EP2409039A1 - Multi-inlet-vakuumpumpe - Google Patents

Multi-inlet-vakuumpumpe

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Publication number
EP2409039A1
EP2409039A1 EP10707509A EP10707509A EP2409039A1 EP 2409039 A1 EP2409039 A1 EP 2409039A1 EP 10707509 A EP10707509 A EP 10707509A EP 10707509 A EP10707509 A EP 10707509A EP 2409039 A1 EP2409039 A1 EP 2409039A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
rotor
diameter
pumping device
inlet
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP10707509A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Markus Henry
Heinz ENGLÄNDER
Christian Beyer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of EP2409039A1 publication Critical patent/EP2409039A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2250/00—Geometry
    • F05B2250/50—Inlet or outlet
    • F05B2250/501—Inlet

Definitions

  • the invention relates to a multi-inlet vacuum pump.
  • Multi-inlet vacuum pumps have a plurality of pump devices in a common housing, which are, for example, turbomolecular pumps possibly in conjunction with a Holweck stage.
  • the individual pumping devices are usually carried by a common rotor shaft and driven by a single electric motor.
  • the pump housing has a main inlet through which a first fluid flow is sucked by the first pumping means.
  • the first fluid stream is then conveyed after flowing through the first pumping device from the second pumping device and optionally further pumping devices in the direction of an outlet.
  • an intermediate inlet is provided, through which a second fluid flow is sucked by the second pumping device. From the second pumping device thus the first and the second fluid flow is conveyed in the direction of the outlet.
  • Possibly. may be arranged between the second and a third pumping device, a further intermediate inlet.
  • a corresponding third fluid flow is also conveyed by the third pumping device in the direction of the outlet, in which case all three fluid streams are then conveyed by the third pumping device.
  • the object of the invention is to realize a multi-inlet vacuum pump with high pumping speed in the intermediate inlet.
  • the object is achieved according to the invention by a multi-inlet vacuum pump having the features of claim 1.
  • the first pumping device has, in particular, a rotor disc with a larger diameter that is last in the conveying direction.
  • the diameter of the last rotor disk of the first pumping device in this case preferably corresponds to the diameter of the first rotor disk of the second pumping device, wherein it is particularly preferred that the rotor disks of the second pumping device all have the same diameter.
  • the intermediate inlet is in this case preferably arranged such that it is provided between the last rotor disk of the first pumping device with an enlarged diameter and the first rotor disk of the second pumping device.
  • the larger diameter of the last wing of the first rotor stage improves the compression to the outlet in the intermediate inlet and thus reduces the backflow of the fluids from the intermediate inlet against the flow.
  • At least one rotor disk of the first rotor element has a diameter which is smaller than the diameter of the second rotor disks of the second rotor element.
  • a gradation of the diameter of the rotor disks thus takes place within the first rotor element.
  • the first rotor element thus according to the invention has rotor disks with different diameters, wherein a multiple gradation can be done within the first rotor element.
  • At least the first rotor disk of the first rotor element is preferably designed in the flow direction such that it has a smaller diameter than the rotor disks of the second rotor element. It is particularly preferred that at least 50%, in particular at least 75%, of the rotor disks of the first rotor element have a smaller diameter than the second rotor disks of the second rotor element.
  • the last rotor disk of the first pumping device has a larger, substantially the same diameter as the rotor disks of the second pumping device.
  • the last two, or even more than two, last rotor disks of the first pump device may have a larger diameter than the remaining rotor disks of the first pump device.
  • at least two last rotor disks of the first pumping device have substantially the same diameter as the first rotor disk of the second pumping device, wherein the rotor disks of the second pumping device preferably all have the same diameter.
  • the diameter of the last rotor disks of the first pumping means may increase stepwise.
  • the diameter of the rotor disks thus increases stepwise until at least the last rotor disk has a diameter corresponding to the diameter of the rotor disks of the second pumping devices.
  • the multi-inlet vacuum pump can also have several intermediate inlets.
  • a further pumping device is arranged in flow direction before and / or after the first or second pumping device. Between adjacent pumping devices each intermediate inlets can be provided. According to the invention, this is the two adjacent ones Pumping devices, which are referred to for simplicity as first and second pumping means, as described above are formed according to the invention.
  • the design according to the invention is provided several times in the region of an intermediate inlet.
  • the figure shows a schematic longitudinal section of a preferred embodiment of the invention.
  • the figure shows the essential part of the invention of a multi-inlet vacuum pump.
  • This is a first pumping device 10 and a further or second pumping device 12, which are arranged in a common housing 14.
  • a third pumping device such as a Holwecklace be provided in the housing on the right side in the figure.
  • the first pumping device 10 has a rotor element 18 arranged on a rotor shaft 16.
  • the rotor element 18 has four radially extending rotor disks 20 with the same outside diameter and a rotor disk 21 with a larger outside diameter.
  • the rotor disks 20, 21 have rotor blades for transporting fluid, in particular gas.
  • stationary stator disks 22 are arranged between adjacent rotor disks 20.
  • the stator disks 22 are held firmly in the housing 14, for example via rings.
  • the second rotor element 26 also has five rotor disks 28 in the exemplary embodiment shown.
  • stationary stator disks 30, possibly connected to housing 14 via stator rings, are arranged between rotor disks 28.
  • the rotor disks 28 in turn have wings for transporting fluid in an outer region, shown unshaded in the figure.
  • the first pumping device 10 sucks the gas through a main inlet 32 in the housing 14. This results in a first fluid flow 34 in the direction of the second pumping device 12, or in the conveying direction 36.
  • the conveying direction 36 corresponds to the main conveying direction from the main inlet 32 in the direction of an outlet downstream of the last pumping device in the conveying direction, that is to say in the figure on the right-hand side is provided in the housing.
  • the housing 14 has an intermediate inlet 38.
  • the intermediate inlet is disposed in the housing 14 between the first pumping device 10 and the second pumping device 12.
  • a second fluid stream 40 also generated in the conveying direction 36.
  • the second fluid flow 40 is conveyed by the second pumping device 12 and an optionally downstream further pumping device in the direction of the pump outlet.
  • a high vacuum is present at the main inlet 32 and a somewhat lower vacuum at the intermediate inlet 38.
  • the radius of the rotor disks 28 of the second pumping device 12 is greater than the radius of the rotor disks 20 of the first pumping device 10 in the illustrated embodiment.
  • the first pumping device 10 has an additional rotor disk 21 with a larger one in the conveying direction 36 Outer diameter than the rotor disks 20 on.
  • the first fluid stream 34 is deflected radially outward by the rotor disk 21 (arrow 42).
  • the first fluid flow passes through the rotor disk 21 (arrow 44).
  • the last rotor disk 21 of the first pumping device 10 has an outer diameter that substantially corresponds to the outer diameter of the rotor disk 28 of the second pumping device 12. In this way, despite the different diameters of the rotor disks relative to the overall multi-inlet vacuum pump, it is ensured that the first fluid flow and the second fluid flow 40 combine well.
  • the two rotor elements 18, 26 are supported by a common shaft 16 and driven by a common electric motor.
  • a multi-inlet vacuum pump with a plurality of intermediate inlets, wherein at least one of the intermediate inlets as explained above with reference to the figure, is formed.
  • several intermediate inlets can be designed according to the invention.
  • at least one further pumping device is arranged in the flow direction 36 in front of the first pumping device.
  • at least one further pumping device may be provided in the flow direction 36 after the second pumping device 12.

