ES2333349T3 - Disposicion de revestimiento al vacio. - Google Patents
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Abstract
Una instalación de revestimiento al vacío (1), que incluye una cámara de revestimiento al vacío (2), varios rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101) dispuestos en paralelo entre sí, rotatorios y dispuestos dentro de la cámara de revestimiento al vacío (2), para el transporte de un sustrato de superficie extensa (11), caracterizada por: un accionamiento (10, 30 - 33) dispuesto fuera de la cámara de revestimiento al vacío (2), como mínimo un acoplamiento magnético (45, 46, 70) entre el accionamiento y como mínimo un rodillo de transporte (6).
Description
Disposición de revestimiento al vacío.
La invención se refiere a una instalación de
revestimiento al vacío conforme a los conceptos generales de las
reivindicaciones de patente 1 o 2.
En instalaciones de revestimiento al vacío tiene
lugar el revestimiento de un sustrato mediante la eyección de
partículas de un material deseado (target), las cuales se mueven en
dirección al sustrato, donde se depositan. A fin de obtener un
revestimiento uniforme del sustrato, el sustrato y el target llevan
a cabo un movimiento relativo entre sí, moviéndose preferentemente
el sustrato frente al target.
Para ello se mueve el sustrato mediante un
dispositivo de transporte especial.
Si se debe recubrir un sustrato de gran
superficie y básicamente rígido, p. ej. cristal arquitectónico, con
frecuencia se utiliza un sistema de transporte formado por varios
rodillos de transporte dispuestos sucesivamente. Dichos rodillos de
transporte están unidos entre sí por correas dentadas, cadenas o
ruedas dentadas, y son accionados mediante un accionamiento común,
p. ej. un motor.
Ya se conoce un dispositivo de accionamiento
para un eje que se encuentra en una cámara (US 2005/0206260 A1).
Este eje es accionado a través de un acoplamiento magnético
mediante un motor, estando dicho motor ubicado fuera de la
cámara.
Además, se conoce un dispositivo de transporte
para sustratos en instalaciones de revestimiento al vacío con
varios rodillos, en los que al menos uno de los rodillos actúa como
eje de accionamiento (DE 103 28 273 A1). En este dispositivo se
encuentran el accionamiento y los rodillos de transporte todos
juntos en el área evacuada de la instalación de revestimiento.
Finalmente, se conoce también una cámara de
proceso, la cual presenta un sistema de transporte para piezas de
trabajo (GB 2 171 119 A). Este sistema de transporte contiene
cilindros que son accionados por un acoplamiento magnético. En este
caso, el acoplamiento magnético no sirve para transferir el par de
giro desde el exterior al interior de la cámara de proceso, sino
para conmutar entre dos juegos de rodillos de transporte colocados
sobre un elevador dentro de la cámara.
La tarea de la presente invención consiste en
ofrecer un dispositivo de transporte para un sustrato de
superficie extensa en instalaciones de revestimiento al vacío, de
tal manera que el montaje y el desmontaje de dicho dispositivo de
transporte en la instalación de revestimiento al vacío puedan
realizarse sin grandes dificultades.
Esta tarea se resuelve conforme a las
características de las reivindicaciones de patente 1 o 2.
La invención se refiere así pues a una
instalación de revestimiento al vacío con un sistema de transporte
para sustratos de superficie extensa, los cuales son transportados
a través de una cámara de vacío. Este sistema de transporte
presenta varios cilindros dispuestos paralelamente entre sí. Como
accionamiento para estos cilindros pueden preverse uno o varios
motores situados dentro o fuera de la cámara de vacío. En cualquier
caso, el acoplamiento entre el motor/los motores y los cilindros
tiene lugar mediante acoplamientos magnéticos. Dado que de esta
manera se da un acoplamiento mecánico entre el accionamiento y los
cilindros, es posible separarlos fácilmente entre sí, lo cual
posibilita disponer los cilindros y con ellos los cátodos de
pulverización en un elemento de inserción que puede introducirse en
la cámara de vacío y sacarse de ésta Si no todos los cilindros
están provistos de un accionamiento propio, los cilindros
acoplados a un accionamiento pueden ser unidos a los demás
cilindros mediante correas trapezoidales o similares.
