CN108036191A - 一种抽气装置及干刻设备 - Google Patents

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张亚飞
李俊峰
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Abstract

本发明实施例提供了一种抽气装置及干刻设备，解决了在干刻的过程中，干刻设备的抽气筒内壁上附着沉淀层，以及由于气流回扬，导致抽气筒内的粉尘回扬，造成产品表面粉尘的残留量较高的问题。包括：抽气筒；以及黏附内衬层，设置在所述抽气筒的内壁表面。

Description

一种抽气装置及干刻设备
技术领域
本发明涉及一种抽气装置及干刻设备。
背景技术
刻蚀是利用化学或物理方法有选择性地从基材表面去除不需要的材料的过程。从工艺上区分，刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀。前者的主要特点是各向同性刻蚀；后者是利用等离子体来进行各向异性刻蚀，可以严格控制纵向和横向刻蚀。
在进行刻蚀制程时，需要使用抽气筒将刻蚀产生的颗粒及时抽走，以避免这些颗粒不良地影响产品的良率。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供了一种抽气装置及干刻设备，解决了在干刻的过程中，干刻设备的抽气筒内壁上附着沉淀层，以及由于气流回扬，导致抽气筒内的粉尘回扬，造成产品表面粉尘的残留量较高的问题。
本发明一实施例提供的一种抽气装置及干刻设备，包括：
抽气筒；以及
黏附内衬层，设置在所述抽气筒的内壁表面。
其中，所述黏附内衬层的表面经过粗糙度处理。
其中，所述黏附内衬层表面经过所述粗糙度处理形成的粗糙度为2um-5um。
其中，所述黏附内衬层的表面在经过所述粗糙度处理之前经过阳极氧化处理。
其中，所述黏附内衬层表面经过所述阳极氧化处理形成的阳极氧化层的厚度为10um-20um。
其中，所述黏附内衬层包括第一圆弧结构、第二圆弧结构以及用于连接第一圆弧结构和第二圆弧结构的连接件。
其中，所述连接件采用铁氟龙材质制成。
其中，所述黏附内衬层采用塑性材料制成。
其中，所述黏附内衬层采用铝材质。
其中，包括上述任一的抽气装置。
本发明实施例提供的一种抽气装置和干刻设备，通过设置和抽气筒紧密贴合在一起的黏附内衬层，从而减少了粉尘颗粒和附着物和抽气筒内壁表面的接触，保证了抽气筒的洁净。并且由于黏附内衬层具有黏附性能，能够将大量的粉尘颗粒和附着物黏附在黏附内衬层上。此外，黏附内衬层能够从抽气筒内分离取出，进行单独清洗或更换，从而有效的解决了抽气筒内壁难以清洁的问题，并且成本较低。
附图说明
图1所示为本发明一实施例提供的黏附内衬层中第一圆弧结构的示意图。
图2所示为本发明一实施例提供的黏附内衬层中第二圆弧结构的示意图。
图3所示为本发明一实施例提供的黏附内衬层中两个圆弧结构示意图。
图4所示为本发明一实施例提供的黏附内衬层的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明一实施例提供一种抽气装置，该抽气装置包括抽气筒，用于抽送刻蚀完成后的反应产物，如：气体、粉尘颗粒和一些黏附物。
应当理解，该抽气装置可以用于干刻设备或其他工艺设备，本发明对抽气装置应用的具体设备不做限定。
该抽气装置还包括处于抽气筒的内壁表面上的黏附内衬层。该黏附内衬层紧贴在抽气筒内壁表面，使得黏附内衬层和抽气筒内壁之间没有空隙，一些粉尘颗粒或附着物无法进入抽气筒内壁。
在这种情况下，应当理解，黏附内衬层可通过紧配合方式设置在抽气筒内壁上，也可采用将黏附内衬层的端部与抽气筒进行螺钉连接的固定方式等，但本发明专利对具体的固定方式不作限定。
由于刻蚀过程中会产生大量的有害粉尘颗粒或附着物，这些粉尘颗粒或附着物会黏附在抽气筒内，当累积到一定厚度时就会脱落，从而污染腔室，影响产品良率。本发明中的黏附内衬层由于紧贴抽气筒内壁表面，能够有效阻止粉尘颗粒和黏附物与抽气筒的接触，减少了粉尘颗粒和黏附物附着在抽气筒内壁，并且由于该黏附内衬层具有很好的黏附性，能够将粉尘颗粒和黏附物附着在黏附内衬层上，防止与腔室中产品的接触，从而减少了污染，提高了产品良率。由于该黏附内衬层能够从抽气筒内分离取出，进行单独清洗或更换，从而有效的解决了抽气筒内壁难以清洁的问题，并且成本较低。
本发明一实施例中，将黏附内衬层表面进行粗糙度处理，使得该黏附内衬层具有较大的粗糙度，并将粗糙度控制在2um-5um。现有技术中，由于刻蚀过程中产生的粉尘颗粒和沉淀物理论上应由真空抽气完全抽走，但是由于刻蚀设备的形状设计和不同位置的温度不同，会造成一些死角位置容易形成粉尘颗粒和沉淀物的堆积，随着生产过程的进行，粉尘颗粒和沉淀物越堆积越厚，达到一定程度之后就会裂开并脱落。随着刻蚀完成后，刻蚀腔阀门的打开，会在腔体内产生气流，将脱落的粉尘颗粒和沉淀物扬起，落在产品上面，从而造成刻蚀残留，影响产品良率。本方案由于增加了黏附内衬层，并在对黏附内衬层的表面进行粗糙度处理，更易于黏附抽气筒内的粉尘颗粒和沉淀物，并且可以降低粉尘颗粒和沉淀物堆积后的内应力，延长了脱落时间，有效的解决了粉尘颗粒和沉淀物堆积过厚易脱落造成的刻蚀残留问题，提升产品良率。增加黏附内衬层也可以方便拆装，易于清洗。
