ES2335743T3 - Blanco en forma de tubo y procedimiento de fabricacion de un blanco de este tipo. - Google Patents
Blanco en forma de tubo y procedimiento de fabricacion de un blanco de este tipo. Download PDFInfo
- Publication number
- ES2335743T3 ES2335743T3 ES01129511T ES01129511T ES2335743T3 ES 2335743 T3 ES2335743 T3 ES 2335743T3 ES 01129511 T ES01129511 T ES 01129511T ES 01129511 T ES01129511 T ES 01129511T ES 2335743 T3 ES2335743 T3 ES 2335743T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- tube
- spray material
- component
- shaped
- blank according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3414—Targets
- H01J37/342—Hollow targets
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
Abstract
Blanco en forma de tubo para una instalación de pulverización catódica, con un material de pulverización con forma de tubo y un tubo de soporte, en el cual el material de pulverización presenta una sección transversal en forma de anillo circular y rodea de forma concéntrica un tramo de la longitud del tubo de soporte y en el cual el tubo de soporte sobresale del material de pulverización en por lo menos uno de los dos extremos del blanco para la conexión con la instalación de pulverización catódica, caracterizado porque la por lo menos una parte del tubo de soporte, que sobresale del material de pulverización, es un componente separable mediante por lo menos una unión a rosca.
Description
Blanco en forma de tubo y procedimiento de
fabricación de un blanco de este tipo.
La invención se refiere a un blanco en forma de
tubo para una instalación de pulverización catódica, con un
material de pulverización con forma de tubo y con un tubo de
soporte, en el cual el material de pulverización presenta una
sección transversal en forma de anillo circular y rodea de forma
concéntrica un tramo de la longitud del tubo de soporte y en el
cual el tubo de soporte sobresale del material de pulverización en
por lo menos uno de los dos extremos del blanco para la conexión
con la instalación de pulverización catódica. La invención se
refiere además a un procedimiento de fabricación de un blanco de
este tipo.
En el documento EP 0 500 031 B1 se dan a conocer
distintos procedimientos para la fabricación de un blanco en forma
de tubo para la pulverización o de un blanco en forma de tubo,
respectivamente, para la pulverización catódica. En este documento
se describen blancos con un tubo de soporte continuo que son
apropiados sobre todo para materiales de pulverización sensibles a
la rotura o blandos como Sn o Si. Se describe una aplicación del
material de pulverización firmemente adherida al tubo de soporte
mediante proyección de plasma, proyección a la llama, unión por
fusión en estado fundido, precipitación galvánica o prensado en
caliente.
En el documento EP 0 500 774 B1 se describe un
dispositivo de pulverización para el recubrimiento de grandes
superficies, con un blanco cilíndrico hueco en una cámara de vacío,
estando el blanco sujeto de manera giratoria alrededor de su eje
longitudinal. En el interior del blanco hueco se encuentran una
tubería de refrigerante así como una estructura magnética alargada
y asegurada contra giro con el blanco. Se describe la fabricación
de un blanco cilíndrico sin tubo de soporte mediante fundición de
material de blanco fundido y de blancos con un tubo de soporte por
ejemplo de latón y con una aplicación del material del blanco
mediante proyección de plasma o pulverización de un líquido. El
blanco cilíndrico se une en ambos extremos con un soporte a través
de un respectivo husillo.
La conexión de los extremos de un blanco en
forma de tubo a través de husillos de este tipo es el procedimiento
aplicado más frecuentemente.
En el documento WO 97/15697 se muestra en
detalle en la figura 1 esta técnica de conexión entre un blanco en
forma de tubo y un soporte en una instalación de pulverización
catódica. El tubo de soporte de un blanco, o en el caso de
materiales de pulverización mecánicamente estables también el
material de pulverización con forma de tubo mismo, se provee en un
extremo de una ranura en espiral en la que se introduce un resorte.
Un husillo, que presenta una brida en la superficie de contacto con
el tubo de soporte o con el material de pulverización y que
presenta en esta brida una ranura con una junta tórica, se coloca a
tope en el extremo del tubo de soporte o del material de
pulverización y se atornilla mediante un anillo de husillo con el
tubo de soporte o con el material de pulverización. En lo
anteriormente expuesto es desventajoso que resulte difícil en
particular el mecanizado de tubos de soporte largos para la
fabricación de la ranura en espiral en la zona de conexión. Se
requieren dispositivos complejos para conseguir la exactitud
dimensional de la ranura en espiral exigida con respecto a una
unión estanca al gas.
En el documento US-4,445,997 se
da a conocer un blanco en forma de tubo para una instalación de
pulverización catódica con un material de pulverización con forma
de tubo y un tubo de soporte, presentando el material de
pulverización una sección transversal en forma de anillo circular
que rodea de manera concéntrica un tramo de la longitud del tubo de
soporte.
El tubo de soporte presenta una brida en ambos
extremos del blanco que está unida con el material de pulverización
con forma de tubo en una superficie frontal del material de
pulverización a través de por lo menos dos tornillos.
Los blancos tubulares sin tubo de soporte se
reciclan después del uso, debido al material de pulverización a
veces muy caro, de tal manera que el material restante se funde y se
usa de nuevo. En un blanco en forma de tubo con un tubo de soporte,
el resto del material de pulverización se elimina del tubo de
soporte por ejemplo mediante torneado y el material de
pulverización se funde en forma de virutas y se usa de nuevo. El
tubo de soporte torneado y limpio se reutiliza también y se recubre
de nuevo con el material de pulverización. Esto es rentable debido
a las grandes longitudes de los blancos de usualmente 2,5 m a 4 m.
