KR101587441B1 - 스테인리스 파이프와 수지 파이프의 접착을 위한 후랜지, 수지 접착 방법 및 이중구조 파이프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프(이하 ‘수지 파이프’라 한다)를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 수지 파이프는 후랜지 보다 다소 길게 돌출되게 제작하여 고온으로 수지를 녹여서 후랜지 면에 부착 고정할 때, 사용하면서 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하기 위하여 수지가 부착되는 후랜지의 가장자리에 부착된 수지가 가공 후에도 들뜨지 아니하도록 하면서 강산수의 유입을 방지하는 제1 홈과, 강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 하는 제2 홈과, 수지를 가열하여 성형 부착 시 접착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주는 제3 홈을 구비한 후랜지와 이와 같이 제작된 후랜지와 수지를 성형 부착하여 견고하게 수지가 후랜지에 부착하는 방법에 관한 것이다.

Description

스테인리스 파이프와 수지 파이프의 접착을 위한 후랜지, 수지 접착 방법 및 이중구조 파이프{Flange for adhesion of stainless pipe and resin pipe and its manufacturing method}

본 발명은 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프(이하 ‘수지 파이프’라 한다)를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 수지 파이프는 후랜지 보다 다소 길게 돌출되게 제작하여 고온으로 수지를 녹여서 후랜지 면에 압착시켜 제작되며, 사용하면서 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하기 위하여 수지가 부착되는 후랜지의 가장자리에 가공 후에도 부착된 수지가 들뜨지 않도록 하면서 강산수의 유입을 방지하는 제1 홈과, 강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 하는 제2 홈과, 수지를 가열하여 성형 부착 시 접착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주는 제3 홈을 구비한 후랜지와 이와 같이 제작된 후랜지와 수지를 성형 부착하여 견고하게 수지가 후랜지에 부착하는 방법에 관한 것이다.

주지된 바와 같이 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정에서는 클린룸(Clean Room) 구간 내의 공정 챔버에 다양한 종류의 반응 가스를 일정한 품질 상태로 안정적이고 안전하게 공급하기 위한 각종 가스공급 설비가 필수적으로 설치된다.

통상 반도체 및 LCD 제조공정의 가스공급 설비를 통하여 공급되는 가스는 소위 "벌크 가스"라고 불리우는 일반 가스와, "프로세스 가스"라고 불리는 특수재료 가스 등이 있다.

예를 들면, 벌크 가스는 드라이 에어, 질소, 산소, 수소, 아르곤, 헬륨 등과 같이 비교적 대량으로 소비되는 일반 가스가 주종을 이루고 있으며, 프로세스 가스는 모노 실란, 포스핀, 삼불화질소, 암모니아 등과 같은 특수재료 가스가 주종을 이루고 있다.

특히, 프로세스 가스의 경우 미반응 가스와 부성(副成) 가스를 배출하게 되므로 유독성과 부식성 및 가연성 등이 매우 강하여 진공펌프 등과 같은 제해(除害)장치나 배기가스 처리장치(스크러버; scrubber)를 통해 무해화(無害化) 상태로 정화시켜 대기로 방출해야 한다.

따라서, 반도체 및 LCD 제조공정의 가스공급 설비는 프로세스 장치에까지 이르는 동안 가스의 고순도를 유지하면서 오염이나 누출을 방지할 수 있도록 충분한 청정도와 내식성 및 강도를 지닌 특수 배관 설비를 필요로 한다. 이러한 배관 설비는 품질, 안정성, 유지보수의 용이성, 경제성 등을 고려하여 선정하게 되는데, 통상 배기가스의 독성과 부식성 등으로 인하여 내식성이 뛰어난 스테인리스 파이프가 주로 이용되고 있다.

