 10 et à former une couche reliant le deuxième élément conducteur 5 et le troisième élément conducteur 7. De préférence, une deuxième couche isolante 8 (Si3N4 ou SiO2) est déposée au-dessus des éléments conducteurs. La couche sacrificielle est ensuite enlevée.

Claims (10)

  1. Commutateur micro-mécanique, comportant un pont (1) déformable, rattaché par ses extrémités à un substrat (2), et des moyens d'actionnement (3) destinés à déformer le pont (1) déformable de manière à établir un contact électrique entre un premier élément conducteur (4), solidaire du substrat (2) et disposé entre le pont (1) et le substrat (2), et un troisième élément conducteur (7) disposé sur le substrat (2) à la périphérie du pont (1), commutateur caractérisé en ce que le pont (1) déformable comporte au moins une première couche isolante percée d'un orifice (10), dans lequel est disposé un matériau conducteur faisant saillie à la face inférieure du pont (1) de manière à former un deuxième élément conducteur (5), destiné à venir en contact avec le premier élément conducteur (4) lors de la déformation du pont (1), une ligne conductrice (6) connectant le deuxième élément conducteur (5) au troisième élément conducteur (7) étant disposée sur la première couche isolante.
  2. Commutateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens d'actionnement (3) comportent un actionneur électrostatique.
  3. Commutateur selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'actionneur électrostatique comporte des électrodes (3a) disposées dans la première couche isolante du pont (1).
  4. Commutateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le premier élément conducteur (4) est une ligne radiofréquence et le troisième élément conducteur (7) est un plan de masse électrique disposé sur le substrat (2).
  5. Commutateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que deux plans de masse sont disposés sur le substrat (2) de part et d'autre du pont (1) et connectés au deuxième élément conducteur (5), la ligne conductrice (6) reliant le deuxième élément conducteur (5) aux deux plans de masse.
  6. Commutateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le pont (1) déformable comporte au moins une couche conductrice constituant la ligne conductrice (6).
  7. Commutateur selon la revendication 6, caractérisé en ce que le deuxième élément conducteur (5) et la ligne conductrice (6) sont constitués par une même couche conductrice.
  8. Commutateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le pont (1) déformable comporte au moins une deuxième couche isolante (8) au-dessus de la ligne conductrice (6).
  9. Commutateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'une troisième couche isolante (9) est disposée entre le premier élément conducteur (4) et le substrat (2), la troisième couche isolante ayant des dimensions latérales inférieures aux dimensions latérales du premier élément conducteur (4), de manière à ce que le premier élément conducteur (4) soit convexe.
  10. Procédé de réalisation d'un commutateur micro-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il comporte la fabrication du pont (1) déformable par :
    - dépôt d'une couche sacrificielle au-dessus du premier élément conducteur (4),
    - dépôt d'une première couche isolante sur la couche sacrificielle,
    - gravure d'un orifice (10) dans la première couche isolante et dans la couche sacrificielle,
    - dépôt d'une couche métallique de manière à remplir l'orifice (10) et à former le deuxième élément conducteur (5) et la ligne conductrice (6),
    - enlèvement de la couche sacrificielle.
EP03815100A 2002-12-10 2003-12-09 Commutateur micro-mecanique et procede de realisation Expired - Lifetime EP1570504B1 (fr)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0215605A FR2848331B1 (fr) 2002-12-10 2002-12-10 Commutateur micro-mecanique et procede de realisation
FR0215605 2002-12-10
PCT/FR2003/003641 WO2004064096A1 (fr) 2002-12-10 2003-12-09 Commutateur micro-mecanique et procede de realisation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1570504A1 EP1570504A1 (fr) 2005-09-07
EP1570504B1 true EP1570504B1 (fr) 2011-08-24

Family

ID=32320165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03815100A Expired - Lifetime EP1570504B1 (fr) 2002-12-10 2003-12-09 Commutateur micro-mecanique et procede de realisation

