ES2243722T3 - Litografo y microscopio con mascar4a de disparo unidimensional y procedimiento para la fabricacion de hologramas digitales de un medio de almacenamiento. - Google Patents

Litografo y microscopio con mascar4a de disparo unidimensional y procedimiento para la fabricacion de hologramas digitales de un medio de almacenamiento.

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ES2243722T3 ES02727499T ES02727499T ES2243722T3 ES 2243722 T3 ES2243722 T3 ES 2243722T3 ES 02727499 T ES02727499 T ES 02727499T ES 02727499 T ES02727499 T ES 02727499T ES 2243722 T3 ES2243722 T3 ES 2243722T3
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Abstract

Procedimiento para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento - en el que un rayo de escritura se mueve sobre el medio de almacenamiento de modo enfocado y unidimensional de manera relativa al medio de almacenamiento, - en el que un rayo de exploración se mueve de modo enfocado y unidimensional sobre una máscara de disparo que presenta una pluralidad de líneas de disparo de modo transversal a las líneas de disparo, en el que el movimiento del rayo de exploración está acoplado con el movimiento del rayo de escritura, - en el que durante la exploración de las líneas de disparo, dependiendo de la disposición de las líneas de disparo, se genera una señal de disparo temporal, - en el que con la ayuda de la señal de disparo temporal se regula la intensidad del rayo de escritura sobre el medio de almacenamiento, y - en el que el holograma se escribe línea a línea por medio de la introducción punto a punto de energía de radiación, en el que el medio de almacenamientose desplaza de modo transversal a la dirección de escaneado de las líneas una distancia prefijada para una escritura de líneas contiguas del holograma.

Description

Litógrafo y microscopio con máscara de disparo unidimensional y procedimiento para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento.
La presente invención se refiere a un litógrafo para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento. Además, la invención se refiere a un procedimiento para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento.
Los hologramas digitales son hologramas bidimensionales que están formados por puntos individuales con diferentes características ópticas, y desde los que, al iluminarlos con una onda electromagnética coherente, en particular una onda de luz, por medio de una difracción en la transmisión o en la reflexión se reproducen imágenes y/o datos. Las diferentes características ópticas de cada uno de los puntos pueden ser características de reflexión, por ejemplo por medio de la topografía de la superficie, longitudes de trayectoria variantes en el material del medio de almacenamiento (índice de refracción) o valores cromáticos del material.
Las características ópticas de los puntos individuales son calculadas por un ordenador, tratándose, con ello, de un denominado holograma generado por ordenador (CGH). Con la ayuda del rayo de escritura enfocado, durante la escritura del holograma se inscriben los puntos individuales del holograma en el material, estando el foco en la región de la superficie o en el material del medio de almacenamiento. Un enfoque produce en la región del foco una superficie afectada menor sobre el material del medio de almacenamiento, de manera que se puede escribir una pluralidad de puntos del holograma en una pequeña región. La característica óptica del respectivo punto escrito depende en este caso de la intensidad del rayo de escritura. Para ello, el rayo de escritura se escanea en dos dimensiones con una intensidad variable a lo largo de la superficie del medio de almacenamiento. La modulación de la intensidad del rayo de escritura se realiza en este caso por medio de una modulación interna de la fuente de luz, por ejemplo un diodo láser, o por medio de una modulación externa de un rayo de escritura fuera de la fuente de luz, por ejemplo con la ayuda de elementos optoelectrónicos. Adicionalmente, la fuente de luz puede estar conformada como láser pulsado, cuyas longitudes de los pulsos se pueden controlar, de manera que a través de las longitudes de los pulsos se pueda llevar a cabo un control de la intensidad del rayo de escritura.
Por medio del escaneado del rayo de escritura modulado en intensidad se produce, con ello, una superficie con una distribución de puntos no uniforme, el holograma digital. Éste se puede emplear para caracterizar e individualizar cualquier tipo de objetos.
Los sistemas litográficos de escaneado están muy extendidos como tales. Por ejemplo, en las impresoras láser convencionales se integran sistema ópticos de escaneado. Estos sistemas, sin embargo, no se pueden emplear para la fabricación de hologramas, ya que los requerimientos para esta finalidad de aplicación son claramente diferentes de los que se dan para las impresoras láser. En buenos sistemas de impresión, la resolución tiene un valor de aproximadamente 2500 dpi, mientras que en la fabricación de hologramas es necesaria una resolución de aproximadamente 25.000 dpi. Adicionalmente, en la holografía digital se escriben únicamente superficies comparativamente pequeñas. Éstas, por ejemplo, tienen un tamaño de 1 a 5 mm^{2}, si bien también son posibles otros tamaños. La precisión del retículo de escritura, en un litógrafo para la fabricación de hologramas digitales de por ejemplo 1000 x 1000 puntos en una superficie de 1 x 1 mm^{2}ha de tener un valor de \pm 0,1 mm en las dos direcciones ortogonales. Adicionalmente, la velocidad de escritura ha de tener un valor de aproximadamente 1 Mpixels/s, para que se pueda escribir, respectivamente, un holograma en un tiempo de aproximadamente 1 s.
