EP3337625A1 - Installation and method for the treatment of a workpiece with a process fluid - Google Patents

Installation and method for the treatment of a workpiece with a process fluid

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Publication number
EP3337625A1
EP3337625A1 EP16738163.1A EP16738163A EP3337625A1 EP 3337625 A1 EP3337625 A1 EP 3337625A1 EP 16738163 A EP16738163 A EP 16738163A EP 3337625 A1 EP3337625 A1 EP 3337625A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
workpiece
housing
fluid
suction
plant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP16738163.1A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Hermann-Josef David
Egon KÄSKE
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ecoclean GmbH
Original Assignee
Ecoclean GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ecoclean GmbH filed Critical Ecoclean GmbH
Publication of EP3337625A1 publication Critical patent/EP3337625A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2203/00—Details of cleaning machines or methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B2203/02—Details of machines or methods for cleaning by the force of jets or sprays
    • B08B2203/0229—Suction chambers for aspirating the sprayed liquid

Definitions

  • the invention relates to a plant for treating a workpiece with a process fluid, having a workpiece receiving area for receiving the workpiece and having a device for loading the workpiece in the workpiece receiving area with the process fluid.
  • Such a system is z. B. from EP 2 246 129 A2.
  • workpieces are treated with liquid media in order to clean them of dirt particles or to treat their surfaces with chemical substances. Dirt particles and liquid droplets may impair the function of industrially manufactured products such as e.g. B. affect injectors for internal combustion engines.
  • the cleanliness of workpieces in industrial production processes is therefore of great importance.
  • cleaning systems are used in industrial manufacturing, in which the workpieces are acted upon by liquid media, eg. As with water, which is preferably provided with cleaning additives, or with process fluid containing hydrocarbons.
  • the workpieces are dried, whereby the removal of workpieces that are picked up or adhered to a workpiece is understood to mean the removal of workpieces from the workpiece.
  • drying ovens In which the workpieces are subjected to heat in order to evaporate adhering to the workpieces liquid media.
  • workpieces for drying in industrial production with handling robots are moved about one or more workpiece axes, while the surface of the workpieces is simultaneously exposed to blowing air.
  • the object of the invention is to provide a plant for the residue-free treatment of a workpiece with a process fluid and to provide a treatment method for the treatment of workpieces with a process fluid, in which process fluid residues are largely removed on the workpiece after the treatment.
  • This object is achieved by a plant of the type mentioned above, which contains a closable working chamber, which is acted upon at least with a partial vacuum and the one in an interior of the working Kamner arranged housing having a suction port, which serves for the surrounding of a workpiece received in the workpiece receiving area, wherein the suction port is connected by a suction line with a suction device.
  • a working chamber which can be acted upon by at least a partial vacuum is understood as meaning a chamber in which a negative pressure can be produced by suction which is at least 250 mbar, preferably 400 mbar, particularly preferably 500 mbar, less than a chamber surrounding it with respect to the atmospheric pressure atmospheric pressure.
  • the working chamber in a system according to the invention can be designed, in particular, as a vacuum chamber which can be closed in a fluid-tight manner and in which a vacuum suitable for so-called vacuum drying can be produced, ie. H. in which by means of suction a negative pressure can be produced, which is possible up to 750mbar and preferably up to lmOmbar less than the atmospheric pressure around the chamber.
  • the process fluid for applying the workpiece may be a liquid or a gas.
  • the process fluid may be vaporous and z. B. consist of hot water vapor.
  • the process fluid for the application of the workpiece may in particular be a cleaning fluid, for.
  • As a cleaning fluid can be solved with the adhering to a workpiece oil or adhering to a workpiece cooling lubricants.
  • the process fluid for applying the workpiece in the system may in particular also be cooling lubricant or oil.
  • the invention is based in particular on the recognition that the cleaning of workpieces by combining a spray cleaning with a subsequent vacuum extraction leads to very good cleaning results and that can be particularly well cleaned in this way, especially holes and blind holes in workpieces.
  • suction of the suction line with the suction can then be generated at the suction port of the housing, a negative pressure.
  • a workpiece arranged in the workpiece receiving area and within the housing preferably has the effect of reducing the volume of fluid in the housing (by means of displacement effects).
  • the invention makes use of the fact that spaces in the form of flow channels are formed between a workpiece arranged in the housing and the housing, with a clear cross-section reduced in relation to the surroundings.
  • the fluid flow in the housing is then guided in the workpiece receiving area through one or more bottlenecks, in which it is accelerated in sections on its way into the suction line and / or slowed down and / or also deflected.
  • the housing has a housing wall with at least one passage opening for a gaseous fluid through which the gaseous fluid can be sucked into the housing by generating negative pressure at the suction connection with the suction device. If a negative pressure is generated at the suction connection of the housing, then there forms between the at least one passage opening. tion and the suction port of a pressure gradient, so that then a fluid flow from the passage opening to the suction port formed by the housing. According to the invention, this fluid flow extends at least in sections along the workpiece to be dried. Due to the dependent on the speed of the fluid flow dynamic pressure while the static pressure on the surfaces of the workpiece to be dried is changed and at least partially reduced.
  • Narrow areas are preferably formed in sections between the housing and a workpiece, at which point the flow velocity of the fluid flow reaches a relative maximum, so that the desired drying effect is particularly great there. It is also an idea of the invention to guide the fluid flow in the housing through cavities of a workpiece, in which the fluid flow is also locally accelerated. It is advantageous if the suction device in the system contains a vacuum container which can be ventilated via the suction line and an evacuation device for evacuating the vacuum container.
  • the system preferably has a valve designed as a flap valve.
  • the housing surrounding the workpiece receiving area is arranged in a working chamber which can be sealed in a fluid-tight manner.
  • a working chamber which can be sealed in a fluid-tight manner.
  • the evacuation device may include a suction pump connected to the working chamber through a fluid line on the suction side. It is advantageous if the system also has a suction-side communicating to the suction pump with the fluid line for evacuating the vacuum vessel. In this way, the evacuation device can be used both for evacuating the vacuum container and for evacuating the working chamber.
  • the plant preferably contains a ventilation device for venting the working chamber.
  • This venting device preferably includes a valve which selectively releases or obstructs a flow path for fluid leading into the interior of the working chamber.
  • a work piece in the working chamber preferably be subjected to a predrying in the suction flow and a vacuum drying.
  • the housing in the working chamber can, for. B. tunnelled designed.
  • the installation contains a housing which has a first section which is displaceable in relation to a second section of the housing for arranging workpieces in the workpiece receiving area.
  • the working chamber has a first chamber part with the section of the housing fixed therein and a further chamber part which can be displaced relative to the first chamber part between a closed position and an open position with a further section of the housing fixed therein the opening position to release the workpiece receiving area for the supply and removal of workpieces and to include in the closed position arranged in the workpiece receiving area workpiece in the housing.
  • the means for applying the process fluid to the workpiece in the workpiece receiving area therefore preferably includes at least one nozzle for pressurizing the workpiece with the process fluid through at least one nozzle opening disposed in the housing.
  • the nozzle for the application of the workpiece can in particular a Spritzdü- be.
  • the means for applying the process fluid to the workpiece in the workpiece receiving area can also include at least one nozzle tool with at least one nozzle that can be arranged in a recess and / or a bore of the workpiece.
  • the means for loading the workpiece in the workpiece receiving area with the process fluid includes a fluid conduit for supplying process fluid to the at least one nozzle.
  • a pressure generator for applying the process fluid to a working pressure p A is preferably arranged.
  • a system according to the invention can also contain a further suction line, which communicates with the fluid line for the suction of the fluid line on one side of the shut-off valve facing the at least one nozzle.
  • the housing is adapted to the outer contour of the workpiece. In this way, the amount of fluid that must be pumped for adjusting a vacuum in the working chamber and for generating a fluid flow through the housing in the system can be reduced.
  • the invention also extends to a method for treating a workpiece comprising the steps of: placing the workpiece in a workpiece receiving area in a housing located in an interior of a working chamber; Impinging the workpiece with a process fluid in the workpiece receiving area; and subsequently pressurizing the workpiece with a gaseous fluid flow by applying negative pressure to the working chamber.
  • the invention also extends to a method in which the application of a process fluid to the workpiece in the workpiece receiving area comprises spray cleaning the workpiece with process fluid in the form of cleaning liquid and / or subsequent vacuum drying of the workpiece in the working chamber ,
  • the invention is explained in more detail with reference to the exemplary embodiments shown schematically in the drawing.
  • FIG. 1 shows a first system for treating a workpiece with a process fluid in a first operating state; the system in a different from the first operating state second operating state; the system in a different from the first and second operating state third operating state; a second plant for treating a workpiece with a process fluid; a third plant for treating a workpiece with a process fluid; a fourth plant for treating a workpiece with a process fluid; Fig. 7 shows a fifth plant for treating a workpiece with a
  • Fig. 8 is a nozzle tool in the fifth plant for treating a
  • FIG. 9 shows a sixth system for treating a workpiece with a process fluid
  • 10 shows a seventh system for treating a workpiece with a process fluid.
  • the plant 10 shown in FIG. 1 for the treatment of a workpiece 12 has a working chamber 14 with an evacuatable interior 16.
  • the working chamber 14 is a vacuum chamber that can be closed in a fluid-tight manner.
  • the system 10 includes a suction device 18 with an evacuable vacuum container 20, which is connected by a fluid line 22 to an evacuation device.
  • the evacuation device 24 has an outlet 29. It contains a suction pump 26 and has a liquid separator 28. With a shut-off valve 30 disposed in the conduit 22, the flow path for fluid between the vacuum vessel 20 and the evacuator 24 can be selectively enabled and disabled.
  • the suction pump 26 serves to generate a vacuum in the vacuum container 20.
  • the residual gas pressure for the vacuum in the vacuum container 20 is preferably between 20 mbar and 100 mbar.
  • a liquid separator 28 connected to the pressure connection of the suction pump 26.
  • the vacuum container 20 has a port 32 for discharging liquid accumulated therein through a fluid conduit 34 into a receptacle 36 which can be selectively released or blocked with a shut-off valve 38.
  • a housing 40 in which a workpiece 12 arranged in a workpiece receiving area 42 can be enclosed in a contoured manner.
  • the housing 40 has a housing wall with passage openings 44 for gaseous fluid.
  • the passage openings 44 are arranged in the working chamber 14 passages for gaseous fluid from the evacuable interior 16 of the working chamber 14 into the interior of the housing 40.
  • the system 10 includes means 46 for applying the in The device 46 has a container 48 with process fluid 49 which is connected by a fluid line 50 to nozzles 52 which have nozzle openings 55 arranged in the interior of the housing 40.
  • a pressure generator 54 is arranged in the fluid line 50. With the shut-off valve 56, the fluid line 50 can be selectively enabled and disabled.
  • the housing 40 arranged in the working chamber 14 has a suction connection 58, which is connected by a suction line 60 to the evacuable vacuum container 20 of the suction device 18.
  • a suction line 60 designed as a flap valve valve 62 is arranged, by means of which a flow path for fluid through the suction line 60 can be selectively released and locked.
  • the valve 62 is designed for short switching times and can therefore release the opening cross-section of the suction line 60 abruptly, ie within a time interval of length At ⁇ 1 s, preferably within a time interval of length At ⁇ 0.1 s.
  • the working chamber 14 in the system 10 is designed in two parts and has a hood-shaped chamber part 64 which can be raised and lowered by a movement member (not shown) in the direction of the double arrow 65 relative to a further chamber part 66.
  • the housing 40 is also designed in several parts. It has a portion 68 which is displaceable relative to a portion 70. The portion 70 of the housing 40 is positioned to the chamber part 66 stationary. Accordingly, the portion 68 of the housing 40 to the hood-shaped chamber portion 64 is arranged stationary.
  • the movement member of the hood-shaped chamber part 64 can be moved between a closed and an open position. In the open position, the workpiece receiving region 42 is released for the supply and removal of workpieces 12. In the closed position, a workpiece 12 arranged in the workpiece receiving area 42 is enclosed in the housing 40.
  • the working chamber 14 has a ventilation device 72 with a supply air duct 74, which can optionally be locked and released with a designed as a flap valve valve 76.