La ventaja obtenida mediante la invención
consiste especialmente en el hecho de que no se necesitan elementos
de hermetización rotatorios, como por ejemplo retenes de
obturación o juntas líquidas. Además se evitan potenciales puntos
de fuga. Además, los acoplamientos magnéticos carecen de contacto,
de modo que están libres de desgaste y de mantenimiento; asimismo,
su fabricación es más económica que la de los distribuidores
rotatorios. A ello se añade el hecho de que en el caso de los
acoplamientos magnéticos puede ajustarse fácilmente una limitación
del par de giro mediante la distancia magnética.
Si se trata de un dispositivo de transporte
provisto de rodillos de transporte para el transporte de sustratos
de gran superficie, como p. ej. láminas o vidrio, especialmente
vidrio arquitectónico, es especialmente ventajoso que cada uno de
los rodillos de transporte cuente con un acoplamiento de
entrehierro magnético propio. En comparación con los acoplamientos
resistentes a la torsión, los acoplamientos de entrehierro
magnético presentan especialmente la ventaja de que son estancos al
vacío. Esta propiedad los convierte en ideales para su uso en
instalaciones de revestimiento al vacío. También es ventajoso el
hecho de que los acoplamientos de entrehierro magnético pueden
estar ejecutados en estructura radial y axial.
En consecuencia, el mecanismo de accionamiento
puede estar situado no sólo en el vacío, como en la forma
convencional, sino también en la atmósfera.
Gracias al hecho de que el mecanismo de
accionamiento se encuentra en la atmósfera, los mantenimientos y
las reparaciones son menos laboriosos, dado que desaparecen los
largos tiempos de evacuación de varias horas, lo cual reduce
sensiblemente los costes de producción. Además, si el mecanismo de
accionamiento se encuentra en la atmósfera, significa que ya no se
necesitan los relativamente caros distribuidores rotatorios al
vacío. Éstos son sustituidos por los acoplamientos de entrehierro
magnético, mucho más baratos. El uso de los acoplamientos de
entrehierro magnético hace innecesario montar elementos de
hermetización rotatorios, como p. ej. retenes de obturación o
juntas líquidas, de manera que se evitan potenciales puntos de
fuga.
Dado que el accionamiento, p. ej. un
electromotor, transmite el movimiento de giro a los rodillos de
transporte a través del acoplamiento de entrehierro magnético,
también se puede ajustar fácilmente la velocidad de transporte del
sustrato. Por un lado, se puede ajustar la velocidad de transporte
mediante el propio accionamiento. Por otro lado, mediante la
distancia entre los imanes entre sí se obtiene una limitación del
par de giro, y también la potencia de los imanes ejerce una
influencia determinante sobre el par de giro.
Es necesario retirar los rodillos de transporte
para su limpieza periódica, lo cual puede hacerse fácilmente en el
caso de los rodillos de transporte conforme a la invención, dado
que puede deshacerse fácilmente la unión entre la pieza a desmontar
y el accionamiento, esto es, puede realizarse el desmontaje de los
rodillos de transporte sin gran esfuerzo. También es fácil volver a
montarlos, a diferencia de lo que ocurre en los dispositivos de
revestimiento con distribuidores rotatorios.
Un ejemplo de realización de la invención está
representado con mayor detalle en los dibujos que siguen a
continuación. Mostrándose:
En la Fig. 1. una representación en perspectiva
de una sección de una instalación de revestimiento con un
dispositivo de transporte;
En la Fig. 2. una vista A de la instalación de
revestimiento al vacío conforme a la Fig. 1;
En la Fig. 3. un detalle ampliado de la
instalación de revestimiento al vacío representada en la Fig.
2;
En las Figs. 4 a hasta c el proceso de
extracción del elemento de un elemento de inserción de la
instalación de revestimiento al vacío representada en la Fig.
2;
En la Fig. 5 una sección de la instalación de
revestimiento al vacío representada en las Figs. 4a hasta 4c, tras
la rotación de 90º de ésta en el sentido contrario a las manecillas
del reloj o antihorario;
En la Fig. 6 una vista en perspectiva del
elemento de inserción;
En la Fig. 7 una vista en perspectiva del
elemento de inserción representado en la Fig. 5 tras su rotación de
180º.