Los hologramas digitales se pueden fabricar por medio de procedimientos de escaneado convencionales, en los que, con un sistema óptico fijo, se varía el ángulo del rayo incidente. Con este principio trabajan, por ejemplo, los litógrafos de espejo de escaneado con escáneres galvánicos o poligonales.
En todos los procedimientos de escaneado conocidos hasta el momento, existe una desventaja, que viene dada por el hecho de que en un litógrafo con una construcción sencilla no es posible ningún control temporal del rayo de escritura, que ha de ser capaz de mantener a las velocidades de escritura que se han de alcanzar una matriz puntual prefijada del holograma digital.
Debido a ello, la presente invención se basa en el problema técnico de escribir por medio de litografía óptica hologramas generados por ordenador del modo más rápido posible y con un coste reducido, teniendo al mismo tiempo un control preciso del disparo temporal y del posicionamiento del rayo de escritura.
El problema indicado anteriormente se soluciona por medio de un procedimiento para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento, en el que un rayo de escritura se enfoca sobre el medio de almacenamiento y se mueve de modo unidimensional relativamente respecto al medio de almacenamiento, y en el que un rayo de exploración se enfoca en una máscara de disparo que presenta una pluralidad de líneas de disparo y se mueve de modo unidimensional transversalmente respecto a las líneas de disparo, en el que el movimiento del rayo de exploración está acoplado con el movimiento del rayo de escritura, en el que durante el exploración de las líneas de disparo, dependiendo de la disposición de las líneas de disparo, se genera una señal de disparo temporal, en el que con la ayuda de la señal de disparo temporal se regula la intensidad del rayo de escritura sobre el medio de almacenamiento, y en el que el holograma se escribe por líneas por medio de la introducción punto a punto de energía de radiación, en el que el medio de almacenamiento se desplaza de modo transversal respecto a la dirección de escaneado de las líneas una distancia prefijada para una escritura de líneas contiguas del holograma.
En el sentido de la presente invención, un movimiento unidimensional significa un movimiento que se extiende fundamentalmente en una dirección. Por tanto, un movimiento unidimensional es, en particular, un movimiento en línea recta, si bien un movimiento unidimensional en el sentido de la invención también puede ser una línea curva, es decir, diferir de una línea recta.
Por tanto, por medio de la invención se ha reconocido que con la ayuda de un rayo de exploración acoplado en su movimiento con el rayo de escritura se puede generar una señal de disparo temporal con una máscara de disparo unidimensional similar a un código de barras. En este caso, las líneas de disparo son preferentemente paralelas, es decir, están dispuestas en un retículo ortogonal, si bien éste no se requiere forzosamente. Con la ayuda de la información de disparo temporal y una información de intensidad adicional, que se puede generar fundamentalmente de modo independiente de la máscara de disparo, se puede escribir el holograma digital punto a punto en líneas una después de otra. Debido a ello, los movimientos del rayo de escritura y del medio de almacenamiento están ajustados entre ellos. Cuando se escribe una línea actual, entonces se desplaza, por ejemplo, el medio de almacenamiento una distancia prefijada, de manera que a continuación se puede escribir la siguiente línea. Del mismo modo es posible desplazar de modo continuado el medio de almacenamiento e inscribir en el material del medio de almacenamiento las líneas del holograma durante el desplazamiento del medio de almacenamiento transversalmente respecto a la dirección de escaneado.
Tal y como se ha indicado anteriormente, durante la exploración de las líneas de disparo, dependiendo de la disposición de las líneas de disparo, se genera una señal de disparo temporal. En particular, la señal de disparo temporal se puede generar cuando el rayo de exploración coincide con una de las líneas de disparo que se han de explorar.
En este caso, coincidencia significa que alcanzar o abandonar las líneas de disparo, o una región intermedia cualquiera entre las líneas de disparo, se mide como valor umbral de un rayo reflejado o transmitido por la máscara de disparo, o que la máscara de disparo presenta elementos activos que con una intensidad de iluminación prefijada pueden generar la señal de disparo temporal. Este valor se ajusta dentro de la precisión de medida de tal manera que la regulación se puede llevar a cabo a la velocidad requerida.
