JP4199003B2 - 1次元トリガマスクを有するリソグラフ及び記憶媒体にデジタルホログラムを生成する方法 - Google Patents
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Claims (29)
- 記憶媒体にデジタルホログラムを生成する方法であって、
書込みビームは前記記憶媒体上に集束され、そして前記記憶媒体に対して1次元で移動され、
走査ビームは複数のトリガラインを有するトリガマスク上に収束され、そして前記トリガラインを横切るように1次元に移動され、前記走査ビームの移動は前記書込みビームの移動と関連付けられており、
前記トリガマスク上の前記走査ビームと前記記憶媒体上の前記書込みビームの移動の間の長さに基づく設定比率が、1より大きく、
前記トリガラインの前記走査の間、時間的なトリガ信号が前記トリガラインの配置の関数として発生され、
前記時間的なトリガ信号により、前記記憶媒体上での前記書込みビームの強度が制御され、そして
前記ホログラムは放射エネルギを点毎に当てることによりライン毎に書き込まれ、前記ホログラムの隣接するラインを書くように前記ラインの前記走査方向に対して横方向に所定の距離だけ前記記憶媒体が変位される方法。 - 前記トリガラインは平行に配置され、望ましくは直角パターンで配置されている請求項1に記載の方法。
- 前記時間的なトリガ情報及び強度情報の付加的な項により、前記デジタルホログラムはラインにおいて連続して点毎に書き込まれる請求項1又は2に記載の方法。
- 前記強度情報は、前記トリガマスクとは独立して発生される請求項3に記載の方法。
- 前記記憶媒体は、ラインを書く時には前記書込みビームに対して変化しないように維持され、前記書込みビームのライン変化の間1つのラインの間隔だけ移動される請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記記憶媒体は、書込みの間連続して変位される請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記走査ビームは、前記書込みビームに対して所定の移動関係で移動される請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- 前記走査ビームは、たかだか前記トリガマスクの前記トリガラインの大きさに対応する大きさに集束される請求項1から7のいずれかに記載の方法。
- 前記トリガマスクの前記トリガラインは、前記トリガラインの回りの側方を囲む表面とは異なった反射率を有し、前記トリガ信号は前記トリガマスクの表面から反射される前記ビームの強度から導出される請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 前記トリガマスクの前記トリガラインは、前記トリガラインの回りの側方を囲む表面とは異なった透過率を有し、前記トリガ信号は前記トリガマスクを通過して送られた前記ビームの強度から導出される請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 前記トリガマスクの前記トリガラインは、例えば溝の形状の表面構造を有し、前記トリガ信号は前記トリガマスクの表面で反射して回折された前記ビームの強度から導出される請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 前記トリガマスクの前記トリガラインは、能動的な画素を有し、前記時間的なトリガ信号は前記能動的な画素により直接発生される請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 使用される前記能動的なトリガマスクは、空間光変調器である請求項12に記載の方法。
- 対物レンズと前記記憶媒体の間の距離は、前記記憶媒体内の異なる深さに書き込むように調整される請求項1から13のいずれかに記載の方法。
- 記憶媒体(4)にデジタルホログラムを生成するリソグラフであって、
書込みビーム(10)を生成する光源(8)を有し、
前記記憶媒体(4)に対して前記書込みビーム(10)の1次元移動を行う駆動手段(12)を有し、
書込みビーム(10)を書き込まれる前記記憶媒体(4)上に集束する第1の対物レンズ(16)を有するリソグラフであって、
複数のトリガラインを有するトリガマスク(18)が設けられ、
走査ビーム(22)を生成する手段(20)が設けられ、
前記走査ビーム(22、22’)を前記トリガマスク(18)上に集束する第2の対物レンズ(24)が設けられ、
