DE202010012795U1

DE202010012795U1 - Vakuumpumpe

Info

Publication number: DE202010012795U1
Application number: DE202010012795U
Authority: DE
Original assignee: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2010-09-21
Filing date: 2010-09-21
Publication date: 2012-01-13
Anticipated expiration: 2020-09-22

Abstract

Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit
mehreren in einem Gehäuse (24) angeordneten Rotoren (10, 12) mit jeweils mindestens einem Rotorelement (14), wobei die Rotoren (10, 12) mit einer Rotorwelle (16) verbunden sind,
mehreren mit dem Gehäuse (24) verbundenen Statoren (18, 20) mit jeweils mindestens einem Statorelement (22),
einem im Gehäuse (24) vorgesehenen Einlass (26) durch das Medium in Richtung eines im Gehäuse vorgesehenen Auslasses (30) angesaugt wird, das von den, insbesondere allen Rotoren (10, 12) gefördert wird, und
mindestens einem zwischen zwei benachbarten Rotoren (10, 12) angeordneten Zwischeneinlass (34) zum Ansaugen von Medium, das durch den mindestens einen in Strömungsrichtung (32) nachgeordneten Rotor (12) gefördert wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
im Bereich (50) des Zwischeneinlasses (34) und/oder im Bereich (44) zwischen den benachbarten Rotoren (10, 12) mindestens eine Umlenkeinrichtung (42, 52, 54, 58, 60, 64, 72, 74) zum Umlenken des Mediums in Strömungsrichtung (32) vorgesehen ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularvakuumpumpe.
Vakuumpumpen, wie Turbomolekularvakuumpumpen weisen, wenn es sich um Multiple-Inlet-Pumpen handelt, die neben einem Haupteinlass mindestens einen Zwischeneinlass aufweisen, mehrere Rotoren auf. Die Rotoren sind in einem Gehäuse angeordnet und weisen jeweils mindestens ein, möglicherweise mehrere Rotorelemente mit Rotorflügeln auf. Die Rotoren sind insbesondere auf einer gemeinsamen Welle, aber auch auf gesonderten Wellen angeordnet und werden üblicherweise über einen Elektromotor angetrieben. Üblicherweise weisen derartige Vakuumpumpen mehrere Statoren auf, die jeweils mindestens ein, üblicherweise mehrere Statorelemente aufweisen. Die Statorelemente weisen Statorflügel auf und sind gegenüber dem Pumpengehäuse ortsfest. Die einzelnen Statorelemente sind hierbei abwechselnd zu den Rotorelementen angeordnet. Ferner weist das Gehäuse einen Einlass bzw. einen Haupteinlass auf, durch den das zu fördernde Medium insbesondere in Richtung eines ebenfalls im Gehäuse vorgesehenen Auslasses angesaugt wird. Das Fördern des Mediums erfolgt auf Grund der Drehung der Rotoren mit hoher Geschwindigkeit. Bei Multiple-Inlet-Vakuumpumpen ist mindestens ein zwischen zwei benachbarten Rotoren angeordneter Zwischeneinlass vorgesehen. Durch den Zwischeneinlass kann ebenfalls Medium angesaugt werden, das sodann von den in Strömungsrichtung nachgeordneten Rotoren ebenfalls in Richtung des Auslasses gefördert wird. Multiple-Inlet-Pumpen dienen beispielsweise zur Erzeugung von unterschiedlichem Vakuum an dem Einlass sowie einem oder mehreren Zwischeneinlässen. Multiple-Inlet-Vakuumpumpen eignen sich insbesondere auch für Lecksuchgeräte, wobei der Vakuumpumpe eine Analyseeinrichtung zur Analyse des geförderten Mediums zugeordnet ist.
Die Zwischeneinlässe von Multiple-Inlet-Vakuumpumpen sind in dem Gehäuse häufig derart angeordnet, dass das durch das Gehäuse einströmende Medium im Wesentlichen senkrecht zur Hauptströmungsrichtung der Pumpe einströmt. Die Haupteinströmrichtung im Bereich des Zwischeneinlasses ist somit in einem Winkel ungleich 0°, insbesondere einem Winkel von 90° zur Förderrichtung der Pumpe. Dies hat zur Folge, dass das durch den Zwischeneinlass einströmende Medium nicht vollständig von den Rotoren der Pumpe in Richtung des Auslasses gefördert wird. Insbesondere Moleküle mit einer Bewegungsrichtung senkrecht zur Rotorwelle bzw. senkrecht zur Förderrichtung der Pumpe werden gegebenenfalls in eine Richtung reflektiert, die in Richtung des Zwischeneinlasses weist, so dass die entsprechenden Gasmoleküle aus dem Zwischeneinlass wieder austreten. Auch in anderer Richtung einströmende Moleküle werden gegebenenfalls derart reflektiert, dass sie aus dem Zwischeneinlass wieder austreten. Hierdurch werden die Förderkapazität der Pumpe im Bereich des Zwischeneinlasses und das somit am Zwischeneinlass theoretisch erzielbare Vakuum nicht erreicht.