De un modo preferido, el rayo de exploración se mueve en una relación de movimiento prefijada respecto al rayo de escritura, Con ello, el rayo de exploración puede escanear una máscara de disparo cuya superficie sea mayor que la región que se ha de escribir del medio de almacenamiento. En el caso de que, por ejemplo, la máscara de disparo sea 10 veces mayor que el holograma que se ha de generar, entonces el movimiento del rayo de exploración está aumentado en una relación 10:1 de modo proporcional respecto al movimiento del rayo de escritura. Por tanto, en caso de que, por ejemplo, se haya de escribir un holograma con una superficie de 1x1 mm^{2}, entonces el rayo de exploración escanea una máscara de disparo con una superficie de 10x10 mm^{2}. Las magnitudes mencionadas previamente son a modo de ejemplo, y no representan ninguna limitación de la invención.
Además, se prefiere que el rayo de exploración se enfoque en una magnitud que se corresponda como máximo con la medida de las líneas de disparo de la máscara de disparo. Con ello se garantiza que se explora de un modo suficientemente preciso la coincidencia con la línea de disparo y se puede generar una señal de disparo temporal suficientemente precisa.
Las características ópticas de las líneas de disparo pueden estar conformadas de diferentes maneras, empleándose técnicas que son conocidas como tales del estado de la técnica, en particular de medios de almacenamiento ópticos como el disco compacto (CD) o el disco versátil digital (DVD).
En una primera forma de realización, las líneas de disparo de la máscara de disparo presentan una reflectividad diferente respecto a la superficie circundante lateral junto a las líneas de disparo, de manera que el rayo reflejado por la superficie de la máscara de disparo se puede detectar con un detector. A partir de la intensidad del rayo de exploración reflejado enfocado en la superficie del detector se deriva la señal de disparo.
En una segunda forma de realización, las líneas de disparo de la máscara de disparo presentan una característica de transmisión diferente respecto a la superficie circundante lateral junto a las líneas de disparo, de manera que el rayo transmitido a través de la máscara de disparo se puede detectar con un detector. A partir de la intensidad del rayo transmitido medido de esta manera se deriva entonces la señal de disparo.
También se pueden combinar entre ellas en una línea de disparo secciones con características reflectantes y secciones con características de transmisión.
En una tercera forma de realización, las líneas de disparo de la máscara de disparo presentan una estructura de la superficie, por ejemplo en forma de acanaladuras, de manera que el rayo difractado que se refleja en la superficie de la máscara de disparo puede ser detectado. A partir de la intensidad del rayo reflejado, que resulta fundamentalmente a partir del solapamiento del orden de difracción cero y de los dos primeros órdenes de difracción, se deriva entonces la señal de disparo.
Todas las formas de realización de la invención indicadas a modo de ejemplo anteriormente se basan en el hecho de que por medio de las características ópticas de la máscara de disparo, se ejerce una influencia sobre el rayo de exploración de tal manera, que a partir de ello se puede determinar la coincidencia con una línea de disparo, y se puede convertir en una señal de control para el control de la intensidad del rayo de escritura.
Otra configuración de la máscara de disparo viene dada por el hecho de que ésta presenta píxeles activos, y con ello puede generar directamente la señal de disparo temporal. Por medio de diferentes excitaciones del píxel también se pueden generar como tales, con ello, diferentes huellas de disparo sin un intercambio de la máscara de disparo.
De un modo preferido, como máscara de disparo activa se usa un modulador de rayos temporal (spatial light modulator - SLM), con el que se puede realizar una máscara de disparo ajustable de modo variable temporalmente.
El problema técnico indicado anteriormente se resuelve según una segunda técnica de la presente invención por medio de un litógrafo con las características de la reivindicación 15.
El modo de funcionamiento descrito anteriormente de la presente invención, así como sus configuraciones ventajosas, también se pueden emplear de un modo ventajoso en un microscopio de escaneado, en particular en un microscopio confocal. En un microscopio de este tipo, se explora o se observa la superficie que se ha de examinar con un rayo de luz, y se mide la intensidad de luz reflejada. Durante la exploración de la superficie se compone entonces la imagen a partir de las intensidades medidas de la luz reflejada. La superficie se explora en una retícula, tal y como se ha descrito anteriormente.
En la presente invención, para ello, se dispone en la trayectoria de los rayos del rayo reflejado, delante, o preferentemente, por detrás del objetivo, un divisor de haz, para conducir la radiación reflejada a un sensor óptico. Éste mide la intensidad reflejada.
Con un microscopio de este tipo se soluciona el problema técnico de observar o explorar una superficie del modo más rápido posible y con un coste reducido. Éste está de acuerdo con el problema técnico en el que se basan los litógrafos descritos anteriormente. Las ventajas descritas anteriormente para los litógrafos se consiguen igualmente en un microscopio de este tipo.