그런데, 반도체 및 LCD 제조공정의 프로세스 배기가스에는 반응생성물이나 더스트 등의 미립자가 다량 함유되어 있어서 배기가스가 진공펌프 또는 배기가스 처리장치로 이동되는 과정에서 외부 온도 변화 등에 의해 빠르게 파우더화되면서 배관의 내부에 침적되거나 고착된다. 이러한 현상을 최대한 억제시키기 위하여 특히 일반 가스에 비해 독성과 부식성 등이 강한 프로세스 가스의 배관은 스테인리스 파이프의 표면 보호를 위해 내주면에 예를 들어 테프론(Teflon)이라고 불리우는 불소수지(PTFE ; Poly Tetra Fluoro Ethylene)층과 같은 특수 코팅층을 형성하여 사용하는 것이 일반적이다. 그러나, 스테인리스 파이프의 내주면에 테프론(Teflon) 코팅층을 형성하기 위한 작업 시에 코팅 작업의 용이성과 효율성이 매우 떨어지므로 균일한 두께의 양호한 코팅층을 형성하기가 어려운 문제점이 있다.

따라서, 종래의 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관용 스테인리스 파이프는 중심부의 내주면에 표면보호용 코팅층이 불균일하게 형성되어 그 부위가 쉽게 부식되면서 파우더 침적 현상이 촉진됨으로써 전체 배관설비의 수명을 단축시키는 문제점이 있다.

또한, 스테인리스 파이프의 내주면에 형성된 테프론 코팅층은 육안 관찰이 어려운 미세 균열이 발생하여 종종 외부 충격에 의해 쉽게 박리되거나 파손되는 취약성을 가지는 단점이 있다.

대한민국 특허등록공보 제10-1320550호에 스테인리스 수지 합체 이중 구조 파이프 및 그 제조방법이 개시되어 있으며, 이 경우에 후랜지 면에 부착된 수지면이 사용 중에 얇아지면 표면에 부착된 수지가 들뜨는 현상이 발생하고, 들뜬 틈으로 불소 및/또는 강산 등의 물질이 주입되어 스테인리스 파이프를 부식시켜 교체시기를 단축하는 결과를 초래하는 문제점이 있다.

본 발명이 해결하려는 과제는 사용하면서 얇아져 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하기 위하여 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 위치한 후랜지의 가장자리(파이프 구멍이 형성된 부분)에 강산수의 유입을 방지하기 위한 제1 홈과, 강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 하기 위해 형성된 제2 홈과, 수지를 가열하여 성형 부착 시 접착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주는 제3 홈을 구비한 후랜지를 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 후랜지의 가장자리(파이프 구멍이 형성된 부분)에 강산수의 유입을 방지하기 위하여 하나 이상의 홈을 형성하고, 수지 파이프를 녹여서 금형을 위치시키고 실린더로 압착하여 수지를 홈사이로 밀어넣어서 부착하는 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 상기 후랜지의 가장자리(파이프 구멍이 형성된 부분)에 강산수의 유입을 방지하기 위하여 하나 이상의 홈을 형성하고, 형성된 홈사이로 녹인 수지를 주입하기 위하여 금형과 실린더를 이용하여 압착하여 제조한 이중구조 파이프를 제공하는데 있다.

본 발명 과제의 해결 수단은 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 수지 파이프는 후랜지 보다 다소 길게 돌출되게 제작하여 고온으로 수지를 녹여서 후랜지 면에 압착시켜 제작하되, 사용하면서 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하면서 강산수의 유입을 방지하기 위하여 제1 돌출부에 의하여 형성되는 제1 홈과, 강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 하기 위한 제2 홈과, 수지를 가열하여 성형 부착 시 접착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주는 제3 홈을 형성하기 위한 기억자형(역기억자형)의 돌출부를 구비한 후랜지를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 과제의 해결 수단은 사용 중에 수지가 후랜지 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하여 강산수의 유입을 방지하기 위하여 후랜지 가장자리에 하나 이상의 홈을 형성하는 단계와, PE 재질의 수지를 195℃ 내지 250℃로 가열하여 녹이는 단계와, 압착하기 위하여 금형을 위치시키는 단계와, 실린더로 금형을 눌러서 압착하는 단계를 포함하는 이중 구조 파이프를 제작하는 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 과제의 해결 수단은 사용하면서 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하면서 강산수의 유입을 방지하기 위하여 구멍이 형성되는 방향의 후랜지 가장자리에 하나 이상의 홈이 형성시켜 본 발명에 따른 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작되는 이중 구조 파이프의 제작방법에 따라 제작된 스테인리스 파이프와 수지 파이프의 이중 구조 파이프를 제공하는데 있다.

