ES2248251T3 - Modulo de potencia con componentes electronicos de potencia y procedimiento de fabricacion del mismo. - Google Patents

Modulo de potencia con componentes electronicos de potencia y procedimiento de fabricacion del mismo.

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ES2248251T3 ES01401458T ES01401458T ES2248251T3 ES 2248251 T3 ES2248251 T3 ES 2248251T3 ES 01401458 T ES01401458 T ES 01401458T ES 01401458 T ES01401458 T ES 01401458T ES 2248251 T3 ES2248251 T3 ES 2248251T3
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Abstract

Módulo de potencia (1) de componentes electrónicos de potencia (7) que comprende una base (3) que constituye un intercambiador de calor encargado de evacuar las disipaciones de potencia por efecto joule de los susodichos componentes de potencia, caracterizado por el hecho de que la susodicha base (3) comprende una superficie provista de una película (4) de aleación de aluminio, estando recubierta la susodicha piel (4) por una capa aislante (5) de óxido de aluminio obtenida por anodización de la susodicha película (4), constituyendo la susodicha capa aislante (5) un sustrato sobre el cual se realizan pistas metalizadas (6) con el fin de recibir los susodichos componentes electrónicos (7), estando la otra superficie de la susodicha base (3) en contacto con un fluido de refrigeración.

