EP4284961A1 - Verfahren und vorrichtung zur aufbringung einer metallischen beschichtung auf eine oberfläche - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur aufbringung einer metallischen beschichtung auf eine oberfläche

Info

Publication number
EP4284961A1
EP4284961A1 EP21703850.4A EP21703850A EP4284961A1 EP 4284961 A1 EP4284961 A1 EP 4284961A1 EP 21703850 A EP21703850 A EP 21703850A EP 4284961 A1 EP4284961 A1 EP 4284961A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ink
print head
nozzle
metallic coating
roughening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP21703850.4A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Randolf Hoffmann
Manfred Hellmich
Wolfgang PILSTER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Midnex Ag
Original Assignee
Midnex Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Midnex Ag filed Critical Midnex Ag
Publication of EP4284961A1 publication Critical patent/EP4284961A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/04Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/30Inkjet printing inks
    • C09D11/38Inkjet printing inks characterised by non-macromolecular additives other than solvents, pigments or dyes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/52Electrically conductive inks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/06Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/08Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of metallic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/14Decomposition by irradiation, e.g. photolysis, particle radiation or by mixed irradiation sources
    • C23C18/143Radiation by light, e.g. photolysis or pyrolysis
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/14Decomposition by irradiation, e.g. photolysis, particle radiation or by mixed irradiation sources
    • C23C18/145Radiation by charged particles, e.g. electron beams or ion irradiation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/2006Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30
    • C23C18/2026Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30 by radiant energy
    • C23C18/2033Heat
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/2006Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30
    • C23C18/2026Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30 by radiant energy
    • C23C18/204Radiation, e.g. UV, laser
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/22Roughening, e.g. by etching