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7382218B2 (fr)
EP (1) EP1570504B1 (fr)
AT (1) ATE521977T1 (fr)
FR (1) FR2848331B1 (fr)
WO (1) WO2004064096A1 (fr)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2876995B1 (fr) * 2004-10-26 2007-05-04 Commissariat Energie Atomique Microsysteme comportant un pont deformable
JP4234737B2 (ja) * 2006-07-24 2009-03-04 株式会社東芝 Ｍｅｍｓスイッチ
US8450902B2 (en) * 2006-08-28 2013-05-28 Xerox Corporation Electrostatic actuator device having multiple gap heights
KR100837741B1 (ko) * 2006-12-29 2008-06-13 삼성전자주식회사 미세 스위치 소자 및 미세 스위치 소자의 제조방법
JP4334581B2 (ja) * 2007-04-27 2009-09-30 株式会社東芝 静電型アクチュエータ
US7902946B2 (en) * 2008-07-11 2011-03-08 National Semiconductor Corporation MEMS relay with a flux path that is decoupled from an electrical path through the switch and a suspension structure that is independent of the core structure and a method of forming the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6046659A (en) * 1998-05-15 2000-04-04 Hughes Electronics Corporation Design and fabrication of broadband surface-micromachined micro-electro-mechanical switches for microwave and millimeter-wave applications
AU2001268742A1 (en) * 2000-06-28 2002-01-08 The Regents Of The University Of California Capacitive microelectromechanical switches
WO2003017301A1 (fr) * 2001-08-20 2003-02-27 Honeywell International Inc. Thermocontacteur a rupture brusque
US6876282B2 (en) * 2002-05-17 2005-04-05 International Business Machines Corporation Micro-electro-mechanical RF switch
JP4447940B2 (ja) * 2004-02-27 2010-04-07 富士通株式会社 マイクロスイッチング素子製造方法およびマイクロスイッチング素子

Also Published As

Publication number Publication date
FR2848331A1 (fr) 2004-06-11
US7382218B2 (en) 2008-06-03
ATE521977T1 (de) 2011-09-15
EP1570504A1 (fr) 2005-09-07
FR2848331B1 (fr) 2005-03-11
US20050280974A1 (en) 2005-12-22
WO2004064096A1 (fr) 2004-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1639613B1 (fr) Micro-commutateur bistable a faible consommation
EP1562207B1 (fr) Microsystème électromécanique pouvant basculer entre deux positions stables
JP2007159389A (ja) 圧電型ｒｆ―ｍｅｍｓ素子及びその製造方法
EP1736435A1 (fr) Actionneur électrostatique comprenant un pivot conducteur suspendu
EP2727144B1 (fr) Procédé d'hybridation d'un composant muni d'inserts creux
CN104347320B (zh) Mems开关设备和制造方法
EP1543535B1 (fr) Procédé de réalisation des microcommutateurs a actuation electrostatique a faible temps de reponse et a commutation de puissance
EP1570504B1 (fr) Commutateur micro-mecanique et procede de realisation
EP3465724A1 (fr) Membrane mems à ligne de transmission intégrée
EP1652205B1 (fr) Commutateur micro-mecanique bistable, methode d' actionnement et procede de realisation correspondant
EP2610907A1 (fr) Dispositif electronique empile et procede de realisation d'un tel dispositif electronique
EP1438728B1 (fr) Micro-condensateur variable (mems) a fort rapport et faible tension d'actionnement
EP2024986B1 (fr) Structure de micro-commutateurs radiofrequence ou hyperfrequence et procede de fabrication d'une telle structure
EP1565921B1 (fr) Micro-commutateur electrostatique pour composant a faible tension d'actionnement
EP1565922B1 (fr) Micro-commutateur electrostatique pour composant a faible tension d'actionnement
EP1805100B1 (fr) Microsysteme comportant un pont deformable
FR2835963A1 (fr) Micro-composant du type micro-interrupteur et procede de fabrication d'un tel micro-composant
EP3459101B1 (fr) Commutateur variable microélectromécanique radiofréquence
FR2819921A1 (fr) Dispositif de transmission de donnees pour la transmission separee galvaniquement de signaux et utilisation du dispositif
FR3022691A1 (fr) Dispositif capacitif commandable integre
EP0402188B1 (fr) Composant à faible capacité en puce, notamment diode PIN en puce
WO1997048130A1 (fr) Procede de montage d'un circuit integre sur un support et support en resultant
FR2858890A1 (fr) Microsysteme incorporant au moins une structure resonante dans une cavite sous atmosphere controlee et procede pour sa fabrication

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20050520

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 60338222

Country of ref document: DE

Effective date: 20111124

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: VDEP

Effective date: 20110824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20111226

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MK05

Ref document number: 521977

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20110824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20111125

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

BERE Be: lapsed

Owner name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES

Effective date: 20111231

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20111231

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

26N No opposition filed

Effective date: 20120525

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 60338222

Country of ref document: DE

Effective date: 20120525

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20111231

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20111231

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20111231

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20121214

Year of fee payment: 10

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20111205

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20111209

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20111124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20110824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20131231

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 13

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20131209

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 14

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 15

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20221223

Year of fee payment: 20

Ref country code: FR

Payment date: 20221222

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20221221

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R071

Ref document number: 60338222

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

Expiry date: 20231208

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20231208

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20231208