  • a muffler 78 In order to keep the noise low when venting the working chamber, located on the side of the valve 76 which faces away from the working chamber 14, a muffler 78.
  • the plant 10 is designed to first clean and dry workpieces 12 in successive operating modes.
  • the workpiece 12 is supplied with process fluid from the container 48, which is passed through the fluid line 50 and the nozzles 52 to the workpiece 12.
  • the process fluid wets the surface of the workpiece 12. It is preferably a cleaning liquid that makes it possible to chemically dissolve contaminants on the surface of the workpiece 12.
  • FIG. 2 shows the workpiece 12 in the system 10 after being supplied with the process fluid 49.
  • the process fluid 49 has accumulated here in front of the valve 62.
  • the shut-off valve 56 is closed in the fluid line 50 and the valve 62 in the line with evacuated vacuum container 20 and the valve 76 of the aeration device 72 is opened.
  • the evacuation device 24 is shut off from the vacuum container 20.
  • a negative pressure is applied to the suction port 58 abruptly, which is preferably about 1 bar with respect to the atmospheric pressure.
  • the process liquid accumulated in the portion 70 of the housing 40 is then sucked into the vacuum container 20.
  • FIG. 1 bar the process liquid accumulated in the portion 70 of the housing 40
  • ⁇ pi - pv between the pressure pi in the interior 16 of the working chamber 14 and the pressure p v in the vacuum container 20, z.
  • ⁇ «Vi pi ⁇ 0.5 bar achieve that the velocity of the fluid flow 80, with which flows the gaseous fluid from the interior 16 of the working chamber 14 in the housing 40 with the workpiece 12 disposed therein, has approximately sound velocity.
  • the arranged in the housing 40 of the working chamber 14 workpiece 12 may, for. B. be an engine block. In this case, it is favorable if the volume of the vacuum container 20 is about 2 m 3 .
  • the volume of the vacuum container 20 can, however, in principle also be smaller if the dimensions of the housing 40 are adapted to suitably smaller workpieces 12, e.g. B. on crankshafts or camshafts.
  • the fluid flow 80 formed in the interior of the housing 40 acts on the surface of the workpiece 12 arranged in the workpiece receiving region 42 in a manner similar to blowing air.
  • the cleaning fluids taken up on the surface of the workpiece 12 and in scooping areas or even inside spaces of the workpiece are absorbed by the fluid flow 80 and moved through the suction connection 58 via the suction line 60 into the vacuum container 20.
  • the open valve 76 of the aerator 72 ensures that the fluid flow 80 imparting the workpiece 12 to the workpiece receiving area 42 decreases only as the vacuum in the vacuum vessel 20 is reduced. Namely, via the ventilating device 72, ambient air can continuously flow into the working chamber 14 through the opened valve 76.
  • the valve 76 of the aeration device 72 is closed when negative pressure is applied to the suction port 58, the fluid flow 80 in the interior of the housing 40 only exists until the pressure equalization between the vacuum container 20 and the interior of the housing 40 has stopped. In this case, the fluid flow 80 can be continued only by venting the working chamber 14 through the supply air passage 74 via the valve 76.
  • FIG. 4 shows a second system 1 10 for treating a workpiece with a process fluid.
  • the plant 1 10 has a container 48 for a liquid 51, which can be heated with a heater 53 for the production of vaporous process fluid 49.
  • FIG. 5 shows a third installation 210 for treating a workpiece with a process fluid. Insofar as the assemblies and elements of the system shown in FIG. 5 correspond to assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols.
  • FIG. 6 shows a fourth installation 310 for treating a workpiece with a process fluid.
  • the assemblies and elements of the system 310 shown in FIG. 6 correspond to corresponding assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols.
  • the system 310 there is a fluid line 71, which connects the vacuum container 20 to the fluid line 50 and in which there is a shut-off valve 73.
  • the fluid line 71 allows evacuation of the fluid line 50, even when the valve 62 is closed.
  • FIG. 7 shows a fifth installation 410 for treating a workpiece with a process fluid.
  • FIG. 8 is an enlarged view of a section VIII of the installation 410 with the device 46 for applying the workpiece 12 to a process fluid 49.
  • the device 46 for applying a process fluid to the workpiece 12 here has a lance-shaped nozzle tool 81 , which can be arranged in a recess and / or a bore 83 of the workpiece 12 and which has at least one nozzle 52 with a nozzle opening 55.
  • cleaning fluid can be injected into a recess and / or a bore 83 here be rinse so that lying on a bottom 85 of the recess or bore processing residues.
  • FIG. 9 shows a sixth system 510 for treating a workpiece 12 with a process fluid 49.
  • the assemblies and elements of the system 510 shown in FIG. 9 and components of FIGS. 1, 2 and 3, these are indicated by the same numbers as reference numerals.
  • the wall of the housing 40 is not contoured with respect to the workpiece 12, so that more space is available for treating the workpiece 12 with the fluid 49 in the housing 40.
  • FIG. 10 shows a seventh plant 610 for treating a workpiece with a process fluid.
  • the assemblies and elements of the system 610 shown in FIG. 10 correspond to corresponding assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols.
  • process fluid 49 in the form of cleaning fluid can be removed from the container 48 through the fluid line 50 via the nozzles 52 of the device.
  • tion 46 for the application of the workpiece 12 are sucked with the process fluid.
  • the workpiece 12 is arranged in the workpiece receiving region 42 and the hood-shaped chamber part 64 is lowered onto the chamber part 66.
  • the valve 76 in the ventilation device 72 is closed here.
  • the vacuum container 20 of the suction device 18 is evacuated to a negative pressure p «-950 mbar.
  • designed as a flap valve valve 62 is opened.
  • process fluid 49 is sucked out of the container 48 due to the pressure difference between the fluid reservoir in the container 48 and the interior 16 of the working chamber 14.
  • the process fluid 49 then flows through the fluid line 50 until the filling volume 2 is reached. From the filling volume 2 gaseous fluid in the form of air is sucked into the fluid line 50 from the container 48, which expels the cleaning fluid from the fluid line 50 and the nozzle 52.
  • the valve 76 in the ventilation device 72 By abruptly opening the valve 76 in the ventilation device 72, an air flow is created in the working chamber 14 between the wall of the housing 40 and the surface of the workpiece 12, which runs at high speed on the workpiece 12 and residues of cleaning fluid deposited there is transported via the suction port 58 of the housing 40 and the valve 62 and the suction line 60 to the vacuum container 20 in the suction device 18.
  • the invention relates to a system 10, 110, 310, 410, 410, 510, 610 for treating a workpiece 12 with a process flow. id 49, with a workpiece receiving area 42 for receiving the workpiece 12 and with a device 46 for loading the workpiece 12 in the workpiece receiving area 42 with the process fluid 49.
  • the plant 10, 10, 210, 310, 410, 510, 610 contains a closable working chamber 14, which can be acted upon by at least a partial vacuum, a housing 40 arranged in the working chamber 14 with a suction connection 58, which serves to surround a workpiece 12 accommodated in the workpiece receiving region 42, and one which is in contact with the suction conclusion 58 connected by a suction line 60 suction device 18th

Abstract

The invention relates to an installation (10) for the treatment of a workpiece (12) with a process fluid (49), having a workpiece-receiving region (42) for receiving the workpiece (12), and having a device (46) for applying the process fluid (49) to the workpiece (12) in the workpiece-receiving region (42). The installation (10) comprises a closable working chamber (14) to which at least a partial vacuum can be applied, a housing (40) which is arranged in the working chamber (14) and which has a suction port (58) and which serves for surrounding a workpiece (12) received in the workpiece-receiving region (42), and a suction-extraction device (18) which is connected to the suction port (58) by way of a suction line (60).

Description

Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid  Plant for treating a workpiece with a process fluid
Die Erfindung betrifft eine Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid, mit einem Werkstückaufnahmebereich für das Aufneh- men des Werkstücks und mit einer Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks in dem Werkstückaufnahmebereich mit dem Prozessfluid. The invention relates to a plant for treating a workpiece with a process fluid, having a workpiece receiving area for receiving the workpiece and having a device for loading the workpiece in the workpiece receiving area with the process fluid.
Eine derartige Anlage ist z. B. aus der EP 2 246 129 A2 bekannt. Werkstücke werden in industriellen Fertigungsprozessen mit flüssigen Medien beauf- schlagt, um sie von Schmutzpartikeln zu reinigen oder um deren Oberfläche mit chemischen Substanzen zu behandeln. Schmutzpartikel und Flüssigkeitströpfchen können die Funktion von industriell hergestellten Produkten wie z. B. Einspritzdüsen für Brennkraftmaschinen beeinträchtigen. Die Sauberkeit von Werkstücken in industriellen Produktionsprozessen ist deshalb von gro- ßer Bedeutung. Für das Reinigen von Werkstücken werden in der industriellen Fertigung Reinigungsanlagen eingesetzt, in denen die Werkstücke mit flüssigen Medien beaufschlagbar sind, z. B. mit Wasser, das vorzugsweise mit Reinigungszusätzen versehen ist, oder mit Prozessflüssigkeit, die Kohlenwasserstoffe enthält. Such a system is z. B. from EP 2 246 129 A2. In industrial manufacturing processes, workpieces are treated with liquid media in order to clean them of dirt particles or to treat their surfaces with chemical substances. Dirt particles and liquid droplets may impair the function of industrially manufactured products such as e.g. B. affect injectors for internal combustion engines. The cleanliness of workpieces in industrial production processes is therefore of great importance. For the cleaning of workpieces cleaning systems are used in industrial manufacturing, in which the workpieces are acted upon by liquid media, eg. As with water, which is preferably provided with cleaning additives, or with process fluid containing hydrocarbons.
Wenn Werkstücke nach dem Reinigen weiterbearbeitet, verbaut oder montiert werden, muss oftmals sichergestellt sein, dass die vorgenannten flüssigen Medien von den Werkstücken vollständig entfernt sind. Hierfür werden die Werkstücke getrocknet, wobei unter dem Trocknen von Werkstücken vor- liegend das Entfernen von an einem Werkstück aufgenommenen oder anhaftenden flüssigen Medien von dem Werkstück verstanden wird. If workpieces are further processed, installed or mounted after cleaning, it must often be ensured that the aforementioned liquid media are completely removed from the workpieces. For this purpose, the workpieces are dried, whereby the removal of workpieces that are picked up or adhered to a workpiece is understood to mean the removal of workpieces from the workpiece.
Für das Trocknen von Werkstücken in der industriellen Fertigung werden zum einen Trocknungsöfen eingesetzt, in denen die Werkstücke mit Wärme beaufschlagt werden, um an den Werkstücken anhaftende flüssige Medien zu verdampfen. Bei Werkstücken mit Abschnitten, die in Flüssigkeitsbädern Flüssigkeit schöpfen, wird für das Trocknen der Werkstücke mit diesem Trocknungsverfahren in der Regel sehr viel Energie und Zeit benötigt. Zum anderen werden Werkstücke für das Trocknen in der industriellen Fertigung mit Handhabungsrobotern um eine oder mehrere Werkstückachsen bewegt, während die Oberfläche der Werkstücke gleichzeitig mit Blasluft beaufschlagt wird. For drying workpieces in industrial production, on the one hand drying ovens are used, in which the workpieces are subjected to heat in order to evaporate adhering to the workpieces liquid media. For workpieces with sections that draw liquid in liquid baths, is used for drying the workpieces with this Drying process usually requires a lot of energy and time. On the other hand, workpieces for drying in industrial production with handling robots are moved about one or more workpiece axes, while the surface of the workpieces is simultaneously exposed to blowing air.