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for applying a metallic coating to a surface of a substrate, such as a plastic or ceramic substrate, and an ink for use in such a method or such a device, where the application can be used in particular to produce conductor tracks .
  • LDS technology laser direct structuring
  • plastics that are not immediately suitable for the galvanic deposition of metals are made coatable using a primer.
  • An additive is added to the plastic that is used to manufacture the desired components in the injection molding process. This additive can be, for example, copper-containing minerals or a palladium-based compound.
  • a laser is used to damage the surface of the component in a targeted manner where the metallic deposition is to be carried out.
  • DE 102008027461 B4 discloses a device and a method for microstructuring a plastic film by means of a roller using a plasma. Microstructured indentations are created on the surface, which are then wet-chemically metallized to produce conductor tracks.
  • EP 2674223 B1 discloses a device for producing conductor tracks using a powder mixture.
  • a plasma is used to melt a matrix material in which a substance that is intended to adhere to a substrate is embedded.
  • EP 2711441 B1 also discloses a method for coating a substrate by means of a plasma. Here, too, a powder is used as the starting material.
  • DE 19958473 A1 discloses using a plasma to modify precursor materials and then deposit them on a substrate.
  • the precursor materials can be liquids, in particular a suspension, which can also contain nanoscale metal particles.
  • the precursor materials are fed directly to the plasma jet source.
  • the production of conductor tracks on surfaces is not described.
  • JP 2020004648 A describes a method for generating conductor tracks using an ink which contains copper oxides and which are reduced to copper by plasma treatment in a reducing atmosphere. Furthermore, this process uses oxygen in high concentrations to remove the ink to such an extent that the metal particles remain.
  • CN 107148154 A describes a method for producing conductor tracks on substrates that are pretreated by means of a plasma. An ink containing a catalytic salt is then applied. After the ink has cured, the exposed metal ions are reduced and form the basis for an electroless copper plating in a classic bath, using formaldehyde as the reducing agent.
  • WO 2008077608 A2 discloses a method and a device for spraying on a conductor track using a lance that generates a cold plasma and emits a powder.
  • the invention is based on the object of providing a method of the type mentioned above, by means of which a simplified coating of a surface with a metal is made possible.
  • a method is to be made available in which no additives are required for the substrate, such as a plastic raw material, and which allows a large number of different materials, such as plastics or ceramics, to be metallized.
  • the invention is based on the object of providing a print head for a device for carrying out the method.
  • the invention is based on the object of proposing a substance that can be used in particular in such a method and such a device and in particularly suitable for coating a plastic or ceramic surface with a metal.
  • an ink is applied to a part of the surface to be coated.
  • the application can be done from a nozzle by ejecting the ink towards the surface.
  • the ink can also be applied to the area or surface to be coated, for example, by dipping the substrate into the ink and/or brushing or pipetting the ink onto the substrate.
  • the method according to the invention can also be carried out at several points on the surface to be coated.
  • the ink contains at least one metal salt of an organic acid.
  • the metal cation or, in the case of several salts, the metal cations are selected or provided in such a way that they will form the metallic coating to be applied.
  • the coating can form in the form of metallic particles.
  • a continuous and/or homogeneous coating preferably forms.
  • a further step of the method according to the invention consists in decomposing the ink by supplying it with energy. As a result of the decomposition of the ink, the at least one salt in particular is decomposed, as a result of which the at least one metal forms the metallic coating on the surface.
  • the metal salt of the organic acid decomposes in particular into easily removable decomposition products such as water and carbon dioxide, with metal cations being reduced to an elemental metal which remains on the area to be coated and thus on the surface. Since the decomposition products are easily removable, a simplified application of a metal layer without the need for time-consuming removal of decomposition products.
  • the substrate is a plastic and/or ceramic substrate.
  • the surface to be provided with the metal coating is preferably prepared by roughening the surface at the point to be coated, provided this point is not already rough from the outset. This pre-treatment or the roughness that is already present ensures that the metal coating will adhere to the surface. Sufficient roughness is achieved as soon as the metal coating adheres to the surface.
  • the substrate is not limited to a plastic and/or ceramic substrate and could also comprise a metal, for example.
  • the substrate could be a metal substrate or a cermet (i.e. a composite material made of ceramic materials in a metallic matrix), so that preparation (i.e. roughening or cleaning) of the areas to be coated is not necessary. Roughness is not advantageous for all types of substrates, since other interactions can also lead to sufficient adhesion of the coating to the surface.
  • the term “ink” describes a liquid which contains at least one metal salt. Depending on the metal salt and any solvent that may also be present, the liquid can be thin or pasty.
  • the term “roughness” describes in particular unevenness in a surface height of the surface and can be measured using Rugotest, stylus method, confocal microscopy, conoscopic holography, focus variation or white-light interferometry, among other things to be determined. The areal roughness measurement is described in ISO 256178.
  • An advantage of an embodiment of the invention is that many different plastic materials, such as polyethylene, polyester or epoxy resins, can be used for the plastic substrate and, in particular, no expensive additization of the plastic raw material is required.
  • the method according to the invention is suitable for any metal salt of an organic acid which can be decomposed by supplying energy to the coating of the elemental metal. Therefore, a number of different metal coatings or metal particles can be applied to different surfaces such as plastic surfaces.
  • the roughness of the surface ensures in particular that it can be coated.
  • the roughening can be done before the ink is ejected. In particular, the roughening can be done by means of sand or glass blasting or by etching. Other methods are also possible.
  • the roughening provides the surface to be treated with indentations (cavities) in which a metallic layer is created in the later coating process, which mechanically hooks onto the plastic or ceramic substrate or anchors itself in it.
  • the roughening can also take place during the ejection of the ink, i.e. immediately before the time the ink hits the surface. In this case, energy is supplied to the surface.
  • the laser creates cavities in the surface, in which the material created in the subsequent process Attach metal coating, which can serve as a crystallization nucleus in a possibly provided further layer reinforcement process (in particular metallic particles in the coating). These cavities have a diameter of a few micrometers, so that the layer that grows in a subsequent galvanic process closes the cavities and can thus form a closed surface.
  • the cavities can be arranged using the beam direction of the laser in such a way that undercuts or material bridges form, which increase the mechanical adhesion of the layer or layers to be deposited to the component with the surface to be coated.
  • the energy can also be supplied by generating a plasma which at the same time chemically activates the surface.
  • the generation of the plasma means that an ionized, energetically highly charged gas migrates over the surface or is in contact with the surface. A large number of chemical reactions take place, which separate various atoms, groups of atoms or groups of molecules from the plastic surface, leaving behind reactive species and reducing the surface tension, which leads to improved wetting of the surface with the ink.
  • the energy can also be supplied by means of a flame, in particular an oxyhydrogen flame.
  • a flame in particular an oxyhydrogen flame.
  • the surface to be processed is briefly flamed. Experiments have shown that this results in a roughening of the surface. However, the underlying mechanism is still unclear.
  • the ink may be ejected in a diluted form, with the nozzle atomizing the ink finely, or the ink may be ejected in the form of droplets from the nozzle.
  • Suitable solvents are non-polar or only weakly polar organic solvents such as alkanes, aromatic solvents, acetone or isopropanol, which dissolve the organic anion of the ink used well. Isopropanol can preferably be used, since it dissolves the inks used well and has only a low or no hazard potential for people, the environment and plant technology.
  • the surface to be treated is preferably at a temperature of 50°C to 60°C during ink ejection.
  • the surface can thus be specifically heated to this temperature. If a flame is used for roughening, such heating can also be provided as a further aim. Such a temperature of the surface allows for rapid evaporation of the solvent.
  • a fine atomization of the diluted ink through a corresponding nozzle is achieved by means of a pressurized process gas, for example compressed air or dry nitrogen.
  • the ink must have a suitable viscosity for this.
  • the metal layer to be deposited is to be produced mainly by a galvanic post-treatment, highly diluted inks can be used, i.e. inks in which the ratio of ink to solvent is less than 1/100.
  • the aim is not to achieve a closed metal layer on the surface simply by decomposing the ink, but only to deposit crystallization nuclei for a subsequent layer build-up by electroplating.
  • the ink can also be ejected in undiluted form, whereby the viscosity of the ink must be adapted to the nozzle or the ejection from the nozzle must take place under high pressure.
  • the ink can be heated so that its Temperature is slightly below their decomposition temperature. In particular, the heating can take place at 10° C. to 15° C. below the decomposition temperature.
  • the decomposition of the ink to produce the metallic coating on the surface takes place in principle through the supply of energy. Decomposition can occur between the time the ink is ejected from the nozzle and when it strikes the surface. However, it can also be done after the ink has hit the surface.
  • the decomposition temperature is approx. 250 °C. For many plastics, this temperature is higher than the melting or decomposition temperature of the plastic used. It is therefore advantageous to supply the energy in the lowest possible doses with the highest possible energy density. This ensures that the plastic surface is damaged as little as possible, unless damage is deliberately intended to anchor the metallic coating in the plastic.
  • the energy for the decomposition of the ink can be provided by means of a flame.
  • the heat from the flame breaks down the ink, leaving a metallic layer on the surface.
  • an oxyhydrogen flame that emerges from a flame nozzle with a diameter of less than 2 mm delivers good results.
  • Such a flame nozzle can easily be integrated into a print head that ejects the ink and follows the application of the ink.
  • the angle that the flame makes to the surface has a not inconsiderable influence on the coating result. Particularly good results are obtained when the flame is at an acute angle with the surface.
  • the ink can also be decomposed by supplying energy by means of electromagnetic radiation.
  • the radiation should be connected to the The absorption spectrum of the ink used can be adjusted. If copper neodecanoate is used as the ink, the radiation should preferably have a wavelength of 620 nm to 850 nm, since the ink mentioned has significant absorption in this range. Radiation adapted in this way allows ink decomposition to take place while the surface to be coated suffers practically no damage.
  • a plasma is particularly suitable for decomposing the ink when it has been applied to the surface of the substrate in a very thin layer thickness. Because after the ink has decomposed in a low-pressure plasma, crystallization nuclei remain from the ink, which can easily be metallized in a possible subsequent galvanic process. It is also possible to use an atmospheric plasma, namely an arc plasma or a DBD plasma (dielectric barrier discharge plasma), also referred to as “silent electrical discharge”, and offers the advantage of a relatively gentle energy supply. First, the viscosity of the ink is greatly reduced so that it begins to flow, which is why it can be advantageous to use stencils to achieve the required contour definition.
  • DBD plasma dielectric barrier discharge plasma
  • heated process gas can also be used to decompose the ink.