En la Fig. 1 se muestra una vista en perspectiva
de una sección de una cámara de revestimiento al vacío 2 en una
instalación de revestimiento al vacío 1. Se aprecian zonas
parciales de dos paredes 4,5 opuestas entre sí y que delimitan la
cámara de revestimiento al vacío 2. En la cámara de revestimiento
al vacío 2 está dispuesto un dispositivo de transporte 3 que
presenta varios rodillos de transporte 6, 7, 8, 9 que discurren en
paralelo entre sí. Dichos rodillos de transporte 6 a 9 son
accionados por un sistema de accionamiento 10 situado fuera de la
cámara de revestimiento al vacío 2. Con la ayuda de este sistema
de accionamiento 10, los rodillos de transporte 6 a 9 ejecutan un
movimiento rotatorio sobre su propio eje longitudinal. En los
rodillos de transporte 6 a 9 se halla un sustrato 11, el cual debe
ser revestido. Se trata de un sustrato de gran superficie, p. ej.
vidrio arquitectónico. Para evitar que el sustrato 11 se sitúe
directamente sobre los rodillos de transporte 6 a 9, en los lados
exteriores de los rodillos de transporte 6 a 9 puede haberse
aplicado p. ej. un material elástico. Éste sirve para evitar que el
sustrato 11 sufra arañazos, lo cual es especialmente importante
cuando el sustrato es vidrio.
El material elástico puede, tal como se muestra
en la Fig. 1, estar dispuesto en forma de anillos 12 a 20 en los
rodillos de transporte 6 a 9. Pero también puede adoptar una forma
distinta cualquiera y estar configurado por ejemplo en forma de
nopas. Mediante el movimiento de los rodillos de transporte 6 a 9 se
mueve también el sustrato 11 dispuesto sobre éstos.
Cada uno de los rodillos de transporte 6 a 9
está dispuesto entre dos cojinetes 22, 23; 24, 25; 26, 27; 28, 29,
los cuales garantizan una rotación de los rodillos de transporte 6
a 9 sobre su propio eje. Pero también pueden implementarse rodillos
de transporte fijados unilateralmente.
Los rodillos de transporte 6 a 9 están unidos al
sistema de accionamiento 10, el cual puede contar con varios
accionamientos individuales, p. ej. los motores 30 a 33. Dichos
motores 30 a 33 están acoplados a los extremos de los ejes 40 a 43.
Con ayuda de los motores 30 a 33 pueden accionarse individualmente
los rodillos de transporte 6 a 9 mediante el eje 40 y acoplamientos
magnéticos no visibles en la Fig. 1.
No obstante, en el ejemplo de ejecución conforme
a la Fig. 1 bastaría un único motor, p. ej. 30, para el
accionamiento de todos los rodillos de transporte 6 a 9, puesto que
el eje 43 acciona también el 42 mediante una correa dentada 35 y el
eje 42 a su vez acciona mediante una correa dentada 36 el eje 41,
etc. Dado que todos los ejes 40 a 43 están acoplados mediante las
correas dentadas 34 a 38 con el respectivo eje adyacente, basta así
con un solo motor.
Si se prescinde de las correas dentadas 34 a 38,
cada eje 40 a 43 puede ser accionado mediante su propio motor 30 a
33.
Los ejes 40 a 43 reposan sobre los apoyos 39 a
39''', los cuales están unidos a la pared 4.
Independientemente de si se utilizan uno o
varios motores, se persigue una rotación uniforme de todos los
rodillos de transporte 6 a 9.
Los acoplamientos magnéticos no visibles en la
Fig. 1 se encuentran básicamente en la pared 4. Uno de estos
acoplamientos magnéticos está representado en la Fig. 2.
La Fig. 2 es una vista A de la instalación de
revestimiento al vacío 1 que se muestra en la Fig. 1. Esta vista en
sección muestra una parte del sistema de accionamiento 10 con el
motor 30 y el eje 43, sobre el cual están dispuestas las cadenas o
las correas 34, 35. El eje 43, en cuyo extremo está embridado el
motor 30, está situado sobre el apoyo 39. El apoyo 39 está unido a
la pared 4 de la cámara de revestimiento al vacío 2 y sirve para
estabilizar y apoyar el eje 43 y el motor 30. El eje 43 unido al
motor 30 presenta una prolongación en forma de barra 44, en cuyo
extremo está dispuesto un imán 45.
Este imán 45 se encuentra frente a otro imán 46,
el cual está ubicado en la cámara de revestimiento al vacío 2.
Ambos imanes 45, 46 están separados por una estructura similar a un
pote 47, conformando la estructura similar a un pote 47 una parte
de la pared 4 de la cámara de revestimiento al vacío 2. Esta
estructura 47 consta de un material no magnetizable o no magnético,
mediante lo cual se garantiza que los imanes 45, 46 puedan
influirse magnéticamente mutuamente.