Darüber hinaus ist es bekannt, in mit einer Reinigungsflüssigkeit behandelte Werkstücke für das Trocknen in einer luftdicht verschließbaren Kammer mit einem Unterdruck zu beaufschlagen. Eine solche Anlage für das Trocknen von Werkstücken ist in der DE 42 37 335 A1 beschreiben. Durch Evakuieren der Kammer werden hier Reste von an einem Werkstück anhaftender Reinigungsflüssigkeit verdampft. Um insbesondere die in Bohrungen und Sacklöchern während dem Reinigen aufgenommenen Reinigungsflüssigkeiten zu entfernen, enthält diese Anlage Blasdüsen, mit denen Luftstrahlen erzeugt werden. Mit diesen Luftstrahlen werden Werkstücke abgeblasen. Die in den Bohrungen und Sacklöchern eines Werkstücks aufgenommene Reinigungsflüssigkeit wird hierdurch zerstäubt. Moreover, it is known to pressurize in workpieces treated with a cleaning liquid for drying in an airtight sealable chamber with a negative pressure. Such a system for drying workpieces is described in DE 42 37 335 A1. By evacuating the chamber, residues of cleaning liquid adhering to a workpiece are vaporized here. In order to remove in particular the cleaning fluids taken up in holes and blind holes during cleaning, this system contains blowing nozzles, with which air jets are generated. Workpieces are blown off with these air jets. The cleaning liquid received in the holes and blind holes of a workpiece is thereby atomized.
Für das Erzeugen von Wärme, das Bereitstellen von Unterdruck und das Produzieren von Blasluft wird regelmäßig sehr viel Energie benötigt. Das Trocknen von Werkstücken in der industriellen Fertigung verursacht deshalb in der Regel nicht unerhebliche Kosten. The generation of heat, the provision of negative pressure and the production of blown air requires a great deal of energy on a regular basis. The drying of workpieces in industrial production therefore usually causes not inconsiderable costs.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anlage für das rückstandfreie Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid bereitzustellen und ein Behandlungsverfahren für das Behandeln von Werkstücken mit einem Prozessfluid anzugeben, bei dem an dem Werkstück nach dem Behandeln Prozessfluid- Rückstände weitestgehend entfernt sind. Diese Aufgabe wird durch eine Anlage der eingangs genannten Art gelöst, die eine verschließbare Arbeitskammer enthält, die wenigstens mit einem Teil-Vakuum beaufschlagbar ist und die ein in einem Innenraum der Arbeits- kamnner angeordnetes Gehäuse mit einem Sauganschluss hat, das für das Umgeben eines in dem Werkstückaufnahmebereich aufgenommen Werkstücks dient, wobei der Sauganschluss durch eine Saugleitung mit einer Absaugvorrichtung verbunden ist. The object of the invention is to provide a plant for the residue-free treatment of a workpiece with a process fluid and to provide a treatment method for the treatment of workpieces with a process fluid, in which process fluid residues are largely removed on the workpiece after the treatment. This object is achieved by a plant of the type mentioned above, which contains a closable working chamber, which is acted upon at least with a partial vacuum and the one in an interior of the working Kamner arranged housing having a suction port, which serves for the surrounding of a workpiece received in the workpiece receiving area, wherein the suction port is connected by a suction line with a suction device.
Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Advantageous embodiments of the invention are indicated in the dependent claims.
Unter einer wenigstens mit einem Teil-Vakuum beaufschlagbaren Arbeits- kammer wird dabei eine Kammer verstanden, in der mittels Saugen ein Unterdruck hergestellt werden kann, der in Bezug auf den Atmosphärendruck zumindest 250mbar, bevorzugt 400mbar, besonders bevorzugt 500mbar geringer ist als ein die Kammer umgebender Atmosphärendruck. Die Arbeitskammer in einer erfindungsgemäßen Anlage kann insbesondere als eine flu- iddicht verschließbare Vakuumkammer gestaltet sein, in der ein für das sogenannte Vakuumtrocknen geeignetes Vakuum erzeugt werden kann, d. h. in der mittels Saugen ein Unterdruck hergestellt werden kann, der möglichst bis zu 750mbar und bevorzugt bis zu l OOOmbar geringer ist als der Atmosphärendruck um die Kammer. A working chamber which can be acted upon by at least a partial vacuum is understood as meaning a chamber in which a negative pressure can be produced by suction which is at least 250 mbar, preferably 400 mbar, particularly preferably 500 mbar, less than a chamber surrounding it with respect to the atmospheric pressure atmospheric pressure. The working chamber in a system according to the invention can be designed, in particular, as a vacuum chamber which can be closed in a fluid-tight manner and in which a vacuum suitable for so-called vacuum drying can be produced, ie. H. in which by means of suction a negative pressure can be produced, which is possible up to 750mbar and preferably up to lmOmbar less than the atmospheric pressure around the chamber.
Das Prozessfluid für das Beaufschlagen des Werkstücks kann eine Flüssigkeit oder ein Gas sein. Grundsätzlich kann das Prozessfluid dampfförmig sein und z. B. aus heißem Wasserdampf bestehen. Das Prozessfluid für das Beaufschlagen des Werkstücks kann insbesondere eine Reinigungsflüssig- keit sein, z. B. eine Reinigungsflüssigkeit, mit der an einem Werkstück anhaftendes Öl oder an einem Werkstück anhaftende Kühlschmierstoffe gelöst werden können. Zu bemerken ist, dass das Prozessfluid für das Beaufschlagen des Werkstücks in der Anlage insbesondere auch Kühlschmiermittel o- der Öl sein kann. The process fluid for applying the workpiece may be a liquid or a gas. In principle, the process fluid may be vaporous and z. B. consist of hot water vapor. The process fluid for the application of the workpiece may in particular be a cleaning fluid, for. As a cleaning fluid, can be solved with the adhering to a workpiece oil or adhering to a workpiece cooling lubricants. It should be noted that the process fluid for applying the workpiece in the system may in particular also be cooling lubricant or oil.
Der Erfindung liegt insbesondere die Erkenntnis zugrunde, dass das Reinigen von Werkstücken durch Kombination einer Spritzreinigung mit einer da- rauffolgenden Vakuumabsaugung zu sehr guten Reinigungsergebnissen führt und dass sich auf diese Weise insbesondere Bohrungen und Sacklöcher in Werkstücken besonders gut reinigen lassen. Durch Absaugen der Saugleitung mit der Absaugvorrichtung kann dann an dem Sauganschluss des Gehäuses einen Unterdruck erzeugt werden. Auf diese Weise lässt sich insbesondere erreichen, dass in dem Gehäuse an einem Werkstück angelagerte flüssige Medien schnell verdampfen und von dem Werkstück gelöst werden. Ein in dem Werkstückaufnahmebereich und innerhalb des Gehäuses angeordnetes Werkstück bewirkt dabei bevorzugt (durch Verdrängungseffekte) eine Reduzierung des im Gehäuse befindlichen Fluidvolumens. The invention is based in particular on the recognition that the cleaning of workpieces by combining a spray cleaning with a subsequent vacuum extraction leads to very good cleaning results and that can be particularly well cleaned in this way, especially holes and blind holes in workpieces. By suction of the suction line with the suction can then be generated at the suction port of the housing, a negative pressure. In this way, it can be achieved, in particular, that liquid media deposited on a workpiece in the housing rapidly evaporate and are released from the workpiece. A workpiece arranged in the workpiece receiving area and within the housing preferably has the effect of reducing the volume of fluid in the housing (by means of displacement effects).
Eine Idee der Erfindung ist es auch, dass durch Absaugen der Saugleitung mit der Absaugvorrichtung an dem Sauganschluss des Gehäuses ein Unterdruck erzeugt wird, der eine Fluidströmung aus dem Inneren des Gehäuses in die Saugleitung hervorruft, die ein in dem Werkstückaufnahmebereich angeordnetes Werkstück beaufschlagt. Dabei nutzt die Erfindung aus, dass zwischen einem in dem Gehäuse angeordneten Werkstück und dem Gehäu- se Räume in Form von Strömungskanälen mit einem gegenüber der Umgebung reduzierten lichten Querschnitt gebildet sind. Die Fluidströmung in dem Gehäuse wird dann in dem Werkstückaufnahmebereich durch eine oder mehrere Engstellen geführt, in denen sie auf ihrem Weg in die Saugleitung abschnittsweise beschleunigt und/oder wieder verlangsamt und/oder auch umgelenkt wird. It is also an idea of the invention that by drawing off the suction line with the suction device at the suction port of the housing, a negative pressure is generated, which causes a fluid flow from the interior of the housing into the suction line, which acts on a workpiece arranged in the workpiece receiving area. In this case, the invention makes use of the fact that spaces in the form of flow channels are formed between a workpiece arranged in the housing and the housing, with a clear cross-section reduced in relation to the surroundings. The fluid flow in the housing is then guided in the workpiece receiving area through one or more bottlenecks, in which it is accelerated in sections on its way into the suction line and / or slowed down and / or also deflected.
Eine Idee der Erfindung ist es insbesondere, dass das Gehäuse eine Gehäusewand mit wenigstens einer Durchtrittöffnung für ein gasförmiges Fluid aufweist, durch die das gasförmige Fluid mit der Absaugvorrichtung durch Er- zeugen von Unterdruck an dem Sauganschluss in das Gehäuse eingesaugt werden kann. Wenn an dem Sauganschluss des Gehäuses ein Unterdruck erzeugt wird, so bildet sich dort zwischen der wenigstens einen Durchtrittöff- nung und dem Sauganschluss ein Druckgefälle aus, so dass dann eine Fluidstromung von der Durchtrittöffnung zu dem Sauganschluss durch das Gehäuse entsteht. Erfindungsgemäß verläuft diese Fluidstromung zumindest abschnittsweise an dem zu trocknenden Werkstück entlang. Aufgrund des von der Geschwindigkeit der Fluidstromung abhängigen dynamischen Drucks wird dabei auch der statische Druck an den Oberflächen des zu trocknenden Werkstücks verändert und zumindest abschnittsweise reduziert. Die Erfinder ha- ben erkannt, dass sich bei einem solchermaßen reduzierten statischen Druck aufgrund der Strömungsgeschwindigkeit der Fluidstromung auf der Oberfläche eines Werkstücks angelagerte Flüssigkeitstropfen besonders wirkungsvoll entfernen lassen. Bevorzugt sind zwischen dem Gehäuse und einem Werkstück abschnittsweise Engstellen gebildet, an denen die Strömungsgeschwindigkeit der Fluidstromung ein relatives Maximum erreicht, so dass die gewünschte Trocknungswirkung dort besonders groß ist. Eine Idee der Erfindung ist es auch, die Fluidstromung in dem Gehäuse durch Hohlräume eines Werkstücks hin- durch zu führen, in denen die Fluidstromung ebenfalls lokal beschleunigt wird. Von Vorteil ist es, wenn die Absaugvorrichtung in der Anlage einen über die Saugleitung belüftbaren Vakuumbehälter und eine Evakuierungseinrichtung für das Evakuieren des Vakuumbehälters enthält. Auf diese Weise ist es möglich, in kurzer Zeit sehr große Gasmengen aus dem Gehäuse abzusau- gen, so dass sich dort kurzzeitig eine starke Fluidstromung ausbildet. Für das vorzugsweise schlagartige Freigeben und Sperren der Saugleitung hat die Anlage bevorzugt ein als Klappenventil ausgebildetes Ventil. An idea of the invention is in particular that the housing has a housing wall with at least one passage opening for a gaseous fluid through which the gaseous fluid can be sucked into the housing by generating negative pressure at the suction connection with the suction device. If a negative pressure is generated at the suction connection of the housing, then there forms between the at least one passage opening. tion and the suction port of a pressure gradient, so that then a fluid flow from the passage opening to the suction port formed by the housing. According to the invention, this fluid flow extends at least in sections along the workpiece to be dried. Due to the dependent on the speed of the fluid flow dynamic pressure while the static pressure on the surfaces of the workpiece to be dried is changed and at least partially reduced. The inventors have recognized that due to the flow velocity of the fluid flow on the surface of a workpiece, liquid droplets deposited on the surface of a workpiece can be removed particularly effectively at such a reduced static pressure. Narrow areas are preferably formed in sections between the housing and a workpiece, at which point the flow velocity of the fluid flow reaches a relative maximum, so that the desired drying effect is particularly great there. It is also an idea of the invention to guide the fluid flow in the housing through cavities of a workpiece, in which the fluid flow is also locally accelerated. It is advantageous if the suction device in the system contains a vacuum container which can be ventilated via the suction line and an evacuation device for evacuating the vacuum container. In this way, it is possible to suck off very large amounts of gas from the housing in a short time, so that a strong fluid flow briefly forms there. For preferably releasing and blocking the suction line, the system preferably has a valve designed as a flap valve.