  • Any process gas can be used here, in particular hot air.
  • the nozzle used preferably has an application lance with a movable nozzle tip.
  • Such an application lance can be used in particular when using diluted ink.
  • the interior of a hollow sphere by a small, easy-to-close opening can be coated through.
  • the application lance is first inserted through the opening in the hollow sphere and then the nozzle tip is angled accordingly in order to be able to reach all points of the hollow sphere.
  • the salt to be coated with the metal to be applied is preferably a metal salt of a carboxylic acid or metal salts of a mixture of carboxylic acids.
  • the carboxylic acids preferably have 2 to 20 carbon atoms, in particular 4 to 16 carbon atoms, more preferably e to 14 carbon atoms, in particular 8 to 12 carbon atoms and most preferably 10 carbon atoms and can be unbranched or branched, such as dialkyl or trialkyl carboxylic acids.
  • the carboxylic acids are preferably monocarboxylic acids, but di- or tricarboxylic acids can also be used.
  • the carboxylic acids can be saturated or unsaturated, unsaturated carboxylic acids being preferred.
  • Neodecanoic acid is a mixture of branched saturated monocarboxylic acids each having 10 carbon atoms of different structure, in particular a mixture of 2,2,3,5-tetramethylhexanoic acid, 2,4-dimethyl-2-isopropylpentanoic acid, 2,5-dimethyl-2 - ethylhexanoic acid, 2,2-dimethyloctanoic acid and 2,2-diethylhexanoic acid.
  • Such a salt decomposes particularly well with the addition of energy.
  • the ink breaks down into the respective metal and the other decomposition products water and carbon dioxide or their precursors depending on the surrounding atmosphere.
  • the metal contained in the metal salts is preferably a metal commonly used in the electronics industry, such as copper, manganese, nickel, niobium, molybdenum or yttrium. Gold, silver or palladium salts can also be used.
  • the copper salt of neodecanoic acid ie copper neodecanoate
  • copper neodecanoate has proven particularly suitable.
  • other metal salts of neodecanoic acid can also be used, such as their manganese or nickel salts.
  • the choice of the ink composition is important in terms of the thickness of the layer to be deposited on the surface during a complete ejection cycle of the ink and the composition of the layer to be deposited. Both parameters are usually modified at the same time for the respective job application.
  • the desired thickness of the layer to be deposited should be considered in relation to the composition of the ink.
  • the metallic layer should be created either solely by the decomposition of the ink or with a galvanic reinforcement.
  • the choice of method depends on the respective application and represents a compromise between production speed and production volume.
  • the concentration of the ink must be selected so that the ink layer produced by the ejection of the ink from the nozzle on the surface consists of particles lying close together or of one homogeneous coating, or that the ink is present as a closed film on the surface after evaporation of any solvent present.
  • the ink decomposes depending on the metal or cation used, only a certain proportion of the metal salt present is converted into the remaining metal. If copper neodecanoate is used, this proportion is only around 15%. This results from the relation of the molar masses of copper and copper neodecanoate, which also includes the charge of the ion of the metal to be deposited.
  • alloys such as constantan, a copper-nickel-manganese alloy.
  • mixtures of the metal salts can therefore be used, for example a mixture of copper neodecanoate, nickel neodecanoate and manganese neodecanoate, in order to produce the metal layer as an alloy.
  • the composition of the alloy can then be easily controlled via the composition of the ink. Layer combinations can also be created by alternately applying different metal salts.
  • the metallic layers produced on the surface will reach a certain thickness depending on the application. If this thickness is below the desired thickness, the existing layer can be reinforced. This can be done by repeating the method steps that have been carried out. Provision can also be made for another metal to be deposited on the existing layer from a corresponding galvanic bath without external current, with the metallic coating already applied serving as a crystallization nucleus.
  • the thickness of the metallic layer can vary adjusting an amount of the organic acid metal salt or changing a concentration of the organic acid metal salt.
  • Such a print head is provided for an overall device with which the method can be carried out.
  • the printhead has a nozzle for ejecting the ink toward the substrate surface.
  • the overall device includes an ink reservoir from which the print head is supplied with ink.
  • the ink contains a metal salt of an organic acid, which has as a component the metal to be applied.
  • the print head can have means with which the surface of the plastic or ceramic substrate can be roughened.
  • the printhead also includes means for imparting energy to the ink in such a way as to cause the ink to decompose. Decomposition produces the metallic coating intended to adhere to the surface, particularly the roughened one, to produce the coating on the surface.
  • the print head has the same advantages as were previously described in connection with the method. This also applies to the preferred configurations of the print head described below.
  • the means for roughening the surface can include a laser and/or a plasma jet source and/or a fuel gas supply for generating a flame that is in contact with the surface.
  • the underlying roughening mechanisms have been explained above in connection with the method.
  • the print head preferably has a heating unit with which the surface of the plastic substrate can be heated. In this way, rapid evaporation of a solvent used can be achieved.
  • the envisaged temperature of the substrate surface can be in particular 50°C to 60°C.
  • the energy supply means for decomposing the ink may be arranged so that the ink absorbs the energy after it is ejected from the nozzle but before it hits the surface. Provision can also be made for the energy supply means to be arranged in such a way that the ink only receives the energy after it has struck the surface.
  • the energy supply means can have a fuel gas supply in connection with a fuel gas nozzle. It is provided that a cone of flame emerges from the fuel gas nozzle and comes into contact with the ink either on the way to the surface or on the surface. It was found that the coating results are particularly good when the flame or the flame cone is aligned at an acute angle to the substrate surface.
  • the energy supply means can also have a laser.
  • a laser to decompose the ink or, as described above, to roughen the surface, this does not have to be integrated into the print head, but the actual laser source can be part of the overall device and the print head can contain a mirror system or an optical fiber with which the laser light is fed to the surface or the ink.
  • a further possibility for the energy supply consists in providing a plasma jet source. Furthermore, a source of heated process gas can also be provided, with which energy is supplied to the ink in order to decompose it.
  • the nozzle preferably has an application lance which has a movable nozzle tip.
  • the above-mentioned object regarding the use of a specific substance for coating is solved by the features of claim 42.
  • the metal cation of the metal salt is converted to the elemental metal by supplying energy and is deposited on the surface in the form of the coating.
  • FIG. 5 shows an ink jet print head with a plasma nozzle and a fuel gas feed
  • FIG. 6 shows a nozzle with a movable nozzle tip as part of an ink jet print head.
  • the ink jet print head shown in FIG. 1 is denoted by the reference numeral 1 and a component to be printed by 2.
  • the component 2, which is also shown in FIGS. 2 to 5, can be a printed circuit board, for example.
  • the component 2 has a plastic surface 8 to be machined and represents the plastic substrate.
  • the print head 1 has a mounting device 4, shown only very schematically, which can be, for example, a mounting flange.
  • the holding device 4 is also shown in FIGS. 2 to 6, respectively.
  • Several components of the print head 1 are fastened to the mounting device 4 .
  • This is a laser 6 for pretreating the surface 8.
  • the laser 6 is used specifically to roughen the surface 8 by guiding a light beam 10 from the laser 6 along the lines or areas of the surface 8 that is coated with a metal should be.
  • a spray head 12 having a nozzle 13 from which ink is ejected in the form of an ink jet 13' is passed over the roughened areas.
  • the ink contains a salt of an organic acid, which in turn contains the metal to be applied, for example copper.
  • the spray head 12 has a heating jacket 14 for heating the ink.
  • the print head 1 has a plasma nozzle 15 with which a plasma 16 can be directed onto the areas provided with ink.
  • the ink in particular the salt, decomposes, so that the metal coating or the copper coating on the surface 8 adheres due to the roughening.
  • the laser 6, the spray head 12 and the plasma nozzle 15 are moved accordingly over the surface 8 by means of the holding device 4.
  • the ink jet print head according to FIG. 2 is identified by reference numeral 20 . It differs from the ink jet print head 1 as follows: instead of a plasma nozzle 15, the print head 20 has an additional laser 21. Like the plasma nozzle 15 , this serves to supply energy to the ink that has already been applied to the surface 8 by means of the spray head 12 . For this purpose, a light beam 22 can be guided obliquely, but it would also be possible perpendicularly, onto the areas of the surface 8 provided with ink, so that the ink or the salt also decomposes here.
  • the print head 25 has a fuel gas feed 26 with a fuel gas nozzle 27 . They also serve to supply energy to the ink applied to the surface 8 in order to decompose it.
  • the ink jet print head according to FIG. 4 is denoted by reference numeral 30 . It differs from the ink jet print head 20 as follows: Instead of the laser 6, a plasma nozzle 31 is provided for roughening the surface 8 of the component 2, through which a plasma 32 can be brought into contact with the surface 8. In addition, the ink jet print head 30 has a heating unit 33 for heating the plastic substrate 2 .
  • the ink jet print head according to FIG. 5 is denoted by reference numeral 35 . It differs from the ink jet print head 30 as follows: Instead of the laser 21, a fuel gas supply 26 with a fuel gas nozzle 27 is provided, through which a flame can be directed onto the ink in order to supply it with energy and thereby achieve its decomposition.
  • a hollow sphere 2' is shown in FIG. It has an inner surface 8' to be coated.
  • an application lance 12' is provided as part of an ink jet print head.
  • the application lance 12' can be attached directly to a holding device 4 or be part of a spray head attached to it.
  • the applicator lance 12' can be bent at several points and thus has a movable tip which represents a nozzle 38 from which ink can be ejected in the form of an ink jet 13'. It is thus with the application lance 12' that passes through an opening to be closed later 39 of the hollow sphere 2' has been inserted, it is possible to reach the entire inner surface with the movable nozzle 38 for coating.
  • a plastic component made of polyamide (PA66) with a glass fiber content of 35% is first roughened using a suitable laser, so that a microstructure is created that contains material bridges. Then ink is applied in diluted form (5% copper neodecanoate (p.a.), 95% isopropanol (p.a.) to the resulting roughness via an application nozzle. First, the structure is completely provided with the ink and in a second pass, energy is supplied, again using a laser that breaks down the ink, after which the component can be chemically copper-plated for microstructure.
  • PA66 polyamide
  • p.a. 95% isopropanol
  • a hydrogen flame is run over a plate of glass-fibre-reinforced polyester resin at an angle, ie at an acute angle to the surface, in order to roughen the areas to be coated.
  • the ink is applied to these areas (65% copper neodecanoate, 35% isopropanol) and immediately decomposed by means of a second hydrogen flame, with a closed metallic layer with a thickness of 2-3 ⁇ m of copper being deposited.
  • the conductivity achieved in this way reaches between 85% and 100% of the conductivity of non-chemically and non-galvanically deposited metallic copper.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Auftragung einer metallischen Beschichtung auf eine Oberfläche (8; 8') eines Substrats (2; 2'), insbesondere zur Herstellung von Leiterbahnen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist. Eine Tinte wird auf eine zu beschichtende Stelle der Oberfläche (8; 8') aufgebracht, wobei die Tinte mindestens ein Metallsalz einer organischen Säure oder eine Mischung solcher Salze aufweist. Ausserdem wird die Tinte zersetzt, indem der Tinte Energie zugeführt wird, wodurch aus dem Metallsalz oder den Metallsalzen die metallische Beschichtung erzeugt wird. Hierbei haftet die metallische Beschichtung auf der Oberfläche (8; 8') an der zu beschichtenden Stelle. Ausserdem betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, sowie eine entsprechende Tinte.