El imán 46 está dispuesto en un extremo de un
eje en forma de barra 48, el cual está unido al rodillo de
transporte 9. El eje 48 con el rodillo de transporte 9 dispuesto en
él está situado entre los dos cojinetes opuestos 22, 23 que
soportan el rodillo de transporte 9. El rodillo de transporte 9 está
provisto de varios aros 18 a 20 realizados preferiblemente en
material elástico, sobre los cuales se apoya el sustrato 11.
Se aprecia también un cátodo tubular 49,
dispuesto algo por debajo del rodillo de transporte 9. El cátodo se
halla entre dos rodillos de transporte adyacentes, de modo que el
sustrato 11 es revestido desde abajo. Sin embargo, también es
posible revestir el sustrato 11 desde arriba mediante la
disposición de cátodos encima del sustrato.
Tal como se muestra en la Fig. 2, este cátodo es
un cátodo tubular redondo 49, unido a una cámara de accionamiento
50 situada fuera de la cámara de revestimiento al vacío 2. En esta
cámara de accionamiento 50 se encuentra un accionamiento 51
mediante el cual se acciona el cátodo tubular redondo 49. Éste gira
sobre el eje longitudinal, mediante lo cual se consigue un
revestimiento uniforme del sustrato 11.
Este cátodo tubular redondo 49 es un cátodo
tubular redondo convencional sobre el cual se ha aplicado un
target, como se describe p. ej. en el documento DE 196 51 378
A1.
Mientras que el cátodo tubular redondo 49 está
unido por uno de sus extremos al accionamiento 51 situado en la
cámara de accionamiento 50, su otro extremo reposa sobre un rodillo
52. Este rodillo giratorio 52 descansa a su vez sobre una guía de
apoyo 53.
Cuando está montado el elemento de inserción E,
el rodillo o cilindro 52 se encuentra cerca de la pared 4. Otro
rodillo o cilindro no representado del elemento de inserción E se
encuentra cerca de la pared 5 cuando el elemento de inserción está
montado en la cámara de vacío. El raíl de apoyo 53 se extiende, a
diferencia de lo mostrado en la Fig. 2, preferiblemente abarcando
toda la anchura de la cámara de vacío. Cerca de la pared 5, dicho
raíl de apoyo 53 está provisto de un tope. El elemento portante 69
del elemento de inserción E se extiende básicamente abarcando toda
la anchura de la cámara de vacío 2. Rodea también el pie 65.
En el lado del sistema de accionamiento 10 para
los rodillos de transporte 6 a 9, la cámara de revestimiento al
vacío 2 presenta la pared 4 en la que está encastrada la estructura
en forma de pote 47. El lado opuesto a la pared 4 presenta una
pared formada por dos zonas de pared: una zona de pared inferior 5
y una zona de pared superior 54. Estas dos zonas de pared 5, 54
pueden ser separadas entre sí y, cuando la instalación de
revestimiento al vacío 1 está en funcionamiento, están unidas entre
sí mediante una brida 55. La cámara de revestimiento al vacío 2
presenta un orificio superior 56 rodeado por dos bridas 57, 58
dispuestas en las paredes 4 y 54 y cerrado por una tapa 59.
La instalación de revestimiento al vacío 1
presenta además un sistema de bombas 61 que contiene dos bombas 62,
63.
Mediante este sistema de bombas 61 se puede
evacuar la cámara de revestimiento al vacío 2. La cámara de
revestimiento al vacío 2 así como el sistema de bombas 61 descansan
sobre varios zócalos sobre una superficie plana 64. De estos
zócalos, en la Fig. 2 sólo son visibles los zócalos 65 y 66.
La cámara de accionamiento 50 está dispuesta
sobre un bastidor 67, 68, el cual descansa sobre el elemento
portante 69.
El bastidor 67, 68, el elemento portante 69 y la
cámara de accionamiento 50 conforman una unidad. La pared 5, así
como el cátodo tubular redondo 49 y el rodillo de transporte 9,
están unidos directamente a la cámara de accionamiento 50.
Conjuntamente forman el elemento de inserción E. Este elemento de
inserción E puede ser extraído de la instalación de revestimiento
al vacío 1, sin que sea necesario desmontar la cámara de
revestimiento al vacío 2 en su totalidad (véase la solicitud de
patente europea 05 021 176.2).
De este modo pueden limpiarse cómodamente los
rodillos de transporte 6 a 9, lo cual permite ahorrar tiempo y
dinero. Durante la limpieza puede insertarse en la cámara de
revestimiento al vacío 2 y montarse otro elemento de inserción. De
este modo, puede volver a ponerse rápidamente en funcionamiento la
instalación de revestimiento al vacío 1, lo cual permite ahorrar
costes.