A continuación se explica con más detalle la invención a partir de ejemplos de realización referidos al dibujo anexo. En el dibujo se muestra:
Fig. 1 un ejemplo de realización de un litógrafo conforme a la invención,
Fig. 2 un ejemplo de realización de una máscara de disparo y
Fig. 3 un microscopio conforme a la invención con una construcción que se corresponde fundamentalmente con la construcción del litógrafo representado en la Fig. 1.
La Fig. 1 muestra un ejemplo de realización de un litógrafo 2 conforme a la invención para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento 4 que está dispuesto sobre un soporte 6. Una fuente de luz 8 para la generación de un rayo de escritura 10 presenta preferentemente un láser o un diodo láser, de manera que el rayo de escritura 10 está conformado como rayo láser.
El litógrafo 2 presenta adicionalmente medios de accionamiento para el movimiento unidimensional del rayo de escritura 10 relativo al medio de almacenamiento 4, que están conformados como espejo de escaneado 12 accionados de modo galvánico, y por ejemplo desvían el rayo de escritura 10 en la dirección perpendicular al plano del dibujo de la Fig. 1. El espejo 12 representa una disposición de espejo de escaneado en x. En lugar del espejo de escaneado 12 galvánico, también se puede emplear un espejo poligonal giratorio.
Adicionalmente, de modo óptimo está dispuesto un ensanchador de rayos o bien un colimador 15 en la trayectoria de los rayos por detrás del espejo de escaneado 12, para generar un rayo de escritura 10 ensanchado.
Un primer objetivo 16 enfoca el rayo de escritura 10 en el medio de almacenamiento 4 que ha de ser escrito, de manera que en el foco 17, dependiendo de la intensidad del haz del rayo de escritura 10, se modifica o se mantiene de modo invariado la característica óptica del medio de almacenamiento 4.
Según la invención, está prevista una máscara de disparo 18 bidimensional, en la que se enfoca un rayo de exploración 22 desacoplado del rayo de escritura 10 por medio de un divisor de haz con un segundo objetivo 24 en un foco 25.
El rayo de exploración 22 se genera por medio de una segunda fuente de luz 26 que se acopla con un divisor de haz 28 en la trayectoria de los rayos del rayo de escritura 10 por delante del espejo de escaneado 12. El rayo de exploración 22 presenta una longitud de onda o polarización que difiere del rayo de escritura 10, de manera que el divisor de haz 28 está conformado como divisor de haz dicroico o polarizante. El divisor de haz 20 está conformado entonces, correspondientemente, de modo dicroico o polarizante, para desacoplar el rayo de exploración 22 de la trayectoria común de los rayos.
El rayo de exploración 22 es independiente de la modulación de intensidad del rayo de escritura 10, de manera que éste también se puede desconectar, es decir, se puede ajustar con una intensidad igual a cero.
Por el contrario, también es posible desacoplar el rayo de exploración 22 como rayo parcial del rayo de escritura, sin que el rayo de exploración 22 haya de ser generado por una fuente de luz separada. Los divisores de haz 20 y 28 están conformados entonces como divisores de haz semitransparentes.
Los dos objetivos 16 y 24 presentan respectivamente tres lentes de un sistema de lentes de enfoque. Sin embargo, lo importante no es la configuración precisa de los objetivos 16 y 24. Los objetivos 16 y 24, en este caso, pueden estar conformados preferentemente de tal manera que sus desviaciones angulares en la dirección x dependan entre ellas de modo lineal, por medio de lo cual se produce un acoplamiento lineal entre los movimientos de los focos 17 y 25.
Tal y como se deriva de la construcción de los litógrafos 2 según la Fig. 1, los medios de accionamiento, es decir, el espejo de escaneado 12, no sólo mueven el rayo de escritura 10, sino también el rayo de exploración 22. Esto es así ya que el divisor de haz 20 está dispuesto en la trayectoria de los rayos del rayo de escritura 10 por detrás del espejo de escaneado 12. Con ello, se mueve el rayo de exploración 22 de la misma manera de modo unidimensional como el rayo de escritura 10, de manera que el rayo de exploración 22 se mueve de modo relativo respecto a la superficie de la máscara de disparo 18. De esto se desprende que el movimiento del rayo de exploración 22 está acoplado con el movimiento del rayo de escritura 10.
Adicionalmente está previsto un detector 30' o un detector 30'', alternativa o adicionalmente, para el registro del rayo de exploración 22 variado en la intensidad por medio de las características ópticas de las líneas de disparo respectivas de la máscara de disparo 18. Las dos posiciones diferentes están representadas en la Fig. 1. El modo de funcionamiento de los detectores 30' y 30'' es similar a como se explica más adelante con más detalle.
