CN104863857B - 一种抽气泵的抽气系统及抽气泵 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种抽气泵的抽气系统及抽气泵，其中，一种抽气泵的抽气系统包括：第一真空管，所述第一真空管的一端与反应腔连接，另一端设置有一泄压阀，所述第一真空管上设置有一第一开关阀；第二真空管，所述第二真空管的一端连接于所述第一真空管；以及第三真空管，所述第三真空管的一端连接于所述第二真空管的另一端。当需要清理时，将所述第一开关阀和所述第二开关阀关闭，打开所述泄压阀，让空气进入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，无需停止抽气泵，也无需打开反应腔，减少了对所述抽气泵的损伤以及所述第三真空管和所述抽气泵连接处的磨损，提高了所述抽气泵的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域，尤其是一种抽气泵的抽气系统及抽气泵。
背景技术
在干法蚀刻技术中，通常采用抽气泵抽气的方式解决真空问题。具体的，抽气泵与真空管的一端连接，所述真空管的另一端与刻蚀反应腔连接，且所述真空管竖直放置。也就是说，所述抽气泵与所述真空管是直通式连接，所述抽气泵通过竖直抽气方式对所述刻蚀反应腔进行抽气。
在生产产品的过程中，所述刻蚀反应腔内将会产生副产品，也就是废气，生产过程中产生的废气在所述抽气泵的抽气过程中会进入所述真空管，在经过所述真空管时，由于所述真空管较长，就会有一部分废气会冷凝成固体附着在所述真空管的管壁上。随着这些固体副产品在所述真空管上的沉积，所述真空管管壁上的固体副产品会越来越多，进而附着在所述真空管管壁上的固体副产品会从所述真空管的管壁上脱落，掉入到所述抽气泵中，堵塞所述真空管和所述抽气泵，从而导致所述抽气泵的压力过高。这时，工程师就必须将所述刻蚀反应腔连接的机台断电，使得所述刻蚀反应腔独立，并使所述抽气泵停止工作来清理所述抽气泵。频繁的起停所述抽气泵，会损伤所述抽气泵，进而会导致所述抽气泵无法开起来。
而且，在每次定期维护后，工程师还需要清理所述真空管，以便将所述真空管管壁上的固体副产品清理干净。在清理所述真空管的过程中，需要将所述真空管拆卸下来，也就是需要将所述真空管与所述抽气泵拆卸开来，然后再对所述真空管和所述抽气泵进行清理。但是频繁的拆卸和安装会导致所述真空管和所述抽气泵的连接处的磨损，进而会进一步的减短所述抽气泵的使用寿命，增加了成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种抽气泵的抽气系统及抽气泵，以解决在生产过程中固体副产品掉落至抽气泵中而缩短所述抽气泵寿命的问题。
为了达到上述目的，本发明提供了一种抽气泵的抽气系统及抽气泵，其中，一种抽气泵的抽气系统包括：
第一真空管，所述第一真空管的一端与反应腔连接，另一端设置有一泄压阀，所述第一真空管上设置有一第一开关阀；
第二真空管，所述第二真空管的一端连接于所述第一真空管，所述第二真空管与所述第一真空管的连接处与所述反应腔之间的距离，大于所述第一开关阀与所述反应腔之间的距离；以及
第三真空管，所述第三真空管的一端连接于所述第二真空管的另一端，所述第三真空管的另一端连接于抽气泵的进气口，所述第三真空管上设置有一第二开关阀。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述第一开关阀与所述反应腔之间的距离，小于所述第一开关阀与所述泄压阀之间的距离。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述第一真空管和所述通气管竖直设置。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述第二真空管与所述第一真空管靠近所述第一开关阀的一侧形成一第一夹角。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述第一夹角大于90°。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述第一夹角为135°。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述第三真空管竖直设置。
优选的，在上述的抽气泵的抽气系统中，所述泄压阀位于所述抽气泵的上方。
本发明还提供了一种抽气泵，包括：抽气泵主体，所述抽气泵主体上分别设置有进气口和出气口，所述进气口连接有如上所述的抽气泵的抽气系统。