Pese a que la cámara de revestimiento al vacío
conforme a la Fig. 2 se describió sólo con un cátodo tubular
redondo 49, naturalmente también es posible utilizar targets
planos. Así, un target plano puede estar dispuesto por ejemplo
encima del sustrato 11, moviéndose el sustrato 11 con respecto al
target de la manera descrita.
En la Fig. 3 se muestra un detalle ampliado del
lado derecho de la instalación de revestimiento al vacío 1
representada en la Fig. 2. Se aprecia una parte del sistema de
accionamiento 10 con el eje 43 dispuesto sobre el apoyo 39, en cuyo
extremo se observa el motor 30.
En dirección a la pared 4 de la cámara de
revestimiento al vacío 2, el eje 43 presenta una prolongación en
forma de barra 44, en cuyo extremo se encuentra el imán 45, el cual
presenta un polo norte y un polo sur. Frente a este imán 45 se
encuentra otro imán 46 con la misma estructura. Entre los dos
imanes 45, 46 está prevista una estructura en forma de pote 47. Los
imanes 45, 46 y la estructura en forma de pote 47 conforman
conjuntamente un denominado acoplamiento de entrehierro magnético
70. La estructura en forma de pote 47 consta de un material que no
es magnetizable y no es magnético, y dicha estructura 47 está
encastrada de forma estanca al vacío en la pared 4.
Si se mueve el eje 43 del sistema de
accionamiento 10 mediante el motor 30, el eje 43 ejecuta un
movimiento alrededor de A-A. De este modo se
transmite un movimiento rotatorio también al imán 45 situado en la
prolongación en forma de barra 44 del eje 43.
Dado que la estructura 47 está realizada en un
material no magnetizable, p. ej. aluminio o cuarzo, el movimiento
rotatorio del imán 45 se transmite al imán 46. Dado que este imán
46 está unido por un eje 48 al rodillo de transporte 9, el
movimiento rotatorio se transmite también al rodillo de transporte
9, el cual ahora se mueve alrededor de su eje longitudinal y de
este modo transporta también el sustrato 11 dispuesto sobre el
rodillo.
Una ventaja del acoplamiento de entrehierro
magnético 70 reside en el hecho de que no es necesario ningún
elemento hermetizante rotatorio, como por ejemplo un retén de
obturación o una junta líquida. Al no ser ya necesario montar
dichos elementos hermetizante propensos a fallos, pueden evitarse
potenciales puntos de fuga en la se cámara de revestimiento al
vacío 2.
Además, los acoplamientos de entrehierro
magnético son baratos de fabricar, están libres de desgaste y son
muy fáciles de mantener. De este modo puede prescindirse de los
distribuidores rotatorios, técnicamente muy complejos. Los
acoplamientos de entrehierro magnético son resistentes a la torsión
y además son estancos al vacío.
Si los rodillos de transporte 6 a 9 están unidos
a un sistema de accionamiento 10 mediante acoplamientos de
entrehierro magnético 70, se puede desacoplar sin contacto un
rodillo de transporte 6 a 9 simplemente retirándolo. Mediante la
distancia de los imanes 45, 46 o la intensidad del campo de los
imanes 45, 46 se puede ajustar de forma sencilla una limitación del
par de giro. Además, puede compensarse desalineaciones de ejes sin
necesidad de elementos constructivos adicionales.
Como se aprecia en la Fig. 3, el sistema de
accionamiento 10 se encuentra fuera de la cámara de revestimiento
al vacío 2. Sin embargo, también es concebible una variante en la
que el sistema de accionamiento 10 esté ubicado en la cámara de
revestimiento al vacío 2. En esta variante de un acoplamiento
magnético también muy resistente a la torsión ya no es necesaria
una estructura en forma de pote 47.
Si se disponen los acoplamientos magnéticos 70
dentro de la cámara de revestimiento al vacío 2 también pueden
disponerse los ejes 40 a 43 con las correas 34 a 38 en la cámara de
revestimiento al vacío 2. Estos componentes permanecen entonces
siempre en la cámara de revestimiento al vacío 2, para que no
puedan ser desajustados. Los ejes 40 a 43 con las correas 34 a 38
son accionados entonces, mediante un único distribuidor rotatorio o
acoplamiento magnético, por un motor situado fuera de la cámara de
revestimiento al vacío 2. Sería posible disponer también el motor
en la cámara de revestimiento al vacío 2.