Debido a un transporte del blanco usado o a través de las medidas
de reciclaje mismo es posible que los tubos de soporte de una sola
pieza actualmente conocidos sufran tales daños en la zona de
conexión del tubo de soporte que resulta imposible reutilizarlo u
obturarlo de nuevo mediante un husillo, respectivamente, tal como se
ha descrito anteriormente. El reciclaje tiene además la desventaja
de que la separación entre el material de pulverización y el tubo
de soporte debe realizarse la mayoría de las veces mediante un
mecanizado caro con arranque de viruta.
Se presenta por lo tanto el problema de
proporcionar un blanco en forma de tubo con un material de
pulverización con forma de tubo y con un tubo de soporte que supere
las desventajas de los blancos tubulares conocidos. Asimismo, debe
especificarse un procedimiento para la fabricación de blancos de
este tipo.
El objetivo se consigue para el blanco en forma
de tubo por el hecho de que la por lo menos una parte del tubo de
soporte, que sobresale del material de pulverización, es un
componente separable (de los otros componentes del blanco) mediante
por lo menos una unión a rosca. Una unión a rosca de este tipo
facilita por un lado una sustitución de una zona de conexión dañada
de un tubo de soporte mientras que es posible seguir usando el
resto del tubo de soporte. Por otro lado es posible separar el tubo
de soporte del material de pulverización con forma de tubo
desenroscando el mismo sencillamente sin que se necesite un
mecanizado con arranque de viruta.
Para conseguir una unión a rosca estanca al gas
entre un primer espacio fuera del blanco, que corresponde a la
cámara de vacío de la instalación de pulverización catódica, y un
segundo espacio en el interior del blanco, previsto para alojar
tuberías de refrigerante y dispositivos magnéticos, la unión a rosca
está configurada de forma estanca al gas preferentemente mediante
una junta tórica, estando dispuesta la junta tórica entre el primer
espacio fuera del blanco y el segundo espacio en el interior del
blanco.
Una junta tórica apropiada para el blanco
conforme a la invención puede estar formada por un plástico o un
metal blando, siendo posible configurar la sección transversal de la
junta tórica con una forma geométrica arbitraria. No obstante, se
prefiere una sección transversal circular de la junta tórica.
En particular para materiales de pulverización
sensibles a la rotura o blandos se ha acreditado que el tubo de
soporte sobresalga en ambos extremos del blanco hacia fuera del
material de pulverización y se componga de un primero, un segundo y
un tercer componente, sobresaliendo hacia fuera del material de
pulverización el primero y el tercer componente cada uno en uno de
los dos extremos del blanco. Mediante una configuración de este
tipo es posible realizar el primero y el tercer componente con una
longitud muy corta. De esta manera se facilita el mecanizado y la
realización por ejemplo de una ranura en espiral para el
acoplamiento con elevada exactitud dimensional y estanco al gas del
primero y del tercer componente con la instalación de pulverización
catódica.
Ventajosamente, el primer componente está
atornillado con el segundo componente, el segundo componente está
atornillado con el tercer componente y el segundo componente está
unido de forma inseparable a través de su diámetro exterior con el
diámetro interior del material tubular de pulverización.
Preferentemente, el primero, el segundo y el
tercer componente están atornillados mediante roscas finas en el
diámetro exterior del primer componente, en el diámetro interior del
segundo componente y en el diámetro exterior del tercer
componente.
Una zona de solapamiento entre el primero y el
segundo componente así como una zona de solapamiento entre el
segundo y el tercer componente debería tener una longitud que sea
por lo menos el doble de la longitud de la respectiva rosca fina
para la unión de los componentes. De esta manera se consigue un
centrado y una guía del primero y del tercer componente en el
segundo componente, lo que tiene consecuencias positivas respecto a
la estabilidad mecánica y la durabilidad de las uniones a rosca. No
obstante, la selección de la longitud de la zona de solapamiento y
de la rosca fina dependen fuertemente del respectivo material de
pulverización y debe determinarse nuevamente para cada combinación
de material y longitud del blanco.
Para poder equipar de manera sencilla el segundo
espacio en el interior del blanco con dispositivos magnéticos y la
tubería de refrigerante se ha demostrado favorable que los diámetros
interiores del primero, del segundo y del tercer componente sean
idénticos.
También para materiales de pulverización
sensibles a la rotura o blandos se ha acreditado que el tubo de
soporte sobresalga del material de pulverización en un extremo del
blanco y se componga de un primero y de un segundo componente,
sobresaliendo el primer componente del material de
pulverización.
En lo anteriormente expuesto es ventajoso que el
primer componente esté atornillado con el segundo componente y que
el segundo componente esté unido de forma inseparable a través de su
diámetro exterior con el diámetro interior del material tubular de
pulverización.
También aquí, el primero y el segundo componente
deberían estar atornillados preferentemente a través de roscas
finas en el diámetro exterior del primer componente y en el diámetro
interior del segundo componente y la longitud de una zona de
solapamiento entre el primero y el segundo componente debería tener
por lo menos el doble de la longitud de la rosca fina para unir los
componentes.
Por los motivos anteriormente mencionados se
prefiere también aquí que los diámetros interiores del primero y
del segundo componente sean idénticos.
Para materiales de pulverización mecánicamente
estables se ha acreditado que el tubo de soporte sobresalga del
material de pulverización en un extremo del blanco y esté
atornillado a través de una rosca fina en el diámetro interior del
material de pulverización con forma de tubo y en el diámetro
exterior del tubo de soporte directamente con el material de
pulverización con forma de tubo.
Asimismo, para estos materiales de pulverización
es ventajoso que el tubo de soporte sobresalga del material de
pulverización en un extremo del blanco y esté atornillado
directamente con el material de pulverización con forma de tubo a
través de una rosca fina en el diámetro exterior del material de
pulverización con forma de tubo y de una tuerca de unión en el tubo
de soporte.
\newpage
En lo anteriormente expuesto se ha acreditado en
particular que la sección de longitud del tubo de soporte rodeada
de forma concéntrica por el material de pulverización tenga una
longitud que sea por lo menos el doble de la longitud de la rosca
fina para la unión del material de pulverización y del tubo de
soporte.