Eine Idee der Erfindung ist es insbesondere, dass das den Werkstückauf- nahmebereich umgebende Gehäuse in einer fluiddicht verschließbaren Arbeitskammer angeordnet ist. Damit wird ausgenützt, dass in der Anlage Werkstücke durch Beaufschlagen mit einer starken Fluidstromung in dem Gehäuse vorgetrocknet und nach dem Vortrocknen durch Evakuieren der Arbeitskammer einer Vakuumtrocknung unterzogen werden können. Dabei kann ausgenutzt werden, dass bei dem Beaufschlagen eines Werkstücks mit einer Fluidströmung in der Arbeitskammer durch Anlegen von Unterdruck an den Sauganschluss des Gehäuses in der Arbeitskammer ein Teilvakuum ausbilden kann. Das Einstellen eines für das Vakuumtrocknen günstigen höheren Vakuums in der Arbeitskammer ist dann mit einem verringerten energetischen und zeitlichen Aufwand möglich. Für das Evakuieren der Arbeitskammer kann die Evakuierungseinrichtung eine mit der Arbeitskammer durch eine Fluidleitung saugseitig verbundene Saugpumpe enthalten. Von Vorteil ist es, wenn die Anlage auch eine zu der Saugpumpe mit der Fluidleitung saugseitig kommunizierende Leitung für das Evakuieren des Vakuumbehälters hat. Auf diese Weise kann die Evakuie- rungseinrichtung sowohl für das Evakuieren des Vakuumbehälters als auch für das Evakuieren der Arbeitskammer eingesetzt werden. One idea of the invention is, in particular, that the housing surrounding the workpiece receiving area is arranged in a working chamber which can be sealed in a fluid-tight manner. This exploits that in the plant workpieces by applying a strong fluid flow in the Pre-dried housing and after predrying by evacuating the working chamber of a vacuum drying can be subjected. It can be exploited that can form a partial vacuum when applying a workpiece with a fluid flow in the working chamber by applying negative pressure to the suction port of the housing in the working chamber. The setting of a favorable for the vacuum drying higher vacuum in the working chamber is then possible with a reduced energy and time. For evacuating the working chamber, the evacuation device may include a suction pump connected to the working chamber through a fluid line on the suction side. It is advantageous if the system also has a suction-side communicating to the suction pump with the fluid line for evacuating the vacuum vessel. In this way, the evacuation device can be used both for evacuating the vacuum container and for evacuating the working chamber.
Die Anlage enthält bevorzugt eine Belüftungseinrichtung für das Belüften der Arbeitskammer. Diese Belüftungseinrichtung enthält vorzugsweise ein Ventil, das einen in das Innere der Arbeitskammer führenden Strömungsweg für Fluid wahlweise freigibt oder versperrt. The plant preferably contains a ventilation device for venting the working chamber. This venting device preferably includes a valve which selectively releases or obstructs a flow path for fluid leading into the interior of the working chamber.
Indem das Prozessfluid für das Beaufschlagen des Werkstücks auf das Werkstück aufgespritzt oder aufgesprüht wird, kann mit geeigneten Bestand- teilen in dem Prozessfluid das Anlösen von Verschmutzungen gefördert werden. Diese Verschmutzungen können dann aus der Arbeitskammer in einem Vakuum-Saugstrom abgeführt und in dem Vakuumbehälter für das Entsorgen gesammelt werden. Eine Idee der Erfindung ist es auch, Werkstücke in der Arbeitskammer mittels des Saugstroms vorzutrocknen. Erfindungsgemäß kann dabei ein Werk- stück in der Arbeitskammer bevorzugt nach einem Vortrocknen in dem Saugstrom auch einer Vakuumtrocknung unterzogen werden. By spraying or spraying the process fluid for the application of the workpiece onto the workpiece, it is possible with suitable components in the process fluid to promote the dissolving of contaminants. These contaminants can then be removed from the working chamber in a vacuum suction stream and collected in the vacuum container for disposal. An idea of the invention is also to pre-dry workpieces in the working chamber by means of the suction flow. According to the invention, a work piece in the working chamber preferably be subjected to a predrying in the suction flow and a vacuum drying.
Das Gehäuse in der Arbeitskammer kann z. B. tunnelförmig gestaltet sein. In dem Gehäuse ist dann bevorzugt eine Linearbewegungseinrichtung für das lineare Verlagern von Werkstücken durch das Gehäuse von einer ersten verschließbaren Öffnung der Arbeitskammer zu einer der ersten Öffnung gegenüberliegenden weiteren Öffnung der Arbeitskammer vorgesehen. Auf diese Weise wird das Trocknen von Werkstücken in der Anlage mit kurzen Taktzeiten ermöglicht. The housing in the working chamber can, for. B. tunnelled designed. In the housing is then preferably provided a linear movement device for the linear displacement of workpieces through the housing from a first closable opening of the working chamber to one of the first opening opposite another opening of the working chamber. In this way, the drying of workpieces in the system with short cycle times is possible.
Von Vorteil ist es, wenn die Anlage ein Gehäuse enthält, das einen ersten Abschnitt hat, der für das Anordnen von Werkstücken in dem Werkstückaufnahmebereich gegenüber einem zweiten Abschnitt des Gehäuses verlager- bar ist. Auf diese Weise lässt sich das Anordnen von Werkstücken in dem Gehäuse der Anlage vereinfachen. Von Vorteil ist es dabei insbesondere, wenn die Arbeitskammer einen ersten Kammerteil mit dem darin festgelegten Abschnitt des Gehäuses aufweist und einen gegenüber dem ersten Kammerteil zwischen einer Schließ- und einer Öffnungsstellung verlagerbaren weite- ren Kammerteil mit einem darin festgelegten weiteren Abschnitt des Gehäuses, um in der Öffnungsstellung den Werkstückaufnahmebereich für das Zu- und Abführen von Werkstücken freizugeben und in der Schließstellung ein in dem Werkstückaufnahmebereich angeordnetes Werkstück in dem Gehäuse einzuschließen. It is advantageous if the installation contains a housing which has a first section which is displaceable in relation to a second section of the housing for arranging workpieces in the workpiece receiving area. In this way, the arrangement of workpieces in the housing of the system can be simplified. It is particularly advantageous in this case if the working chamber has a first chamber part with the section of the housing fixed therein and a further chamber part which can be displaced relative to the first chamber part between a closed position and an open position with a further section of the housing fixed therein the opening position to release the workpiece receiving area for the supply and removal of workpieces and to include in the closed position arranged in the workpiece receiving area workpiece in the housing.
Eine Erkenntnis der Erfindung ist es, dass ohne gezieltes Spritzreinigen Bohrungen und Gewindesacklochbohrungen nicht gut gereinigt werden können. Die Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks in dem Werkstückaufnahmebereich mit dem Prozessfluid enthält deshalb bevorzugt wenigs- tens eine Düse für das Beaufschlagen des Werkstücks mit dem Prozessfluid durch wenigstens eine in dem Gehäuse angeordnete Düsenöffnung. Die Düse für das Beaufschlagen des Werkstücks kann insbesondere eine Spritzdü- se sein. Die Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks in dem Werkstückaufnahmebereich mit dem Prozessfluid kann auch wenigstens ein in einer Ausnehmung und/oder einer Bohrung des Werkstücks anordenbares Düsenwerkzeug mit wenigstens einer Düse enthalten. A finding of the invention is that without targeted spray cleaning holes and threaded blind holes can not be cleaned well. The means for applying the process fluid to the workpiece in the workpiece receiving area therefore preferably includes at least one nozzle for pressurizing the workpiece with the process fluid through at least one nozzle opening disposed in the housing. The nozzle for the application of the workpiece can in particular a Spritzdü- be. The means for applying the process fluid to the workpiece in the workpiece receiving area can also include at least one nozzle tool with at least one nozzle that can be arranged in a recess and / or a bore of the workpiece.
Eine Idee der Erfindung ist es insbesondere, dass die Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks in dem Werkstückaufnahmebereich mit dem Prozessfluid eine Fluidleitung für das Zuführen von Prozessfluid an die wenigstens eine Düse enthält. In dieser Fluidleitung ist bevorzugt ein Drucker- zeuger für das Beaufschlagen des Prozessfluids mit einem Arbeitsdruck pA angeordnet. Besonders bevorzugt gibt es in der Fluidleitung ein Absperrventil. Eine erfindungsgemäße Anlage kann auch eine weitere Saugleitung enthalten, die für das Absaugen der Fluidleitung auf einer der wenigstens einen Düse zugewandten Seite des Absperrventils mit der Fluidleitung kommuni- ziert. Eine Idee der Erfindung ist es auch, dass das Gehäuse an die Außenkontur des Werkstücks angepasst ist. Auf diese Weise kann die Fluidmenge reduziert werden, die für das Einstellen eines Vakuums in der Arbeitskammer und für das Erzeugen eines Fluidstroms durch das Gehäuse in der Anlage gefördert werden muss. In particular, an idea of the invention is that the means for loading the workpiece in the workpiece receiving area with the process fluid includes a fluid conduit for supplying process fluid to the at least one nozzle. In this fluid line, a pressure generator for applying the process fluid to a working pressure p A is preferably arranged. Particularly preferably, there is a shut-off valve in the fluid line. A system according to the invention can also contain a further suction line, which communicates with the fluid line for the suction of the fluid line on one side of the shut-off valve facing the at least one nozzle. An idea of the invention is also that the housing is adapted to the outer contour of the workpiece. In this way, the amount of fluid that must be pumped for adjusting a vacuum in the working chamber and for generating a fluid flow through the housing in the system can be reduced.