Abstract

Eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe weist eine erste Pumpeinrichtung (10) und eine zweite Pumpeinrichtung (12) auf. Die erste Pumpeinrichtung (10) weist ein erstes Rotorelement (18) mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20, 21) auf. Die zweite Rotorscheibe weist ein zweites Rotorelement (26) mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28) auf. Durch einen Haupteinlass (32) wird ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12) gefördert. Durch einen Zwischeneinlass (38) wird ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert. Erfindungsgemäß entspricht der Durchmesser der letzten Rotorscheibe (21) der ersten Pumpe (10) im Wesentlichen dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12).

Description

Multi-Inlet-Vakuumpumpe
Die Erfindung betrifft eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe.
Multi-Inlet-Vakuumpumpen weisen in einem gemeinsamen Gehäuse mehrere Pumpeinrichtungen auf, bei denen es sich beispielweise um Turbomolekularpumpen ggf. in Verbindung mit einer Holweckstufe handelt. Die einzelnen Pumpeinrichtungen werden üblicherweise von einer gemeinsamen Rotorwelle getragen und von einem einzigen Elektromotor angetrieben. Das Pumpengehäuse weist einen Haupteinlass auf, durch den ein erster Fluidstrom von der ersten Pumpeinrichtung angesaugt wird. Der erste Fluidstrom wird sodann nach dem Durchströmen der ersten Pumpeinrichtung von der zweiten Pumpeinrichtung und ggf. weiteren Pumpeinrichtungen in Richtung eines Auslasses gefördert. Zwischen der ersten und der zweiten Pumpeinrichtung ist ein Zwischeneinlass vorgesehen, durch den ein zweiter Fluidstrom von der zweiten Pumpeinrichtung angesaugt wird. Von der zweiten Pumpeinrichtung wird somit der erste und der zweite Fluidstrom in Richtung des Auslasses gefördert. Ggf. kann ein weiterer Zwischeneinlass zwischen der zweiten und einer dritten Pumpeinrichtung angeordnet sein. Ein entsprechender dritter Fluidstrom wird von der dritten Pumpeinrichtung ebenfalls in Richtung des Auslasses gefördert, wobei sodann von der dritten Pumpeinrichtung alle drei Fluidströme gefördert werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit hohem Saugvermögen im Zwischeneinlass zu realisieren. Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch eine Multi-Inlet- Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, weist die erste Pumpeinrichtung insbesondere eine in Förderrichtung letzte Rotorscheibe mit größerem Durchmesser auf. Der Durchmesser der letzten Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung entspricht hierbei vorzugsweise dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe der zweiten Pumpeinrichtung, wobei es besonders bevorzugt ist, dass die Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung alle den selben Durchmesser aufweisen. Durch Vergrößern des Durchmessers der letzten Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung verglichen mit den anderen Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung erfolgt ein radikales Umlenken des ersten Förderstroms nach außen noch innerhalb der ersten Pumpeinrichtung. Im Bereich des Zwischeneinlasses ist der erste Förderstrom somit schon umgelenkt. Der Zwischeneinlass ist hierbei vorzugsweise derart angeordnet, dass er zwischen der letzten Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung mit vergrößertem Durchmesser und der ersten Rotorscheibe der zweiten Pumpeinrichtung vorgesehen ist. Der größere Durchmesser des letzten Flügels der ersten Rotorstufe verbessert die Kompression zum Auslass in den Zwischeneinlass und vermindert damit die Rückströmung der Fluide aus dem Zwischeneinlass entgegen dem Förderstrom. Dieses
Kompressionsverbesserung lässt sich zwar auch durch mehrere Stufen gleichen Rotordurchmessers der ersten Stufe erzielen; dies ist aber die teurere Lösung.