Description

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUFBRINGUNG EINER METALLISCHEN BESCHICHTUNG AUF EINE OBERFLÄCHE
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Aufbringung einer metallischen Beschichtung auf eine Oberfläche eines Substrates, wie z.B. eines Kunststoff- oder Keramiksubstrats sowie eine Tinte zur Verwendung in einem solchen Verfahren oder einer solchen Vorrichtung, wobei die Aufbringung insbesondere zur Herstellung von Leiterbahnen dienen kann.
Um die Metallisierung von Kunststoffoberflächen zu ermöglichen, müssen diese Oberflächen in der Regel verändert bzw. aktiviert werden, um die Ablage und Anhaftung von metallischen Partikeln / Beschichtungen auf der Oberfläche zu ermöglichen. Die Technologie der Laser-Direkt-Strukturierung (LDS- Technologie) hat sich insbesondere für die Metallisierung und damit Funktionalisierung von nicht-ebenen Bauteilen bewährt. Bei diesen Verfahren werden Kunststoffe, die nicht unmittelbar zur galvanischen Abscheidung von Metallen geeignet sind, mittels eines Primers beschichtungsfähig gemacht. Dem Kunststoff, der zur Herstellung von gewünschten Bauteilen im Spritzgießprozess verwendet wird, wird ein Additiv zugesetzt. Bei diesem Additiv kann es sich beispielsweise um kupferhaltige Mineralien oder um eine auf Palladium basierende Verbindung handeln. Um nach der Formgebung das Material galvanisieren zu können, wird mittels eines Lasers die Oberfläche des Bauteils gezielt dort geschädigt, wo die metallische Abscheidung durchgeführt werden soll. Durch die Schädigung der Oberfläche werden Palladium-Keime bzw. das im Mineral enthaltene Kupfer freigesetzt, die jeweils im späteren galvanischen Prozess Kristallisationskeime bilden, an denen die Abscheidung stattfindet. Ein Nachteil des LDS-Verfahrens ist jedoch, dass es relativ fehleranfällig ist.
Die DE 102008027461 B4 offenbart eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Mikro-Strukturierung einer Kunststofffolie mittels einer Walze unter Verwendung eines Plasmas. Dabei werden mikrostrukturierte Vertiefungen auf der Oberfläche erzeugt, die anschließend nasschemisch metallisiert werden, um Leiterbahnen herzustellen.
Aus der EP 2674223 B1 ist eine Vorrichtung zur Herstellung von Leiterbahnen mittels eines Pulvergemisches bekannt. Dabei wird ein Plasma zum Aufschmelzen eines Matrixmaterials verwendet, in welchem eine Substanz eingebettet ist, die auf einem Substrat haften soll.
Auch die EP 2711441 B1 offenbart ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats mittels eines Plasmas. Auch dabei wird als Ausgangsmaterial ein Pulver verwendet.
Aus der DE 19958473 A1 ist bekannt, ein Plasma zu benutzen, um Precursor-Materialien zu modifizieren und danach auf einem Substrat abzuscheiden. Bei den Precursor-Materialien kann es sich um Flüssigkeiten handeln, insbesondere um eine Suspension, die auch nanoskalige Partikel aus Metallen enthalten kann. Die Precursor-Materialien werden jedoch direkt der Plasmastrahlquelle zugeführt. Ausserdem ist nicht offenbart, die Oberfläche des Substrats zu verändern, insbesondere nicht, eine Veränderung dort vorzunehmen, wo das metallische Precursor-Material aufgebracht werden soll. Es wird nicht die Herstellung von Leiterbahnen auf Oberflächen beschrieben. Die JP 2020004648 A beschreibt ein Verfahren zur Leiterbahnerzeugung mittels einer Tinte, die Kupferoxide enthält und die durch eine Plasmabehandlung unter reduzierender Atmosphäre zu Kupfer reduziert werden. Weiterhin wird bei diesem Verfahren Sauerstoff in hoher Konzentration verwendet, um die Tinte soweit abzutragen, dass die Metallpartikel übrigbleiben.
In der CN 107148154 A ist ein Verfahren zur Herstellung von Leiterbahnen auf Substraten beschrieben, die mittels eines Plasmas vorbehandelt werden. Anschließend wird eine Tinte mit einem katalytischen Salz aufgetragen. Nach Aushärtung der Tinte werden die exponierten Metallionen reduziert und bilden die Grundlage für eine chemische Kupferabscheidung in einem klassischen Bad, wobei Formaldehyd als Reduktionsmittel verwendet wird.
Aus der WO 2008077608 A2 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufspritzen einer Leiterbahn mittels einer Lanze, die ein kaltes Plasma erzeugt und ein Pulver abgibt, bekannt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der oben genannten Art zur Verfügung zu stellen, durch welches eine vereinfachte Beschichtung einer Oberfläche mit einem Metall ermöglicht wird. Insbesondere soll ein Verfahren zur Verfügung gestellt werden, bei dem keine Additivierung des Substrates wie eines Kunststoffrohmaterials erforderlich ist und das es erlaubt, eine Vielzahl unterschiedlicher Materialien wie z.B. Kunststoffe oder auch Keramiken zu metallisieren. Ferner liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Druckkopf für eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Verfügung zu stellen. Schließlich liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Substanz vorzuschlagen, die insbesondere in einem solchen Verfahren und einer solchen Vorrichtung verwendet werden kann und sich im speziellen besonders gut eignet, um eine Kunststoff- oder Keramikoberfläche mit einem Metall zu beschichten.
Die Aufgabe betreffend das Verfahren wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Hierfür wird eine Tinte auf eine zu beschichtende Stelle der Oberfläche aufgebracht. Das Aufbringen kann aus einer Düse erfolgen, indem die Tinte in Richtung der Oberfläche ausgestoßen wird. Alternativ kann die Tinte z.B. auch auf die zu beschichtende Stelle beziehungsweise die Oberfläche aufgebracht werden, indem das Substrat in die Tinte getaucht wird und / oder die Tinte auf das Substrat gepinselt oder pipettiert wird. Selbstverständlich kann das erfindungsgemässe Verfahren auch an mehreren Stellen der zu beschichtenden Oberfläche durchgeführt werden.
Die Tinte enthält mindestens ein Metallsalz einer organischen Säure. Das Metallkation oder bei mehreren Salzen die Metallkationen sind so ausgewählt bzw. dazu vorgesehen, dass sie die aufzutragende metallische Beschichtung bilden werden. Insbesondere kann sich die Beschichtung in Form von metallischen Partikeln bilden. Bevorzugt bildet sich jedoch eine durchgehende und / oder homogene Beschichtung. Ein weiterer Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, die Tinte dadurch zu zersetzen, dass ihr Energie zugeführt wird. Durch die Zersetzung der Tinte findet insbesondere eine Zersetzung des mindestens einen Salzes statt, wodurch das mindestens eine Metall die metallische Beschichtung auf der Oberfläche bildet.
Bei der Zersetzung zerfällt das Metallsalz der organischen Säure insbesondere in leicht entfernbare Zersetzungsprodukte wie Wasser und Kohlenstoffdioxid, wobei Metallkationen zu einem elementaren Metall reduziert werden, welches auf der zu beschichtenden Stelle und somit auf der Oberfläche verbleibt. Da die Zersetzungsprodukte leicht entfernbar sind, wird eine vereinfachte Aufbringung einer Metallschicht ermöglicht, ohne dass ein aufwendiges Entfernen von Zersetzungsprodukten notwendig ist.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist das Substrat ein Kunststoff- und/oder Keramiksubstrat. Dabei wird die mit der Metallbeschichtung zu versehende Oberfläche bevorzugt vorbereitet, indem die Oberfläche an der zu beschichtenden Stelle aufgeraut wird, sofern diese Stelle nicht schon von vornherein eine Rauigkeit aufweist. Diese Vorbehandlung bzw. die bereits vorhandene Rauigkeit sorgt dafür, dass die Metallbeschichtung an der Oberfläche haften wird. Eine ausreichende Rauigkeit ist erreicht, sobald die die Metallbeschichtung an der Oberfläche haftet.
Das Substrat ist jedoch nicht auf ein Kunststoff- und/oder Keramiksubstrat beschränkt und könnte zum Beispiel auch ein Metall umfassen. Ausserdem könnte das Substrat ein Metallsubstrat oder ein Cermet (also ein Verbundwerkstoff aus keramischen Werkstoffen in einer metallischen Matrix) sein, sodass eine Vorbereitung (also Aufrauung oder auch eine Reinigung) der zu-beschichtenden Stellen nicht notwendig ist. Eine Rauigkeit ist nicht bei allen Arten von Substraten vorteilhaft, da auch andere Wechselwirkungen zu einer ausreichenden Anhaftung der Beschichtung an der Oberfläche führen können.
Der Ausdruck „Tinte“ beschreibt in der vorliegenden Erfindung eine Flüssigkeit, welche mindestens ein Metallsalz enthält. Die Flüssigkeit kann dabei abhängig von dem Metallsalz und einem möglicherweise zusätzlich enthaltenen Lösungsmittel dünnflüssig bis pastös sein. Der Ausdruck „Rauigkeit“ beschreibt insbesondere Unebenheit in einer Oberflächenhöhe der Oberfläche und kann unter anderem mittels Rugotest, Tastschnittverfahren, Konfokalmikroskopie, Konoskopische Holografie, Fokusvariation oder Weißlichtinterferometrie bestimmt werden. Die flächenhafte Rauheitsmessung ist in der ISO 256178 beschrieben.
Ein Vorteil einer Ausführung der Erfindung liegt darin, dass viele verschiedene Kunststoffmaterialien, wie z.B. Polyethylen, Polyester oder Epoxidharze, für das Kunststoffsubstrat verwendet werden können, und insbesondere nicht eine kostenaufwendige Additivierung des Kunststoffrohmaterials erforderlich ist. Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich prinzipiell für jedes Metallsalz einer organischen Säure, das durch Energiezufuhr zu der Beschichtung des elementaren Metalls zersetzbar ist. Deshalb kann eine Reihe verschiedener Metallbeschichtungen oder auch Metallpartikel auf unterschiedliche Oberflächen wie z.B. Kunststoffoberflächen aufgebracht werden.
Die Rauigkeit der Oberfläche sorgt insbesondere dafür, dass diese beschichtet werden kann. Das Aufrauen kann vor dem Ausstößen der Tinte erfolgen. Insbesondere kann dabei das Aufrauen mittels Sand- oder Glasstrahlen oder durch Ätzen geschehen. Auch andere Methoden sind möglich. Durch das Aufrauen wird die zu behandelnde Oberfläche mit Vertiefungen (Kavitäten) versehen, in denen im späteren Beschichtungsprozess eine metallische Schicht erzeugt wird, die sich mechanisch mit dem Kunststoff- oder Keramiksubstrat verhakt bzw. sich in diesem verankert.
Das Aufrauen kann aber auch während des Ausstoßens der Tinte erfolgen, also unmittelbar vor dem Zeitpunkt des Auftreffens der Tinte auf der Oberfläche. In diesem Fall wird der Oberfläche Energie zugeführt.
Dies kann zum Beispiel mittels eines Lasers erfolgen. Der Laser erzeugt in der Oberfläche Kavitäten, in denen sich die im anschließenden Prozess erzeugte Metallbeschichtung anlagern, die in einem möglicherweise vorgesehenen weiteren Schichtverstärkungsprozess als Kristallisationskeim dienen kann (insbesondere metallische Partikel in der Beschichtung). Diese Kavitäten haben einen Durchmesser von wenigen Mikrometern, so dass die in einem nachfolgenden galvanischen Prozess aufwachsende Schicht die Kavitäten verschließt und somit eine geschlossene Oberfläche bilden kann. Die Kavitäten können mittels der Strahlrichtung des Lasers so angeordnet werden, dass sich Hinterschneidungen oder Materialbrücken bilden, die die mechanische Haftung (mechanische Adhäsion) der abzuscheidenden Schicht bzw. Schichten an dem Bauteil mit der zu beschichtenden Oberfläche, vergrößern.
Die Energiezufuhr kann auch dadurch erfolgen, dass ein Plasma erzeugt wird, welches gleichzeitig die Oberfläche chemisch aktiviert. Die Erzeugung des Plasmas bedeutet, dass ein ionisiertes, energetisch hoch geladenes Gas über die Oberfläche wandert bzw. mit der Oberfläche in Kontakt ist. Dabei findet eine Vielzahl chemischer Reaktionen statt, welche aus der Kunststoffoberfläche verschiedene Atome, Atom- oder Molekülgruppen heraustrennen und dadurch reaktive Spezies zurücklassen und die Oberflächenspannung herabsetzen, was zu einer verbesserten Benetzung der Oberfläche mit der Tinte führt.