Die Erfindung erstreckt sich auch auf ein Verfahren für das Behandeln eines Werkstücks mit folgenden Schritten: Anordnen des Werkstücks in einem Werkstückaufnahmebereich in einem Gehäuse, das sich in einem Innenraum einer Arbeitskammer befindet; Beaufschlagen des Werkstücks mit einem Prozessfluid in dem Werkstückaufnahmebereich; und Darauffolgendes Beaufschlagen des Werkstücks mit einer gasförmigen Fluidströmung durch Anlegen von Unterdruck an die Arbeitskammer. Insbesondere erstreckt sich die Erfindung auch auf ein Verfahren, bei dem das Beaufschlagen des Werkstücks mit einem Prozessfluid in dem Werkstückaufnahmebereich ein Spritz- reinigen des Werkstücks mit Prozessfluid in Form von Reinigungsflüssigkeit umfasst und/oder bei dem ein darauffolgendes Vakuumtrocknen des Werkstücks in der Arbeitskammer durchgeführt wird. lm Folgenden wird die Erfindung anhand der in der Zeichnung in schemati- scher Weise dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen: eine erste Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid in einem ersten Betriebszustand; die Anlage in einem von dem ersten Betriebszustand verschiedenen zweiten Betriebszustand; die Anlage in einem von dem ersten und zweiten Betriebszustand verschiedenen dritten Betriebszustand; eine zweite Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid; eine dritte Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid; eine vierte Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid; Fig. 7 eine fünfte Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem The invention also extends to a method for treating a workpiece comprising the steps of: placing the workpiece in a workpiece receiving area in a housing located in an interior of a working chamber; Impinging the workpiece with a process fluid in the workpiece receiving area; and subsequently pressurizing the workpiece with a gaseous fluid flow by applying negative pressure to the working chamber. In particular, the invention also extends to a method in which the application of a process fluid to the workpiece in the workpiece receiving area comprises spray cleaning the workpiece with process fluid in the form of cleaning liquid and / or subsequent vacuum drying of the workpiece in the working chamber , In the following, the invention is explained in more detail with reference to the exemplary embodiments shown schematically in the drawing. 1 shows a first system for treating a workpiece with a process fluid in a first operating state; the system in a different from the first operating state second operating state; the system in a different from the first and second operating state third operating state; a second plant for treating a workpiece with a process fluid; a third plant for treating a workpiece with a process fluid; a fourth plant for treating a workpiece with a process fluid; Fig. 7 shows a fifth plant for treating a workpiece with a
Prozessfluid;  Process fluid;
Fig. 8 ein Düsenwerkzeug in der fünften Anlage für das Behandeln eines Fig. 8 is a nozzle tool in the fifth plant for treating a
Werkstücks mit einem Prozessfluid;  Workpiece with a process fluid;
Fig. 9 eine sechste Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid; und Fig. 10 eine siebte Anlage für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid. Die in der Fig. 1 gezeigte Anlage 10 für das Behandeln eines Werkstücks 12 hat eine Arbeitskammer 14 mit einem evakuierbaren Innenraum 16. Die Arbeitskammer 14 ist eine fluiddicht verschließbare Vakuumkammer. Die Anlage 10 enthält eine Absaugvorrichtung 18 mit einem evakuierbaren Vakuumbehälter 20, der durch eine Fluidleitung 22 mit einer Evakuierungseinrichtung verbunden ist. Die Evakuierungseinrichtung 24 hat einen Ausgang 29. Sie enthält eine Saugpumpe 26 und weist einen Flüssigkeitsabscheider 28 auf. Mit einem in der Leitung 22 angeordneten Absperrventil 30 kann der Strömungsweg für Fluid zwischen dem Vakuumbehälter 20 und der Evakuierungseinrichtung 24 wahlweise freigegeben und gesperrt werden. Die Saug- pumpe 26 dient für das Erzeugen eines Vakuums in dem Vakuumbehälter 20. Der Restgasdruck für das Vakuum in dem Vakuumbehälter 20 liegt dabei bevorzugt zwischen 20 mbar und 100 mbar. Um das mit der Saugpumpe 26 in der Anlage 10 geförderte gasförmige Fluid von flüssigen Stoffen wie etwa Reinigungsflüssigkeiten für das Reinigen von Werkstücken 12 zu befreien, wird dieses dann durch einen mit dem Druckanschluss der Saugpumpe 26 verbundenen Flüssigkeitsabscheider 28 geführt. Der Vakuumbehälter 20 hat einen Anschluss 32 für das Abführen von darin angesammelter Flüssigkeit durch eine Fluidleitung 34 in einen Aufnahmebehälter 36, die mit einem Absperrventil 38 wahlweise freigegeben oder versperrt werden kann. 9 shows a sixth system for treating a workpiece with a process fluid; and 10 shows a seventh system for treating a workpiece with a process fluid. The plant 10 shown in FIG. 1 for the treatment of a workpiece 12 has a working chamber 14 with an evacuatable interior 16. The working chamber 14 is a vacuum chamber that can be closed in a fluid-tight manner. The system 10 includes a suction device 18 with an evacuable vacuum container 20, which is connected by a fluid line 22 to an evacuation device. The evacuation device 24 has an outlet 29. It contains a suction pump 26 and has a liquid separator 28. With a shut-off valve 30 disposed in the conduit 22, the flow path for fluid between the vacuum vessel 20 and the evacuator 24 can be selectively enabled and disabled. The suction pump 26 serves to generate a vacuum in the vacuum container 20. The residual gas pressure for the vacuum in the vacuum container 20 is preferably between 20 mbar and 100 mbar. In order to free the gaseous fluid conveyed by the suction pump 26 in the system 10 of liquid substances, such as cleaning liquids for cleaning workpieces 12, this is then passed through a liquid separator 28 connected to the pressure connection of the suction pump 26. The vacuum container 20 has a port 32 for discharging liquid accumulated therein through a fluid conduit 34 into a receptacle 36 which can be selectively released or blocked with a shut-off valve 38.
In der Anlage 10 gibt es ein Gehäuse 40, in dem ein in einem Werkstückaufnahmebereich 42 angeordnetes Werkstück 12 konturnah eingeschlossen werden kann. Das Gehäuse 40 hat eine Gehäusewand mit Durchtrittöffnungen 44 für gasförmiges Fluid. Die Durchtrittöffnungen 44 sind in der Arbeits- kammer 14 angeordnete Durchlässe für gasförmiges Fluid aus dem evakuierbaren Innenraum 16 der Arbeitskammer 14 in das Innere des Gehäuses 40. Die Anlage 10 enthält eine Einrichtung 46 für das Beaufschlagen des in dem Werkstückaufnahmebereich 42 angeordneten Werkstücks 12 mit einem Prozessfluid in dem Gehäuse 40. Die Einrichtung 46 hat einen Behälter 48 mit Prozessfluid 49, der durch eine Fluidleitung 50 mit Düsen 52 verbunden ist, die in dem Inneren des Gehäuses 40 angeordnete Düsenöffnungen 55 haben. In der Fluidleitung 50 ist ein Druckerzeuger 54 angeordnet. Mit dem Absperrventil 56 kann die Fluidleitung 50 wahlweise freigegeben und gesperrt werden. Das in der Arbeitskammer 14 angeordnete Gehäuse 40 hat einen Sauganschluss 58, der durch eine Saugleitung 60 mit dem evakuierbaren Vakuumbehälter 20 der Absaugvorrichtung 18 verbunden ist. In der Saugleitung 60 ist ein als Klappenventil ausgebildetes Ventil 62 angeordnet, mittels dessen ein Strömungsweg für Fluid durch die Saugleitung 60 wahlweise freigegeben und gesperrt werden kann. Das Ventil 62 ist für kurze Schaltzeiten ausgelegt und kann deshalb den Öffnungsquerschnitt der Saugleitung 60 schlagartig freigeben, d. h. innerhalb eines Zeitintervalls der Länge At < 1 s, vorzugsweise innerhalb eines Zeitintervalls der Länge At < 0,1 s. In the system 10, there is a housing 40 in which a workpiece 12 arranged in a workpiece receiving area 42 can be enclosed in a contoured manner. The housing 40 has a housing wall with passage openings 44 for gaseous fluid. The passage openings 44 are arranged in the working chamber 14 passages for gaseous fluid from the evacuable interior 16 of the working chamber 14 into the interior of the housing 40. The system 10 includes means 46 for applying the in The device 46 has a container 48 with process fluid 49 which is connected by a fluid line 50 to nozzles 52 which have nozzle openings 55 arranged in the interior of the housing 40. In the fluid line 50, a pressure generator 54 is arranged. With the shut-off valve 56, the fluid line 50 can be selectively enabled and disabled. The housing 40 arranged in the working chamber 14 has a suction connection 58, which is connected by a suction line 60 to the evacuable vacuum container 20 of the suction device 18. In the suction line 60 designed as a flap valve valve 62 is arranged, by means of which a flow path for fluid through the suction line 60 can be selectively released and locked. The valve 62 is designed for short switching times and can therefore release the opening cross-section of the suction line 60 abruptly, ie within a time interval of length At <1 s, preferably within a time interval of length At <0.1 s.
Die Arbeitskammer 14 in der Anlage 10 ist zweiteilig ausgeführt und hat ein haubenförmiges Kammerteil 64, das mit einem Bewegungsorgan (nicht gezeigt) in der Richtung des Doppelpfeils 65 gegenüber einem weiteren Kam- merteil 66 angehoben und abgesenkt werden kann. Das Gehäuse 40 ist ebenfalls mehrteilig gestaltet. Es hat einen Abschnitt 68, der gegenüber einem Abschnitt 70 verlagerbar ist. Der Abschnitt 70 des Gehäuses 40 ist dabei zu dem Kammerteil 66 ortsfest positioniert. Entsprechend ist der Abschnitt 68 des Gehäuses 40 zu dem haubenförmigen Kammerteil 64 ortsfest angeordnet. The working chamber 14 in the system 10 is designed in two parts and has a hood-shaped chamber part 64 which can be raised and lowered by a movement member (not shown) in the direction of the double arrow 65 relative to a further chamber part 66. The housing 40 is also designed in several parts. It has a portion 68 which is displaceable relative to a portion 70. The portion 70 of the housing 40 is positioned to the chamber part 66 stationary. Accordingly, the portion 68 of the housing 40 to the hood-shaped chamber portion 64 is arranged stationary.
Mit dem Bewegungsorgan kann der haubenförmige Kammerteil 64 zwischen einer Schließ- und einer Öffnungsstellung bewegt werden. In der Öffnungsstellung ist der Werkstückaufnahmebereich 42 dabei für das Zu- und Abfüh- ren von Werkstücken 12 freigegeben. In der Schließstellung ist ein in dem Werkstückaufnahmebereich 42 angeordnetes Werkstück 12 in dem Gehäuse 40 eingeschlossen. Die Arbeitskammer 14 hat eine Belüftungseinrichtung 72 mit einem Zuluftkanal 74, der mit einem als Klappenventil ausgebildeten Ventil 76 wahlweise gesperrt und freigegeben werden kann. Um die Geräuschentwicklung bei einem Belüften der Arbeitskammer gering zu halten, befindet sich auf der Seite des Ventils 76, das der Arbeitskammer 14 abgewandt ist, ein Schalldämpfer 78. Damit verhindert wird, dass bei einem Belüften der Arbeitskammer 14 Staub- und/oder Schmutzpartikel in die Arbeitskammer gelangen, kann in der Belüftungseinrichtung 72 alternativ oder zusätzlich zu dem Schalldämpfer 78 auch ein Luftfilter vorgesehen sein. Die Anlage 10 ist dazu ausgelegt, Werkstücke 12 in aufeinanderfolgenden Betriebsarten zunächst zu reinigen und darauf zu trocknen. Für das Reinigen wird das Werkstück 12 mit Prozessfluid aus dem Behälter 48 beaufschlagt, die durch die Fluidleitung 50 und die Düsen 52 zu dem Werkstück 12 geführt wird. Das Prozessfluid benetzt hier die Oberfläche des Werkstücks 12. Es ist bevorzugt eine Reinigungsflüssigkeit, die es ermöglicht, Verschmutzungen an der Oberfläche des Werkstücks 12 chemisch anzulösen. With the movement member of the hood-shaped chamber part 64 can be moved between a closed and an open position. In the open position, the workpiece receiving region 42 is released for the supply and removal of workpieces 12. In the closed position, a workpiece 12 arranged in the workpiece receiving area 42 is enclosed in the housing 40. The working chamber 14 has a ventilation device 72 with a supply air duct 74, which can optionally be locked and released with a designed as a flap valve valve 76. In order to keep the noise low when venting the working chamber, located on the side of the valve 76 which faces away from the working chamber 14, a muffler 78. This prevents that when venting the working chamber 14 dust and / or dirt particles in enter the working chamber, may be provided in the ventilation device 72 alternatively or in addition to the muffler 78, an air filter. The plant 10 is designed to first clean and dry workpieces 12 in successive operating modes. For cleaning, the workpiece 12 is supplied with process fluid from the container 48, which is passed through the fluid line 50 and the nozzles 52 to the workpiece 12. Here, the process fluid wets the surface of the workpiece 12. It is preferably a cleaning liquid that makes it possible to chemically dissolve contaminants on the surface of the workpiece 12.