본 발명은 사용하면서 얇아진 수지가 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하기 위하여 후랜지의 가장자리에 하나 이상의 홈을 형성하여 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 위치한 후랜지의 가장자리에 강산수의 유입을 방지하고 수지를 가열하여 성형 부착 시 접착된 수지가 후랜지로부터 쉽게 분리되지 않도록 견고하게 잡아주는 유리한 효과가 있다.

또한, 본 발명은 수지 파이프의 후랜지 부분을 녹이고 이를 후랜지에 압착하기 위하여 금형을 위치시키고 실린더로 압착하여 수지를 형성된 홈사이로 밀어넣어서 압착하는 제조 방법을 제공하여 후랜지의 가장자리로 강산수의 유입을 방지하고 후랜지로부터 수지가 분리되지 않는 유리한 작용효과가 없다.

본 발명의 또 다른 효과는 상기 후랜지의 가장자리(파이프 구멍이 형성된 부분)에 강산수의 유입을 방지하기 위하여 하나 이상의 홈을 형성하고, 후랜지 가장자리에 형성된 홈사이로 녹인 수지를 주입하기 위하여 금형과 실린더를 이용하여 압착하여 제조한 이중구조 파이프를 제공하여 내구성과 신뢰성을 가진 이중구조 파이프를 제공하는데 있다.

도 1은 스테인리스 파이프 내부에 위치한 수지 파이프가 견고하게 압착될 수 있도록 하나 이상의 홈이 형성된 후랜지의 가장자리 단면도를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따라 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중구조 파이프에서 하나 이상의 홈이 형성된 후랜지의 가장자리에 수지가 압착된 형상을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따라 제작된 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중구조 파이프의 평면도와 A-A 단면도를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따라 제작된 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중구조 파이프의 일부 사시도를 나타낸 것이다.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 살펴본다.

본 발명은 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 수지 파이프는 후랜지 보다 다소 길게 돌출되게 제작하여 고온으로 수지를 녹여서 후랜지 면에 부착시켜 제작하되, 사용하면서 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하면서 강산수의 유입을 방지하기 위하여 하나 이상의 홈을 형성한 후랜지를 제공하고, 홈이 형성된 후랜지를 이용하여 수지 파이프의 가장자리를 견고하게 이중구조 파이프로 제작하는 방법을 제공하며, 상기 후랜지와 이중구조 파이프 제작하는 방법으로 제작된 이중구조 파이프를 제공하는데 있다. 본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 살펴본다.

<실시 예>

<실시 예1>

본 발명에 따른 구체적인 실시 예1을 도면에 기초하여 살펴본다. 도 1은 스테인리스 파이프 내부에 위치한 수지 파이프가 견고하게 압착될 수 있도록 하나 이상의 홈이 형성된 후랜지의 가장자리 구조를 나타낸 것이다.

도 2는 본 발명에 따라 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중구조 파이프에서 하나 이상의 홈이 형성된 후랜지의 가장자리에 수지가 압착된 형상을 나타낸 것이다.

도 3은 본 발명에 따라 제작된 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중구조 파이프 평면도와 A-A 단면도를 도시한 것이다.

상기 도면에 기초하여 본 발명의 구성들을 구체적으로 살펴본다.

종래의 스테인리스 수지 합체 이중 구조 파이프 및 그 제조방법에 의하여 제조된 이중 파이프의 후랜지 면에 부착된 수지면이 사용 중에 얇아지면 표면에 부착된 수지가 들뜨는 현상이 발생하고, 들뜬 틈으로 불소 및/또는 강산 등의 물질이 주입되어 스테인리스 파이프를 부식시키는 문제점이 있다.

본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 설치된 후랜지에 하나 이상의 홈을 형성하여 부착된 수지가 들뜨는 현상을 방지하면서 강산수의 유입을 방지하여 스테인리스 파이프의 부식을 방지하는데 있다.

특수재료 가스에는 불소를 포함하는 강산이 포함되어 있으므로 스테인리스 파이프의 부식을 방지하기 위하여 PE 재질의 수지 파이프를 스테인리스 파이프의 내측에 삽입 결합하여 이중구조 파이프를 제작한다.