Die Energiezufuhr kann auch mittels einer Flamme, insbesondere einer Knallgasflamme, erfolgen. Dabei wird die zu bearbeitende Oberfläche kurz abgeflammt. In Experimenten hat sich herausgestellt, dass dadurch eine Aufrauung der Oberfläche stattfindet. Ungeklärt ist jedoch noch der dabei zugrunde liegende Mechanismus.
Die Tinte kann in verdünnter Form ausgestoßen werden, wobei die Düse eine feine Zerstäubung der Tinte bewirkt oder die Tinte in Form von Tröpfchen von der Düse ausgegeben wird. Geeignete Lösungsmittel sind unpolare oder nur schwach polare organische Lösungsmittel wie z.B. Alkane, aromatische Lösungsmittel, Aceton oder Isopropanol, die das organische Anion der verwendeten Tinte gut lösen. Vorzugsweise kann Isopropanol verwendet werden, da es die verwendeten Tinten gut löst und nur ein geringes oder gar kein Gefährdungspotential für Mensch, Umwelt und Anlagentechnik aufweist. Wenn eine verdünnte Tinte verwendet wird, weist die zu behandelnde Oberfläche während des Tintenausstoßes vorzugsweise eine Temperatur von 50 °C bis 60 °C auf. Die Oberfläche kann somit speziell auf diese Temperatur erwärmt werden. Bei Verwendung einer Flamme zur Aufrauung kann als ein weiteres Ziel auch eine solche Erwärmung vorgesehen sein. Eine solche Temperatur der Oberfläche ermöglicht ein schnelles Verdampfen des Lösungsmittels. Eine feine Zerstäubung der verdünnten Tinte durch eine entsprechende Düse wird mittels eines unter Überdruck stehenden Prozessgases, beispielsweise Druckluft oder trockenem Stickstoff, erreicht. Die Tinte muss dafür eine geeignete Viskosität aufweisen.
Wenn die abzuscheidende Metallschicht hauptsächlich durch eine galvanische Nachbehandlung erfolgen soll, kann mit starkverdünnten Tinten gearbeitet werden, also mit Tinten, bei denen das Verhältnis von Tinte zu Lösungsmittel kleiner als 1/100 beträgt. Denn in diesem Fall ist es nicht das Ziel, allein durch die Zersetzung der Tinte eine geschlossene Metallschicht auf der Oberfläche zu erreichen, sondern nur die Abscheidung von Kristallisationskeimen für einen nachfolgenden Schichtaufbau durch Galvanisieren.
Alternativ kann die Tinte auch in unverdünnter Form ausgestoßen werden, wobei die Viskosität der Tinte an die Düse angepasst sein muss oder der Ausstoß aus der Düse unter Hochdruck geschehen muss. Zur Anpassung der Viskosität der Tinte an die Düse kann die Tinte so erwärmt werden, dass ihre Temperatur etwas unterhalb ihrer Zersetzungstemperatur liegt. Insbesondere kann die Erwärmung auf 10 °C bis 15 °C unterhalb der Zersetzungstemperatur erfolgen.
Das Zersetzen der Tinte zur Erzeugung der metallischen Beschichtung auf der Oberfläche erfolgt wie gesagt grundsätzlich durch Energiezufuhr. Das Zersetzen kann zwischen dem Ausstößen der Tinte aus der Düse und dem Auftreffen auf der Oberfläche stattfinden. Es kann aber auch nach dem Auftreffen der Tinte auf der Oberfläche erfolgen. Die Zersetzungstemperatur beträgt ca. 250 °C. Diese Temperatur ist für viele Kunststoffe höher als die Schmelz- bzw. Zersetzungstemperatur des verwendeten Kunststoffs. Es ist daher vorteilhaft, die Energie in geringstmöglichen Dosen bei möglichst hoher Energiedichte zuzuführen. Hierdurch wird erreicht, dass die Kunststoffoberfläche möglichst wenig geschädigt wird, es sei denn, man will zur Verankerung der metallischen Beschichtung im Kunststoff bewusst eine Schädigung bewirken.
Die Energiezufuhr für die Zersetzung der Tinte kann mittels einer Flamme erfolgen. Dabei zersetzt die Hitze der Flamme die Tinte, sodass auf der Oberfläche eine metallische Schicht zurückbleibt. Hierbei hat sich gezeigt, dass eine Knallgasflamme, die aus einer Flammdüse mit einem Durchmesser von weniger als 2 mm austritt, gute Ergebnisse liefert. Eine solche Flammdüse kann leicht in einen Druckkopf, der die Tinte ausstößt, integriert werden und dem Tintenauftrag nachlaufen. Es hat sich gezeigt, dass der Winkel, den die Flamme zur Oberfläche einnimmt, einen nicht geringen Einfluss auf das Beschichtungsergebnis hat. Besonders gute Ergebnisse werden erzielt, wenn die Flamme einen spitzen Winkel mit der Oberfläche einnimmt.
Das Zersetzen der Tinte kann auch durch Energiezufuhr mittels elektromagnetischer Strahlung erfolgen. Die Strahlung sollte hierbei an das Absorptionsspektrum der verwendeten Tinte angepasst werden. Im Fall der Verwendung von Kupferneodecanoat als Tinte sollte die Strahlung vorzugsweise eine Wellenlänge von 620 nm bis 850 nm aufweisen, da die genannte Tinte in diesem Bereich eine nennenswerte Absorption aufweist. Durch eine auf diese Weise angepasste Strahlung kann eine Tintenzersetzung stattfinden, während die zu beschichtende Oberfläche praktisch keinen Schaden erleidet.
Eine weitere Möglichkeit der Energiezufuhr zur Tintenzersetzung ist die Erzeugung eines Plasmas. Ein Plasma ist insbesondere dann zur Zersetzung der Tinte geeignet, wenn diese in einer sehr dünnen Schichtdicke auf die Oberfläche des Substrats aufgebracht worden ist. Denn nach einer Zersetzung der Tinte in einem Niederdruck-Plasma bleiben von der Tinte Kristallisationskeime zurück, die sich in einem möglichen anschließenden galvanischen Prozess gut metallisieren lassen. Auch die Verwendung eines atmosphärischen Plasmas, nämlich eines Lichtbogen-Plasmas oder eines DBD-Plasmas (Dielectric Barrier Discharge Plasma), auch als „stille elektrische Entladung“ bezeichnet, ist möglich und bietet den Vorteil einer relativ sanften Energiezufuhr. Dabei wird zunächst die Viskosität der Tinte stark verringert, sodass diese zu fließen beginnt, weshalb es vorteilhaft sein kann, Schablonen zu verwenden, um die erforderliche Konturenschärfe zu erreichen.
Ferner kann auch erhitztes Prozessgas verwendet werden, um die Tinte zu zersetzen. Hierbei kann ein beliebiges Prozessgas verwendet werden, insbesondere auch Heißluft.
Vorzugsweise weist die verwendete Düse eine Auftragslanze mit einer beweglichen Düsenspitze auf. Eine solche Auftragslanze kann insbesondere bei der Verwendung von verdünnter Tinte eingesetzt werden. Mit einer solchen Auftragslanze kann beispielsweise der Innenraum einer Hohlkugel durch eine kleine, leicht zu verschließende Öffnung hindurch beschichtet werden. Hierzu wird die Auftragslanze zunächst durch die Öffnung in die Hohlkugel eingeführt und dann die Düsenspitze entsprechend abgewinkelt, um alle Stellen der Hohlkugel erreichen zu können. Je nach Größe der Kugel bzw. des Hohlraumes kann ein Abwinkeln bzw. ein Knicken der Lanze an mehreren Stellen erforderlich sein, um eine komplette Erreichbarkeit der Kugelinnenfläche sicherzustellen.
Vorzugsweise handelt es sich bei dem das aufzutragende Metall enthaltende Salz um ein Metallsalz einer Carbonsäure oder Metallsalze einer Mischung von Carbonsäuren. Die Carbonsäuren weisen dabei vorzugsweise 2 bis 20 Kohlenstoffatome, insbesondere 4 bis 16 Kohlenstoffatome, noch bevorzugter e bis 14 Kohlenstoffatome, insbesondere 8 bis 12 Kohlenstoffatome und am meisten bevorzugt 10 Kohlenstoffatome auf und können unverzweigt oder verzweigt sein, wie z.B. Dialkyl- oder Trialkylcarbonsäuren. Bei den Carbonsäuren handelt es sich vorzugsweise um Monocarbonsäuren, aber auch Di- oder Tricarbonsäuren können eingesetzt werden. Weiterhin können die Carbonsäuren gesättigt oder ungesättigt sein, wobei ungesättigte Carbonsäuren bevorzugt sind.
Noch bevorzugter handelt es sich um ein Metallsalz der Neodecansäure. Bei Neodecansäure handelt es sich um eine Mischung von verzweigten gesättigten Monocarbonsäuren mit jeweils 10 Kohlenstoffatomen unterschiedlicher Struktur insbesondere um eine Mischung von 2, 2,3,5- Tetramethylhexansäure, 2,4-Dimethyl-2-isopropylpentansäure, 2,5-Dimethyl-2- ethylhexansäure, 2,2-Dimethyloctansäure und 2,2-Diethylhexansäure, Ein solches Salz zersetzt sich besonders gut durch Energiezufuhr. Durch die Zersetzung der Tinte zerfällt diese in das jeweilige Metall sowie die weiteren Zersetzungsprodukte Wasser und Kohlendioxid bzw. in deren Vorstufen in Abhängigkeit von der umgebenden Atmosphäre. Vorzugsweise handelt es sich bei dem in den Metallsalzen enthaltenen Metall um ein üblicherweise in der Elektronikindustrie verwendetes Metall wie Kupfer, Mangan, Nickel, Niob, Molybdän oder Yttrium. Auch Gold-, Silber- oder Palladiumsalze können eingesetzt werden.
Als besonders geeignet hat sich das Kupfersalz der Neodecansäure, also Kupferneodecanoat, herausgestellt. Es können aber auch gut andere Metallsalze der Neodecansäure verwendet werden, wie beispielsweise deren Mangan- oder Nickelsalz.
Die Wahl der Tintenzusammensetzung ist wichtig in Hinsicht auf die abzuscheidende Schichtstärke auf der Oberfläche während eines kompletten Austragszyklus der Tinte und in Hinsicht auf die abzuscheidende Schichtzusammensetzung. Beide Parameter werden in der Regel gleichzeitig für die jeweilige Auftragsanwendung modifiziert.
Die gewünschte Stärke der abzuscheidenden Schicht sollte in Bezug auf die Zusammensetzung der Tinte berücksichtigt werden. Hierbei ist in Betrachtung zu ziehen, ob die metallische Schicht entweder allein durch die Zersetzung der Tinte oder mit einer galvanischen Nachverstärkung erfolgen soll. Die Wahl der Methode ist vom jeweiligen Anwendungsfall abhängig und stellt einen Kompromiss zwischen Produktionsgeschwindigkeit und Produktionsmenge dar.
Wenn die abzuscheidende Schicht allein durch die Zersetzung der Tinte erfolgen soll, ist die Konzentration der Tinte entsprechend so zu wählen, dass die durch den Ausstoß der Tinte aus der Düse erzeugte Tintenschicht auf der Oberfläche aus dicht beieinander liegenden Partikeln besteht oder aus einer homogenen Beschichtung besteht, oder aber, dass die Tinte nach Verdampfen eines eventuell vorhandenen Lösungsmittels als ein geschlossener Film auf der Oberfläche vorliegt. Bei der Zersetzung der Tinte wird in Abhängigkeit vom verwendeten Metall bzw. Kation nur ein bestimmter Anteil des vorhandenen Metallsalzes in verbleibendes Metall umgesetzt. Im Fall der Verwendung von Kupferneodecanoat beträgt dieser Anteil nur circa 15 %. Dies ergibt sich aus der Relation der Molmassen von Kupfer und Kupferneodecanoat, wobei auch die Ladung des Ions des abzuscheidenden Metalls eingeht.
Möglich ist bei der gleichzeitigen Verwendung verschiedener Metallsalze auch eine Abscheidung von Legierungen, wie z.B. von Konstantan, einer Kupfer- Nickel-Mangan-Legierung. Insbesondere können also Mischungen der Metallsalze verwendet werden, also zum Beispiel eine Mischung von Kupferneodecanoat, Nickelneodecanoat und Manganneodecanoat, um die Metallschicht als Legierung zu erzeugen. Die Zusammensetzung der Legierung lässt sich dann einfach über die Zusammensetzung der Tinte steuern. Auch Schichtkombinationen können durch abwechselndes Aufträgen verschiedener Metallsalze erzeugt werden.
Die auf der Oberfläche erzeugten metallischen Schichten werden je nach Anwendungssituation eine bestimmte Dicke erreichen. Sollte diese Dicke unterhalb der gewünschten Dicke liegen, kann eine Verstärkung der vorhandenen Schicht erfolgen. Dies kann dadurch geschehen, dass eine Wiederholung der vorgenommenen Verfahrensschritte erfolgt. Es kann auch vorgesehen sein, dass ein weiteres Metall aus einem entsprechenden außenstromlosen galvanischen Bad auf der vorhandenen Schicht abgeschieden wird, wobei die bereits aufgebrachte metallische Beschichtung als Kristallisationskeim dient. Die Dicke der metallischen Schicht kann durch Anpassung einer Menge der Metallsalz der organischen Säure oder durch Änderung einer Konzentration des Metallsalzes der organischen Säure erfolgen.