Una forma de realización de este tipo permite
mantener muy corta la longitud del tubo de soporte. También aquí es
ventajoso que los diámetros interiores del tubo de soporte y del
material de pulverización con forma de tubo sean idénticos.
Asimismo, es ventajosa una forma de realización
para materiales de pulverización mecánicamente estables en la que
el tubo de soporte sobresalga del material de pulverización en un
extremo del blanco y presente una brida que esté unida mediante por
lo menos dos tornillos con el material tubular de pulverización con
una superficie frontal del material de pulverización.
Los diámetros interiores del tubo de soporte y
del material de pulverización con forma de tubo deberían ser
iguales también en este caso.
Para materiales de pulverización mecánicamente
estables se ha acreditado además que el tubo de soporte esté
formado por un primero y un tercer componente, sobresaliendo del
material de pulverización un respectivo componente en uno de los
dos extremos del blanco y estando atornillado directamente con el
material tubular de pulverización a través de una respectiva rosca
fina en el diámetro interior del material tubular de pulverización y
en el diámetro exterior del respectivo componente.
De la misma manera se ha demostrado ventajoso
que el tubo de soporte esté formado por un primero y un tercer
componente, sobresaliendo del material de pulverización un
respectivo componente en uno de los dos extremos del blanco y
estando atornillado directamente con el material tubular de
pulverización a través de una respectiva rosca fina en el diámetro
exterior del material tubular de pulverización y de una tuerca de
unión en el respectivo componente.
Con respecto a la estabilidad mecánica de la
unión es ventajoso también aquí que la sección de longitud de los
componentes, rodeada de forma concéntrica por el material de
pulverización, presente por lo menos una longitud que sea el doble
de la longitud de la respectiva rosca fina para unir el material de
pulverización con el componente.
También aquí, los diámetros interiores del
primero y del tercer componente y del material tubular de
pulverización deberían ser iguales.
Para materiales de pulverización mecánicamente
estables se ha acreditado además que el tubo de soporte esté
formado por un primero y por un tercer componente, sobresaliendo del
material de pulverización cada componente en uno de los dos
extremos del blanco presentando una respectiva brida, estando una
respectiva brida unida a través de por lo menos dos tornillos con
el material de pulverización en una respectiva superficie frontal
del material de pulverización.
También en esta forma de realización, los
diámetros interiores del primero y del tercer componente y del
material tubular de pulverización deberían ser ventajosamente
iguales también en esta forma de realización.
Se ha demostrado que metales como Ag, Au, Zn,
AI, Cu, Nb, Ni, Cr o una aleación de estos elementos son materiales
de pulverización mecánicamente estables que pueden emplearse también
sin un tubo de soporte que se extienda por toda la longitud del
material de pulverización.
Como materiales de pulverización sensibles a la
rotura o blandos, que no pueden emplearse en grandes longitudes sin
un tubo de soporte que se extienda por toda la longitud del material
de pulverización, se han demostrado metales como Si, Sn, In, Bi o
una aleación de estos elementos, así como materiales oxídicos como
ZnO, TiO_{2} ú óxido de indio y estaño.
El acero inoxidable es excelentemente apropiado
como material para el tubo de soporte debido a su resistencia
mecánica y su resistencia a la corrosión. No obstante, para el tubo
de soporte pueden emplearse también otros materiales con
características similares.
El objetivo se consigue para un procedimiento
por el hecho de que el tubo de soporte se realiza de varios
componentes, de que por lo menos un componente, que sobresale del
material de pulverización, se provee de una rosca fina, de que el
por lo menos un componente, que sobresale del material de
pulverización, se atornilla con otro componente del tubo de
soporte, que está circundado de forma concéntrica por el material de
pulverización y unido de forma inseparable a través de su diámetro
exterior con el diámetro interior del material de pulverización con
forma de tubo, o de que el por lo menos un componente, que sobresale
del material de pulverización, se atornilla mediante una rosca fina
en el material de pulverización con forma de tubo directamente con
el material de pulverización con forma de tubo.
El objetivo se consigue para otro procedimiento
por el hecho de que la por lo menos una parte del tubo de soporte,
que sobresale del material de pulverización, se configura como un
componente que se provee de una brida y de que la brida se une con
el material tubular de pulverización con una superficie frontal del
material de pulverización mediante por lo menos dos tornillos.
En lo anteriormente expuesto es ventajoso que la
unión a rosca se configure de forma estanca al gas mediante una
junta tórica y que la junta tórica se disponga entre un primer
espacio fuera del blanco (= cámara de vacío) y un segundo espacio
en el interior del blanco (= espacio para alojar la tubería de
refrigerante y de los dispositivos magnéticos).
Las figuras 1 a 6 y el ejemplo 1 deben explicar
la invención a título de ejemplo, mostrándose en la figura 1 una
representación general tridimensional de un extremo de un blanco en
forma de tubo y mostrándose en las figuras 2 a 6 vistas en corte
longitudinal de un blanco de este tipo o de un tipo similar, estando
representados distintos tipos de unión a rosca. En las figuras se
muestran:
Fig. 1: Una zona de conexión de un blanco en
forma de tubo.
Fig. 2: Vista en corte longitudinal de un blanco
en forma de tubo (vista de sólo una pared en la zona de
conexión).
Fig. 3: Vista en corte longitudinal de un blanco
en forma de tubo con un tubo de soporte que se extiende por toda la
longitud del material de pulverización (vista de sólo una pared en
la zona de conexión).
Fig. 4: Vista en corte longitudinal de un blanco
en forma de tubo (vista de sólo una pared en la zona de conexión)
similar a la figura 2.
Fig. 5: Vista en corte longitudinal de un blanco
en forma de tubo con brida (vista de sólo una pared en la zona de
conexión).