Description

Módulo de potencia con componentes electrónicos de potencia y procedimiento de fabricación del mismo.
La invención se refiere a un módulo de potencia de componente electrónico de potencia y a un procedimiento de fabricación de un módulo de potencia como ese. La invención hace referencia más particularmente a un módulo de potencia que comprende una base que constituye un intercambiador de calor encargado de evacuar las disipaciones de potencia por efecto joule de los componentes de potencia.
La presente invención encuentra aplicación para la fabricación de onduladores en el ámbito de las medias potencias especialmente para las aplicaciones de carretera de tipo vehículos eléctricos para los cuales las potencias son del orden de 30 a 200KW y las tensiones en los terminales de los módulos de potencia son del orden de 500 V a 2000 V.
Un módulo de potencia según el preámbulo de la reivindicación 1 es conocido por el documento EP-A-0798954.
Se conoce la realización de un módulo de potencia constituido por componentes de potencia soldados a una película de aluminio dispuesta en una superficie de un sustrato cerámico de nitruro de aluminio AlN, estando la otra superficie del sustrato cerámico AlN recubierta por una película de aluminio y unida a una base de compuesto AlSiC que constituye un intercambiador de calor. En un módulo de potencia como ese, el sustrato de AlN garantiza el aislamiento eléctrico de los componentes de alto potencial con respecto a la base de AlSiC puesta a la masa, sin embarga un sustrato como ese de nitruro de aluminio AlN es relativamente costoso y solamente está disponible en el comercio con un espesor mínimo de 0.635 mm mientras que para ciertas aplicaciones, y especialmente para soportar las tensiones en los vehículos eléctricos, un espesor de 0.1 mm sería suficiente para garantizar el aislamiento. Todos estos inconvenientes conducen a módulos de potencia demasiado onerosos para las aplicaciones automóviles.
El objetivo de la presente invención es pues proponer un módulo de potencia que procure una buena disipación térmica de la potencia liberada por los componentes de potencia y que sea simple y económica de fabricar.
La invención tiene por objeto un módulo de potencia de componentes electrónicos de potencia que comprende una base que constituye un intercambiador de calor encargado de evacuar las disipaciones de potencia por efecto joule de los componentes de potencia, caracterizado por el hecho de que la base comprende una superficie provista de una película de aleación de aluminio, estando esta última recubierta por una capa aislante de óxido de aluminio obtenida por anodización de la película de aleación de aluminio, constituyendo la capa aislante de óxido de aluminio un sustrato sobre el cual se realizan pistas metalizadas con el fin de recibir los componentes electrónicos, estando la otra superficie de la base en contacto con un fluido de refrigeración.
Según modos particulares de realización, el módulo de potencia puede comprender una o varias de las características siguientes tomadas aisladamente o según todas las combinaciones técnicamente posibles:
-
la base es de compuesto AlSiC;
-
la base es de aluminio;
-
la base en contacto con el fluido de refrigeración comprende cuñas o microcanales que se sumergen en el interior del fluido, estando realizadas las cuñas o microcanales directamente sobre la base o sobre una película de aluminio añadida a la base;
-
las pistas metálicas se realizan por depósito de cobre;
-
los componentes de potencia se sueldan sobre las pistas de cobre;
-
los componentes de potencia son componentes IGBT;
-
tres grupos de componentes IGBT se sueldan sobre un mismo sustrato, estando separadas unas de otras las pistas de cada grupo de IGBT de tal modo que dos sustratos constituyen un ondulador trifásico.
La invención concierne igualmente un procedimiento de fabricación del módulo de potencia descrito precedentemente, caracterizado por el hecho de que la capa de óxido de aluminio se obtiene por anodización de la película de aleación de aluminio en ácido sulfúrico a alrededor de 0ºC.