Es ist auch möglich, im Anschluss an die Aufbringung der metallischen Beschichtung eine galvanische Abscheidung eines weiteren Metalls aus einem entsprechenden galvanischen Bad vorzunehmen, wobei die aufgebrachte metallische Beschichtung als Kristallisationskeim dient (insbesondere Unregelmäßigkeiten auf der Beschichtung).
Die oben genannte Aufgabe hinsichtlich des Druckkopfes wird durch die Merkmale des Anspruchs 27 gelöst. Ein solcher Druckkopf ist für eine Gesamtvorrichtung vorgesehen, mit der das Verfahren durchgeführt werden kann. Der Druckkopf weist eine Düse auf, die zum Ausstößen der Tinte in Richtung der Substratoberfläche vorgesehen ist. Zur Gesamtvorrichtung gehört neben dem Druckkopf ein Tintenreservoir, aus dem der Druckkopf mit Tinte versorgt wird. Die Tinte enthält ein Metallsalz einer organischen Säure, welches als Bestandteil das aufzutragende Metall aufweist. Ferner kann der Druckkopf Mittel aufweisen, mit denen die Oberfläche des Kunststoff- oder Keramiksubstrats aufgeraut werden kann. Darüber hinaus enthält der Druckkopf auch Mittel, mit denen der Tinte Energie zugeführt werden kann, und zwar so, dass dadurch eine Zersetzung der Tinte erfolgt. Durch Zersetzung wird die metallische Beschichtung erzeugt, die dazu bestimmt sind, auf der, insbesondere aufgerauten, Oberfläche zur Herstellung der Beschichtung der Oberfläche zu haften.
Bei dem Druckkopf ergeben sich die gleichen Vorteile, wie sie zuvor im Zusammenhang mit dem Verfahren beschrieben worden sind. Dies gilt auch für die im Folgenden beschriebenen bevorzugten Ausgestaltungen des Druckkopfes. Die Mittel zur Aufrauung der Oberfläche können einen Laser und/oder eine Plasmastrahlquelle und/oder eine Brenngaszuführung zur Erzeugung einer Flamme, die Kontakt mit der Oberfläche hat, aufweisen. Die zugrunde liegenden Aufrauungsmechanismen sind oben im Zusammenhang mit dem Verfahren erläutert worden.
Vorzugsweise weist der Druckkopf eine Heizeinheit auf, mit der die Oberfläche des Kunststoffsubstrats erwärmt werden kann. Damit kann ein schnelles Verdampfen eines verwendeten Lösungsmittels erreicht werden. Die vorgesehene Temperatur der Substratoberfläche kann insbesondere 50 °C bis 60 °C betragen.
Die Energiezufuhrmittel zur Zersetzung der Tinte können so angeordnet sein, dass die Tinte die Energie nach dem Ausstößen aus der Düse, aber noch vor dem Auftreffen auf der Oberfläche aufnimmt. Es kann auch vorgesehen sein, dass die Energiezufuhrmittel so angeordnet sind, dass die Tinte die Energie erst nach dem Auftreffen auf der Oberfläche erhält.
Die Energiezufuhrmittel können eine Brenngaszuführung in Verbindung mit einer Brenngasdüse aufweisen. Dabei ist vorgesehen, dass aus der Brenngasdüse ein Flammenkegel austritt und mit der Tinte entweder auf dem Weg zur Oberfläche oder auf der Oberfläche in Berührung kommt. Es wurde festgestellt, dass die Beschichtungsergebnisse besonders gut sind, wenn die Flamme bzw. der Flammenkegel spitzwinkelig zur Substratoberfläche ausgerichtet ist.
Die Energiezufuhrmittel können auch einen Laser aufweisen. Ein Vorteil dabei ist, dass der Wellenlängenbereich des ausgestrahlten Lichts gut an das Absorptionsspektrum der Tinte angepasst werden kann. Bei Verwendung eines Lasers zur Zersetzung der Tinte oder auch, wie oben beschrieben, zur Aufrauung der Oberfläche, muss dieser nicht in den Druckkopf integriert sein, sondern die eigentliche Laserquelle kann Teil der Gesamtvorrichtung sein und der Druckkopf ein Spiegelsystem oder einen Lichtwellenleiter enthalten, mit dem das Laserlicht der Oberfläche bzw. der Tinte zugeführt wird.
Eine weitere Möglichkeit für die Energiezufuhr besteht darin, eine Plasmastrahlquelle vorzusehen. Ferner kann auch eine Quelle für erhitztes Prozessgas vorgesehen sein, mit dem der Tinte Energie zugeführt wird, um sie zu zersetzen.
Vorzugsweise weist die Düse eine Auftragslanze auf, die eine bewegliche Düsenspitze besitzt. Die Vorteile sind oben im Zusammenhang mit dem Verfahren beschrieben.
Die oben genannte Aufgabe hinsichtlich der Verwendung einer bestimmten Substanz zum Beschichten wird durch die Merkmale des Anspruchs 42 gelöst. Das Metallkation des Metallsalzes wird dabei durch Energiezufuhr zu dem elementaren Metall umgewandelt und in Form von der Beschichtung auf der Oberfläche abgeschieden.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Tinte bzw. der Verwendung der Tinte sind in den Ansprüchen 43 und 44 aufgeführt.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand mehrerer Ausführungsbeispiele beschrieben, wobei auf die Figuren Bezug genommen wird. Es zeigen: Fig. 1 einen Tintenstrahldruckkopf mit einem Laser und einer Plasmastrahlquelle,
Fig. 2 einen Tintenstrahldruckkopf mit zwei Lasern,
Fig. 3 einen Tintenstrahldruckkopf mit einem Laser und einer Brenngaszuführung,
Fig. 4 einen Tintenstrahldruckkopf mit einer Plasmadüse und einem Laser,
Fig. 5 einen Tintenstrahldruckkopf mit einer Plasmadüse und einer Brenngaszuführung,
Fig. 6 eine Düse mit einer beweglichen Düsenspitze als Teil eines Tintenstrahldruckkopfes.
In den Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Der in Fig. 1 gezeigte Tintenstrahldruckkopf ist mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet und ein zu bedruckendes Bauteil mit 2. Bei dem Bauteil 2, welches auch in den Fig. 2 bis 5 gezeigt ist, kann es sich zum Beispiel um eine Leiterplatte handeln. Das Bauteil 2 weist eine zu bearbeitende Oberfläche 8 aus Kunststoff auf und stellt das Kunststoffsubstrat dar.
Der Druckkopf 1 weist eine nur sehr schematisch dargestellte Halterungseinrichtung 4 auf, bei der es sich zum Beispiel um einen Montageflansch handeln kann. Die Halterungseinrichtung 4 ist auch jeweils in den Fig. 2 bis 6 dargestellt. An der Halterungseinrichtung 4 sind mehrere Bauteile des Druckkopfes 1 befestigt. Hierbei handelt es sich um einen Laser 6 zur Vorbehandlung der Oberfläche 8. Der Laser 6 dient speziell dazu, die Oberfläche 8 aufzurauen, indem ein Lichtstrahl 10 des Lasers 6 entlang der Linien bzw. Bereiche der Oberfläche 8 geführt wird, die mit einem Metall beschichtet werden sollen. Im Nachgang dazu wird ein Sprühkopf 12 mit einer Düse 13, aus der Tinte in Form eines Tintenstrahles 13' ausgestoßen wird, über die aufgerauten Bereiche geführt. Die Tinte enthält ein Salz einer organischen Säure, das wiederum das aufzutragende Metall, zum Beispiel Kupfer, enthält. Zur Erwärmung der Tinte weist der Sprühkopf 12 einen Heizmantel 14 auf.
Ferner weist der Druckkopf 1 eine Plasmadüse 15 auf, mit der ein Plasma 16 auf die mit Tinte versehenen Bereiche gerichtet werden kann. Dadurch findet eine Zersetzung der Tinte, insbesondere des Salzes statt, so dass die Metallbeschichtung bzw. die Kupferbeschichtung auf der Oberfläche 8 aufgrund der Aufrauung haften bleiben.
Es ist vorgesehen, dass der Laser 6, der Sprühkopf 12 und die Plasmadüse 15 mittels der Haltevorrichtung 4 entsprechend über die Oberfläche 8 bewegt werden. Alternativ wäre es auch möglich, das Bauteil 2 entsprechend relativ zu der Haltevorrichtung 4 und den genannten Bauteilen zu bewegen.
Der Tintenstrahldruckkopf gemäß Fig. 2 ist mit dem Bezugszeichen 20 bezeichnet. Er unterscheidet sich von dem Tintenstrahldruckkopf 1 folgendermaßen: Statt einer Plasmadüse 15 weist der Druckkopf 20 einen weiteren Laser 21 auf. Dieser dient wie die Plasmadüse 15 dazu, der auf die Oberfläche 8 bereits mittels des Sprühkopfes 12 aufgetragenen Tinte Energie zuzuführen. Dazu kann ein Lichtstrahl 22 schräg, möglich wäre aber auch senkrecht, auf die mit Tinte versehenen Bereiche der Oberfläche 8 geführt werden, so dass auch hier eine Zersetzung der Tinte bzw. des Salzes stattfindet. Der Tintenstrahldruckkopf gemäß Fig. 3 ist mit dem Bezugszeichen 25 bezeichnet. Er unterscheidet sich von dem Tintenstrahldruckkopf 1 folgendermaßen: Statt der Plasmadüse 15 weist der Druckkopf 25 eine Brenngaszuführung 26 mit einer Brenngasdüse 27 auf. Auch sie dienen dazu, der auf die Oberfläche 8 aufgebrachten Tinte Energie zuzuführen, um sie zu zersetzen.
Der Tintenstrahldruckkopf gemäß Fig. 4 ist mit dem Bezugszeichen 30 bezeichnet. Er unterscheidet sich von dem Tintenstrahldruckkopf 20 folgendermaßen: Statt des Lasers 6 ist zur Aufrauung der Oberfläche 8 des Bauteils 2 eine Plasmadüse 31 vorgesehen, durch die ein Plasma 32 mit der Oberfläche 8 in Kontakt gebracht werden kann. Zudem weist der Tintenstrahldruckkopf 30 eine Heizeinheit 33 zur Erwärmung des Kunststoffsubstrats 2 auf.
Der Tintenstrahldruckkopf gemäß Fig. 5 ist mit dem Bezugszeichen 35 bezeichnet. Er unterscheidet sich von dem Tintenstrahldruckkopf 30 folgendermaßen: Statt des Lasers 21 ist eine Brenngaszuführung 26 mit einer Brenngasdüse 27 vorgesehen, durch die eine Flamme auf die Tinte gerichtet werden kann, um ihr Energie zuzuführen und dadurch ihre Zersetzung zu erreichen.
In Fig. 6 ist eine Hohlkugel 2‘ gezeigt. Sie besitzt eine Innenfläche 8‘, die beschichtet werden soll. Dazu ist als Teil eines Tintenstrahldruckkopfes eine Auftragslanze 12' vorgesehen. Die Auftragslanze 12' kann unmittelbar an einer Halterungseinrichtung 4 befestigt sein oder Teil eines an der dieser befestigten Sprühkopfes sein. Die Auftragslanze 12' kann an mehreren Stellen abgeknickt werden und besitzt dadurch eine bewegliche Spitze, die eine Düse 38 darstellt, aus der Tinte in Form eines Tintenstrahles 13' ausgestoßen werden kann. Somit ist es mit der Auftragslanze 12‘, die durch eine später zu verschließende Öffnung 39 der Hohlkugel 2‘ eingeführt worden ist, möglich, die gesamte Innenfläche zwecks Beschichtung mit der beweglichen Düse 38 zu erreichen.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel des Verfahrens wird ein Kunststoffbauteil aus Polyamid (PA66) mit einem Glasfasergehalt von 35% zunächst mittels eines geeigneten Lasers aufgeraut, so dass eine Mikrostruktur entsteht, die Materialbrücken enthält. Dann wird Tinte über eine Auftragsdüse in verdünnter Form (5% Kupferneodecanoat (p. a.), 95% Isopropanol (p. a.) auf die entstandene Rauheit appliziert. Zunächst wird so die Struktur vollständig mit der Tinte versehen und in einem zweiten Durchlauf wird durch Energiezufuhr, wiederum mittels eines Lasers, die Tinte zersetzt. Anschließend kann das Bauteil in Bezug auf die Mikrostruktur chemisch verkupfert werden.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel des Verfahrens wird eine Platte glasfaserverstärkten Polyesterharzes mit einer Wasserstoffflamme schräg, also in einem spitzen Winkel zur Oberfläche, zur Aufrauung von zu beschichtenden Stellen überfahren. Direkt im Anschluss wird die Tinte auf diese Stellen appliziert (65% Kupferneodecanoat, 35% Isopropanol) und sofort mittels einer zweiten Wasserstoffflamme zersetzt, wobei sich eine geschlossene metallische Schicht einer Stärke von 2-3 pm Kupfer abscheidet. Die hierbei erzielten Leitfähigkeiten erreichen zwischen 85% und 100% der Leitfähigkeit nicht chemisch und nicht galvanisch abgeschiedenen, metallischen Kupfers.
Bezugszeichenliste:
1 Tintenstrahldruckkopf
2, 2‘ zu bedruckendes Bauteil
4 Halterungseinrichtung Laser Oberfläche von 2 ‘ Innenfläche von 2‘0 Lichtstrahl von 6 2 Sprühkopf 2‘ Auftragslanze 3 Düse 3‘ Tintenstrahl 4 Heizmantel 5 Plasmadüse 6 Plasma 0 Tintenstrahldruckkopf1 Laser 2 Lichtstrahl von 21 5 Tintenstrahldruckkopf6 Brenngaszuführung7 Brenngasdüse 0 Tintenstrahldruckkopf1 Plasmadüse 2 Plasma 3 Heizeinheit 5 Tintenstrahldruckkopf8 bewegliche Düse 9 Öffnung von 2‘