优选的，在上述的抽气泵中，所述抽气泵主体为螺杆抽气泵主体。
在本发明提供的一种抽气泵的抽气系统及抽气泵中，正常工作时，所述第一开关阀和所述第二开关阀打开，所述泄压阀关闭，生产过程中产生的废气冷凝而成的固体副产品附着在所述第一真空管管壁上，这些固体副产品会掉落到所述第一真空管设置有所述泄压阀的一端，当需要清理时，将所述第一开关阀和所述第二开关阀关闭，打开所述泄压阀，让空气进入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，无需停止抽气泵，也无需打开反应腔，减少了对所述抽气泵的损伤以及所述第三真空管和所述抽气泵连接处的磨损，提高了所述抽气泵的使用寿命。
附图说明
图1本发明实施例中抽气泵的抽气系统的结构示意图；
图中：101-反应腔；102-第一真空管；103-第二真空管；104-第三真空管；105-第一开关阀；106-泄压阀；107-第二开关阀；108-抽气泵。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
本实施例提供了一种抽气泵，包括，抽气泵主体，所述抽气泵主体上设置有进气口和出气口，所述进气口与一种抽气泵的抽气系统连接。
优选的，本实施例中的抽气泵主体为螺杆抽气泵主体。
其中，如图1所示，所述抽气泵的抽气系统包括：第一真空管102，第二真空管103和第三真空管104。
具体的，所述第一真空管102的一端与反应腔101连接，另一端设置有一泄压阀106，且在所述第一真空管102上设置有一第一开关阀105。所述第一开关阀105与所述反应腔101之间的距离，小于所述第一开关阀105与所述泄压阀106之间的距离。所述泄压阀106位于所述抽气泵108的上方，以减少所述抽气泵的抽气系统所占用的空间。
具体的，生产过程中产生的废气被抽气泵108抽入到所述第一真空管102中，由于所述废气一般为高温，而所述第一真空管102的温度低于所述废气的温度，当所述废气进入到所述第一真空管102后会迅速冷凝成固体，形成固体副产品，并附着在所述第一真空管102的内壁上，并且，大部分的固体副产品都附着在所述第一真空管102靠近所述反应腔101的部分。
在本实施例中，所述第一真空管102为竖直设置。也就是说，针对竖直设置的所述第一真空管102来说，大部分固体副产品附着在所述所述第一真空管102内壁的上部，因此，需要将所述第一开关阀105设置在所述第一真空管102的上部，当需要对所述第一真空管102清理时，关闭所述第一开关阀105和第二开关阀107，就可以把所述附着在所述第一真空管102上半部内壁上的固体副产品清理出所述第一真空管102。也就是说，所述第一开关阀105更加靠近所述反应腔101而远离所述泄压阀106，即，所述第一开关阀105与所述反应腔101之间的距离，小于所述第一开关阀105与所述泄压阀106之间的距离。
更优的，所述第一开关阀105设置在离所述反应腔101较近的位置，这样，当需要对所述第一真空管102进行清理时，就可以将所述第一真空管102内壁上的固体副产品尽可能的清理干净。
在生产过程中产生的固体副产品会附着在所述第一真空管102的管壁上，当这些固体副产品脱落后会掉落到所述第一真空管102中，因为所述泄压阀106为关闭状态，则这些固体副产品就掉落在所述第一真空管102靠近所述泄压阀106的一端。
在本实施例中，所述第一真空管102为竖直设置，在本发明的其他实施例中，还可以根据实际需要放置所述第一真空管102。例如水平放置或者倾斜放置。这是本领域技术人员所熟知的，在此不再赘述。
所述抽气泵108的抽气系统还包括第二真空管103和第三真空管104，所述第二真空管103和所述第一真空管102连接，所述第二真空管103与所述第一真空管102的连接处位于所述第一开关阀105的下方。如图1所示。也就是说，与所述第二真空管103和所述第一真空管102的连接处到所述反应腔101的距离相比，所述第一开关阀105更加靠近所述反应腔101。即，所述第二真空管103与所述第一真空管102的连接处与所述反应腔101之间的距离，大于所述第一开关阀105与所述反应腔101之间的距离。这样当关闭所述第一开关阀105和所述第二开关阀107，并打开所述泄压阀106来清理所述第一真空管102时，可以使得附着有固体副产品的所述第一真空管102尽可能的暴露在空气中，使得对所述第一真空管102的清理更加彻底。
进一步的，所述第二真空管104与所述第一真空管102靠近所述第一开关阀105的一侧形成一第一夹角，所述第一夹角大于90°。较优的，所述第一夹角为135°。