Erfindungsgemäß weist mindestens eine Rotorscheibe des ersten Rotorelements einen Durchmesser auf, der kleiner ist als der Durchmesser der zweiten Rotorscheiben des zweiten Rotorelements. Erfindungsgemäß erfolgt somit innerhalb des ersten Rotorelements eine Abstufung des Durchmessers der Rotorscheiben. Das erste Rotorelement weist somit erfindungsgemäß Rotorscheiben mit unterschiedlichem Durchmesser auf, wobei auch eine mehrfache Abstufung innerhalb des ersten Rotorelements erfolgen kann. Vorzugsweise ist in Strömungsrichtung zumindest die erste Rotorscheibe des ersten Rotorelements derart ausgebildet, dass sie einen kleineren Durchmesser als die Rotorscheiben des zweiten Rotorelements aufweist. Besonders bevorzugt ist es, dass mindestens 50%, insbesondere mindestens 75% der Rotorscheiben des ersten Rotorelements einen kleineren Durchmesser aufweisen als die zweiten Rotorscheiben des zweiten Rotorelements.
Vorzugsweise weist nicht nur die letzte Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung einen größeren, im Wesentlichen den selben Durchmesser wie die Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung auf. Vielmehr ist es beispielsweise auch möglich, dass die letzten beiden, oder sogar mehr als zwei in Strömungsrichtung letzte Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung einen größeren Durchmesser aufweisen, als die übrigen Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung. Ebenfalls ist es möglich, dass mindestens zwei letzte Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung im Wesentlichen den selben Durchmesser aufweisen, wie die erste Rotorscheibe der zweiten Pumpeinrichtung, wobei die Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung vorzugsweise alle den selben Durchmesser aufweisen. Ggf. kann der Durchmesser der letzten Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung stufenweise ansteigen. Ausgehend von dem relativ kleinem Durchmesser der ersten Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung vergrößert sich der Durchmesser der Rotorscheiben somit stufenweise bis zumindest die letzte Rotorscheibe einen dem Durchmesser der Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtungen entsprechenden Durchmesser aufweist.
Ggf. kann die Multi-Inlet-Vakuumpumpe auch mehrere Zwischeneinlässe aufweisen. Hierzu ist in Strömungsrichtig vor und/oder nach der ersten bzw. zweiten Pumpeinrichtung eine weitere Pumpeinrichtung angeordnet. Zwischen benachbarten Pumpeinrichtungen können jeweils Zwischeneinlässe vorgesehen sein. Erfindungsgemäß relevant ist das zwei benachbarte Pumpeinrichtungen, die zur Vereinfachung als erste und zweite Pumpeinrichtung bezeichnet sind, wie vorstehend beschrieben erfindungsgemäß ausgebildet sind. Bei einer Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit mehreren Zwischeneinlässen ist es erfindungsgemäß auch möglich, dass die erfindungsgemäße Ausgestaltung im Bereich eines Zwischeneinlasses mehrfach vorgesehen ist.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegende Zeichnung näher erläutert.
Die Figur zeigt einen schematischen Längsschnitt einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
Die Figur zeigt den hinsichtlich der Erfindung wesentlichen Teil einer Multi- Inlet-Vakuumpumpe. Es handelt sich hierbei um eine erste Pumpeinrichtung 10 und eine weitere bzw. zweite Pumpeinrichtung 12, die in einem gemeinsamen Gehäuse 14 angeordnet sind. Zusätzlich kann in dem Gehäuse auf der in der Figur rechten Seite eine dritte Pumpeinrichtung, wie beispielsweise eine Holweckstufe vorgesehen sein.
Die erste Pumpeinrichtung 10 weist ein auf einer Rotorwelle 16 angeordnetes Rotorelement 18 auf. Das Rotorelement 18 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel vier radial verlaufende Rotorscheiben 20 mit gleichem Außendurchmesser sowie eine Rotorscheibe 21 mit größerem Aussendruchmesser auf. Die Rotorscheiben 20, 21 weisen Rotorflügel zum Transport von Fluid insbesondere Gas auf. Zwischen benachbarten Rotorscheiben 20 sind stationäre Statorscheiben 22 angeordnet. Die Statorscheiben 22 sind beispielsweise über Ringe fest in dem Gehäuse 14 gehalten.