Adicionalmente, están previstos medios de control 36 para la generación de una señal de disparo, unidos con los detectores 30' y/o 30''. Para ello están previstas líneas 40 y 42 (representadas en la Fig. 1 en el punto A de modo discontinuo). De modo correspondiente a las señales de los detectores se genera entonces la señal de disparo temporal.
Adicionalmente, los medios de control 36 generan una señal de control de intensidad que se transmite a través de una línea no representada para el control de la intensidad del rayo de escritura 10 a la fuente de luz 8. Los medios de control 36 están conformados como ordenadores. Por medio de la señal de control de la intensidad transmitida, el rayo de escritura 10 se modula dependiendo de la posición del foco 25 del rayo de exploración 22 en la máscara de disparo 18 que está acoplada con la posición del foco 17 del rayo de escritura 10 en el medio de almacenamiento 4.
Con otras palabras, el rayo de escritura 10 se ajusta para una escritura de puntos del holograma con dos o más valores de intensidad diferentes. En una escritura binaria, se conmuta la intensidad entre dos valores diferentes, de uno al otro, dependiendo de si se ha de escribir un punto o no. Del mismo modo, es posible y tiene sentido una escritura de puntos de holograma con una gradación de valores de gris.
Cuando, sin embargo, tal y como se ha descrito anteriormente, el rayo de exploración 22 se desacopla como rayo parcial del rayo de escritura 10, sin que se requiera una fuente de luz separada, entonces, para el registro del foco 25 en la máscara de disparo 18 es necesario, sin embargo, que el valor de de intensidad más reducido, o el más reducido, del rayo de escritura 10, no sea igual a cero. Gracias a ello se garantiza que el rayo de exploración 22 siempre presenta una intensidad mínima para una generación de una señal de disparo.
Adicionalmente, en la construcción representada en la Fig. 1 del litógrafo 2 se prefija una relación de transmisión referida longitudinalmente entre el movimiento del rayo de escritura 10 sobre el medio de almacenamiento 4 del rayo de exploración 22 en la máscara de disparo 18. Ésta se realiza por medio de diferentes distancias focales de los dos objetivos 16 y 26. En caso de que, por ejemplo, la distancia focal del primer objetivo 16 sea menor en un factor 10 que la distancia focal del segundo objetivo 24, entonces el movimiento del foco 25 del rayo de exploración 22 sobre la máscara de disparo 18 es mayor en el mismo factor 10 que el movimiento del foco 17 sobre la superficie del medio de almacenamiento 4. En la Fig. 1, por razones de espacio, sólo está representada una relación de distancias focales de aproximadamente 2. Esto pone de manifiesto, sin embargo, el hecho de que en la presente configuración de la invención no es importante una relación determinada.
Adicionalmente, el soporte 6 está unido con un accionamiento 50 representado de modo esquemático, que desplaza paso a paso el medio de almacenamiento entre dos líneas del holograma que se han de escribir, respectivamente. La dirección del desplazamiento está representada en la Fig. 1 con una flecha doble, y discurre en el plano del dibujo de la Fig. 1 de modo horizontal. Gracias a ello es posible una escritura de las líneas del holograma en un patrón ortogonal. Además, el accionamiento también puede desplazar el soporte 6 de modo continuado, de manera que las líneas se escriban en un patrón no ortogonal cuando el medio de almacenamiento 4 se mueva durante el escaneado con la ayuda de un espejo de escaneado 12.
Tal y como muestra la Fig. 2, la máscara de disparo 18 presenta una pluralidad de líneas de disparo 44. Éstas están dispuestas en un retículo ortogonal, y presentan fundamentalmente las mismas distancias entre ellas. En general, las líneas de disparo 44, sin embargo, pueden estar en una disposición prefijada en la que las líneas de disparo mismas presentan una forma que discurre de un modo cualquiera, es decir, también una forma curvada, y presentan distancias que varían entre ellas. Esto es así ya que la disposición de las líneas de disparo 44 reproduce la retícula de puntos del holograma digital que se ha de escribir.
El rayo de exploración escanea las líneas de disparo de modo transversal, preferentemente de modo perpendicular a su transcurso, de manera similar a lo que sucede en el caso del registro de un código de barras. Debido a la extensión longitudinal de las líneas de disparo 44, debido a ello, no es importante un ajuste preciso del rayo de exploración 22 a la máscara de disparo 18. Preferentemente, en el comienzo y/o en el final de las líneas de disparo 44 pueden estar conformados en la dirección de escaneado códigos especiales, que hacen posible que se puede generar a partir del rayo sobre el que ha ejercido una influencia la máscara de disparo una señal de comienzo y/o de final. Los códigos, en este caso, pueden estar contenidos, por ejemplo, en líneas de disparo de diferentes anchuras, de modo similar a lo que sucede en el caso de un código de barras.