Según modos particulares de realización, el procedimiento de fabricación puede comprender una o varias de las características siguientes tomadas aisladamente o según todas las combinaciones técnicamente posibles:
-
la capa de óxido obtenida se sumerge en agua caliente para formar hidróxido de aluminio en la superficie con el fin de reducir la porosidad de la capa de óxido de aluminio;
-
la película de aleación de aluminio que recubre la base se obtiene directamente durante el moldeo de la base mediante una forma adaptada del molde;
-
la capa de óxido de aluminio se metaliza por depósito electrolítico de cobre sobre pistas previamente activadas por tratamiento con láser Ultra Violeta, siendo entonces las pistas de cobre niqueladas por procedimiento electroless.
Se comprenderá mejor los objetivos, aspectos y ventajas de la presente invención, a partir de la descripción dada a continuación de varios modos de realización de la invención, presentados a título de ejemplo no limitativo, y haciendo referencia a las figuras anexas, en las cuales:
- la figura 1 es una vista esquemática de corte de un módulo de potencia, según un primer modo de realización de la invención, montado en un colector de agua;
- la figura 2 es una vista inferior del módulo de potencia de la figura 1;
- la figura 3 es una vista superior del módulo de potencia de la figura 1;
- la figura 4 es una vista esquemática de corte de un módulo de potencia según un segundo modo de realización de la invención.
Para facilitar la lectura de la figura, solamente se han representado los elementos necesarios para la comprensión de la invención.
La figura 1 representa un módulo de potencia 1 asociado a un colector de agua 10 de plástico moldeado que comprende un canal 11 por el cual circula agua de refrigeración.
El módulo de potencia 1 comprende una base 3 de compuesto AlSiC (Aluminio Carburo Silicio) fijada de manera estanca al colector de agua 10 y que comprende una superficie inferior provista de cuñas 3b, representadas en la figura 2, que se sumergen en el canal de fluido 11 del colector 10 y que favorecen el intercambio térmico entre la base de AlSiC y el fluido de refrigeración.
La superficie superior de la base 3 de AlSiC comprende una película 4 de aleación de aluminio que está recubierta por una capa 5 de óxido de aluminio con un espesor desde 50 \mum hasta 100 \mum que garantiza un aislamiento eléctrico que permite soportar tensiones diferenciales entre las dos superficies de la capa de óxido de aluminio de más de 1000V sin ruptura.
La base 3, provista de su capa 5 de óxido de aluminio, constituye un sustrato sobre el cual se metalizan pistas 6 que siguen un trazado predeterminado para servir de colector de corriente a tres grupos de componentes IGBT 7 soldados sobre las susodichas pistas metalizadas 6. Ventajosamente, tal como se ha representado en la figura 3 las pistas 6 de alimentación de cada uno de los tres IGBT están separadas unas de otras con el fin de permitir la realización de un semi-ondulador trifásico en un solo sustrato.
El procedimiento de fabricación de un módulo de potencia como ese se describe a continuación.
La base 3 de AlSiC se realiza de manera clásica por inyección de aluminio en un molde sobre fibras de carburo de silicio, estando adaptada la forma del molde para que la película 4 de aluminio se forme en la superficie superior de la base 3 de AlSiC. En una variante de realización no representada, la superficie inferior de la base 3 en contacto con el fluido de refrigeración podrá igualmente comprender una película de aluminio, que presente cuñas o microcanales, realizada directamente durante la operación de moldeo de la base 3 mediante una forma adaptada del molde.
La película 4 de aleación de aluminio de la base 3 se recubre entonces con una capa 5 de óxido de aluminio por anodización de la película 4 en ácido sulfúrico. A temperatura ambiente, esta anodización permite obtener un espesor de óxido de aluminio del orden de 20 \mum, estando limitado el espesor de óxido de aluminio por la disolución del óxido formado en el ácido. De manera preferente, la anodización se efectuará a una temperatura de 0ºC con el fin de obtener un espesor de óxido de aluminio más importante, hasta 100 \mum, y el depósito de óxido obtenido de este modo será sumergido en agua caliente con el fin de disminuir la porosidad de la capa 5 de óxido de aluminio por formación de hidróxido de aluminio.