Ferner ist von der Rotorwelle 16, die im dargestellten Ausführungsbeispiel über zwei Lager 24 gelagert ist, ein weiteres bzw. zweites Rotorelement 26 der zweiten Pumpeinrichtung 12 getragen. Das zweite Rotorelement 26 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel ebenfalls fünf Rotorscheiben 28 auf. Zwischen den Rotorscheiben 28 sind wiederum stationär ggf. über Statorringe mit dem Gehäuse 14 verbundene Startorscheiben 30 angeordnet. Die Rotorscheiben 28 weisen in einem äußeren, in der Figur unschraffiert dargestellten Bereich, wiederum Flügel zum Transport von Fluid auf.
Die erste Pumpeinrichtung 10 saugt das Gas durch einen Haupteinlass 32 in dem Gehäuse 14 an. Hierdurch entsteht ein erster Fluidstrom 34 in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung 12, bzw. in Förderrichtung 36. Die Förderrichtung 36 entspricht der Hauptförderrichtung von dem Haupteinlass 32 in Richtung eines Auslasses der in Förderrichtung hinter der letzten Pumpeinrichtung, das heißt in der Figur auf der rechten Seite in dem Gehäuse vorgesehen ist.
Ferner weist das Gehäuse 14 einen Zwischeneinlass 38 auf. Der Zwischeneinlass ist in dem Gehäuse 14 zwischen der ersten Pumpeinrichtung 10 und der zweiten Pumpeinrichtung 12 angeordnet. Durch den Zwischeneinlass 38 wird ein zweiter Fluidstrom 40, ebenfalls in Förderrichtung 36 erzeugt. Der zweite Fluidstrom 40 wird durch die zweite Pumpeinrichtung 12 und eine ggf. nachgeschaltete weitere Pumpeinrichtung in Richtung des Pumpenauslasses gefördert. Bei Multi-Inlet-Pumpen liegt im dargestellten Ausführungsbeispiel insbesondere ein Hochvakuum an dem Haupteinlass 32 und ein etwas geringeres Vakuum an dem Zwischeneinlass 38 an. Um ein möglichst hohes Saugvermögen, das heißt ein geringes Vakuum auch an dem Zwischeneinlass 38 erzeugen zu können, ist im dargestellten Ausführungsbeispiel der Radius der Rotorscheiben 28 der zweiten Pumpeinrichtung 12 größer als der Radius der Rotorscheiben 20 der ersten Pumpeinrichtung 10.
Erfindungsgemäß weist die erste Pumpeinrichtung 10 eine zusätzliche in Förderrichtung 36 letzte Rotorscheibe 21 mit einem größeren Außendurchmesser als die Rotorscheiben 20 auf. Hierdurch wird der erste Fluidstrom 34 nach Durchtreten der ersten Rotorscheiben 20 durch die Rotorscheibe 21 radial nach außen umgelenkt (Pfeil 42). Im Bereich der Flügel (unschraffierter Bereich) der Rotorscheibe 21 tritt der erste Fluidstrom durch die Rotorscheibe 21 hindurch (Pfeil 44).
Die letzte Rotorscheibe 21 der ersten Pumpeinrichtung 10 weist einen Außendurchmesser auf, der im Wesentlichen dem Außendurchmesser der Rotorscheibe 28 der zweiten Pumpeinrichtung 12 entspricht. Hierdurch ist trotz der auf die gesamt Multi-Inlet-Vakuumpumpe bezogenen unterschiedlichen Durchmessern der Rotorscheiben gewährleistet, dass sich der erste Fluidstrom und der zweite Fluidstrom 40 gut vereinen.
Die beiden Rotorelemente 18, 26 sind von einer gemeinsamen Welle 16 getragen und durch einen gemeinsamen Elektromotor angetrieben.
Ebenso ist es erfindungsgemäß möglich, eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit mehreren Zwischeneinlässen zu schaffen, wobei mindestens einer der Zwischeneinlässe wie vorstehend anhand der Figur erläutert, ausgebildet ist. Vorzugsweise können mehrere Zwischeneinlässe erfindungsgemäß ausgebildet sein. Unabhängig von der Ausgestaltung der einzelnen Zwischeneinlässe ist es ferner möglich, das bezogen auf das in der Figur dargestellte Ausführungsbeispiel in Strömungsrichtung 36 vor der ersten Pumpeinrichtung mindestens eine weitere Pumpeinrichtung angeordnet ist. Ferner kann in Strömungsrichtung 36 nach der zweiten Pumpeinrichtung 12 mindestens eine weitere Pumpeinrichtung vorgesehen sein.