Die Fig. 2 zeigt das Werkstück 12 in der Anlage 10 nach dem Beaufschlagen mit dem Prozessfluid 49. Das Prozessfluid 49 hat sich hier vor dem Ventil 62 angesammelt. Nun wird das Absperrventil 56 in der Fluidleitung 50 geschlossen und das Ventil 62 in der Leitung bei evakuiertem Vakuumbehälter 20 sowie das Ventil 76 der Belüftungseinrichtung 72 geöffnet. Die Evakuierungseinrichtung 24 ist von dem Vakuumbehälter 20 dabei abgesperrt. Durch Öffnen des Ventils 62 in der Saugleitung 60 wird an den Sauganschluss 58 schlagartig ein Unterdruck angelegt, der in Bezug auf den Atmosphärendruck vorzugsweise etwa 1 bar beträgt. Die in dem Abschnitt 70 des Gehäuses 40 angesammelte Prozessflüssigkeit wird dann in den Vakuumbehälter 20 gesogen. Wie die Fig. 3 zeigt, wird in dem Gehäuse 40 darauf eine durch die Öffnungen 44 in der Gehäusewand eintretende Fluidströmung 80 ausgebildet, die zu dem Sauganschluss 58 verläuft und die durch die Saugleitung 60 in den Vakuumbehälter 20 geführt wird. Indem der kleinste Querschnitt der Saugleitung 60 größer ist als die Summe der Durchtrittflächen der Öffnungen 44 in der Gehäusewand, lässt sich bei einer hinreichend großen Druckdifferenz Δρ = pi - pv zwischen dem Druck pi in dem Innenraum 16 der Arbeitskammer 14 und dem Druck pv in dem Vakuumbehälter 20, z. B. Δρ « Vi pi ~ 0,5 bar erreichen, dass die Geschwindigkeit der Fluidströmung 80, mit der das gasförmige Fluid aus dem Innenraum 16 der Arbeitskammer 14 in das Gehäuse 40 mit dem darin angeordneten Werkstück 12 einströmt, annährend Schallgeschwindigkeit hat. FIG. 2 shows the workpiece 12 in the system 10 after being supplied with the process fluid 49. The process fluid 49 has accumulated here in front of the valve 62. Now the shut-off valve 56 is closed in the fluid line 50 and the valve 62 in the line with evacuated vacuum container 20 and the valve 76 of the aeration device 72 is opened. The evacuation device 24 is shut off from the vacuum container 20. By opening the valve 62 in the suction line 60, a negative pressure is applied to the suction port 58 abruptly, which is preferably about 1 bar with respect to the atmospheric pressure. The process liquid accumulated in the portion 70 of the housing 40 is then sucked into the vacuum container 20. As shown in FIG. 3, in the housing 40 thereon is formed a fluid flow 80 entering through the openings 44 in the housing wall, which flows to the suction port 58 and which flows through the suction line 60 into the housing Vacuum tank 20 is guided. By the smallest cross section of the suction line 60 is greater than the sum of the passage areas of the openings 44 in the housing wall, can be at a sufficiently large pressure difference Δρ = pi - pv between the pressure pi in the interior 16 of the working chamber 14 and the pressure p v in the vacuum container 20, z. B. Δρ «Vi pi ~ 0.5 bar achieve that the velocity of the fluid flow 80, with which flows the gaseous fluid from the interior 16 of the working chamber 14 in the housing 40 with the workpiece 12 disposed therein, has approximately sound velocity.
Das in dem Gehäuse 40 der Arbeitskammer 14 angeordnete Werkstück 12 kann z. B. ein Motorblock sein. In diesem Fall ist es günstig, wenn das Volumen des Vakuumbehälters 20 etwa 2 m3 beträgt. Das Volumen des Vakuumbehälters 20 kann aber grundsätzlich auch kleiner sein, wenn die Dimen- sionen des Gehäuses 40 an entsprechend kleinere Werkstücke 12 ange- passt sind, z. B. an Kurbel- oder Nockenwellen. The arranged in the housing 40 of the working chamber 14 workpiece 12 may, for. B. be an engine block. In this case, it is favorable if the volume of the vacuum container 20 is about 2 m 3 . The volume of the vacuum container 20 can, however, in principle also be smaller if the dimensions of the housing 40 are adapted to suitably smaller workpieces 12, e.g. B. on crankshafts or camshafts.
Die in dem Inneren des Gehäuses 40 ausgebildete Fluidströmung 80 beaufschlagt die Oberfläche des in dem Werkstückaufnahmebereich 42 angeord- neten Werkstücks 12 ähnlich wie Blasluft. Die an der Oberfläche des Werkstücks 12 und in schöpfenden Partien oder auch Innenräumen des Werkstücks aufgenommene Reinigungsflüssigkeiten werden von der Fluidströmung 80 dabei aufgenommen und durch den Sauganschluss 58 über die Saugleitung 60 in den Vakuumbehälter 20 bewegt. The fluid flow 80 formed in the interior of the housing 40 acts on the surface of the workpiece 12 arranged in the workpiece receiving region 42 in a manner similar to blowing air. The cleaning fluids taken up on the surface of the workpiece 12 and in scooping areas or even inside spaces of the workpiece are absorbed by the fluid flow 80 and moved through the suction connection 58 via the suction line 60 into the vacuum container 20.
Das geöffnete Ventil 76 der Belüftungseinrichtung 72 gewährleistet, dass die das Werkstück 12 in dem Werkstückaufnahmebereich 42 beaufschlagende Fluidströmung 80 nur in dem Maße abnimmt, wie dabei das Vakuum in dem Vakuumbehälter 20 verringert wird. Über die Belüftungseinrichtung 72 kann nämlich durch das geöffnete Ventil 76 in die Arbeitskammer 14 fortlaufend Umgebungsluft einströmen. Wenn das Ventil 76 der Belüftungseinrichtung 72 bei Anlegen von Unterdruck an den Sauganschluss 58 geschlossen ist, so besteht die Fluidströ- mung 80 in dem Inneren des Gehäuses 40 nur so lange, bis sich der Druckausgleich zwischen dem Vakuumbehälter 20 und dem Inneren des Gehäu- ses 40 eingestellt hat. In diesem Fall kann die Fluidströmung 80 nur dadurch fortgesetzt werden, dass die Arbeitskammer 14 durch den Zuluftkanal 74 über das Ventil 76 belüftet wird. The open valve 76 of the aerator 72 ensures that the fluid flow 80 imparting the workpiece 12 to the workpiece receiving area 42 decreases only as the vacuum in the vacuum vessel 20 is reduced. Namely, via the ventilating device 72, ambient air can continuously flow into the working chamber 14 through the opened valve 76. When the valve 76 of the aeration device 72 is closed when negative pressure is applied to the suction port 58, the fluid flow 80 in the interior of the housing 40 only exists until the pressure equalization between the vacuum container 20 and the interior of the housing 40 has stopped. In this case, the fluid flow 80 can be continued only by venting the working chamber 14 through the supply air passage 74 via the valve 76.
Es ist aber auch möglich, das in dem Werkstückaufnahmebereich 42 aufge- nommene Werkstück 12 einer Vakuumtrocknung zu unterziehen, indem bei geschlossenem Ventil 76 der Belüftungseinrichtung 72 und geschlossenem Absperrventil 56 der Fluidleitung das Absperrventil 30 zwischen dem Vakuumbehälter 20 und der Evakuierungseinrichtung 24 geöffnet wird, um mit der Evakuierungseinrichtung 24 die Arbeitskammer 14 auf einen Restdruck zu evakuieren, der möglichst geringer ist als der Dampfdruck des an und in dem Werkstück 12 aufgenommenen Prozessfluids. However, it is also possible to subject the workpiece 12 accommodated in the workpiece receiving region 42 to vacuum drying by opening the shut-off valve 30 between the vacuum container 20 and the evacuation device 24 when the valve 76 of the aeration device 72 and closed shut-off valve 56 of the fluid line is closed with the evacuation device 24 to evacuate the working chamber 14 to a residual pressure which is as low as possible as the vapor pressure of the received and in the workpiece 12 process fluid.
Wenn der Druck p in dem Inneren der Arbeitskammer 14 unter den Dampfdruck der Reinigungsfluide sinkt, die an einem in dem Werkstückaufnahme- bereich 42 angeordneten Werkstück 12 anhaften, hat das zur Folge, dass ein betreffendes Prozessfluid zu sieden beginnen. Das Prozessfluid verdampft dann schnell und wird durch die Saugleitung 60 aus dem Innenraum 16 der Arbeitskammer 14 mit der Evakuierungseinrichtung 24 abgesogen, um sich dort in dem Flüssigkeitsabscheider 28 gegebenenfalls anzusammeln. When the pressure p in the interior of the working chamber 14 drops below the vapor pressure of the cleaning fluids adhering to a workpiece 12 disposed in the workpiece receiving portion 42, the result is that a respective process fluid begins to boil. The process fluid then evaporates quickly and is sucked through the suction line 60 from the interior 16 of the working chamber 14 with the evacuation device 24 in order to collect there in the liquid separator 28 if necessary.
Die Fig. 4 zeigt eine zweite Anlage 1 10 für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid. Soweit die in der Fig. 4 gezeigten Baugruppen und Elemente der Anlage 1 10 Baugruppen und Elementen aus der Fig. 1 , Fig. 2 und Fig. 3 entsprechen, sind diese mit den gleichen Zahlen als Bezugszei- chen kenntlich gemacht. Die Anlage 1 10 hat einen Behälter 48 für eine Flüssigkeit 51 , die für das Erzeugen von dampfförmigem Prozessfluid 49 mit einer Heizeinrichtung 53 erhitzt werden kann. Die Fig. 5 zeigt eine dritte Anlage 210 für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid. Soweit die in der Fig. 5 gezeigten Baugruppen und Elemente der Anlage 10 Baugruppen und Elementen aus der Fig. 1 , Fig. 2 und Fig. 3 entsprechen, sind diese mit den gleichen Zahlen als Bezugszeichen kenntlich gemacht. In der Anlage 210 gibt es eine Bypassleitung 61 mit einem Absperrventil 63, durch die das Gehäuse 40 mit dem Vakuumbehälter 20 verbunden werden kann, auch wenn das Ventil 62 geschlossen ist. Diese Maßnahme ermöglicht ein Vorabsaugen von Prozessflüssigkeit aus dem Ge- häuse 40. 4 shows a second system 1 10 for treating a workpiece with a process fluid. Insofar as the assemblies and elements shown in FIG. 4 correspond to 10 assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols. The plant 1 10 has a container 48 for a liquid 51, which can be heated with a heater 53 for the production of vaporous process fluid 49. FIG. 5 shows a third installation 210 for treating a workpiece with a process fluid. Insofar as the assemblies and elements of the system shown in FIG. 5 correspond to assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols. In the plant 210 there is a bypass line 61 with a shut-off valve 63, through which the housing 40 can be connected to the vacuum tank 20, even if the valve 62 is closed. This measure makes it possible to pre-suck process liquid out of the housing 40.
Die Fig. 6 zeigt eine vierte Anlage 310 für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid. Soweit die in der Fig. 6 gezeigten Baugruppen und Elemente der Anlage 310 entsprechenden Baugruppen und Elementen aus der Fig. 1 , Fig. 2 und Fig. 3 entsprechen, sind diese mit den gleichen Zahlen als Bezugszeichen kenntlich gemacht. In der Anlage 310 gibt es eine Fluid- leitung 71 , die den Vakuumbehälter 20 mit der Fluidleitung 50 verbindet und in der es ein Absperrventil 73 gibt. Die Fluidleitung 71 ermöglicht ein Evakuieren der Fluidleitung 50, auch wenn das Ventil 62 geschlossen ist. FIG. 6 shows a fourth installation 310 for treating a workpiece with a process fluid. Insofar as the assemblies and elements of the system 310 shown in FIG. 6 correspond to corresponding assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols. In the system 310, there is a fluid line 71, which connects the vacuum container 20 to the fluid line 50 and in which there is a shut-off valve 73. The fluid line 71 allows evacuation of the fluid line 50, even when the valve 62 is closed.
Die Fig. 7 zeigt eine fünfte Anlage 410 für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid. Soweit die in der Fig. 7 gezeigten Baugruppen und Elemente der Anlage 410 Baugruppen und Elementen aus der Fig. 1 , Fig. 2 und Fig. 3 entsprechen, sind diese mit den gleichen Zahlen als Bezugszei- chen kenntlich gemacht. Die Fig. 8 ist eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts VIII der Anlage 410 mit der Einrichtung 46 für das Beaufschlagen des Werkstücks 12 mit einem Prozessfluid 49. Die Einrichtung 46 für das Beaufschlagen des Werkstücks 12 mit einem Prozessfluid weist hier ein lan- zenförmiges Düsenwerkzeug 81 auf, das sich in einer Ausnehmung und/oder einer Bohrung 83 des Werkstücks 12 anordnen lässt und das wenigstens eine Düse 52 mit einer Düsenöffnung 55 hat. Mit der Einrichtung 46 kann hier Reinigungsfluid in eine Ausnehmung und/oder eine Bohrung 83 eingespritzt werden, um damit an einem Boden 85 der Ausnehmung oder Bohrung liegende Bearbeitungsrückstände auszuspülen. FIG. 7 shows a fifth installation 410 for treating a workpiece with a process fluid. Insofar as the assemblies and elements of the system 410 shown in FIG. 7 correspond to assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols. FIG. 8 is an enlarged view of a section VIII of the installation 410 with the device 46 for applying the workpiece 12 to a process fluid 49. The device 46 for applying a process fluid to the workpiece 12 here has a lance-shaped nozzle tool 81 , which can be arranged in a recess and / or a bore 83 of the workpiece 12 and which has at least one nozzle 52 with a nozzle opening 55. With the device 46, cleaning fluid can be injected into a recess and / or a bore 83 here be rinse so that lying on a bottom 85 of the recess or bore processing residues.
