CN203082378U - 一种真空泵入口端管道及真空泵组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的实施例提供一种真空泵入口端管道及真空泵组件，涉及真空系统的技术领域，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。该管道包括：一非水平设置的进气管、一非水平设置的出气管和至少一非水平设置的中间管；所述进气管的下端与所述中间管的下端通过底管连通，所述中间管的上端与所述出气管的上端通过顶管连通；所述进气管的上端与外接腔体连接；所述出气管的下端与真空泵连接。本实用新型的实施例应用于真空泵管道。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空系统技术领域，尤其涉及一种真空泵入口端管道及真空泵组件。
背景技术
真空反应腔在高科技工业生产中普遍存在，通常使用干泵、分子泵作为抽真空设备，而且目前抽真空设备系统的管道走向设计基本上采用竖直走向。而发明人发现有些真空系统反应腔会产生大量副产物如液晶行业干法刻蚀工序，其所产生的副产物会附着在入口端管道内壁上并且通常呈块状或淤泥状，同时这些副产物会伴随抽真空过程进入真空泵，这样会造成干泵经常性维修而且会使干泵使用寿命缩短。
实用新型内容
本实用新型的实施例提供一种真空泵入口端管道及真空泵组件，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的问题。
为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
第一方面，提供一种真空泵入口端管道，包括：一非水平设置的进气管、一非水平设置的出气管和至少一非水平设置的中间管；
所述进气管的下端与所述中间管的下端通过底管连通，所述中间管的上端与所述出气管的上端通过顶管连通；
所述进气管的上端与外接腔体连接；
所述出气管的下端与真空泵连接。
可选的，所述真空泵入口端管道具有至少两个所述中间管；
所述中间管与中间管之间通过至少一个所述底管或至少一个所述顶管连通。
可选的，至少一个所述底管为沉积管。
可选的，所述与沉积管腔体中轴线垂直的截面的截面积大于与所述进气管腔体中轴线垂直的截面的面积。
可选的，所述沉积管底部设置开口，所述开口处设置有可以开启的密封盖。
可选的，所述沉积管底部下端开口与干燥装置连通，所述干燥装置内部设有干燥剂，所述干燥装置底部设置有可以开启的密封盖。
可选的，所述干燥装置与所述沉积管底部连通处设置有带孔隔离单元。
可选的，所述带孔隔离单元为金属网。
可选的，所述进气管与所述外接腔体用法兰连接；
所述出气管与所述真空泵用法兰连接。
可选的，所述出气管的长度大于所述中间管的长度，且所述中间管的长度大于所述进气管的长度。
第二方面，提供一种真空泵组件，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中：
所述真空泵入口端管道为第一方面中任一项所述的真空泵入口端管道。
本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道及真空泵组件，通过将真空泵的入口端管道采用弯管式走向设计，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的实施例提供的一种真空泵入口端管道的结构示意图；
图2为本实用新型的实施例提供的另一种真空泵入口端管道的结构示意图；
图3为本实用新型的实施例提供的一种真空泵入口端走向的结构示意图；
图4为本实用新型的实施例提供的又一种真空泵入口端管道的结构示意图。
附图标记：1-进气管；2-出气管；3-中间管；4-顶管；5-底管；6-沉积管；7-真空泵；8-外接腔体；9-带孔隔离单元；10-密封盖；11-大肚式结构。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的实施例提供一种真空泵入口端管道，参照图1和图3所示，包括：一非水平设置的进气管1、一非水平设置的出气管2和至少一非水平设置的中间管3；
进气管1的下端与中间管3的下端通过底管5连通，中间管3的上端与出气管2的上端通过顶管4连通。
进气管1的上端与外接腔体8连接。
出气管2的下端与真空泵7连接。
本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道，通过将真空泵的入口端管道采用弯管式走向设计，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。
进一步，参照图2所示，本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道，还包括：
真空泵入口端管道具有至少两个中间管3；
具体的，参照图4所示，以中间管为三个且第一个底管为沉积管为例进行说明。
中间管3与中间管3之间通过至少一个底管5或至少一个顶管4连通。
具体的，在本实用新型中优选的中间管的数量为奇数个。
其中，至少一个底管5为沉积管6。
与沉积管6腔体中轴线垂直的截面的截面积大于与进气管1腔体中轴线垂直的截面的面积，即沉积管为大肚式结构。
沉积管6底部设置开口，开口处设置有可以开启的密封盖10。
沉积管6底部下端开口与干燥装置连通，干燥装置内部设有干燥剂，干燥装置底部设置有可以开启的密封盖10。
干燥装置与沉积管6底部连通处设置有带孔隔离单元9。其中，该带孔隔离单元9为金属网。
具体的，金属网在本实用新型的实施例中优选铁丝网，当然并不只限于是铁丝网。
进气管1与外接腔体8用法兰连接；出气管2与真空泵7用法兰连接。
出气管2的长度大于中间管3的长度，且中间管3的长度大于进气管1的长度。
具体的，中间管3的长度大于两倍的进气管1的长度。
其中，在实际的连接装置中，出气管的长度大于中间管的长度且中间管的长度大于两倍的进气管的长度，经过测量实验，这对于防止副产物随抽真空过程进入真空泵是最优的长度设计。
具体的，该真空泵入口端管道的进气管、中间管和出气管可以是保证真空条件的钢管或金属波纹管。其中，底管和顶管的垂直距离应尽量大。其中，管道各个接口处均由O型密封圈连接，且外端通过法兰固定。