스테인리스 파이프의 양측 가장자리에는 파이프와 파이프를 볼트와 너트로 서로 견고하게 연결할 수 있도록 후랜지(도1의 11)가 설치되어 있다.

후랜지에는 볼트와 너트로 서로 견고하게 연결할 수 있도록 볼트 체결구(도1의 12)가 형성되어 있다.

수지 파이프(도1의 21)는 스테인리스 파이프(도1의 13)의 양측 가장자리에 위치하는 후랜지(도1의 11) 보다 다소 길게 돌출되게 제작하여 고온으로 수지를 녹여서 후랜지(도1의 11) 외부면에 압착시켜 이중 파이프를 제작하는 것이 바람직하다.

이와 같이 제작할 경우에 특수가스와 스테인리스 파이프(도1의 13)가 직접 맞닿아 스테인리스 파이프(도1의 13)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

그러나 사용 중에 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상이 발생하여 불소 및 강산수가 스테인리스 파이프(도1의 13)와 수지 파이프(도1의 21)사이로 유입되어 스테인리스 파이프(도1의 13)가 손상되는 경우가 발생한다.

본 발명은 후랜지(도1의 11)에 부착되는 수지가 견고하게 오래 동안 부착되어 이중구조 파이프의 내구성 및 신뢰성을 높이는데 있다.

본 발명에 따른 후랜지(도1의 11)의 가스통로측 가장자리에는 들뜨는 현상을 방지하여 강산수의 유입을 막기 위하여 제1 돌출부(도1의 14)에 의하여 형성되는 제1 홈(도1의 16)이 형성되어 있다.

강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 하는 제2 홈(도1의 17)이 형성되며, 제2 홈(도1의 17)은 도 1에서 제1 홈(도1의 16)을 형성한 라인을 따라 우측으로 연장되어 기억자로 꺾어서 아래로 연장되어 제2 돌출부(도1의 15)사이에 형성된다.

제2 돌출부(도1의 15)는 도 1에서와 같이 제2 홈(도1의 17)의 우측에 수직으로 설정된 높이로 형성되며, 제2 돌출부(도1의 15)의 우측은 스테인리스 파이프(도1의 13)의 내측 라인(스테인리스 파이프의 내경)을 따라 상부로 설정된 높이로 형성된다.

상기 제2 돌출부(도1의 15)에는 스테인리스 파이프(도1의 13)의 내측 라인(스테인리스 파이프의 내경)을 따라 상부로 디귿자형 제3 홈(도1의 18)을 형성하는 것이 바람직하다.

상기 제2 돌출부(도1의 15)에 형성되는 디귿자형 제3 홈(도1의 18)은 생략할 수도 있다.

제3 홈이 형성된 제2 돌출부(도1의 15)는 제2 홈(도1의 17)과 제3 홈(도1의 18)을 형성하는 기술적 구성으로 압착된 수지를 좌우 및 상하로 분리 또는 이탈하지 않도록 견고하게 잡아주는 기능을 한다.

좌우이동 방지는 제2 홈(도1의 17)과 제2 돌출부(도1의 15)에 의하여 이루어지고, 상하이동 방지는 제2 돌출부(도1의 15)와 제3 홈(도1의 18)에 의하여 이루어진다.

상기 형성된 제1 홈 내지 제3 홈 및 제1 돌출부 및 제2 돌출부는 그 기능과 압착 후 견고성을 고려하여 하나 이상 선택적으로 형성할 수도 있다.

상기 제1 홈 내지 제3 홈, 제1 돌출부 및 제2 돌출부는 모두 직각을 이루도록 형성하는 것이 바람직하나, 이를 변형하여 형성할 수 있다.

명세서에 기재된 상하 및 좌우는 도면을 기준으로 상세한 설명을 위하여 기재한 것이며, 기술적 구성의 한정과는 무관하다.

제2 돌출부(도1의 15)의 높이는 후랜지 상부의 높이보다 낮게 형성하는 것이 바람직하다.

상기 제1 홈 내지 제3 홈, 제1 돌출부 및 제2 돌출부는 본 발명에 따른 바람직한 실시 예의 하나일 뿐이며, 후랜지의 우측 가장자리에 수지를 후랜지에 견고하게 압착하기 위하여 하나의 돌출부로 다수의 홈을 형성하거나 다수의 돌출부로 다수의 홈을 형성하는 경우 모두 본 발명의 보호범위에 속한다.