Um die Fluidleitung 50 und das Düsenwerkzeugs 81 mit den Düsen 52 zu entleeren, wird das Ventil 56 in der Fluidleitung 50 geschlossen und das Ventil 63 in der Bypassleitung 61 geöffnet. Damit lässt sich erreichen, dass durch die Fluidleitung 50 und das Düsenwerkzeug 81 mit den Düsen 52 auch in einer Bohrung 83 und/oder in einer Ausnehmung angelagertes Prozessfluid 49 abgesaugt und in den Vakuumbehälter 20 geführt wird. Diese Maßnahme ermöglicht, dass bei einem darauffolgenden Vakuumtrocknen des Werkstücks 12 in der Arbeitskammer 14 dieses von dem Werkstück 12 bereits entfernte Prozessfluid 49 nicht mehr verdampft werden muss. In order to empty the fluid line 50 and the nozzle tool 81 with the nozzles 52, the valve 56 is closed in the fluid line 50 and the valve 63 in the bypass line 61 is opened. It can thereby be achieved that process fluid 49, which is also deposited in a bore 83 and / or in a recess, is sucked out through the fluid line 50 and the nozzle tool 81 with the nozzles 52 and fed into the vacuum container 20. This measure makes it possible that in a subsequent vacuum drying of the workpiece 12 in the working chamber 14 of this already removed from the workpiece 12 process fluid 49 does not have to be evaporated.
Die Fig. 9 zeigt eine sechste Anlage 510 für das Behandeln eines Werk- Stücks 12 mit einem Prozessfluid 49. Soweit die in der Fig. 9 gezeigten Baugruppen und Elemente der Anlage 510 entsprechenden Baugruppen und Elementen aus der Fig. 1 , Fig. 2 und Fig. 3 entsprechen, sind diese mit den gleichen Zahlen als Bezugszeichen kenntlich gemacht. Hier ist die Wand des Gehäuses 40 in Bezug auf das Werkstück 12 nicht konturnah angeordnet, so dass für das Behandeln des Werkstücks 12 mit dem Proessfluid 49 in dem Gehäuse 40 mehr Platz zur Verfügung steht. Zu bemerken ist auch, dass sich eine solche in Bezug auf ein Werkstück 12 nicht konturnahe Bauform grundsätzlich sehr kostengünstig herstellen lässt. Die Fig. 10 zeigt eine siebte Anlage 610 für das Behandeln eines Werkstücks mit einem Prozessfluid. Soweit die in der Fig. 10 gezeigten Baugruppen und Elemente der Anlage 610 entsprechenden Baugruppen und Elementen aus der Fig. 1 , Fig. 2 und Fig. 3 entsprechen, sind diese mit den gleichen Zahlen als Bezugszeichen kenntlich gemacht. 9 shows a sixth system 510 for treating a workpiece 12 with a process fluid 49. As far as the assemblies and elements of the system 510 shown in FIG. 9 and components of FIGS. 1, 2 and 3, these are indicated by the same numbers as reference numerals. Here, the wall of the housing 40 is not contoured with respect to the workpiece 12, so that more space is available for treating the workpiece 12 with the fluid 49 in the housing 40. It should also be noted that such a shape, which is not contour-related with respect to a workpiece 12, can generally be produced very inexpensively. FIG. 10 shows a seventh plant 610 for treating a workpiece with a process fluid. Insofar as the assemblies and elements of the system 610 shown in FIG. 10 correspond to corresponding assemblies and elements from FIGS. 1, 2 and 3, these are identified by the same numbers as reference symbols.
In der Anlage 610 kann Prozessfluid 49 in Form von Reinigungsflüssigkeit aus dem Behälter 48 durch die Fluidleitung 50 über die Düsen 52 der Einrich- tung 46 für das Beaufschlagen des Werkstücks 12 mit dem Prozessfluid eingesaugt werden. Hierfür wird das Werkstück 12 in dem Werkstückaufnahmebereich 42 angeordnet und das haubenförmige Kammerteil 64 auf das Kammerteil 66 abgesenkt. Das Ventil 76 in der Belüftungseinrichtung 72 ist hier geschlossen. Der Vakuumbehälter 20 der Absaugvorrichtung 18 wird auf einen Unterdruck p « -950 mbar evakuiert. Dann wird das als Klappventil ausgebildete Ventil 62 geöffnet. Hierdurch wird aus dem Behälter 48 aufgrund des Druckunterschieds zwischen dem Fluidreservoir in dem Behälter 48 und dem Innenraum 16 der Arbeitskammer 14 Prozessfluid 49 abgesaugt. Aus- gehend von dem Füllvolumen 1 strömt dann das Prozessfluid 49 solange durch die Fluidleitung 50, bis das Füllvolumen 2 erreicht ist. Ab dem Füllvolumen 2 wird in die Fluidleitung 50 aus dem Behälter 48 gasförmiges Fluid in Form von Luft eingesaugt, das die Reinigungsflüssigkeit aus der Fluidleitung 50 und den Düsen 52 austreibt. Indem darauf das Ventil 76 in der Belüf- tungseinrichtung 72 schlagartig geöffnet wird, entsteht in der Arbeitskammer 14 zwischen der Wand des Gehäuses 40 und der Oberfläche des Werkstücks 12 eine Luftströmung, die mit hoher Geschwindigkeit an dem Werkstück 12 verläuft und dort angelagerte Reste von Reinigungsflüssigkeit über den Sauganschluss 58 des Gehäuses 40 und das Ventil 62 und die Sauglei- tung 60 zu dem Vakuumbehälter 20 in der Absaugeinrichtung 18 transportiert. In the system 610, process fluid 49 in the form of cleaning fluid can be removed from the container 48 through the fluid line 50 via the nozzles 52 of the device. tion 46 for the application of the workpiece 12 are sucked with the process fluid. For this purpose, the workpiece 12 is arranged in the workpiece receiving region 42 and the hood-shaped chamber part 64 is lowered onto the chamber part 66. The valve 76 in the ventilation device 72 is closed here. The vacuum container 20 of the suction device 18 is evacuated to a negative pressure p «-950 mbar. Then, designed as a flap valve valve 62 is opened. As a result, process fluid 49 is sucked out of the container 48 due to the pressure difference between the fluid reservoir in the container 48 and the interior 16 of the working chamber 14. Starting from the filling volume 1, the process fluid 49 then flows through the fluid line 50 until the filling volume 2 is reached. From the filling volume 2 gaseous fluid in the form of air is sucked into the fluid line 50 from the container 48, which expels the cleaning fluid from the fluid line 50 and the nozzle 52. By abruptly opening the valve 76 in the ventilation device 72, an air flow is created in the working chamber 14 between the wall of the housing 40 and the surface of the workpiece 12, which runs at high speed on the workpiece 12 and residues of cleaning fluid deposited there is transported via the suction port 58 of the housing 40 and the valve 62 and the suction line 60 to the vacuum container 20 in the suction device 18.
Auch in der Anlage 610 kann vor einer Entnahme des Werkstücks 12 eine Vakuumtrocknung erfolgen, indem das Ventil 76 in der Belüftungseinrichtung 72 geschlossen und Ventil 56 in der Fluidleitung 50 geschlossen wird und dann mittels der Saugpumpe 26 der Evakuierungseinrichtung 24 über den Vakuumbehälter 20 und die Saugleitung 60 in dem Innenraum 16 der Arbeitskammer 14 ein Unterdruck erzeugt wird. Zusammenfassend sind insbesondere folgende bevorzugte Merkmale der Erfindung festzuhalten: Die Erfindung betrifft eine Anlage 10, 1 10, 210, 310, 410, 510, 610 für das Behandeln eines Werkstücks 12 mit einem Prozessflu- id 49, mit einem Werkstückaufnahmebereich 42 für das Aufnehmen des Werkstücks 12 und mit einer Einrichtung 46 für das Beaufschlagen des Werkstücks 12 in dem Werkstückaufnahmebereich 42 mit dem Prozessfluid 49. Die Anlage 10, 1 10, 210, 310, 410, 510, 610 enthält eine verschließbare Arbeitskammer 14, die wenigstens mit einem Teil-Vakuum beaufschlagbar ist, ein in der Arbeitskammer 14 angeordnetes Gehäuse 40 mit einem Saug- anschluss 58, das für das Umgeben eines in dem Werkstückaufnahmebereich 42 aufgenommen Werkstücks 12 dient, und eine mit dem Saugan- schluss 58 durch eine Saugleitung 60 verbundene Absaugvorrichtung 18. Also in the system 610 can be carried out before removal of the workpiece 12, a vacuum drying by the valve 76 is closed in the ventilation device 72 and valve 56 in the fluid line 50 is closed and then by means of the suction pump 26 of the evacuation device 24 via the vacuum tank 20 and the suction line 60 in the interior 16 of the working chamber 14, a negative pressure is generated. In summary, the following preferred features of the invention are to be stated in particular: The invention relates to a system 10, 110, 310, 410, 410, 510, 610 for treating a workpiece 12 with a process flow. id 49, with a workpiece receiving area 42 for receiving the workpiece 12 and with a device 46 for loading the workpiece 12 in the workpiece receiving area 42 with the process fluid 49. The plant 10, 10, 210, 310, 410, 510, 610 contains a closable working chamber 14, which can be acted upon by at least a partial vacuum, a housing 40 arranged in the working chamber 14 with a suction connection 58, which serves to surround a workpiece 12 accommodated in the workpiece receiving region 42, and one which is in contact with the suction conclusion 58 connected by a suction line 60 suction device 18th
Bezugszeichenliste: LIST OF REFERENCE NUMBERS
10 Anlage 10 plant
12 Werkstück  12 workpiece
14 Arbeitskammer  14 working chamber
16 Innenraum  16 interior
18 Absaugvorrichtung  18 suction device
20 Vakuumbehälter  20 vacuum containers
22 Fluidleitung  22 fluid line
24 Evakuierungseinrichtung 24 evacuation facility
26 Säugpumpe 26 mammal pump
28 Flüssigkeitsabscheider 28 liquid separator
29 Ausgang 29 exit
30 Absperrventil  30 shut-off valve
32 Anschluss  32 connection
34 Fluidleitung  34 fluid line
36 Aufnahmebehälter  36 receptacles
38 Absperrventil  38 shut-off valve
40 Gehäuse  40 housing
42 Werkstückaufnahmebereich 42 Workpiece receiving area
44 Durchtrittsöffnungen44 passages
46 Einrichtung 46 facility
48 Behälter  48 containers
49 Prozessfluid  49 process fluid
50 Fluidleitung  50 fluid line
51 Flüssigkeit  51 liquid
52 Düsen  52 nozzles
53 Heizeinrichtung  53 heating device
54 Druckerzeuger  54 pressure generator
55 Düsenöffnung  55 nozzle opening
56 Absperrventil  56 stop valve
58 Sauganschluss Saugleitung 58 suction connection suction
Bypassleitung  bypass line
Ventil  Valve
Absperrventil  shut-off valve
Kammerteil  chamber member
Doppelpfeil  double arrow
Kammerteil chamber member
, 70 Abschnitt , 70 section
Fluidleitung  fluid line
Belüftungseinrichtung aerator
Zuluftkanal supply air duct
Absperrventil  shut-off valve
Ventil  Valve
Schalldämpfer  silencer
Fluidströmung  fluid flow
Düsenwerkzeug  nozzle tool
Ausnehmung oder Bohrung Recess or bore
Boden 0, 210, 310, 410, 510, 610 Anlage Floor 0, 210, 310, 410, 510, 610 facility

Claims

Patentansprüche claims
1 . Anlage (10) für das Behandeln eines Werkstücks (12) mit einem Pro- zessfluid (49), mit einem Werkstückaufnahmebereich (42) für das Aufnehmen des Werkstücks (12), und mit einer Einrichtung (46) für das Beaufschlagen des Werkstücks (12) dem Werkstückaufnahmebereich (42) mit dem Prozessfluid (49), gekennzeichnet durch eine verschließbare Arbeitskammer (14), die wenigstens mit einem Teil- Vakuum beaufschlagbar ist; ein in einem Innenraum (16) der Arbeitskammer (14) angeordnetes Gehäuse (40) mit einem Sauganschluss (58), das für das Umgeben eines in dem Werkstückaufnahmebereich (42) aufgenommen Werkstücks (12) dient, und eine mit dem Sauganschluss (58) durch eine Saugleitung (60) verbundene Absaugvorrichtung (18). 1 . Plant (10) for treating a workpiece (12) with a process fluid (49), with a workpiece receiving region (42) for receiving the workpiece (12), and with a device (46) for applying the workpiece (12 ) the workpiece receiving area (42) with the process fluid (49), characterized by a closable working chamber (14) which is acted upon at least a partial vacuum; a housing (40) arranged in an interior space (16) of the working chamber (14) and having a suction port (58) serving to surround a workpiece (12) received in the workpiece receiving area (42) and one connected to the suction port (58) suction device (18) connected by a suction line (60).