Claims

22
PATENTANSPRÜCHE:
1. Verfahren zur Auftragung einer metallischen Beschichtung auf eine Oberfläche (8; 8‘) eines Substrats (2; 2‘), insbesondere zur Herstellung von Leiterbahnen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:
- dass eine Tinte auf eine zu beschichtende Stelle der Oberfläche (8; 8‘) aufgebracht wird, wobei die Tinte mindestens ein Metallsalz einer organischen Säure oder eine Mischung solcher Salze aufweist,
- dass die Tinte zersetzt wird, indem der Tinte Energie zugeführt wird, wodurch aus dem Metallsalz oder den Metallsalzen die metallische Beschichtung erzeugt wird, wobei die metallische Beschichtung auf der Oberfläche (8; 8‘) an der zu beschichtenden Stelle haftet.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (8; 8‘) an der zu beschichtenden Stelle eine Rauigkeit aufweist oder dort zur Erzeugung einer Rauigkeit aufgeraut wird und die metallische Beschichtung an der Rauigkeit aufweisenden Stelle haftet, wobei das Aufrauen der Oberfläche (8; 8‘) vor dem Ausstößen der Tinte erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufrauen mittels Sand- oder Glasstrahlen oder Ätzen geschieht.
4. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (8; 8‘) an der zu beschichtenden Stelle eine Rauigkeit aufweist oder dort zur Erzeugung einer Rauigkeit aufgeraut wird und die metallische Beschichtung an der Rauigkeit aufweisenden Stelle haften, wobei das Aufrauen während des Ausstoßens der Tinte erfolgt. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufrauen durch Energiezufuhr unter Verwendung eines Lasers erfolgt. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufrauen durch Energiezufuhr unter Erzeugung eines Plasmas erfolgt, wobei das Plasma gleichzeitig die Oberfläche chemisch aktiviert. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufrauen durch Energiezufuhr mittels einer Flamme erfolgt. Verfahren nach einem der Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Tinte aus einer Düse (13) in Richtung der einer zu beschichtenden Stellen der Oberfläche (8; 8‘) ausgestoßen wird. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Tinte in einer durch ein Lösungsmittel verdünnten Form ausgestoßen wird, wobei die Düse (13) eine feine Zerstäubung der Tinte bewirkt oder die Tinte in Form von Tröpfchen ausgibt. . Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass als Lösungsmittel ein unpolares oder schwach polares organisches Lösungsmittel, insbesondere Isopropanol, verwendet wird. erfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (8; 8‘) während des Tintenausstoßes eine Temperatur von 50 °C bis 60 °C besitzt oder auf eine Temperatur von 50 °C bis 60 °C erhitzt wird. erfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Tinte in unverdünnter Form ausgestoßen wird, wobei die Tinte vor Erreichen der Düse (13) und/oder in der Düse (13) und/oder zwischen der Düse (13) und der Oberfläche (8; 8‘) auf eine Temperatur unterhalb ihrer Zersetzungstemperatur erwärmt und durch die Düse (13) fein zerstäubt wird. erfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, 25 dadurch gekennzeichnet, dass das Zersetzen der Tinte zwischen dem Ausstößen aus der Düse (13) und einem Auftreffen auf der Oberfläche (8; 8‘) erfolgt. erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Zersetzen der Tinte nach dem Auftreffen auf der Oberfläche (8; 8‘) erfolgt. erfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Zersetzen durch Energiezufuhr mittels einer Flamme erfolgt. erfahren nach Anspruch 15 unter Rückbezug auf Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Flamme einen spitzen Winkel mit der Oberfläche (8; 8‘) einnimmt. erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zersetzen durch Energiezufuhr mittels elektromagnetischer Strahlung erfolgt. erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zersetzen durch Energiezufuhr mittels eines Plasmas erfolgt. 26 erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zersetzen durch Energiezufuhr mittels eines erhitzten Prozessgases erfolgt. erfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (13) eine bewegliche Spitze einer Auftragslanze ist. erfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem mindestens einen Salz um ein Metallsalz einer Carbonsäure oder Metallsalze einer Mischung von Carbonsäuren handelt. erfahren nach Anspruch 21 , dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem mindestens einen Salz um ein Metallsalz von Neodecansäure handelt. erfahren nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Metallsalz um ein Kupfersalz handelt. erfahren nach Anspruch 23 unter Rückbezug auf zumindest die Ansprüche 22 und 17, 27 dadurch gekennzeichnet, dass die elektromagnetische Strahlung eine Wellenlänge von 620 nm bis 850 nm aufweist. erfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Anschluss an die Aufbringung der metallischen Beschichtung eine chemische Abscheidung einer weiteren metallischen Beschichtungen aus einem außenstromlosen galvanischen Bad heraus zur Herstellung einer gewünschten Metallschicht-Zusammensetzung auf der Oberfläche (8; 8‘) erfolgt, wobei die aufgebrachte metallische Beschichtung als Kristallisationskeim dient. erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass im Anschluss an die Aufbringung der metallischen Beschichtung eine galvanische Abscheidung einer weiteren metallischen Beschichtung aus einem galvanischen Bad heraus zur Herstellung einer gewünschten Metallschicht-Zusammensetzung auf der Oberfläche (8; 8‘) erfolgt, wobei die aufgebrachte metallische Beschichtung als Kristallisationskeim dient. Druckkopf (1 ; 20; 25; 30; 35) für eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Druckkopf (1 ; 20; 25; 30; 35) eine Düse (13) aufweist, die zum Ausstößen von Tinte in Richtung der Oberfläche (8; 8‘) des Substrats (2; 2‘) dient und mit einem Tintenreservoir der Vorrichtung fluidmäßig verbunden ist, und wobei die Tinte ein oder mehrere Salze einer oder mehrerer organischer Säuren aufweist, die jeweils ein aufzutragendes, die Beschichtung bildendes Metall enthalten, 28 dadurch gekennzeichnet, dass der Druckkopf (1 ; 20; 25; 30; 35) ferner Mittel (15; 21 ; 26, 27) aufweist, um der Tinte Energie zuzuführen, so dass eine Zersetzung der Tinte erfolgt und die dadurch erzeugte metallische Beschichtung auf der Oberfläche (8; 8‘) an der zu beschichtenden Stelle haften bleibt. . Druckkopf (1 ; 20; 25) nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckkopf (1 ; 20; 25; 30; 35) ferner Mittel (6; 31) zur Aufrauung der Oberfläche (8; 8‘) an der zu beschichtenden Stelle des Substrats (2; 2‘) aufweist, so dass die dadurch erzeugte metallische Beschichtung auf der Oberfläche (8; 8‘) an den eine Rauigkeit aufweisenden Stellen haften bleibt. ruckkopf (1 ; 20; 25) nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Aufrauung der Oberfläche (8) einen Laser (6) aufweisen. ruckkopf (30; 35) nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Aufrauung der Oberfläche (8) eine Plasmastrahlquelle (31) aufweisen. ruckkopf nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Aufrauung der Oberfläche (8) eine Brenngaszuführung zur Erzeugung einer Flamme aufweisen, die Kontakt mit der Oberfläche (8) hat. ruckkopf nach einem der Ansprüche 27 bis 31 , dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Heizeinheit zur Erwärmung der Oberfläche (8) des Substrats (2; 2‘) aufweist. ruckkopf nach einem der Ansprüche 27 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Energiezufuhrmittel zur Zersetzung der Tinte so angeordnet sind, dass die Energiezufuhr nach dem Ausstößen der Tinte und vor deren Auftreffen auf der Oberfläche (8) erfolgt. ruckkopf (1 ; 20; 25; 30; 35) nach einem der Ansprüche 27 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Energiezufuhrmittel (15; 21 ; 26; 27) zur Zersetzung der Tinte so angeordnet sind, dass die Energiezufuhr nach dem Auftreffen der Tinte auf der Oberfläche (8) erfolgt. ruckkopf (25; 35) nach einem der Ansprüche 27 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Energiezufuhrmittel zur Zersetzung der Tinte eine Brenngaszuführung (26) und eine Brenngasdüse (27) aufweisen. ruckkopf (25; 35) nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Brenngasdüse (27) in einem spitzen Winkel benachbart zur Oberfläche (8) des Substrats (2) angeordnet ist. ruckkopf (20; 30) nach einem der Ansprüche 27 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Energiezufuhrmittel zur Zersetzung der Tinte einen Laser (21) aufweisen. ruckkopf (1) nach einem der Ansprüche 27 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Energiezufuhrmittel zur Zersetzung der Tinte eine Plasmastrahlquelle (15) aufweisen. ruckkopf nach einem der Ansprüche 27 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Energiezufuhrmittel zur Zersetzung der Tinte eine Quelle für erhitztes Prozessgas aufweisen. ruckkopf nach einem der Ansprüche 27 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass er eine Auftragslanze (12‘) mit einer beweglichen Düse (38) aufweist. ruckkopf (1 ; 20; 25; 30; 35) nach einem der Ansprüche 27 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (13) Teil eines Sprühkopfes (12) ist, der in Fließrichtung vor der Düse (13) einen Heizmantel (14) zur Erwärmung der Tinte aufweist. inte zur Verwendung bei der Auftragung einer metallischen Beschichtung auf eine Oberfläche eines Substrats, insbesondere in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 26 oder mit einem Druckkopf nach einem der Ansprüche 27 bis 41 , dadurch gekennzeichnet, dass diese mindestens ein 31
Metallsalz einer organischen Säure oder eine Mischung solcher Salze umfasst, wobei das Metallsalz oder die Metallsalze bei Zufuhr von Energie die Beschichtung des elementaren Metalls auf der Oberfläche bilden. 43. Tinte nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der organischen Säure um eine Carbonsäure oder eine Mischung von Carbonsäuren, insbesondere um Neodecansäure, handelt.
44. Tinte nach Anspruch 42 oder 43, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Metallsalz um ein Kupfersalz handelt.
EP21703850.4A 2021-01-29 2021-01-29 Verfahren und vorrichtung zur aufbringung einer metallischen beschichtung auf eine oberfläche Pending EP4284961A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2021/052112 WO2022161616A1 (de) 2021-01-29 2021-01-29 Verfahren und vorrichtung zur aufbringung einer metallischen beschichtung auf eine oberfläche