Fig. 6: Vista en corte longitudinal de un blanco
en forma de tubo con tuerca de unión (vista de sólo una pared en la
zona de conexión).
En la figura 1 se muestra de forma general la
zona de conexión en un extremo de un blanco en forma de tubo 1. El
blanco en forma de tubo 1 está formado por un tubo de soporte 2 y un
material de pulverización con forma de tubo 3, en el cual un tramo
de la longitud del tubo de soporte 2 está rodeada de forma
concéntrica por el material de pulverización 3 y sobresale en parte
del mismo. La línea discontinua indica con qué profundidad penetra
el tubo de soporte 2 en este caso en el material de pulverización 3.
Para el montaje del blanco en forma de tubo 1 en una instalación de
pulverización catódica, la parte del tubo de soporte 2, que
sobresale del material de pulverización 3, se une por ejemplo con
un husillo.
En la figura 2 se muestra una vista en corte
longitudinal de un blanco en forma de tubo 1 según la figura 1,
mostrándose en esta vista sólo una pared en la zona de conexión
rotacionalmente simétrica. El tubo de soporte 2 está unido aquí
directamente con el material de pulverización con forma de tubo 3 a
través de una unión a rosca 4 constituida por una rosca exterior en
el tubo de soporte 2 y una rosca interior en el material de
pulverización 3. El tubo de soporte 2 y el material de pulverización
3 presentan el mismo diámetro interior, por lo que en la transición
entre el tubo de soporte 2 y el material de pulverización 3 se
obtiene en el espacio en el interior del blanco 1 un desarrollo
plano del contorno interior. En la zona de la unión a rosca 4, una
junta tórica 5 entre el tubo de soporte 2 y el material de
pulverización 3 obtura el espacio fuera del blanco 1 de forma
estanca al gas respecto al espacio en el interior del blanco 1. Para
colocar exactamente la junta tórica 5, el tubo de soporte 2 está
achaflanado en la zona de contacto con la junta tórica 5. Asimismo,
el tubo de soporte 2 está achaflanado también en su otro extremo en
la zona de contacto con el husillo, que en servicio se acopla con
el husillo de la instalación de pulverización catódica, para
facilitar también en este punto una unión estanca al gas conforme a
soluciones de acoplamiento conocidas.
En la figura 3 se muestra una vista en corte
longitudinal de un blanco en forma de tubo 1 con un tubo de soporte
2a, 2b continuo, mostrándose sólo la vista de una pared en la zona
de conexión rotacionalmente simétrica. El tubo de soporte 2 está
formado en la solución aquí representada por un primer componente 2a
y un segundo componente 2b, estando el primer componente 2a unido
con el segundo componente 2b mediante una unión a rosca 4 formada
por una rosca exterior en el primer componente 2a y una rosca
interior en el segundo componente 2b. El segundo componente 2b está
unido en su diámetro exterior de forma no separable con el material
de pulverización 2, el material de pulverización 1 se aplica en el
segundo componente 2b por ejemplo mediante un proceso de proyección
de plasma. El tubo de soporte 2a, 2b y el material de pulverización
3 presentan el mismo diámetro interior, por lo que en la transición
entre el tubo de soporte 2a, 2b y el material de pulverización 3 se
obtiene en el espacio en el interior del blanco 1 un desarrollo
plano del contorno interior. En la zona de la unión a rosca 4, una
junta tórica 5 entre el primer componente 2a y el segundo componente
2b obtura el espacio fuera del blanco 1 de forma estanca al gas
respecto al espacio en el interior del blanco 1. Para colocar
exactamente la junta tórica 5, el primer componente 2a está
achaflanado en la zona de contacto con la junta tórica 5. Asimismo,
el tubo de soporte 2a, 2b está achaflanado también en su otro
extremo en la zona de contacto con el husillo, que en servicio se
acopla con el husillo de la instalación de pulverización catódica,
para facilitar también en este punto una unión estanca al gas
conforme a soluciones de acoplamiento conocidas.
En la figura 4 se muestra una disposición
similar a la figura 2 con una vista en corte longitudinal de un
blanco en forma de tubo 1 según la figura 1. El tubo de soporte 2
está aquí unido de nuevo directamente con el material de
pulverización con forma de tubo 3 a través de una unión a rosca 4
formada por una rosca exterior en el tubo de soporte 2 y una rosca
interior en el material de pulverización 3. A diferencia de la
figura 2, la unión a rosca 4 está dispuesta en esta forma de
realización más alejada de la junta tórica 5.
En la figura 5 se muestra una vista en corte
longitudinal de un blanco en forma de tubo 1, mostrándose en esta
vista sólo una pared en la zona de conexión rotacionalmente
simétrica. El tubo de soporte 2 presenta una brida 2' unida a
través de una unión a rosca 4 con una superficie frontal del
material de pulverización con forma de tubo 3. La unión a rosca 4
está formada aquí por tornillos individuales que se enroscan
directamente en el material de pulverización 3. El tubo de soporte
2 y el material de pulverización 3 presentan el mismo diámetro
interior, por lo que en la transición entre el tubo de soporte 2 y
el material de pulverización 3 se obtiene en el espacio en el
interior del blanco 1 un desarrollo plano del contorno interior. En
la zona de la unión a rosca 4, una junta tórica 5 entre el tubo de
soporte 2 y el material de pulverización 3 obtura el espacio fuera
del blanco 1 de forma estanca al gas respecto al espacio en el
interior del blanco 1. Para colocar la junta tórica 5 exactamente,
el material de pulverización 3 está achaflanado en la zona de
contacto con la junta tórica 5. Asimismo, el tubo de soporte 2 está
achaflanado también en su extremo en la zona de contacto con el
husillo, que en servicio se acopla con el husillo de la instalación
de pulverización catódica, para facilitar también en este punto una
unión estanca al gas conforme a soluciones de acoplamiento
conocidas.