En las Figs. 4a hasta 4c se muestra el proceso
de extracción del elemento de un elemento de inserción E de la
instalación de revestimiento al vacío 1 representada en la Fig. 2.
La cámara de revestimiento al vacío 2 con el sistema de bombas
dispuesto 61 junto a ella presenta los zócalos 65, 66, los cuales
están situados sobre el suelo 64. La cámara de revestimiento al
vacío 2 está además provista en el lado largo con un orificio en
forma de ranura 71 encastrado en la pared 21 de la cámara de
revestimiento al vacío 2. A través de este orificio 71 se esclusa
el sustrato 11 al interior de la cámara de revestimiento al vacío
2, sin que esto repercuta en el vacío reinante en la cámara de
revestimiento al vacío 2.
En la Fig. 4a, una persona 72 mueve una
carretilla elevadora 73 en la dirección de la flecha 74, es decir,
bajo la cámara de accionamiento 50.
En la Fig. 4b, la carretilla elevadora 73 se
encuentra bajo la instalación de revestimiento al vacío 2, gracias
a lo cual se puede elevar ligeramente el elemento de inserción E en
su totalidad y se puede alejar de la instalación de revestimiento
al vacío 1 conforme a la Fig. 4c en la dirección de la flecha 75.
Gracias a esta ligera elevación, el rodillo cercano a la pared 5 no
representado en la Fig. 2 es elevado sobre un tope, y de este modo
puede iniciarse la retirada. El elemento de inserción E carga ahora
por un lado sobre la carretilla elevadora 73 y por otro lado sobre
el rodillo 52. De este modo se puede retirar el elemento de
inserción E hasta que el rodillo 52 pasa por el tope junto a la
pared 5. A fin de elevar ahora también este rodillo 52 sobre el
tope, se lleva un puente basculante desde su posición horizontal a
una posición vertical, en la que apoya el extremo del elemento de
inserción E, en el que está dispuesto el rodillo 52. El puente
basculante no representado debe aplicarse sobre los elementos
portantes 69, 69' de tal manera que, en el estado casi retirado del
elemento de inserción E, en el que el rodillo 52 se encuentra en el
tope cerca de la pared 5, apoye en estado vertical una parte del
elemento de inserción E, el cual entonces ya se encuentra fuera de
la cámara de vacío. Sin este puente basculante de apoyo, con el
elemento de inserción E desmontado la carga sobre el bastidor 68
sería excesiva debido al brazo en voladizo libre muy largo.
Después de retirar el elemento de inserción E,
éste puede ser sustituido por otro sin necesidad de interrumpir el
proceso de revestimiento durante un tiempo prolongado.
A continuación se puede limpiar cómodamente el
elemento de inserción E, o puede retirarse el target del cátodo
tubular redondo 49 y sustituirse por uno nuevo.
Pero alternativamente también se puede mover el
elemento de inserción E sobre rodillos, sobre un colchón de aire,
sobre raíles o sobre un dispositivo similar.
En la Fig. 5 se muestra un detalle de la
instalación de revestimiento al vacío 1 representada en las figuras
4a hasta 4c tras una rotación de 90º en sentido de las manecillas
del reloj (horario). En aras de la claridad, no se ha representado
a una persona con carretilla elevadora.
Se aprecian las cámaras de accionamiento 50, 77
hasta 79, dispuestas unas junto a otras a una distancia definida
entre sí, las cuales están unidas mediante los respectivos
bastidores 67, 68; 80, 92; 81, 93; 82, 94 a dos elementos de base
69, 69'; 86, 86'; 88, 88'; 90, 90'. Estos elementos de base
presentan sendos orificios 76, 76'; 87, 87'; 89, 89', 91, 91', en
los que pueden insertarse las horquillas de una carretilla
elevadora. Cada una de las cámaras de accionamiento 50, 77 hasta 79
cierra mediante bridas 55, 83 hasta 85 la cámara de revestimiento
al vacío 2. Los elementos de inserción E hasta E''' pueden
retirarse individualmente de la instalación de revestimiento al
vacío 1 para su manteni-
miento.
miento.
En la Fig. 6 se muestra una vista en perspectiva
de un elemento de inserción E''' que ha sido retirado de una
instalación de revestimiento al vacío mediante una carretilla
elevadora 95.