Por supuesto, el espesor de la capa 5 de óxido de aluminio formado de este modo depende igualmente de la proporción de aluminio en la aleación utilizada para constituir la película 4, ya que cuanto más rica sea en aluminio la aleación utilizada más importante será el espesor de la capa 5 de óxido de aluminio creada por anodización.
La superficie superior 5a de la capa 5 de óxido de aluminio se metaliza entonces por depósito electrolítico de cobre sobre pistas 6 previamente activadas por tratamiento láser UV después niqueladas por procedimiento electroless, siendo reforzada la adherencia de las capas metálicas por un recocido a 400-500ºC tolerado por el aluminio y sus aleaciones. Un procedimiento similar de metalización se describe en la petición de patente FR-A1-2 681 078. Los componentes IGBT 7 se sueldan entonces de manera clásica sobre las pistas 6 de cobre.
Un procedimiento de fabricación como ese permite tener una muy buena conducción térmica entre la capa de óxido de aluminio 5 y la película 4 gracias a la interpenetración entre la capa 5 y la película 4. Por otro lado, la película 4, al ser obtenida directamente durante el moldeo de la base 3 de AlSiC, forma un solo cuerpo con la base 3, sin interfaz de separación, lo que garantiza una excelente conductividad térmica entre la película 4 y la base 3.
En consecuencia, un procedimiento de fabricación como ese permite realizar un módulo de potencia poco costoso que garantiza una buena refrigeración de los componentes de potencia debido a la muy buena conductividad térmica entre las diferentes capas del módulo de potencia. Por otro lado, el sustrato obtenido de este modo presenta muy pocas diferencias de dilatación térmica entre las capas y posee pues una muy buena fiabilidad presentando muy poco riesgo de deslaminación de las soldaduras después de un número importante de ciclos térmicos. Un procedimiento de fabricación como ese permite igualmente adaptar el espesor de la capa de óxido de aluminio que constituye el aislante eléctrico a las necesidades del módulo de potencia con el fin de minimizar el espesor de capa de óxido y reducir de este modo su resistencia térmica.
La figura 4 presenta un segundo modo de realización del módulo de potencia según la invención diferenciándose del primer modo de realización descrito precedentemente por el hecho de que la base 3 está realizada enteramente de aleación de aluminio. Conformemente a esta figura 4, el módulo de potencia 1 comprende una base 3 de aluminio que presenta una superficie inferior, en contacto con el líquido de refrigeración, provista de cuñas 3b obtenidas directamente durante el moldeo de la base 3 de aluminio. La superficie superior de la base 3 está recubierta por una capa 5 de óxido de aluminio obtenida por anodización según un procedimiento similar a aquel descrito para el primer modo de realización de la invención. Se metalizan pistas sobre la capa 5 de óxido de aluminio, según un procedimiento similar a aquel descrito para el primer modo de realización, con el fin de servir de colector de corriente a tres grupos de componentes IGBT 7, siendo soldados estos últimos sobre las pistas por medio de una soldadura blanda de tipo estaño, plomo o plata capaz de acomodar las dilataciones diferenciales.
Una variante como esa de realización de la invención permite reducir todavía más el coste de fabricación del módulo de potencia al suprimir la utilización de compuesto de AlSiC y remplazarlo por aleación de aluminio. Sin embargo, el módulo de potencia obtenido de este modo presentará una menor fiabilidad en ciclos térmicos debido a la mayor dilatación diferencial entre los componentes de potencia y la base de aluminio y necesitará por consiguiente la utilización de una soldadura blanda para soldar los componentes.