En la figura 6 se muestra una vista en corte
longitudinal de un blanco en forma de tubo 1 similar a la figura 5,
mostrándose en esta vista sólo una pared en la zona de conexión
rotacionalmente simétrica. El tubo de soporte 2 presenta una brida
2' unida a través de una tuerca de unión 6 con el material de
pulverización con forma de tubo 3. La unión a rosca 4 está formada
aquí por la tuerca de unión 6 mencionada y una rosca exterior en el
material de pulverización 3. El tubo de soporte 2 y el material de
pulverización 3 presentan el mismo diámetro interior, por lo que en
la transición entre el tubo de soporte 2 y el material de
pulverización 3 se obtiene en el espacio en el interior del blanco
1 un desarrollo plano del contorno interior. En la zona de la unión
a rosca 3, una junta tórica 5 entre el tubo de soporte 2 y el
material de pulverización 3 obtura en la zona de la superficie
frontal del material de pulverización 3 el espacio fuera del blanco
1 de forma estanca al gas respecto al espacio fuera del blanco 1.
Para colocar la junta tórica 5 exactamente, el material de
pulverización 3 está achaflanado en la zona de contacto con la
junta tórica 5. Asimismo, el tubo de soporte 2 está achaflanado
también en su extremo en la zona de contacto con el husillo, que en
servicio se acopla con el husillo de la instalación de
pulverización catódica, para facilitar también en este punto una
unión estanca al gas conforme a soluciones de acoplamiento
conocidas.
Un blanco en forma de tubo conforme a las
figuras 1 y 2 está constituido por un material de pulverización 3
de plata y un tubo de soporte 2 de acero inoxidable que presentan
ambos un diámetro interior de 125 mm. El grosor total del material
de pulverización es de 13,5 mm, el grosor del tubo de soporte es de
3,75 mm. En la zona de longitud en la que el material de
pulverización 3 debe rodear de forma concéntrica el tubo de soporte
2 se aumenta el diámetro interior del material de pulverización con
forma de tubo 3 y se provee en una zona parcial de una rosca fina
de tal manera que sea posible introducir el tubo de soporte 2. La
longitud del aumento del diámetro interior se selecciona de tal
manera que se genere una zona de solapamiento entre le tubo de
soporte 2 y el material de pulverización 3 con una longitud de 80
mm. La longitud de la rosca fina en el diámetro interior del
material de pulverización 3 y en el diámetro exterior del tubo de
soporte 2 se selecciona a 40 mm. Debido a que la longitud de la
zona de solapamiento tiene una longitud que está seleccionada por
lo menos dos veces la longitud de la rosca fina se generan una guía
y un centrado del tubo de soporte 2 en el material de pulverización
3. El diámetro exterior del tubo de soporte 2 se selecciona además
de tal manera que se facilite una inserción ajustada en el material
de pulverización 3 con una holgura lo más baja posible. Después de
la colocación de la junta tórica 5 se atornilla el tubo de soporte 2
directamente de forma estanca al gas con el material de
pulverización 3.
Claims (30)
1. Blanco en forma de tubo para una instalación
de pulverización catódica, con un material de pulverización con
forma de tubo y un tubo de soporte, en el cual el material de
pulverización presenta una sección transversal en forma de anillo
circular y rodea de forma concéntrica un tramo de la longitud del
tubo de soporte y en el cual el tubo de soporte sobresale del
material de pulverización en por lo menos uno de los dos extremos
del blanco para la conexión con la instalación de pulverización
catódica, caracterizado porque la por lo menos una parte del
tubo de soporte, que sobresale del material de pulverización, es un
componente separable mediante por lo menos una unión a rosca.
2. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 1 caracterizado porque la unión a rosca está
configurada de forma estanca al gas mediante una junta tórica y
porque la junta tórica está dispuesta entre un primer espacio fuera
del blanco y un segundo espacio en el interior del blanco.
3. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una de
las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo de
soporte sobresale del material de pulverización en ambos extremos
del blanco y se compone de un primero, un segundo y un tercer
componente, sobresaliendo del material de pulverización el primero y
el tercer componente cada uno en uno de los dos extremos del
blanco.
4. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 3 caracterizado porque el primer componente
está atornillado con el segundo componente, porque el segundo
componente está atornillado con el tercer componente y porque el
segundo componente está unido de forma inseparable a través de su
diámetro exterior con el diámetro interior del material de
pulverización con forma de tubo.
5. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 4 caracterizado porque el primero, el segundo
y el tercer componente están atornillados mediante roscas finas en
el diámetro exterior del primer componente, en el diámetro interior
del segundo componente y en el diámetro exterior del tercer
componente.
6. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 5 caracterizado porque una zona de
solapamiento entre el primero y el segundo componente así como una
zona de solapamiento entre el segundo y el tercer componente tienen
una longitud que es por lo menos el doble de la longitud de la
respectiva rosca fina para la unión de los componentes.
7. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una de
las reivindicaciones 3 a 6 caracterizado porque los diámetros
interiores del primero, del segundo y del tercer componente son
idénticos.
8. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una de
las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo de
soporte sobresale del material de pulverización en un extremo del
blanco y se compone de un primero y de un segundo componente,
sobresaliendo el primer componente del material de
pulverización.
9. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 8 caracterizado porque el primer componente
está atornillado con el segundo componente y porque el segundo
componente está unido de forma inseparable a través de su diámetro
exterior con el diámetro interior del material de pulverización con
forma de tubo.
10. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 9 caracterizado porque el primero y el segundo
componente están atornillados a través de roscas finas en el
diámetro exterior del primer componente y en el diámetro interior
del segundo componente.
11. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 10 caracterizado porque una zona de
solapamiento entre el primero y el segundo componente tiene una
longitud que es por lo menos el doble de la longitud de la rosca
fina para la unión de los componentes.
12. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 8 a 11 caracterizado porque los
diámetros interiores del primero y del segundo componente son
idénticos.
13. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo
de soporte sobresale del material de pulverización en un extremo del
blanco y está atornillado directamente con el material de
pulverización con forma de tubo a través de una rosca fina en el
diámetro interior del material de pulverización con forma de tubo y
en el diámetro exterior del tubo de soporte.
14. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo
de soporte sobresale del material de pulverización en un extremo del
blanco y está atornillado directamente con el material de
pulverización con forma de tubo a través de una rosca fina en el
diámetro exterior del material de pulverización con forma de tubo y
de una tuerca de unión en el tubo de soporte.
15. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 13 a 14 caracterizado porque la
sección de longitud del tubo de soporte rodeada de forma concéntrica
por el material de pulverización tiene una longitud que es por lo
menos el doble de la longitud de la rosca fina para la unión del
material de pulverización y del tubo de soporte.
16. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 13 a 15 caracterizado porque los
diámetros interiores del tubo de soporte y del material de
pulverización con forma de tubo son idénticos.
17. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo
de soporte sobresale del material de pulverización en un extremo del
blanco y presenta una brida que a través de por lo menos dos
tornillos está unida con el material de pulverización con forma de
tubo en una superficie frontal del material de pulverización.
18. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 17 caracterizado porque los diámetros
interiores del tubo de soporte y del material de pulverización con
forma de tubo son idénticos.
19. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo
de soporte está formado por un primero y un tercer componente,
sobresaliendo del material de pulverización un respectivo
componente en uno de los dos respectivos extremos del blanco y
estando atornillado directamente con el material de pulverización
con forma de tubo a través de una respectiva rosca fina en el
diámetro interior del material de pulverización con forma de tubo y
en el diámetro exterior del respectivo componente.
20. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo
de soporte está formado por un primero y un tercer componente,
sobresaliendo del material de pulverización un respectivo
componente en uno de los dos respectivos extremos del blanco y
estando atornillado directamente con el material de pulverización
con forma de tubo a través de una respectiva rosca fina en el
diámetro exterior del material de pulverización con forma de tubo y
una tuerca de unión en el respectivo componente.
21. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 19 a 20 caracterizado porque la
sección de longitud de los componentes del tubo de soporte, rodeada
de forma concéntrica por el material de pulverización, tiene una
longitud que es por lo menos el doble de la longitud de la
respectiva rosca fina para la unión del material de pulverización y
del componente.
22. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 19 a 21 caracterizado porque los
diámetros interiores del primero y del tercer componente y del
material de pulverización con forma de tubo son idénticos.
23. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 2 caracterizado porque el tubo
de soporte está formado por un primero y por un tercer componente,
en el cual un respectivo componente sobresale del material de
pulverización en uno de los dos extremos del blanco y presenta una
brida, estando una respectiva brida unida a través de por lo menos
dos tornillos con el material de pulverización con forma de tubo en
una superficie frontal del material de pulverización.
24. Blanco en forma de tubo de acuerdo con la
reivindicación 23 caracterizado porque los diámetros
interiores del primero y del tercer componente y del material de
pulverización con forma de tubo son idénticos.
25. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 24 caracterizado porque el
material de pulverización está formado por Ag, Au, Zn, AI, Cu, Nb,
Ni, Cr o por una aleación de estos elementos.
26. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 12 caracterizado porque el
material de pulverización está formado por Si, Sn, In, Bi o por una
aleación de estos elementos o porque el material de pulverización
está formado por ZnO, Ti0_{2} u oxido de indio y estaño.
27. Blanco en forma de tubo de acuerdo con una
de las reivindicaciones 1 a 26 caracterizado porque el tubo
de soporte está realizado de acero inoxidable.
28. Procedimiento para la fabricación de un
blanco en forma de tubo para instalaciones de pulverización catódica
de acuerdo con una de las reivindicaciones 1 a 16 ó 19 a 22,
caracterizado porque el tubo de soporte se realiza de varios
componentes, porque por lo menos un componente, que sobresale del
material de pulverización, se provee de una rosca fina, porque el
por lo menos un componente, que sobresale del material de
pulverización, se atornilla con otro componente del tubo de soporte
rodeado de forma concéntrica por el material de pulverización y
unido de forma inseparable a través de su diámetro exterior con el
diámetro interior del material de pulverización con forma de tubo,
o porque el por lo menos un componente, que sobresale del material
de pulverización, se atornilla directamente con el mate-
rial de pulverización con forma de tubo mediante una rosca fina en el material de pulverización con forma de tubo.
rial de pulverización con forma de tubo mediante una rosca fina en el material de pulverización con forma de tubo.
29. Procedimiento para la fabricación de un
blanco en forma de tubo para instalaciones de pulverización catódica
de acuerdo con una de las reivindicaciones 17 a 18 ó 23 a 24,
caracterizado porque la por lo menos una parte del tubo de
soporte, que sobresale del material de pulverización, se configura
como un componente que se provee de una brida y porque la brida se
une con el material de pulverización con forma de tubo con una
superficie frontal del material de pulverización mediante por lo
menos dos tornillos.