El elemento de inserción E''' presenta dos
elementos de base 96, 96' en los que están insertadas las
horquillas de la carretilla elevadora 95. Sobre los elementos de
base 96, 96' está dispuesto un bastidor 97 en forma de U, sobre el
que se encuentra una cámara de accionamiento 98. Los elementos de
base 96, 96' se corresponden funcionalmente con el elemento
portante 69 representado en la Fig. 2. Las horquillas de la
carretilla elevadora 95 pueden introducirse entre los dos elementos
de base inferiores 96, 96' del elemento de inserción E. Pero
también pueden introducirse en estos elementos de base, si dichos
elementos de base constan por ejemplo de perfiles en U abiertos por
abajo. Cuando el elemento de inserción E''' no está montado en la
instalación, los elementos de base 96, 96' flotan ligeramente sobre
el suelo.
El elemento de inserción E''' presenta varios
rodillos de transporte 99 a 101, los cuales están provistos de aros
102 a 105 realizados preferiblemente en material elástico. Debajo
de los rodillos de transporte 99 a 101 se encuentran dos cátodos
tubulares redondos 106, 107, estando situado cada uno de los
cátodos tubulares redondos 106, 107 entre dos rodillos de
transporte adyacentes 99, 100; 100, 101.
Los rodillos de transporte 99 hasta 101 están
dispuestos entre zócalos, siendo visibles únicamente los zócalos
108 al 110. Los zócalos opuestos del elemento de inserción E'''
están unidos entre sí mediante listones laterales, de los cuales en
la Fig. 6 sólo se aprecia un listón lateral 111.
Si se desmonta un elemento de inserción E, se
hace necesaria una unión fácilmente soltable entre los ejes cortos
40 a 43 con las correas 35 a 38 (ver Fig. 1) y los rodillos de
transporte 6 a 9 propiamente dichos. En la forma de ejecución en la
que todos los elementos de accionamiento se encuentran en la cámara
de vacío, esta unión fácilmente soltable se implementa mediante los
acoplamientos magnéticos, los cuales entonces se encuentran en la
cámara de vacío. En esta forma de ejecución se reduce el número de
elementos en forma de pote y membranas, pero no se incrementa el
número de elementos constructivos en la cámara de vacío.
En la Fig. 7 se muestra una vista en perspectiva
del elemento de inserción E''' que se muestra en la Fig. 6,
representado tras una rotación de 180º. Se aprecia cómo cada uno de
los rodillos de transporte 99 hasta 101 está dispuesto entre dos
zócalos 108, 112; 109, 113; 110, 114. En los extremos de los
rodillos de transporte 99 hasta 101 que apuntan al observador se
observan los imanes 120 a 122. Estos imanes 120 a 122 forman parte
de un acoplamiento magnético o de un acoplamiento de entrehierro
magnético de una instalación de revestimiento al vacío.
Los cátodos tubulares redondos 106, 107 están
dispuestos entre los rodillos de transporte 99, 100 y 100, 101
respectivamente, y están dispuestos sobre los soportes 115, 116;
están unidos a la cámara de accionamiento 98.
También se aprecian los listones laterales 111,
117, los cuales se encuentran entre los zócalos 108, 112 y 110,
114, respectivamente. Estos listones laterales 111, 117 cuentan con
sendos extremos prolongados 111', 117', en cada uno de los cuales
está dispuesto un rodillo 118, 119. Estos rodillos 118, 119
facilitan sensiblemente el desmontaje o el remontaje del elemento
de inserción E''', sobre todo si la instalación de revestimiento al
vacío cuenta con guías como las representadas en la Fig. 2.
La guía puede presentar adicionalmente un
mecanismo de encastre. Cuando el rodillo 118, 119 alcanza la guía
prevista para él, se encastra. El elemento de inserción E''' está
orientado de tal manera que sus imanes 120 a 122 se asienten
correctamente en el acoplamiento magnético o el acoplamiento de
entrehierro magnético.
Gracias al uso de acoplamientos magnéticos se
puede retirar el elemento de inserción E''' de la cámara de
revestimiento al vacío 2 sin necesidad de desmontaje mecánico.
\vskip1.000000\baselineskip
Esta lista de referencias bibliográficas
mencionadas por el solicitante se ha incorporado exclusivamente
para información del lector, pero no forma parte integrante de la
documentación de la patente europea. Aún habiéndose recopilado
estas referencias bibliográficas con sumo cuidado, no pueden
excluirse errores u omisiones, por lo que la EPO declina toda
responsabilidad a este respecto.