La máscara de disparo 18 puede presentar una superficie con diferentes características de reflexión. Para ello, está prevista una máscara de disparo 18 por un lado con una capa reflectante. Del mismo modo, las diferentes características de reflexión pueden estar conformadas como diferentes coloraciones del material de la máscara de disparo. Del mismo modo, diferentes características refractivas del material pueden provocar las diferentes características de reflexión. Finalmente, la máscara de disparo puede estar conformada como modulador de rayos espacial (spatial light modulator - SLM). Gracias a ello se realiza de un modo ventajoso una máscara de disparo que se puede modificar temporalmente.
Adicionalmente, la máscara de disparo 18 puede presentar una superficie con una estructura de la superficie topográfica en la que se refleje de modo difrangente el rayo de exploración 22.
Para las dos configuraciones de la máscara de guiado de rayos, que refleja el rayo de exploración en la dirección de vuelta a la fuente de luz 26, está previsto en la trayectoria de los rayos del rayo de exploración 22, en la dirección del rayo, antes del espejo de escaneado 12, un desacoplador de rayos 46. Éste conduce el rayo de exploración 22 reflejado al detector 30'. Allí se genera la señal de detección como señal de control para el medio de control 36.
Adicionalmente, la máscara de disparo 18 puede presentar una superficie con diferentes características de transmisión. Con ello se deja pasar al rayo de exploración 22 en diferentes grados. La parte que se deja pasar del rayo de exploración 22 se enfoca con una óptica 48 en la superficie del detector 30''. Allí se genera entonces la señal de control para el medio de control 36 que se transmite a través de la línea 42.
También en este caso, el material de la máscara de disparo 18 puede estar conformado de diferentes maneras. Las diferentes características de transmisión se pueden generar por medio de diferentes coloraciones del material que es transparente como tal. La máscara de disparo 18, sin embargo, también puede estar conformada en este caso como modulador espacial de rayos (spatial light modulator - SLM). Gracias a ello se realiza de un modo ventajoso una máscara de disparo transmisora modificable temporalmente.
Los medios de control 36 para la generación de una señal de disparo temporal presentan medios de ordenadores, que están unidos con los detectores 30' y/o 30''. Éstos comparan la señal registrada por los detectores con valores teóricos, de manera que se genera la señal de control para el control de la intensidad.
Los medios de control 36 se pueden emplear así mismo para la generación de una señal de control de la intensidad. Para ello, los medios de control 36 presentan medios de almacenamiento en los que en las posiciones prefijadas a lo largo de las huellas 44 están almacenados valores de intensidad que son leídos y son empleados para el control de la intensidad de la fuente de luz 8, respectivamente.
Otra característica de las configuraciones descritas anteriormente del litógrafo viene dada por el hecho de que la distancia entre el medio de almacenamiento 4 y el objetivo 16 en la Fig. 1 se puede ajustar de modo variable. Ésta está indicada con una flecha doble designada con la letra "Z". Para un ajuste de la distancia en la dirección z, están previstos medios no representados en las figuras. Éstos pueden ser cualquier tipo de medios de ajuste lineales, que pueden ser accionados por medio de un motor o de modo manual. Por medio de un ajuste de la distancia, se puede disponer la posición del foco en el medio de almacenamiento 4 a diferentes profundidades, siendo igualmente posible un ajuste del foco con medios de almacenamiento 4 de grosores diferentes. Finalmente, se pueden inscribir al menos dos hologramas digitales en diferentes planos del medio de almacenamiento 4, para generar los denominados hologramas de varias capas.
En la Fig. 3 está representado un microscopio conforme a la invención, que se corresponde en su construcción con el litógrafo representado en la Fig. 1. Debido a ello, los mismos símbolos de referencia designan las mismas piezas constructivas tal y como han sido descritas conjuntamente con la Fig. 1, también cuando, de modo individual, se usan otras designaciones, para caracterizar la diferencia entre la escritura y la observación.
Adicionalmente a la construcción representada en la Fig. 1, en la trayectoria de los rayos de la luz reflejada por la superficie está dispuesto por detrás, es decir, por encima del objetivo 16, un plano deflector 60. Éste se puede realizar por medio de un espejo semitransparente o por un divisor de haz, y no ejerce ninguna influencia, o sólo una influencia no significativa, sobre el rayo de observación.
El plano deflector 60 desvía el rayo reflejado lateralmente, en la Fig. 3 hacia la izquierda, de manera que éste incide sobre un fotosensor 62 que mide la intensidad de la luz reflejada.