30. Procedimiento de acuerdo con una de las
reivindicaciones 28 a 29 caracterizado porque la unión a
rosca se configura de forma estanca al gas mediante una junta
tórica y porque la junta tórica se dispone entre un primer espacio
fuera del blanco y un segundo espacio en el interior del blanco.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10102493 | 2001-01-09 | ||
| DE10102493A DE10102493B4 (de) | 2001-01-19 | 2001-01-19 | Rohrförmiges Target und Verfahren zur Herstellung eines solchen Targets |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2335743T3 true ES2335743T3 (es) | 2010-04-05 |
Family
ID=7671194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES01129511T Expired - Lifetime ES2335743T3 (es) | 2001-01-19 | 2001-12-11 | Blanco en forma de tubo y procedimiento de fabricacion de un blanco de este tipo. |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6645358B2 (es) |
| EP (1) | EP1225249B1 (es) |
| CN (1) | CN1380440A (es) |
| AT (1) | ATE450632T1 (es) |
| DE (2) | DE10102493B4 (es) |
| ES (1) | ES2335743T3 (es) |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10231203B4 (de) * | 2002-07-10 | 2009-09-10 | Interpane Entwicklungs-Und Beratungsgesellschaft Mbh | Targetträgeranordnung |
| US20040016635A1 (en) * | 2002-07-19 | 2004-01-29 | Ford Robert B. | Monolithic sputtering target assembly |
| US6905579B2 (en) * | 2003-02-13 | 2005-06-14 | Sputtering Components, Inc. | Cylindrical magnetron target and spindle apparatus |
| DE102004058316A1 (de) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | W.C. Heraeus Gmbh | Rohrförmiges Sputtertarget |
| EP1960565A4 (en) * | 2005-10-03 | 2010-06-02 | Thermal Conductive Bonding Inc | HIGHLY LONG CYLINDRICAL CATHODIC SPUTTER TARGET AND METHOD OF MANUFACTURE |
| US7247418B2 (en) * | 2005-12-01 | 2007-07-24 | Eastman Kodak Company | Imageable members with improved chemical resistance |
| EP1813695B8 (en) * | 2006-01-31 | 2011-09-28 | Materion Advanced Materials Technologies and Services Inc. | Tubular sputtering target with improved stiffness |
| DE102007044651B4 (de) * | 2007-09-18 | 2011-07-21 | W.C. Heraeus GmbH, 63450 | Rohrsputtertarget mit grabenförmig strukturierter Außenfläche des Trägerrohres sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| US20100101946A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Rotatable sputter target backing cylinder, rotatable sputter target, methods of producing and restoring a rotatable sputter target, and coating installation |
| WO2010046486A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Rotatable sputter target backing cylinder, rotatable sputter target, method of producing a rotatable sputter target, and coating installation |
| EP2180500A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-28 | Applied Materials, Inc. | Rotatable sputter target backing cylinder, rotatable sputter target, methods of producing and restoring a rotatable sputter target, and coating installation |
| US20100101949A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Rotatable sputter target backing cylinder, rotatable sputter target, method of producing a rotatable sputter target, and coating installation |
| DE102010031205A1 (de) * | 2010-07-09 | 2012-01-12 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Magnetroneinrichtung mit Rohrtarget |
| US9334563B2 (en) | 2010-07-12 | 2016-05-10 | Materion Corporation | Direct cooled rotary sputtering target |
| EP2593578A4 (en) | 2010-07-12 | 2014-06-18 | Materion Advanced Materials Technologies And Services Inc | REINFORCING TUBE CONNECTION ASSEMBLY AT A ROTARY TARGET |
| EP2723915A1 (en) | 2011-06-27 | 2014-04-30 | Soleras Ltd. | Sputtering target |
| US20150090587A1 (en) * | 2011-12-09 | 2015-04-02 | Applied Materials, Inc. | Rotatable sputter target |
| KR20140108312A (ko) * | 2012-01-31 | 2014-09-05 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 스퍼터링 타겟 조립체 |
| TWI474929B (zh) * | 2012-02-08 | 2015-03-01 | Thintech Materials Technology Co Ltd | 接合式管狀濺鍍靶材及其製作方法 |
| EP2626887A1 (en) * | 2012-02-13 | 2013-08-14 | Soleras Advanced Coatings bvba | Online adjustable magnet bar |
| WO2014022288A1 (en) * | 2012-08-01 | 2014-02-06 | Materion Advanced Materials Technologies And Services Inc. | Direct cooled rotary sputtering target |
| AT13609U1 (de) * | 2012-09-17 | 2014-04-15 | Plansee Se | Rohrförmiges Target |
| US9051638B2 (en) * | 2013-03-01 | 2015-06-09 | Poole Ventura, Inc. | In-situ sputtering apparatus |
| DE102013102851A1 (de) * | 2013-03-20 | 2014-09-25 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Target für einen physikalischen Gasphasenabscheidungsprozess, Targetanordnung und Sputterbeschichtungsanordnung |
| DE102013227125B4 (de) | 2013-12-23 | 2016-04-07 | Senslab-Gesellschaft Zur Entwicklung Und Herstellung Bioelektrochemischer Sensoren Mbh | Verfahren zur Bestimmung eines hämatokritabhängigen Messsignals bei der Bestimmung eines Analyten aus Vollblut unter Verwendung von enzymatisch-voltammetrischen Einmalgebrauchs-Sensoren |
| US9469566B2 (en) | 2015-03-20 | 2016-10-18 | Cardinal Cg Company | Nickel-aluminum blocker film low-emissivity coatings |
| US9752377B2 (en) | 2015-03-20 | 2017-09-05 | Cardinal Cg Company | Nickel-aluminum blocker film controlled transmission coating |
| US9745792B2 (en) | 2015-03-20 | 2017-08-29 | Cardinal Cg Company | Nickel-aluminum blocker film multiple cavity controlled transmission coating |
| AT14911U1 (de) * | 2015-05-06 | 2016-08-15 | Plansee Se | Rohrtarget |