前記駆動手段(12)は前記トリガマスク(18)の表面に対して前記走査ビーム(22)を移動し、前記走査ビーム(22、22’)の移動は前記書込みビーム(10)の移動に関連しており、
前記第2の対物レンズ(24)の焦点距離は、前記第1の対物レンズ(16)の焦点距離より大きく、
前記トリガマスク(18)上の前記走査ビーム(22)と前記記憶媒体(4)上の前記書込みビーム(10)の移動の間の長さに基づく設定比率は、1より大きく、
前記トリガライン(44)の光特性により強度が変化する前記走査ビームを検出するために検出器(30’、30’’)が設けられており、
制御手段(36)が前記検出器(30’、13’’)からの前記信号の関数としてトリガ信号を発生することを特徴とするリソグラフ。 - 前記制御手段(36)は、前記書込みビーム(10)の強度を制御する信号も発生する請求項15に記載のリソグラフ。
- 前記駆動手段(12)は、前記書込みビーム(10)を移動させるためのx/y走査ミラー配置として形成され、
前記走査ビーム(22)を生成する前記手段は、前記書込みビーム(10)の前記ビーム経路内の前記駆動手段(12)の後に走査ビーム(22)として前記書込みビーム(10)の一部を分離する手段(20)を有することを特徴とする請求項15又は16に記載のリソグラフ。 - 前記走査ビーム(22)を生成する前記手段は、
前記書込みビーム(10)と異なる波長又は偏光を有する走査ビーム(22)を生成する第2の光源(26)と、
前記書込みビーム(10)の前記ビーム経路中の前記駆動手段(12)の前に、前記走査ビーム(22)を結合する入力結合手段(28)とを備え、
前記出力分離手段(20)は前記走査ビーム(22)を分離することを特徴とする請求項17に記載のリソグラフ。 - 前記記憶媒体(4)を前記書込みビーム(10)に対して移動させる手段(15)が設けられていることを特徴とする請求項15から18のいずれかに記載のリソグラフ。
- 前記トリガマスク(18)は、複数のトリガライン(44)を有することを特徴とする請求項15から19のいずれかに記載のリソグラフ。
- 前記トリガライン(44)は、あるパターンで配置されており、特に直角パターンで配置されていることを特徴とする請求項20に記載のリソグラフ。
- 前記トリガマスク(18)は、異なる反射特性の表面を有することを特徴とする請求項15から21のいずれかに記載のリソグラフ。
- 前記トリガマスク(18)は、空間光変調器として形成されることを特徴とする請求項22に記載のリソグラフ。
- 前記トリガマスク(18)は、前記走査ビームが反射される地形的な表面構造の表面を有することを特徴とする請求項15から21のいずれかに記載のリソグラフ。
- 前記トリガマスク(18)は、異なる透過特性の表面を有することを特徴とする請求項15から21のいずれかに記載のリソグラフ。
- 前記トリガマスク(18)は、空間光変調器として形成されることを特徴とする請求項25に記載のリソグラフ。
- 前記透過した放射を前記検出器(30’’)上に集束する集束光学系(48)が設けられていることを特徴とする請求項25又は26に記載のリソグラフ。
- 前記記憶媒体(4)と前記対物レンズ(16)の間の距離を調整する手段が設けられていることを特徴とする請求項15から27のいずれかに記載のリソグラフ。
- 物体(4)を走査する顕微鏡であって、
走査ビーム(10)を生成する光源(8)を有し、
前記物体(4)に対して前記走査ビーム(10)の1次元移動を行う駆動手段(12)を有し、
前記走査ビーム(10)を前記物体(4)上に集束する第1の対物レンズ(16)を有する顕微鏡において、
複数のトリガラインを有するトリガマスク(18)が設けられ、
走査ビーム(22)を生成する手段(20)が設けられ、
前記走査ビーム(22、22’)を前記トリガマスク(18)上に集束する第2の対物レンズ(24)が設けられ、
前記駆動手段(12)は前記トリガマスク(18)の表面に対して前記走査ビーム(22)を移動し、前記走査ビーム(22、22’)の移動は前記走査ビーム(10)の移動に関連しており、
前記第2の対物レンズ(24)の焦点距離は、前記第1の対物レンズ(16)の焦点距離より大きく、
前記トリガマスク(18)上の前記走査ビーム(22)と前記物体(4)上の前記走査ビーム(10)の移動の間の長さに基づく設定比率は、1より大きく、
前記トリガライン(44)の光特性により強度が変化する前記走査ビームを検出するために検出器(30’、30’’)が設けられており、
制御手段(36)が前記検出器(30’、30’’)からの前記信号の関数としてトリガ信号を発生することを特徴とする顕微鏡。
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