Claims (12)

1. Módulo de potencia (1) de componentes electrónicos de potencia (7) que comprende una base (3) que constituye un intercambiador de calor encargado de evacuar las disipaciones de potencia por efecto joule de los susodichos componentes de potencia, caracterizado por el hecho de que la susodicha base (3) comprende una superficie provista de una película (4) de aleación de aluminio, estando recubierta la susodicha piel (4) por una capa aislante (5) de óxido de aluminio obtenida por anodización de la susodicha película (4), constituyendo la susodicha capa aislante (5) un sustrato sobre el cual se realizan pistas metalizadas (6) con el fin de recibir los susodichos componentes electrónicos (7), estando la otra superficie de la susodicha base (3) en contacto con un fluido de refrigeración.
2. Módulo de potencia según la reivindicación 1, caracterizado por el hecho de que la susodicha base (3) es de compuesto AlSiC.
3. Módulo de potencia según la reivindicación 1, caracterizado por el hecho de que la susodicha base (3) es de aluminio.
4. Módulo de potencia según la reivindicación 1, caracterizado por el hecho de que la superficie de la base (3) en contacto con el fluido de refrigeración comprende cuñas (3b) o microcanales que se sumergen en el interior del fluido, estando realizadas las susodichas cuñas (3b) o microcanales directamente sobre la base (3) o sobre una película de aluminio añadida a la susodicha base (3).
5. Módulo de potencia según una cualquiera de las reivindicaciones 1 a 4, caracterizado por el hecho de que las pistas metálicas (6) se realizan por depósito de cobre.
6. Módulo de potencia según la reivindicación 5, caracterizado por el hecho de que los susodichos componentes de potencia (7) se sueldan sobre las susodichas pistas (6) de cobre.
7. Módulo de potencia según una cualquiera de las reivindicaciones 1 a 6, caracterizado por el hecho de que los susodichos componentes de potencia (7) son componentes IGBT.
8. Módulo de potencia según la reivindicación 7, caracterizado por el hecho de que tres grupos de componentes IGBT (7) se sueldan sobre un mismo sustrato, estando separadas unas de otras las pistas (6) de cada grupo de IGBT (7) de tal modo que dos sustratos constituyen un ondulador trifásico.
9. Procedimiento de fabricación de un módulo de potencia según una cualquiera de las reivindicaciones 1 a 8, caracterizado por el hecho de que la susodicha capa (5) de óxido de aluminio se obtiene por anodización de la película (4) de aleación de aluminio en ácido sulfúrico a alrededor de 0ºC.
10. Procedimiento de fabricación según la reivindicación 9, caracterizado por el hecho de que la capa (5) obtenida de este modo se sumerge en agua caliente para formar hidróxido de aluminio en la superficie con el fin de reducir la porosidad de la susodicha capa (5) de óxido de aluminio.
11. Procedimiento de fabricación según una cualquiera de las reivindicaciones 9 a 10, caracterizado por el hecho de que la película (4) de aleación de aluminio que recubre la base (3) se obtiene directamente durante el moldeo de la susodicha base (3) mediante una forma adaptada del molde.
12. Procedimiento de fabricación según una cualquiera de las reivindicaciones 9 a 11, caracterizado por el hecho de que la capa (5) de óxido de aluminio se metaliza por depósito electrolítico de cobre sobre pistas (6) previamente activadas por tratamiento con láser Ultra Violeta, siendo entonces las susodichas pistas de cobre (6) niqueladas por procedimiento electroless.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20115922U1 (de) * 2001-01-11 2002-01-17 Siemens Ag Kunststoff-Schaltplatte eines hydraulischen Kraftfahrzeug-Getriebesteuergerätes
DE102004018475A1 (de) * 2004-04-16 2005-11-10 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH Leistungshalbleiteranordnung
JP2006100770A (ja) * 2004-09-01 2006-04-13 Toyota Industries Corp 回路基板のベース板の製造方法及び回路基板のベース板並びにベース板を用いた回路基板
KR100764388B1 (ko) * 2006-03-17 2007-10-05 삼성전기주식회사 양극산화 금속기판 모듈
KR100764386B1 (ko) * 2006-03-20 2007-10-08 삼성전기주식회사 고온공정에 적합한 절연구조체 및 그 제조방법
JP4315187B2 (ja) * 2006-11-20 2009-08-19 カシオ計算機株式会社 携帯電子機器
DE102008035485A1 (de) * 2008-07-30 2010-02-04 Brose Fahrzeugteile GmbH & Co. Kommanditgesellschaft, Würzburg Vorrichtung, insbesondere zur Stromleitung, um ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, insbesondere zur Stromleitung
ES2594458T3 (es) * 2009-07-23 2016-12-20 Carrier Corporation Método para formar una capa de óxido en un artículo soldado fuerte
EP2328172B1 (en) * 2009-10-02 2019-06-26 Abb Research Ltd. A power-electronic arrangement
DE102010000082B4 (de) * 2010-01-14 2012-10-11 Woodward Kempen Gmbh Schaltungsanordnung von elektronischen Leistungsschaltern einer Stromerzeugungsvorrichtung
DE102010001565A1 (de) * 2010-02-04 2011-08-04 Robert Bosch GmbH, 70469 Leistungsmodul mit einer Schaltungsanordnung, elektrische/elektronische Schaltungsanordnung, Verfahren zur Herstellung eines Leistungsmoduls
US8203839B2 (en) * 2010-03-10 2012-06-19 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling devices, power modules, and vehicles incorporating the same
US9312200B1 (en) * 2013-03-13 2016-04-12 Amazon Technologies, Inc. Solid structures for thermal management
DE102014105000B4 (de) * 2014-04-08 2021-02-25 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Herstellung und zum Bestücken eines Schaltungsträgers
DE102016125348B4 (de) * 2016-12-22 2020-06-25 Rogers Germany Gmbh Trägersubstrat für elektrische Bauteile und Verfahren zur Herstellung eines Trägersubstrats
DE102019129675A1 (de) 2018-12-11 2020-06-18 Infineon Technologies Ag Leistungshalbleitermodul und Verfahren zum Herstellen eines Leistungshalbleitermoduls
CN114334872B (zh) * 2022-03-15 2022-06-14 合肥阿基米德电子科技有限公司 具有散热结构的电力电子器件igbt模块及制备方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3147789A1 (de) * 1981-12-03 1983-06-09 Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim Leistungsmodul und verfahren zu seiner herstellung
EP0471552B1 (en) * 1990-08-14 1997-07-02 Texas Instruments Incorporated Heat transfer module for ultra high density and silicon on silicon packaging applications
JP3164518B2 (ja) * 1995-12-21 2001-05-08 古河電気工業株式会社 平面型ヒートパイプ
FR2747005B1 (fr) * 1996-03-26 1998-06-19 Thomson Csf Boitier de micro-electronique avec systeme de refroidissement

Also Published As

Publication number Publication date
US20020001177A1 (en) 2002-01-03
DE60113337T2 (de) 2006-06-22
EP1168906B1 (fr) 2005-09-14
EP1168906A1 (fr) 2002-01-02
CA2351106A1 (fr) 2001-12-23
FR2810845B1 (fr) 2002-08-23
FR2810845A1 (fr) 2001-12-28
DE60113337D1 (de) 2005-10-20

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