Anlage (10) nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass durch Absaugen der Saugleitung (60) mit der Absaugvorrichtung (18) an dem Sauganschluss (58) des Gehäuses (40) ein Unterdruck erzeugbar ist, der eine Fluidströmung (80) in die Saugleitung (60) hervorruft, die ein in dem Werkstückaufnahmebereich (42) angeordnetes Werkstück (12) beaufschlagt. Plant (10) according to claim 1, characterized in that by suction of the suction line (60) with the suction device (18) at the suction port (58) of the housing (40), a negative pressure can be generated, the fluid flow (80) into the suction line (60) acting on a workpiece (12) disposed in the workpiece receiving area (42).
3. Anlage (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (40) eine Gehäusewand mit wenigstens einer Durchtrittsöffnung (44) für ein gasförmiges Fluid aufweist, durch die das gasförmige Fluid mit der Absaugvorrichtung (18) durch Erzeugen von Unter- druck an dem Sauganschluss (58) in das Gehäuse (40) eingesaugt werden kann. 3. Plant (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the housing (40) has a housing wall with at least one passage opening (44) for a gaseous fluid through which the gaseous fluid with the suction device (18) by generating Vacuum at the suction port (58) can be sucked into the housing (40).
4. Anlage (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Absaugvorrichtung (18) einen über die Saugleitung (60) belüftbaren Vakuumbehälter (20) und eine Evakuierungseinrichtung (24) für das Evakuieren des Vakuumbehälters (20) aufweist. 4. Plant (10) according to one of claims 1 to 3, characterized in that the suction device (18) via the suction line (60) ventilated vacuum container (20) and an evacuation device (24) for evacuating the vacuum container (20) ,
5. Anlage (10) Werkstückaufnahmebereich (42) nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch ein Ventil (62) für das Freigeben und Sperren der Saugleitung (60). 5. Plant (10) workpiece receiving area (42) according to claim 4, characterized by a valve (62) for releasing and blocking the suction line (60).
6. Anlage (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Belüftungseinrichtung (72) für das Belüften der Arbeitskammer (14). 6. Plant (10) according to any one of claims 1 to 5, characterized by a ventilation device (72) for venting the working chamber (14).
7. Anlage (10) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Belüftungseinrichtung (72) ein Ventil (76) enthält, das einen in den Innenraum (16) der Arbeitskammer (14) führenden Strömungsweg für Fluid wahlweise freigibt oder versperrt. 7. Plant (10) according to claim 6, characterized in that the ventilation device (72) includes a valve (76) which selectively releases or obstructs a in the interior (16) of the working chamber (14) leading fluid flow path.
8. Anlage (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (40) einen ersten Abschnitt (68) aufweist, der für das Anordnen von Werkstücken (12) in dem Werkstückaufnahmebereich (42) gegenüber einem zweiten Abschnitt (70) des Gehäuses (40) verlagerbar ist; und/oder dass die Arbeitskammer (14) einen erstenA plant (10) according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the housing (40) has a first portion (68) adapted to place workpieces (12) in the workpiece receiving area (42) opposite a second portion (70) of the housing (40) is displaceable; and / or that the working chamber (14) has a first
Kammerteil (64) mit dem darin festgelegten Abschnitt (68) des Gehäuses (40) aufweist und einen gegenüber dem ersten Kammerteil (64) zwischen einer Schließ- und einer Öffnungsstellung verlagerbaren weiteren Kannnnerteil (66) mit einem darin festgelegten weiteren Abschnitt (70) des Gehäuses (40) hat, um in der Öffnungsstellung den Werkstückaufnahmebereich (42) für das Zu- und Abführen von Werkstücken (12) freizugeben und in der Schließstellung ein in dem Werkstückaufnahmebereich (42) angeordnetes Werkstück (12) in dem Gehäuse (40) einzuschließen. Chamber part (64) with the therein fixed portion (68) of the housing (40) and a relation to the first chamber part (64) between a closing and an open position displaceable further Kannnnerteil (66) with a defined therein further portion (70) of the housing (40) to release the workpiece receiving area (42) for the supply and removal of workpieces (12) in the open position and in the closed position to enclose a workpiece (12) disposed in the workpiece receiving area (42) in the housing (40).
9. Anlage (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks9. Plant (10) according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the means for applying the workpiece
(12) in dem Werkstückaufnahmebereich (42) mit dem Prozessfluid (49) wenigstens eine Düse (52) für das Beaufschlagen des Werkstücks (12) mit dem Prozessfluid (49) durch wenigstens eine in dem Gehäuse (40) angeordnete Düsenöffnung (55) enthält. (12) in the workpiece receiving area (42) with the process fluid (49) at least one nozzle (52) for applying the process fluid (49) through at least one in the housing (40) arranged nozzle opening (55) ,
10. Anlage (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks (12) in dem Werkstückaufnahmebereich (42) mit dem Prozessfluid (49) wenigstens ein in einer Ausnehmung und/oder einer Bohrung des Werkstücks (12) anordenbares Düsenwerkzeug (81 ) mit wenigstens einer Düse (52) enthält. 10. Plant (10) according to one of claims 1 to 9, characterized in that the means for applying the workpiece (12) in the workpiece receiving area (42) with the process fluid (49) at least one in a recess and / or a bore of the workpiece (12) can be arranged with a nozzle tool (81) with at least one nozzle (52).
1 1 . Anlage (10) nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung für das Beaufschlagen des Werkstücks (12) in dem Werkstückaufnahmebereich (42) mit dem Prozessfluid (49) eine Fluid- leitung (50) für das Zuführen von Prozessfluid (49) an die wenigstens eine Düse (52) enthält. 1 1. Plant (10) according to claim 9 or 10, characterized in that the means for applying the workpiece (12) in the workpiece receiving area (42) with the process fluid (49) comprises a fluid conduit (50) for supplying process fluid (49 ) to the at least one nozzle (52).
12. Anlage (10) nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass in der Fluidleitung (50) für das Beaufschlagen des Prozessfluids (49) mit einem Arbeitsdruck pA ein Druckerzeuger (54) angeordnet ist; und/oder in der Fluidleitung (50) ein Absperrventil (56) angeordnet ist; und/oder ei- ne weitere Saugleitung (60) vorgesehen ist, die für das Absaugen der Fluidleitung (50) auf einer der wenigstens einen Düse (52) zugewandten Seite des Absperrventils (56) mit der Fluidleitung (50) kommuniziert. 12. Plant (10) according to claim 1 1, characterized in that in the fluid line (50) for applying the process fluid (49) with a working pressure p A, a pressure generator (54) is arranged; and / or in the fluid line (50) a shut-off valve (56) is arranged; and / or a a further suction line (60) is provided, which communicates with the fluid line (50) on one of the at least one nozzle (52) facing side of the shut-off valve (56) for the suction of the fluid line (50).
Anlage (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (40) an die Außenkontur des Werkstücks (12) angepasst ist. Plant (10) according to one of claims 1 to 12, characterized in that the housing (40) is adapted to the outer contour of the workpiece (12).
Verfahren für das Behandeln eines Werkstücks (12) gekennzeichnet durch folgende Schritten: Method for treating a workpiece (12) characterized by the following steps:
Anordnen des Werkstücks (12) in einem Werkstückaufnahmebereich (42) in einem Gehäuse (40), das sich in einem Innenraum (16) einer wenigstens mit einem Teil-Vakuum beaufschlagbaren Arbeitskammer (14) befindet, Arranging the workpiece (12) in a workpiece receiving area (42) in a housing (40) located in an internal space (16) of a working chamber (14) which can be acted upon by at least a partial vacuum,
Beaufschlagen des Werkstücks (12) mit einem Prozessfluid (49) in dem Werkstückaufnahmebereich (42); und Darauffolgendes Beaufschlagen des Werkstücks (12) mit einer gasförmigen Fluidströmung (80) durch Anlegen von Unterdruck an die Arbeitskammer (14). Subjecting the workpiece (12) to a process fluid (49) in the workpiece receiving area (42); and subsequently pressurizing the workpiece (12) with a gaseous fluid flow (80) by applying negative pressure to the working chamber (14).
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Be- aufschlagen des Werkstücks (12) mit einem Prozessfluid (49) in dem15. The method according to claim 14, characterized in that the loading of the workpiece (12) with a process fluid (49) in the
Werkstückaufnahmebereich (42) ein Spritzreinigen des Werkstücks (12) mit Prozessfluid (49) in Form von Reinigungsflüssigkeit umfasst und/oder ein darauffolgendes Vakuumtrocknen des Werkstücks (12) in der Arbeitskammer (14) durchgeführt wird. Workpiece receiving portion (42) comprises a spray cleaning of the workpiece (12) with process fluid (49) in the form of cleaning liquid and / or a subsequent vacuum drying of the workpiece (12) in the working chamber (14) is performed.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019116307A1 (en) * 2019-05-08 2020-11-12 Ecoclean Gmbh Cleaning device and method for cleaning components
DE102020108761B8 (en) * 2020-03-30 2022-11-17 Actech Gmbh Device for cleaning 3D printed components
DE102020208246A1 (en) 2020-07-01 2022-01-05 Dürr Systems Ag Treatment station, treatment system and method for treating workpieces

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4237335A1 (en) 1992-10-21 1994-04-28 Duerr Gmbh & Co Drying of aqueous washed machined engineering components - by a combined air jet and vacuum treatment.
DE4342555A1 (en) * 1993-12-14 1995-06-22 Guenther Zippel Maschf Industrial component cleaning installation using washing and cleaning liquids
DE102005003093B4 (en) 2005-01-22 2018-12-13 Ecoclean Gmbh purifier
DE102005031515B4 (en) * 2005-07-06 2023-06-01 Werner Meissner Industrial cleaning plant
JP4688741B2 (en) * 2006-06-26 2011-05-25 大日本スクリーン製造株式会社 Substrate processing equipment
DE102006039507A1 (en) * 2006-08-23 2008-03-13 Dürr Ecoclean GmbH Cleaning device and method for cleaning a workpiece
JP2008294368A (en) * 2007-05-28 2008-12-04 Espec Corp Cleaning dryer appparatus
US8510902B2 (en) * 2007-12-03 2013-08-20 Dri-Eaz Products, Inc. Air induction hard surface cleaning tool with an internal baffle
CN102580951A (en) * 2012-03-02 2012-07-18 山东常林机械集团股份有限公司 Cleaning process of hydraulic parts
CN102974566A (en) * 2012-11-15 2013-03-20 上海汇森益发工业炉有限公司 Three liquid vacuum cleaner
DE102013218747A1 (en) * 2013-09-18 2015-03-19 Behr Gmbh & Co. Kg Apparatus and method for cleaning a cavity of an element
CN103962334B (en) * 2014-04-25 2016-06-08 太仓远德环保科技有限公司 cleaning machine for large-scale workpiece

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