| AT14912U1 (de) * | 2015-05-06 | 2016-08-15 | Plansee Se | Anschlussstück für Rohrtarget |
| CN105463392A (zh) * | 2015-12-03 | 2016-04-06 | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 | 一种组合式旋转银靶材 |
| CN106011767A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-10-12 | 江苏宇天港玻新材料有限公司 | 一种磁控溅射工艺中使用的旋转镍铬靶 |
| US11028012B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-06-08 | Cardinal Cg Company | Low solar heat gain coatings, laminated glass assemblies, and methods of producing same |
| JP6577124B1 (ja) * | 2018-11-26 | 2019-09-18 | 住友化学株式会社 | スパッタリングターゲットの梱包方法 |
| JP6942939B2 (ja) * | 2019-06-10 | 2021-09-29 | 株式会社アルバック | スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
| CN110608855A (zh) * | 2019-10-21 | 2019-12-24 | 启迪蓝光(福建)新材料有限公司 | 一种靶件生产过程中检测漏气的装置 |
| CN113878308B (zh) * | 2021-10-11 | 2022-12-30 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种靶材组件及靶材组件制作方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4445997A (en) * | 1983-08-17 | 1984-05-01 | Shatterproof Glass Corporation | Rotatable sputtering apparatus |
| US5317006A (en) * | 1989-06-15 | 1994-05-31 | Microelectronics And Computer Technology Corporation | Cylindrical magnetron sputtering system |
| US5071447A (en) | 1989-10-31 | 1991-12-10 | K-Fuel Partnership | Apparatus and process for steam treating carbonaceous material |
| US5096562A (en) * | 1989-11-08 | 1992-03-17 | The Boc Group, Inc. | Rotating cylindrical magnetron structure for large area coating |
| US5437778A (en) * | 1990-07-10 | 1995-08-01 | Telic Technologies Corporation | Slotted cylindrical hollow cathode/magnetron sputtering device |
| EP0543931A4 (en) * | 1990-08-10 | 1993-09-08 | Viratec Thin Films, Inc. | Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems |
| JPH0539566A (ja) * | 1991-02-19 | 1993-02-19 | Mitsubishi Materials Corp | スパツタリング用ターゲツト及びその製造方法 |
| JPH0657419A (ja) * | 1992-08-07 | 1994-03-01 | Mitsubishi Materials Corp | スパッタリング用ターゲット |
| US5445721A (en) * | 1994-08-25 | 1995-08-29 | The Boc Group, Inc. | Rotatable magnetron including a replacement target structure |
| US5591314A (en) * | 1995-10-27 | 1997-01-07 | Morgan; Steven V. | Apparatus for affixing a rotating cylindrical magnetron target to a spindle |
| US6365010B1 (en) * | 1998-11-06 | 2002-04-02 | Scivac | Sputtering apparatus and process for high rate coatings |
| US6582572B2 (en) * | 2000-06-01 | 2003-06-24 | Seagate Technology Llc | Target fabrication method for cylindrical cathodes |
| US6409897B1 (en) * | 2000-09-20 | 2002-06-25 | Poco Graphite, Inc. | Rotatable sputter target |
-
2001
- 2001-01-19 DE DE10102493A patent/DE10102493B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-11 AT AT01129511T patent/ATE450632T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-12-11 ES ES01129511T patent/ES2335743T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-11 EP EP01129511A patent/EP1225249B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-11 DE DE50115242T patent/DE50115242D1/de not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-01-15 US US10/047,343 patent/US6645358B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-01-18 CN CN02102423A patent/CN1380440A/zh active Pending
-
2003
- 2003-03-11 US US10/386,231 patent/US6756081B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10102493B4 (de) | 2007-07-12 |
| US20030141183A1 (en) | 2003-07-31 |
| US20020096430A1 (en) | 2002-07-25 |
| EP1225249A1 (de) | 2002-07-24 |
| DE10102493A1 (de) | 2002-08-14 |
| EP1225249B1 (de) | 2009-12-02 |
| CN1380440A (zh) | 2002-11-20 |
| US6645358B2 (en) | 2003-11-11 |
| DE50115242D1 (de) | 2010-01-14 |
| US6756081B2 (en) | 2004-06-29 |
| ATE450632T1 (de) | 2009-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2335743T3 (es) | Blanco en forma de tubo y procedimiento de fabricacion de un blanco de este tipo. | |
| ES2376770T3 (es) | Procedimiento de limpieza de los tubos de un cambiador de calor mediante un agente abrasivo y dispositivo correspondiente | |
| ES2341803T3 (es) | Tubo distribuidor para calefaccion por suelo radiante, asi como un procedimiento de fabricacion del tubo distribuidor. | |
| AR014652A1 (es) | Conjunto de conexion roscada, resistente a la corrosion | |
| ES2342310T3 (es) | Conexion de conducto sanitario con anillo de obturacion retenido en union positiva. | |
| ES2659959T3 (es) | Sistema de conexión de grifería sanitaria | |
| JP6071445B2 (ja) | 配管継手 | |
| JP2008071565A (ja) | リード線とヒータ線の接続構造 | |
| WO2004104458A1 (es) | Valvula de paso para instalaciones de fluorhidrico | |
| CN210463680U (zh) | 毛细管和具有其的空调器 | |
| EP0392992B1 (en) | Clean gas valve using a metal-to-metal seal | |
| ATE533001T1 (de) | Rohrkupplungsanordnung und ein schutzring dafür | |
| ES2940817T3 (es) | Método para conectar los extremos de tubos de acero revestidos interiormente | |
| KR200416883Y1 (ko) | 수관로 내부 감시용 투시경이 결합된 관체 | |
| ES2289145T3 (es) | Valvula de corredera. | |
| ES2247087T3 (es) | Procedimiento de ensamblaje de un conducto sobre una contera tubular rigida, por medio de una tuerca atornillada en la contera, y racor para la aplicacion del procedimiento. | |
| US4788929A (en) | Fluid indicator for refrigeration system | |
| CN216201259U (zh) | 一种多层复合型不锈钢钢管 | |
| CN108488507B (zh) | 管接头组件及具有其的热水器 | |
| KR101832048B1 (ko) | 스팀을 이용한 이중관의 제조방법 | |
| JPS612834A (ja) | 内視鏡の外装ユニツトとその製造方法 | |
| JPH0399787A (ja) | レーザ照射用トーチ | |
| US2792848A (en) | Coolant tube | |
| JP2005256946A (ja) | ホース接続手段 | |
| JP2953838B2 (ja) | 充填管 |