应当理解，黏附内衬层表面经过粗糙度处理后的粗糙度为10um-20um，但本发明对具体的黏附内衬层表面的粗糙度不作限定。
本发明一实施例中，黏附内衬层的表面经过阳极氧化处理。在黏附内衬层的表面形成一层氧化膜，提高了黏附内衬层表面的耐腐蚀性、增强耐磨性及硬度，从而保护了黏附内衬层的表面，延长了使用寿命。
应当理解，黏附内衬层表面经过阳极氧化处理形成的阳极氧化层的厚度为10um-20um，但本发明对具体的阳极氧化层的厚度不做限定。
本发明一实施例中，该抽气筒的形状并不规则，在一个角上存在突出的角阻隔，此时黏附内衬层若呈一体的圆形无法装配进入抽气筒。为了解决黏附内衬层与抽气筒之间的装配问题，如图1、图2、图3和图4所示，黏附内衬层可设计为包括第一圆弧结构1、第二圆弧结构2以及用于连接第一圆弧结构和第二圆弧结构2的连接件3。其中，第一圆弧结构1和第二圆弧结构2均包括与抽气筒内壁贴合的圆弧形状以及沿圆弧两边延伸的两个延伸部，第一圆弧结构1的两个延伸部分别通过连接件3与第二圆弧结构2的两个延伸部连接，以形成一个与抽气筒内壁完全吻合的环形。将该黏附内衬层设置于该抽气筒内，能够保证黏附内衬层能够和抽气筒的内壁表面紧紧贴合。
通过采用第一圆弧结构1和第二圆弧结构2相结合的方式，解决了由于抽气筒角阻隔的存在黏附内衬层无法进入抽气筒内的问题，并且能够保证该黏附内衬层和抽气筒内壁表面紧紧贴合，并且这种分体结构在更换时易于在抽气筒内进行安装和拆卸。
应当理解，根据抽气筒形状的不同，黏附内衬层也可采用其他的结构实现，具体的实现结构可根据抽气筒的形状而调整，本发明对黏附内衬层的具体结构不做限定。
连接件3可采用铁氟龙(聚四氟乙烯)制成。铁氟龙具有抗酸抗碱抗各种有机溶剂的特点，并且耐高温，几乎不溶于所有的溶剂，能够保证在生产过程中不被腐蚀，不易变形或损坏，因此不会污染生产腔室，且具有较长的使用寿命。
应当理解，黏附内衬层的第一圆弧结构1和第二圆弧结构2也可以通过其他连接方式进行连接固定，本发明黏附内衬层的第一圆弧结构1和第二圆弧结构2的具体固定方法不做限定。
本发明一实施例中，黏附内衬层采用塑形材料制成。该塑形材料为在外力作用下，能够产生较为显著的变形而不被破坏的材料，具有很好的韧性和可塑性，工艺性能良好。由于抽气筒的形状为不规则圆形，采用塑形材料能够确保黏附内衬层的第一圆弧结构1和第二圆弧结构2更好的贴合于抽气筒内，使得黏附内衬层和抽气筒的内壁表面没有空隙，减少了粉尘颗粒或附着物进入抽气筒内壁和黏附内衬层之间的缝隙，保证了抽气筒的洁净，并且方便安装。
本发明一实施例中，制成黏附内衬层的塑形材料可采用铝材质。例如在干法刻蚀工艺中最常采用的为金属铝刻蚀，采用铝材质，能够减少引入其它的金属杂质。采用铝材质还能确保易于在黏附内衬层表面进行阳极氧化处理。
应当理解，制成黏附内衬层的塑形材料也可以是铜或钢等其他材料，但本发明对塑形材料的具体材质不做限定。
本发明一实施例还提供一种干刻设备，包括上述任一抽气装置。由于抽气装置中设置有和抽气筒紧密贴合在一起的黏附内衬层，从而减少了粉尘颗粒和附着物和抽气筒内壁表面的接触，保证了抽气筒的洁净。并且由于黏附内衬层具有较强的黏附性能，能够将大量的粉尘颗粒和附着物黏附在黏附内衬层上。此外，黏附内衬层能够从抽气筒内分离取出，进行单独清洗或更换，从而有效的解决了抽气筒内壁难以清洁的问题，并且成本较低。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种抽气装置，其特征在于，所述抽气装置包括：
抽气筒；以及
黏附内衬层，设置在所述抽气筒的内壁表面。
2.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层的表面经过粗糙度处理。
3.根据权利要求2所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层表面经过所述粗糙度处理形成的粗糙度为2um-5um。
4.根据权利要求2所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层的表面在经过所述粗糙度处理之前经过阳极氧化处理。
5.根据权利要求4所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层表面经过所述阳极氧化处理形成的阳极氧化层的厚度为10um-20um。
6.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层包括第一圆弧结构、第二圆弧结构以及用于连接第一圆弧结构和第二圆弧结构的连接件。
7.根据权利要求6所述的抽气装置，其特征在于，所述连接件采用铁氟龙材质制成。
8.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层采用塑性材料制成。
9.根据权利要求8所述的抽气装置，其特征在于，所述黏附内衬层采用铝材质。
10.一种干刻设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一所述的抽气装置。
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