对于像液晶行业干法刻蚀工艺会产生副产物，在运用真空系统的工序时，副产物会伴随抽真空系统的过程进入管道，一部分副产物会附着在管道上呈淤泥状或块状，一部分副产物会直接进入泵体，对于现有的干泵入口端的管道设计为竖直走向，那些附着在管道上的副产物在重力作用及振动下会直接进入干泵内部。而采用本实用新型提供的真空泵入口端管道，当块状或淤泥状副产物进入弯管后会沉积在弯管的底部，由于中间管的长度较长，能够有效的防止副产物随抽真空过程进入出气管进而进入干泵。而且，因为沉积管为大肚式结构，保证了副产物堆积不会造成管道堵塞，从而保证管路畅通。同时，由于沉积管底部下端开口与干燥装置连通，干燥装置内部设有干燥剂，可以对副产物进行干燥。干燥装置底部设置的可以开启的密封盖，通过设备停机维护，可以定期对该段弯管进行拆卸清理，可以有效的清理堆积在管道中的副产物和吸收了水分的干燥剂，从而对真空泵起到保护作用。
当然，该真空泵入口端管道不只是应用于液晶行业干法刻蚀工艺，对于具有类似制造工艺，会产生副产物并需要真空环境的生产工艺都适用。
本实用新型的实施例提供的真空泵入口端管道，通过将真空泵的入口端管道采用弯管式走向设计，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。进而，可以延长真空泵的使用寿命。
本实用新型的实施例提供一种真空泵组件，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中：
真空泵入口端管道为上述实施例中的真空泵入口端管道。
本实用新型的实施例提供的真空泵组件，通过将真空泵的入口端管道采用弯管式走向设计，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的设备停产的情况发生。进而，可以延长真空泵的使用寿命。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (11)
1.一种真空泵入口端管道，其特征在于，包括：一非水平设置的进气管、一非水平设置的出气管和至少一非水平设置的中间管；
所述进气管的下端与所述中间管的下端通过底管连通，所述中间管的上端与所述出气管的上端通过顶管连通；
所述进气管的上端与外接腔体连接；
所述出气管的下端与真空泵连接。
2.根据权利要求1所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述真空泵入口端管道具有至少两个所述中间管；
所述中间管与中间管之间通过至少一个所述底管或至少一个所述顶管连通。
3.根据权利要求1或2所述的真空泵入口端管道，其特征在于，
至少一个所述底管为沉积管。
4.根据权利要求3所述的真空泵入口端管道，其特征在于，
所述与沉积管腔体中轴线垂直的截面的截面积大于与所述进气管腔体中轴线垂直的截面的面积。
5.根据权利要求3所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述沉积管底部设置开口，所述开口处设置有可以开启的密封盖。
6.根据权利要求5所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述沉积管底部下端开口与干燥装置连通，所述干燥装置内部设有干燥剂，所述干燥装置底部设置有可以开启的密封盖。
7.根据权利要求6所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述干燥装置与所述沉积管底部连通处设置有带孔隔离单元。
8.根据权利要求7所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述带孔隔离单元为金属网。
9.根据权利要求1所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述进气管与所述外接腔体用法兰连接；
所述出气管与所述真空泵用法兰连接。
10.根据权利要求1/ 2 / 4～9任一项所述的真空泵入口端管道，其特征在于，所述出气管的长度大于所述中间管的长度，且所述中间管的长度大于所述进气管的长度。
11.一种真空泵组件，其特征在于，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中：
所述真空泵入口端管道为权利要求1～10中任一项所述的真空泵入 口端管道。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320078971 CN203082378U (zh) | 2013-02-20 | 2013-02-20 | 一种真空泵入口端管道及真空泵组件 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201320078971 CN203082378U (zh) | 2013-02-20 | 2013-02-20 | 一种真空泵入口端管道及真空泵组件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203082378U true CN203082378U (zh) | 2013-07-24 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN 201320078971 Expired - Lifetime CN203082378U (zh) | 2013-02-20 | 2013-02-20 | 一种真空泵入口端管道及真空泵组件 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN203082378U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104863857A (zh) * | 2015-04-15 | 2015-08-26 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种抽气泵的抽气系统及抽气泵 |
| CN109869314A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-06-11 | 上海华力微电子有限公司 | 一种用于真空泵的前级管道、真空系统及半导体制造设备 |
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2013
- 2013-02-20 CN CN 201320078971 patent/CN203082378U/zh not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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