Claims

Patentansprüche
1. Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit
einer ersten Pumpeinrichtung (10), mit einem ersten Rotorelement (18), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20, 21),
einer zweiten Pumpeinrichtung (12) mit einem zweiten Rotorelement (26), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28),
einem Haupteinlass (32) durch den ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12) gefördert wird und
einem Zwischeneinlass (38), durch den ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung (12) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s
der Durchmesser zumindest der letzten Rotorscheibe (21) der ersten Pumpeinrichtung (10) dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12) im Wesentlichen entspricht,
wobei der Durchmesser mindestens einer ersten Rotorscheibe (20) des ersten Rotorelements (18) kleiner ist als der Durchmesser der zweiten Rotorscheiben (28).
2. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser von mindestens zwei letzten Rotorscheiben (21) der ersten Pumpeinrichtung (10) im Wesentlichen dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12) entspricht.
3. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in Strömungsrichtung (36) der Durchmesser zumindest der ersten Rotorscheibe (20) des ersten Rotorelements (18) kleiner ist als der Durchmesser der zweiten Rotorscheiben (28).
4. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mehr als 50%, insbesondere mehr als 75% der Rotorscheiben (20, 21) des ersten Rotorelements (18) einen kleineren Durchmesser als die zweiten Rotorscheiben (28) aufweisen.
5. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere insbesondere alle Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung (12) den selben Durchmesser aufweisen.
6. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch mindestens eine weitere in Strömungsrichtung (36) vor der ersten Pumpeinrichtung (10) und/oder nach der zweiten Pumpeinrichtung (12) angeordnete Pumpeinrichtung.
7. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen benachbarten Pumpeinrichtungen ein Zwischeneinlass vorgesehen ist.
8. Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der letzten Rotorscheibe einer in Strömungsrichtung (36) vorgelagerten Pumpeinrichtung den Durchmesser der ersten Rotorscheibe der in Strömungsrichtung (36) nachgeordneten Pumpeinrichtung entspricht.
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