Por medio de la modificación del rayo de observación 10 de modo relativo al objeto 4 que se ha de examinar al microscopio, se explora entonces la superficie, y se mide la reflectividad punto por punto. Con ello, se puede componer una imagen de la superficie examinada.
En caso de que ahora el rayo de luz emitido por la fuente de luz 8, que se puede designar en el microscopio como rayo de observación, se genere con una intensidad fundamentalmente igual, entonces la intensidad medida del rayo reflejado es una medida para la reflectividad de la superficie explorada.

Claims (32)

1. Procedimiento para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento
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en el que un rayo de escritura se mueve sobre el medio de almacenamiento de modo enfocado y unidimensional de manera relativa al medio de almacenamiento,
-
en el que un rayo de exploración se mueve de modo enfocado y unidimensional sobre una máscara de disparo que presenta una pluralidad de líneas de disparo de modo transversal a las líneas de disparo, en el que el movimiento del rayo de exploración está acoplado con el movimiento del rayo de escritura,
-
en el que durante la exploración de las líneas de disparo, dependiendo de la disposición de las líneas de disparo, se genera una señal de disparo temporal,
-
en el que con la ayuda de la señal de disparo temporal se regula la intensidad del rayo de escritura sobre el medio de almacenamiento, y
-
en el que el holograma se escribe línea a línea por medio de la introducción punto a punto de energía de radiación, en el que el medio de almacenamiento se desplaza de modo transversal a la dirección de escaneado de las líneas una distancia prefijada para una escritura de líneas contiguas del holograma.
2. Procedimiento según la reivindicación 1, en el que las líneas de disparo se disponen paralelas, preferentemente en una retícula ortogonal.
3. Procedimiento según la reivindicación 1 ó 2, en el que con la ayuda de la información de disparo temporal y de una información de intensidad adicional, se escribe el holograma digital punto a punto en líneas sucesivas.
4. Procedimiento según la reivindicación 3, en el que la información de intensidad se genera de modo independiente de la máscara de disparo.
5. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 4, en el que el medio de almacenamiento se mantiene sin modificaciones respecto al rayo de escritura durante la inscripción de una línea, y durante un cambio de línea del rayo de escritura se mueve la distancia de una línea.
6. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 4, en el que el medio de almacenamiento se desplaza de modo continuo durante la escritura.
7. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 6, en el que el rayo de exploración se mueve en una relación de movimiento prefijada respecto al rayo de escritura.
8. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 7, en el que el rayo de exploración se enfoca en una magnitud que se corresponde como máximo con la medida de las líneas de disparo de la máscara de disparo.
9. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 8, en el que las líneas de disparo de la máscara de disparo presentan una reflectividad diferente a la superficie circundante lateral junto a las líneas de disparo, y en el que a partir de la intensidad del rayo reflejado por la superficie de la máscara de disparo se deriva la señal de disparo.
10. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 8, en el que las líneas de disparo de la máscara de disparo presentan una característica de transmisión diferente a la superficie circundante lateral junto a las líneas de disparo, y en el que a partir de la intensidad del rayo transmitido a través de la máscara de disparo se deriva la señal de disparo.
11. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 8, en el que las líneas de disparo de la máscara de disparo presentan una estructura de superficie, por ejemplo en forma de acanaladuras, y en el que a partir de la intensidad del rayo difractado que se refleja en la superficie de la máscara de disparo se deriva la señal de disparo.
12. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 8, en el que la máscara de disparo presenta píxeles activos, y en el que la señal portadora temporal se genera directamente por medio de los píxeles activos.
13. Procedimiento según la reivindicación 12, en el que como máscara de disparo se usa un modulador de rayos espacial.
14. Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 13, en el que la distancia entre el objetivo y el medio de almacenamiento para una escritura se ajusta a diferentes profundidades dentro del medio de almacenamiento.
15. Litógrafo para la fabricación de hologramas digitales en un medio de almacenamiento (4), en particular para la realización de un procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 13,
-
con una fuente de luz (8) para la generación de un rayo de escritura (10),
-
con medios de accionamiento (12) para el movimiento unidimensional del rayo de escritura (10) de modo relativo al medio de almacenamiento (4) y
-
con un primer objetivo (16) para el enfoque del rayo de escritura (10) sobre el medio de almacenamiento que se ha de escribir (4),
caracterizado porque,
-
está prevista una máscara de disparo (18) que presenta una pluralidad de líneas de disparo,
-
porque están previstos medios (20) para la generación de un rayo de exploración (22),
-
porque está previsto un segundo objetivo (24) para el enfoque del rayo de exploración (22) sobre la máscara de disparo (18),
-
porque los medios de accionamiento (12) mueven el rayo de exploración (22) de modo relativo a la superficie de la máscara de disparo (18), en el que el movimiento del rayo de exploración (22) está acoplado con el movimiento del rayo de escritura (10),
-
porque está previsto un detector (30', 30'') para el registro del rayo de exploración variado en intensidad por medio de las características ópticas de las líneas de disparo (44),
-
porque están previstos medios de control (36) para la generación de una señal de disparo dependiendo de la señal del detector (30', 30'').