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\bullet DE10328273A1
\bullet GB2171119A
\bullet DE19651378A1
\bullet EP05021176A
Claims (14)
1. Una instalación de revestimiento al vacío
(1), que incluye
una cámara de revestimiento al vacío (2),
varios rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101)
dispuestos en paralelo entre sí, rotatorios y dispuestos dentro de
la cámara de revestimiento al vacío (2), para el transporte de un
sustrato de superficie extensa (11),
caracterizada por:
un accionamiento (10, 30 - 33) dispuesto fuera
de la cámara de revestimiento al vacío (2), como mínimo un
acoplamiento magnético (45, 46, 70) entre el accionamiento y como
mínimo un rodillo de transporte (6).
2. Una instalación de revestimiento al vacío
(1), que incluye
una cámara de revestimiento al vacío (2)
varios rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101)
dispuestos en paralelo entre sí, rotatorios y dispuestos dentro de
la cámara de revestimiento al vacío (2), para el transporte de un
sustrato de superficie extensa (11),
caracterizada por:
un accionamiento dispuesto fuera de la cámara de
revestimiento al vacío (2), como mínimo un acoplamiento magnético
(45, 46, 70) entre el accionamiento y como mínimo un rodillo de
transporte (6).
3. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según las reivindicaciones 1 o 2, caracterizada por el hecho
de que como mínimo un rodillo de transporte (6) está acoplado
mediante correas (34 - 38) a los demás rodillos de transporte (7 -
9).
4. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según las reivindicaciones 1 o 2, caracterizada por el hecho
de que cada rodillo de transporte (6 - 9) está acoplado a un
accionamiento propio mediante un acoplamiento magnético propio (45,
46, 70).
5. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según la reivindicación 1, caracterizada por el hecho de que
en una pared (4) de la cámara de revestimiento al vacío (2) está
encastrada una estructura en forma de pote (47) de un material no
magnético y no magnetizable, que separa como mínimo un imán (46)
situado en la cámara de revestimiento al vacío (2) de como mínimo
un imán (47) situado fuera de la cámara de revestimiento al vacío
(2).
6. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según las reivindicaciones 1 o 2, caracterizada por el hecho
de que los rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101) están rodeados
al menos parcialmente por material elástico (12 - 20, 102
-105).
7. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según las reivindicaciones 1 o 2, caracterizada por el hecho
de que entre los rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101) están
dispuestos unos electrodos de pulverización (49).
8. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según la reivindicación 2, caracterizada por el hecho de que
los rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101) y el como mínimo un
acoplamiento magnético (45, 46, 70) forman parte de un elemento de
inserción (E - E''') que puede retirarse de la cámara de
revestimiento al vacío (2) e introducirse en
ésta.
ésta.
9. Una instalación de revestimiento al vacío (1)
según la reivindicación 1, caracterizada por el hecho de que
los rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101) forman parte de un
elemento de inserción (E - E''') que puede retirarse de la cámara
de revestimiento al vacío (2) e introducirse en ésta, mientras que
el accionamiento (10) para los rodillos de transporte (6 - 9, 99 -
101) permanece fuera de la cámara de revestimiento al vacío
(2).
10. Una instalación de revestimiento al vacío
(1) según las reivindicaciones 7, 8 y 9, caracterizada por
el hecho de que los electrodos de pulverización (49) forman parte
de los elementos de inserción (E - E''').
11. Una instalación de revestimiento al vacío
(1) según las reivindicaciones 1 o 2, caracterizada por el
hecho de que los rodillos de transporte (6 - 9, 99 -101) están
unidos a los acoplamientos magnéticos (30 - 33) mediante ejes (40 -
43) que establecen una unión con el accionamiento.
12. Una instalación de revestimiento al vacío
(1) según la reivindicación 11, caracterizada por el hecho
de que entre los ejes (40 - 43) y los rodillos de transporte (6 -
9, 99 - 101) están dispuestos unos acoplamientos magnéticos.
\newpage
13. Una instalación de revestimiento al vacío
(1) según la reivindicación 8 o la reivindicación 9,
caracterizada por el hecho de que el elemento de inserción
(E - E''') presenta un bastidor (68, 69) que puede elevarse
mediante una carretilla elevadora (73).
14. Una instalación de revestimiento al vacío
(1) según la reivindicación 8 o la reivindicación 9,
caracterizada por el hecho de que una cámara (50) que
contiene un accionamiento para cátodos de pulverización (49) forma
parte del elemento de inserción (E - E''').
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