ES2124052T5 - Dispositivo para la evacuacion rapida de una camara de vacio. - Google Patents

Abstract

LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA EVACUACION RAPIDA DE UNA CAMARA (5) DE VACIO, COMPUESTA DE UNA PRIMERA BOMBA (14) DE VACIO, CON PREFERENCIA UNA BOMBA DE EMBOLO CILINDRICO, DE UNA CONDUCCION DE ASPIRACION QUE SE UNE EN EL LADO DE ASPIRACION CON LA PRIMERA BOMBA (14) CON LA CAMARA (5) DE VACIO, CON UNA SEGUNDA BOMBA (15) DE VACIO CONECTADA EN LA PRIMERA VALVULA (16) DE BLOQUEO, A PARTIR DE UNA PRIMERA BOMBA (14) A TRAVES DE UNA CONDUCCION (20) DE UNION Y DE UNA TRAMPILLA (17) DE SOPLADO CONECTADA EN LA CONDUCCION (20) DE UNION, DONDE SE HA PREVISTO UNA SEGUNDA VALVULA (13) DE BLOQUEO CONECTADA EN EL LADO DE ASPIRACION DE LA SEGUNDA BOMBA (15), EN CONEXION INTERMEDIA, DISPONIENDOSE DE UNA CONDUCCION (19) SECUNDARIA QUE DESEMBOCA EN LA CAMARA (5) DE VACIO Y UNA CONDUCCION (20) DE UNION CONECTADA CON UNA TERCERA VALVULA (12) DE BLOQUEO.

Description

Dispositivo para la evacuación rápida de una cámara de vacío.

La invención se refiere a un dispositivo según la cláusula precaracterizante de la reivindicación 1, como el ilustrado, por ejemplo, en el documento DE-A-36 39 512.

Para la evacuación rápida de grandes volúmenes se emplean frecuentemente bancos de bombas con bombas Roots de refrigeración de preadmisión. En las cámaras en las que se tiene que bombear en la gama de presiones por debajo de 200 mbar han dado buenos resultados las estaciones de bombas de escalonamientos múltiples. Es conocido instalar una bomba Roots como la bomba mayor dispuesta directamente en la cámara de vacío y elegir para los escalonamientos de bombeado postconectados una combinación cualquiera de bombas Roots de refrigeración de preadmisión y/o de otras bombas. Para el bombeado de vaciado se conecta entonces a la cámara de vacío la bomba Roots de refrigeración de preadmisión mayor. Con esto resulta ya a partir de la presión atmosférica una gran capacidad de aspiración. Con esta forma de proceder, las bombas (más pequeñas) postconectadas ya no pueden impeler a presiones inferiores a la presión atmosférica los caudales de gas impelidos por la primera bomba. Para impedir en esto la creación de una sobrepresión no deseable se instala normalmente entre el primer y el segundo escalonamiento de bombeado una mariposa de escape a la atmósfera. Dependiendo del escalonamiento de las bombas empleadas resulta una presión de transferencia a partir de la que cierra la mariposa de escape porque las bombas previas pueden ahora impeler en la gama de depresión la corriente de caudal impelida por el primer escalonamiento. Sólo por debajo de la presión de transferencia el banco de bombeado previo tiene una influencia sobre la capacidad de aspiración total. Así, para las altas presiones el banco de bombeado previo permanece inutilizado.

En el documento DE AS 1 024 668 se describe un sistema de bombeo de alto vacío con una bomba de alto vacío y una bomba preliminar de vacío para la filtración con succión de vapores. Para filtrar con succión los vapores de un recinto de vacío a evacuar, las bombas están en principio conectadas en paralelo. Tan pronto se ha alcanzado un vacío de aproximadamente 80% en el recinto de vacío a evacuar, las bombas se conectan una detrás de otra.

La presente invención se basa pues en el objetivo de combinar la bomba principal y la bomba previa entre sí de tal manera que se acorta el tiempo de bombeado.

Este objetivo se consigue por medio de un dispositivo de acuerdo con la cláusula precaracterizante de la reivindicación 1 con las características

\hbox{adicionales
de}

que en la primera etapa de la secuencia de bombeo la válvula de cierre está, además, abierta, de modo que se suma la capacidad de aspiración de las dos bombas,

que está prevista una mariposa de escape conectada en la conducción de unión en el tramo de conducción entre la segunda válvula de cierre y el racor de presión de la primera bomba, que desemboca en la atmósfera,

y que la segunda etapa se inicia cuando está presente una presión inferior a una presión de

\hbox{transferencia}

,

siendo la presión de transferencia aquella a la que cierra la mariposa de escape.

Este objetivo se consigue por medio de una conducción auxiliar conectada en el lado de aspiración de la segunda bomba, provista de una segunda válvula de cierre interconectada, que desemboca en la cámara de vacío y una tercera válvula de cierre intercalada en la conducción de unión.

La invención admite las más diversas posibilidades de ejecución; una de ellas está representada esquemáticamente en el dibujo anexo, y en concreto muestran:

la Fig. 1: un dispositivo con bomba principal y bomba previa según el estado de la técnica y

la Fig. 2: un dispositivo según la invención con bombas que son conectables tanto en serie como también en paralelo,

la Fig. 3: el dispositivo representado en la Fig. 2 con conducción de preadmisión.