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4284961A1 true EP4284961A1 (de) 2023-12-06

Family

ID=74561856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP21703850.4A Pending EP4284961A1 (de) 2021-01-29 2021-01-29 Verfahren und vorrichtung zur aufbringung einer metallischen beschichtung auf eine oberfläche

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP4284961A1 (de)
JP (1) JP2024510371A (de)
CN (1) CN117083416A (de)
WO (1) WO2022161616A1 (de)

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4035080A1 (de) * 1990-11-05 1992-05-07 Abb Patent Gmbh Verfahren und einrichtung zur herstellung von partiellen metallischen schichten
US20050156991A1 (en) * 1998-09-30 2005-07-21 Optomec Design Company Maskless direct write of copper using an annular aerosol jet
DE19958473A1 (de) 1999-12-04 2001-06-07 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Kompositschichten mit einer Plasmastrahlquelle
US7220456B2 (en) * 2004-03-31 2007-05-22 Eastman Kodak Company Process for the selective deposition of particulate material
US20060163744A1 (en) * 2005-01-14 2006-07-27 Cabot Corporation Printable electrical conductors
JP2007141893A (ja) * 2005-11-14 2007-06-07 Seiko Epson Corp 半導体装置の製造方法および電子機器
DE102006061435A1 (de) 2006-12-23 2008-06-26 Leoni Ag Verfahren und Vorrichtung zum Aufspritzen insbesondere einer Leiterbahn, elektrisches Bauteil mit einer Leiterbahn sowie Dosiervorrichtung
DE102008027461B4 (de) 2008-06-09 2011-07-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 Vorrichtung und Verfahren zur mikrostrukturierten Plasmabehandlung
US9157004B2 (en) * 2011-11-15 2015-10-13 Nof Corporation Composition for forming copper pattern and method for forming copper pattern
DE102012103498A1 (de) 2012-04-20 2013-10-24 Reinhausen Plasma Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Kennzeichnen eines Substrats sowie Kennzeichnung hierfür
DE102012108919A1 (de) 2012-09-21 2014-05-15 Reinhausen Plasma Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Schichtsystems
DE102013114572A1 (de) * 2013-12-19 2015-06-25 Leibniz-Institut Für Neue Materialien Gemeinnützige Gmbh Verfahren zur Herstellung strukturierter metallischer Beschichtungen
KR102096826B1 (ko) * 2015-03-24 2020-04-03 쇼와 덴코 가부시키가이샤 도전 패턴 형성용 조성물 및 도전 패턴 형성 방법
CN107148154A (zh) 2017-07-12 2017-09-08 江南大学 一种基于喷墨打印的导电线路印刷工艺
CA3076753A1 (en) * 2017-10-01 2019-04-04 Space Foundry Inc. Modular print head assembly for plasma jet printing
JP2020004648A (ja) 2018-06-29 2020-01-09 旭化成株式会社 導電性パターンの製造方法、及びプラズマ処理装置
EP3663095A1 (de) * 2018-12-07 2020-06-10 Nanogate SE Tintenstrahldruck auf polycarbonatsubstraten

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024510371A (ja) 2024-03-07
CN117083416A (zh) 2023-11-17
WO2022161616A1 (de) 2022-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1844181B1 (de) Verfahren zum kaltgasspritzen
EP0498286B1 (de) Verfahren zur Erzeugung einer verschleissmindernden Schicht
DE102010016973B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines einseitig metallisierten Bedienelements aus Kunststoff mit hinterleuchtbarer Symbolik
WO2008077608A2 (de) Verfahren und vorrichtung zum aufspritzen insbesondere einer leiterbahn, elektrisches bauteil mit einer leiterbahn sowie dosiervorrichtung
EP2108239A1 (de) Verfahren zur herstellung von elektrisch leitfähigen oberflächen
DE112011105618T5 (de) Oxidfilm-Niederschlagsverfahren und Oxidfilm-Niederschlagsvorrichtung
DE4129120C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten mit hochtemperaturbeständigen Kunststoffen und Verwendung des Verfahrens
DE202019103960U1 (de) Bedienelement aus Kunststoff mit hinterleuchtbarer Symbolik, sowie Maschine zur Herstellung eines Bedienelements aus Kunststoff mit hinterleuchtbarer Symbolik
DE102005062271B3 (de) Verfahren zum Aufbringen von Material auf ein Bauteil sowie Bauteil
EP2984202A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aufbau einer struktur auf einem substrat
WO2022161616A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur aufbringung einer metallischen beschichtung auf eine oberfläche
DE102016223244A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum generativen Fertigen eines dreidimensionalen Objekts und dreidimensionales Objekt
EP2862425A1 (de) Verfahren zur herstellung einer dreidimensionalen leiterbahnstruktur sowie eine nach diesem verfahren hergestellte leiterbahnstruktur
EP2562287A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum thermischen Spritzen von Beschichtungswerkstoffen
DE4204896C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Schichtverbundkörpers
DE202019106340U1 (de) Metallisiertes Kunststoffbauteil mit durchleuchtbarer Symbolik
DE19852776A1 (de) Verfahren zur Metallisierung von Kunststoffen
DE102014208249A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Polymerfolien oder plattenförmigen Elementen aus Polymer
DE10241137B4 (de) Verfahren zur Metallisierung von Kunststoffen
DE4141317C1 (en) Prodn. of wear-reducing coating to reduce cracking and distortion - for screw surface in e.g. plastic extruder comprises introducing molybdenum@-contg. material into laser beam and depositing on steel body
EP2580784A2 (de) Verfahren und vorrichtung zum kontaktieren eines halbleitersubstrates mittels eines strahldruckverfahrens
AT518578A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen eines Beschichtungswerkstoffes
EP4059617A1 (de) Lackierverfahren mit gedruckter maske sowie druckvorrichtung
DE102013220841A1 (de) Verfahren zur Vorbehandlung einer Substratoberfläche und Verfahren zur Beschichtung der Substratoberfläche
EP4286144A1 (de) Verfahren zur behandlung einer oberfläche eines formteils

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20230829

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: PILSTER, WOLFGANG OTTO RUDI

Inventor name: HELLMICH, MANFRED

Inventor name: HOFFMANN, WALTER RANDOLF ERNST

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)