16. Litógrafo según la reivindicación 15, caracterizado porque los medios de control (36) también están previstos para una generación de una señal para el control de la intensidad del rayo de escritura (10).
17. Litógrafo según la reivindicación 15 ó 16, caracterizado porque,
-
los medios de accionamiento (12) están conformados como una disposición de espejos de escaneado x/y para el movimiento del rayo de escritura (10), y
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porque los medios para la generación del rayo de exploración (22) presentan medios (20) para el desacoplado de una parte del rayo de escritura (10) como rayo de exploración (22) en la trayectoria de los rayos del rayo de escritura (10) por detrás de los medios de accionamiento (12).
18. Litógrafo según la reivindicación 17, caracterizado porque los medios para la generación del rayo de exploración (22)
-
presentan una segunda fuente de luz (26) para la generación de un rayo de exploración (22) con una longitud de onda o polarización que difiere de la del rayo de escritura (10), y
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medios de acoplamiento (28) para el acoplamiento del rayo de exploración (22) en la trayectoria de los rayos del rayo de escritura (10) delante de los medios de accionamiento (12), y porque los medios (20) para el desacoplamiento desacoplan el rayo de exploración (22).
19. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 18, caracterizado porque están previstos medios (50) para el movimiento del medio de almacenamiento (4) de modo relativo al rayo de escritura (10).
20. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 19, caracterizado porque está prefijada una relación de transmisión referida longitudinalmente entre el movimiento del rayo de exploración (22) sobre la máscara de disparo (18) y del rayo de escritura (10) sobre el medio de almacenamiento (4).
21. Litógrafo según la reivindicación 20, caracterizado porque la distancia focal del segundo objetivo (24) es mayor en un factor prefijado que la distancia focal del primer objetivo (16).
22. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 21, caracterizado porque la máscara de disparo (18) presenta una pluralidad de líneas de disparo (44).
23. Litógrafo según la reivindicación 22, caracterizado porque las líneas de disparo (44) están dispuestas en una retícula, en particular en una retícula ortogonal.
24. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 23, caracterizado porque la máscara de disparo (18) presenta una superficie con diferentes características de reflexión.
25. Litógrafo según la reivindicación 24, caracterizado porque la máscara de disparo (18) está conformada como modulador espacial de rayos.
26. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 23, caracterizado porque la máscara de disparo (18) presenta una superficie con una estructura topográfica de la superficie en la que se refleja el rayo de exploración.
27. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 23, caracterizado porque la máscara de disparo (18) presenta una superficie con diferentes características de transmisión.
28. Litógrafo según la reivindicación 27, caracterizado porque la máscara de disparo (18) está conformada como un modulador espacial de rayos.
29. Litógrafo según la reivindicación 27 ó 28, caracterizado porque está prevista una óptica de enfoque (48) para el enfoque de la radiación transmitida sobre el detector (30'').
30. Litógrafo según una de las reivindicaciones 15 a 29, caracterizado porque están previstos medios para el ajuste de la distancia entre el medio de almacenamiento (4) y el objetivo (16).
31. Microscopio para la exploración de un objeto (4),
-
con una fuente de luz (8) para generar un rayo de exploración (10),
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con medios de accionamiento (12) para el movimiento unidimensional del rayo de exploración (10) de modo relativo al objeto (4), y
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con un primer objetivo (16) para el enfoque del rayo de exploración (10) sobre el objeto (4),
caracterizado
-
porque está prevista una máscara de disparo (18) que presenta una pluralidad de líneas de disparo,
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porque están previstos medios (20) para la generación de un rayo de exploración (22),
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porque está previsto un segundo objetivo (24) para el enfoque del rayo de exploración (22) sobre la máscara de disparo (18),
-
porque los medios de accionamiento (12) mueven el rayo de exploración (22) de modo relativo respecto a la superficie de la máscara de disparo (18), en el que el movimiento del rayo de exploración (22) está acoplado con el movimiento del rayo de exploración (10),
-
porque está previsto un detector (30', 30'') para el registro del rayo de exploración variado en intensidad por medio de las características ópticas de las líneas de disparo (44), y
-
porque están previstos medios de control (36) para la generación de una señal de disparo dependiendo de la señal del detector (30', 30'').
32. Microscopio según la reivindicación 31 con una o varias características de las reivindicaciones 15 a 30.
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