En el dispositivo según la Fig. 1 la bomba principal está configurada como bomba Roots 2 y conectada a la cámara de vacío 5 a través del racor de aspiración 3 con la válvula de cierre 3 intercalada en este, mientras que el racor de presión de la bomba 2 está conectada a la bomba previa 7 a través de la conducción de unión 6. En la conducción de unión 6 están conectados además un refrigerador de preadmisión 8 y en una conducción de derivación 9 un amortiguador de ruidos 10 y una mariposa de escape 11. A través de la conducción de preadmisión 18, para impedir un calentamiento demasiado acusado de la bomba 2 (véanse la Fig. 1 y la Fig. 3), el medio gaseoso bombeado, refrigerado por el refrigerador de preadmisión 8, puede ser reenviado a la bomba 2 para la refrigeración de ésta. Como las dos bombas 2 y 7 están conectadas una detrás de la otra, la bomba intercalada 7 está inactiva al inicio del proceso de evacuación.

El objetivo de la invención es emplear para la evacuación la capacidad de aspiración de las bombas previas 7 también para presiones superiores a la presión de transferencia. Esto se realiza por medio de las válvulas adicionales 12 y 13. De esta forma es posible conectar el banco de bombeado previo a presiones superiores a la presión de transferencia - cuando debido a la mariposa de escape 11 ó 17 no tiene normalmente ninguna función - directamente a la caldera de vacío 5. En este período de tiempo no solo se dispone ahora de la capacidad de aspiración del banco de la bomba 2 o de la bomba 14,sino también adicionalmente de la capacidad de aspiración del banco de bombeado previo 7 ó 15:

Secuencia de bombeado:

- para el bombeado se abren simultáneamente las válvulas 16 y 13; la 12 permanece cerrada. Las bombas 14 y 15 evacuan en paralelo la cámara de vacío 5. La capacidad de aspiración es:

S = S(14) + S(15).

La bomba 14 expulsa el volumen de gas alimentado a través de la mariposa de escape 17 directamente a la atmósfera.

- Para una presión adecuada a elegir por debajo de la presión de transferencia la válvula 13 conectada en la conducción auxiliar 19 se cierra y la válvula 12 conectada en la conducción de unión 20 se abre. La bomba 15 sirve ahora como bomba previa para 14 y alimenta entonces la totalidad de flujo de gas aspirado por 15.

Por la medida descrita, según sea el escalonamiento y la presión final deseada, es posible sin bomba adicional una reducción del tiempo de bombeado de
10-15%.

Lista de signos de referencia

2

Bomba Roots

3

Racor de aspiración

4

Válvula de cierre

5

Cámara de vacío

6

Conducción de unión

7

Bomba previa

8

Refrigerados de preadmisión

9

Conducción de derivación

10

Amortiguador de ruidos

11

Mariposa de escape

12

Válvula

13

Válvula

14

Bomba

15

Bomba

16

Válvula

17

Mariposa de escape

18

Preadmisión, conducción de derivación

Claims (1)

1. Dispositivo para la evacuación rápida de una cámara de vacío (5) en dos etapas de una secuencia de bombeo, compuesto

de una primera bomba de vacío (14), preferentemente una bomba Roots, de un racor de aspiración que une el lado de aspiración de esta primera bomba (14) con la cámara de vacío (5), con una primera válvula de cierre (16) conectada en este,

de una segunda bomba de vacío (15) postconectada a la primera bomba (14), con una segunda válvula de cierre (12) conectada en la conducción (20) que une una con la otra las dos bombas (14, 15),

de una conducción auxiliar (19) que desemboca en la cámara de vacío (5), que presenta una tercera válvula de cierre (13) intercalada, conectada en el lado de aspiración de la segunda bomba (15) en el tramo de conducción entre la segunda bomba (15) y la segunda válvula de cierre (12), en donde el dispositivo está diseñado de manera que

en una primera etapa de la secuencia de bombeo la segunda válvula de cierre (12) está cerrada y la tercera válvula de cierre (13) está abierta, de manera que el racor de aspiración de la segunda bomba (15) está unido con la cámara de vacío (5), y en una segunda etapa de la secuencia de bombeo la primera válvula de cierre (16) está abierta, la segunda válvula de cierre (12) está abierta, y la tercera válvula de cierre (13) está cerrada, de manera que la segunda bomba (16) se emplea como bomba preliminar para la primera bomba (14),

caracterizado

porque el dispositivo está diseñado de manera que en la primera etapa de la secuencia de bombeo la primera válvula de cierre (16) está, además, abierta, de modo que se suma la capacidad de aspiración de las dos bombas,

porque está prevista una mariposa de escape (17) conectada en la conducción de unión (20) en el tramo de conducción entre la segunda válvula de cierre (12) y el racor de presión de la primera bomba (14), que desemboca en la atmósfera,

y porque el dispositivo está diseñado de manera que la segunda etapa se inicia cuando está presente una presión inferior a una presión de transferencia a la que cierra la mariposa de escape (17).