在没有对所述第一真空管102进行清理前，附着在所述第一真空管102内壁上的固体副产品不可避免的随着所述抽气泵108的抽气而进入到所述第二真空管103中，所述第一夹角为135°，将尽可能的减少进入到所述第二真空中103中的固体副产品。
所述第二真空管103的一端连接于所述第一真空管102，另一端连接于所述第三真空管104的一端，而所述第三真空管104的另一端连接于所述抽气泵108的进气口。并且在所述第三真空管104上设置有所述第二开关阀107。更优的，可以使所述第二开关阀107更加靠近所述抽气泵108的进气口。
所述第三真空管104竖直设置。在本发明的其他实施例中，根据实际需要，所述第三真空管104还可以是其他方式设置，比如为水平或者倾斜设置。这是本领域技术人员所熟知的，在此不再赘述。
当生产产品时，所述第一开关阀106和所述第二开关阀107打开，所述泄压阀106关闭，所述抽气泵108所产生的负压使得所述第一互赠102中的真空效果不会受到所述泄压阀106的影响。
当需要对所述第一真空管102进行清理时，关闭所述第一开关阀106和所述第二开关阀107，打开所述泄压阀106，空气通过所述泄压阀106进入到所述第一真空管102中，工作人员即可对所述第一真空管102中的固体副产品进程清理，在这个过程中，无需停止所述抽气泵108，也无需打开所述反应腔101，从而减少了对所述抽气泵108的损伤以及所述第三真空管104和所述抽气泵连接处的磨损，进而提高了所述抽气泵108的使用寿命。
综上，在本发明实施例提供的一种抽气泵的抽气系统及抽气泵中，正常工作时，所述第一开关阀和所述第二开关阀打开，所述泄压阀关闭，生产过程中产生的废气冷凝而成的固体副产品附着在所述第一真空管管壁上，这些固体副产品会掉落到所述第一真空管设置有所述泄压阀的一端，当需要清理时，将所述第一开关阀和所述第二开关阀关闭，打开所述泄压阀，让空气进入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，无需停止抽气泵，也无需打开反应腔，减少了对所述抽气泵的损伤以及所述第三真空管和所述抽气泵连接处的磨损，提高了所述抽气泵的使用寿命。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种抽气泵的抽气系统，其特征在于，包括：
第一真空管，所述第一真空管的一端与反应腔连接，另一端设置有一泄压阀，所述第一真空管上设置有一第一开关阀；
第二真空管，所述第二真空管的一端连接于所述第一真空管，所述第二真空管与所述第一真空管的连接处与所述反应腔之间的距离，大于所述第一开关阀与所述反应腔之间的距离；以及
第三真空管，所述第三真空管的一端连接于所述第二真空管的另一端，所述第三真空管的另一端连接于抽气泵的进气口，所述第三真空管上设置有一第二开关阀。
2.如权利要求1所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述第一开关阀与所述反应腔之间的距离，小于所述第一开关阀与所述泄压阀之间的距离。
3.如权利要求1所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述第一真空管竖直设置。
4.如权利要求3所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述第二真空管与所述第一真空管靠近所述第一开关阀的一侧形成一第一夹角。
5.如权利要求4所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述第一夹角大于90°。
6.如权利要求5所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述第一夹角为135°。
7.如权利要求3所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述第三真空管竖直设置。
8.如权利要求3所述的抽气泵的抽气系统，其特征在于，所述泄压阀位于所述抽气泵的上方。
9.一种抽气泵，其特征在于，包括；抽气泵主体，所述抽气泵主体上分别设置有进气口和出气口，所述进气口连接有如权利要求1-8任意一项所述的抽气 泵的抽气系统。
10.如权利要求9所述的抽气泵，其特征在于，所述抽气泵主体为螺杆抽气泵主体。
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