즉, 도 1에서와 같이 후랜지의 우측 가장자리에 하나 이상의 홈 및/또는 하나 이상의 돌출부를 형성하여 수지를 견고하게 압착하는 기술적 구성은 본 발명의 보호 범위에 속한다.

<실시 예2>

실시 예2는 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중 구조 파이프를 제작하는 방법이며, 이에 대하여 살펴본다.

본 발명의 실시 예2는 사용 중에 수지가 후랜지 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하여 강산수의 유입을 방지하기 위하여 후랜지 가장자리에 실시 예1에서 설명한 기술적 구성으로 하나 이상의 홈을 형성하는 단계를 포함한다.

스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중 구조 파이프를 제작할 때 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 본 발명에 따라 제작된 후랜지가 고정 설치되고, PE 재질의 수지 파이프는 스테인리스 파이프의 양측에 설치된 후랜지보다 설정된 길이만큼 길게 형성한다.

이는 길게 형성된 PE 재질의 수지 파이프를 고온(195℃ 내지 250℃)으로 가열하여 녹여서 후랜지의 상부와 하부에 압착하기 위한 것이다.

실시 예2에 따른 이중 구조 파이프를 제작하는 방법은 길게 형성된 PE 재질의 수지 파이프를 고온(195℃ 내지 250℃)으로 가열하여 녹이는 단계를 포함한다.

다음은 녹은 수지를 도 2에서와 같이 실린더로 압착하여 하나 이상 형성된 홈사이로 수지를 압착 주입하기 위하여 금형을 위치시키는 단계를 포함한다.

다음은 실린더로 금형을 눌러서 압착하는 단계를 포함한다.

다음은 금형을 제거하는 단계를 포함한다.

상기 금형은 수지 파이프의 구멍에 삽입되도록 제작되어 고온으로 녹인 수지를 밀어서 후랜지에 밀착시켰을 때 최종적으로 도 2와 같이 녹은 수지가 후랜지 가장자리에 형성된 홈 속으로 들어가도록 실린더로 밀어서 압착시킬 수 있도록 제작되어 있다.

금형으로 압착 시 후랜지 상에는 설정된 두께의 수지 층이 형성되며, 압착 과정에서 금형 외부로 새어나와 후랜지에 부착된 수지를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.

다음은 면 가공하는 단계를 더 포함할 수 있다.

<실시 예 3>

실시 예3은 실시 예1에서 제작된 후랜지를 이용하고 실시 예 2에 의한 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중 구조 파이프를 제작하는 방법에 의하여 제작된 이중 구조 파이프이다.

실시 예3은 실시 예1에서 기술된 모든 기술적 구성으로 제작된 후랜지와 실시 예2에서 기술된 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중 구조 파이프를 제작하는 방법을 이용하여 제작된 이중 구조 파이프 역시 본 발명의 보호범위에 속한다.

본 발명은 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프(이하 ‘수지 파이프’라 한다)를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 수지 파이프는 후랜지보다 다소 길게 돌출되게 제작하여 고온으로 수지를 녹여서 후랜지 면에 부착 고정할 때, 사용하면서 얇아지는 수지면이 표면에 부착되지 아니하고 들뜨는 현상을 방지하기 위하여 수지가 부착되는 후랜지의 가장자리에 가공 후에도 부착된 수지가 들뜨지 아니하도록 하면서 강산수의 유입을 방지하는 제1 홈과, 강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 하는 제2 홈과, 수지를 가열하여 성형 부착 시 접착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주는 제3 홈을 구비한 후랜지와 제작된 후랜지와 수지를 성형 부착하여 견고하게 수지를 후랜지에 부착하는 방법을 제공하여 들뜨는 현상을 방지하여 강산수의 유입을 방지할 수 있으므로 산업상 이용가능성이 매우 높다.

11; 후랜지 12; 볼트 체결구
13; 스테인리스 파이프 14; 제1 돌출부
15; 제2 돌출부 16; 제1 홈
17; 제2 홈 18; 제3 홈
19; 가스이동통로
21; 수지 파이프 22; 수지

Claims (9)

1. 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 스테인리스 파이프 양측에 설치 고정되는 후랜지에 있어서,
   스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 후랜지의 가스이동 통로 측 가장자리에 수지 파이프의 가장자리를 가열하여 후랜지에 성형 압착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주도록 하나 이상의 홈과 돌출부를 형성하되,
   상기 하나 이상의 홈과 돌출부는 수지가 후랜지로부터 들뜨는 현상을 방지하여 강산수의 유입을 막기 위하여 후랜지의 가장자리에 제1돌출부가 형성되고, 제1 돌출부(도1의 14)의 형성에 의하여 후랜지 내측으로 제1 홈(도1의 16)이 형성되며,
   강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 상기 제1홈을 형성한 라인을 따라 우측으로 연장되어 기억자로 꺾어서 아래로 연장되어 제2 돌출부(도1의 15)사이에 제2 홈(도1의 17)이 형성되고,
   제2 홈(도1의 17)의 우측에 수직으로 설정된 높이로 형성되며, 우측은 스테인리스 파이프(도1의 13)의 내측 라인(스테인리스 파이프의 내경)을 따라 상부로 설정된 높이로 제2돌출부(도1의 15)가 형성되며,
   상기 제2 돌출부(도1의 15)에는 스테인리스 파이프(도1의 13)의 내측 라인을 따라 상부 일측에 형성된 디귿자형 제3 홈(도1의 18)이 형성되고,
   후랜지의 가스이동 통로 측 가장자리에 수지 파이프의 가장자리를 가열하여 금형을 이용하여 상기 형성된 제1 돌출부(도1의 14), 제1 홈(도1의 16), 제2 홈(도1의 17), 제2 돌출부(도1의 15) 및 디귿자형 제3 홈(도1의 18)을 덮어서 성형 압착시킨 후랜지.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 특수재료 가스를 공급하기 위하여 스테인리스 파이프 내부에 수지 재질의 파이프를 삽입한 이중 구조의 파이프에서 수지 파이프에서 수지를 녹여서 견고하게 후랜지에 접착하는 방법에 있어서,
   스테인리스 파이프의 양측 가장자리에 후랜지가 각각 설치되고, 후랜지의 가스이동 통로 측 가장자리에 수지 파이프의 가장자리를 가열하여 후랜지에 성형 압착된 수지가 후랜지로부터 분리되지 않도록 견고하게 잡아주도록 하나 이상의 홈과 돌출부를 형성하되,
   상기 하나 이상의 홈과 돌출부는 수지가 후랜지로부터 들뜨는 현상을 방지하여 강산수의 유입을 막기 위하여 후랜지의 가장자리에 제1돌출부가 형성되고, 제1 돌출부(도1의 14)의 형성에 의하여 후랜지 내측으로 제1 홈(도1의 16)을 형성하는 단계;
   강산수가 스테인리스 파이프와 수지 파이프사이로 유입되지 않도록 상기 제1홈을 형성한 라인을 따라 우측으로 연장되어 기억자로 꺾어서 아래로 연장되어 제2 돌출부(도1의 15)사이에 제2 홈(도1의 17)을 형성하는 단계;
   제2 홈(도1의 17)의 우측에 수직으로 설정된 높이로 형성되며, 우측은 스테인리스 파이프(도1의 13)의 내측 라인(스테인리스 파이프의 내경)을 따라 상부로 설정된 높이로 제2돌출부(도1의 15)를 형성하는 단계;
   상기 제2 돌출부(도1의 15)에는 스테인리스 파이프(도1의 13)의 내측 라인을 따라 상부 일측에 형성된 디귿자형 제3 홈(도1의 18)을 형성하는 단계; 및
   후랜지의 가스이동 통로 측 가장자리에 수지 파이프의 가장자리를 가열하여 금형을 이용하여 상기 형성된 제1 돌출부(도1의 14), 제1 홈(도1의 16), 제2 홈(도1의 17), 제2 돌출부(도1의 15) 및 디귿자형 제3 홈(도1의 18)을 덮어서 성형 압착시켜 수지를 후랜지에 접착하는 단계를 포함하는 스테인리스 파이프와 수지 파이프로 제작된 이중 구조 파이프를 제작하는 방법.
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