Aufgabe der Erfindung ist es, bei einer Vakuumpumpe mit mindestens einem Zwischeneinlass die Förderkapazität zu verbessern bzw. das erzielbare Vakuum im Bereich des Zwischeneinlasses zu erhöhen.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Erfindungsgemäß weist die Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Turbomolekularpumpe handelt, im Bereich des Zwischeneinlasses und/oder im Bereich zwischen zwei benachbarten Rotoren mindestens eine Umlenkeinrichtung auf. Durch die Umlenkeinrichtung erfolgt ein Umlenken des durch den Zwischeneinlass einströmenden Mediums in Strömungs- bzw. Förderrichtung der Vakuumpumpe. Auf Grund des Vorsehens mindestens eines Umlenkelements in mindestens einem dieser Bereiche, treten weniger Gasmoleküle wieder aus dem Zwischeneinlass aus.
Dies führt zu einer Erhöhung der Fördermenge an Medium, die durch den Zwischeneinlass angesaugt und in Richtung des Auslasses der Pumpe gefördert wird. Hierdurch kann ein niedrigerer Druck bzw. ein höheres Vakuum am Zwischeneinlass erzeugt werden.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform weist das mindestens eine Umlenkelement Umlenkflächen auf, die auf Teilchen, wie Moleküle des zu fördernden Mediums einen Impuls ausüben und/oder eine Reflektion bewirken. Der Impuls bzw. die Reflektion weist, insbesondere in vektorieller Betrachtung, zumindest einen Anteil auf, der in Strömungs- bzw. Förderrichtung der Vakuumpumpe weist. Durch die Umlenkflächen erfolgt somit ein Umlenken der Teilchen in Strömungs- bzw. Förderrichtung der Pumpe. Hierbei sind die Umlenkflächen derart ausgebildet und/oder angeordnet, dass der Anteil einer Bewegungsrichtung der Teilchen in Strömungs- bzw. Förderrichtung der Pumpe erhöht wird. Dringt ein Teilchen beispielsweise durch den Zwischeneinlass senkrecht zur Rotorwelle bzw. senkrecht zur Strömungsrichtung der Pumpe in das Gehäuse ein, erfolgt ein Umlenken des Teilchens durch die Umlenkflächen derart, dass die Bewegungsrichtung zumindest einen Anteil aufweist, der in Strömungsrichtung der Pumpe weist. Idealerweise erfolgt ein Umlenken eines derartigen Teilchens um ca. 90°, so dass und das Teilchen sich parallel zur Rotorwelle bzw. in Strömungsrichtung der Vakuumpumpe bewegt. Hierdurch ist gewährleistet, dass die Anzahl der Teilchen, die von dem nachgeorderten Rotor erfasst und somit in Richtung des Pumpenauslasses gefördert werden, erhöht ist.
Vorzugsweise sind die umliegenden Elemente zumindest teilweise flügelförmig ausgebildet. Die Umlenkflächen, insbesondere die Flügelflächen sind hierbei in Strömungsrichtung geneigt. Die Neigung ist somit derart gewählt, dass ein Umlenken der Teilchen in Strömungs- bzw. Förderrichtung der Pumpe erfolgt. Insbesondere sind die Umlenkflächen, insbesondere die Flügelflächen gerade, gekrümmt und/oder prismatisch ausgebildet.
Erfindungsgemäß ist es möglich, starre und/oder bewegbare, insbesondere drehbare Umlenkelemente vorzusehen.
In einer ersten bevorzugten Ausführungsform ist hierbei im Bereich des Zwischeneinlasses ein starres Umlenkelement angeordnet. Dieses weist vorzugsweise mehrere flügelförmige Elemente auf, wobei die Ausgestaltung der Umlenkflächen unterschiedlich sein kann, um je nach Eintrittsbereich der Teilchen in den Zwischeneinlass eine möglichst optimale Umlenkung zu gewährleisten, wobei vorzugsweise sichergestellt sein soll, dass das Teilchen derart umgelenkt wird, dass es von dem ersten Umlenkelement des in Strömungsrichtung dem Zwischeneinlass nachgeordneten Rotors erfasst wird.
Anstelle oder zusätzlich zu einem starren Umlenkelement im Bereich des Zwischeneinlasses kann auch ein bewegbares, insbesondere drehbares Umlenkelement bzw. Rückhalteelement im Bereich des Zwischeneinlasses vorgesehen sein. Insbesondere ist ein derartiges Rückhalteelement ähnlich eines Rotorelements ausgebildet und weist mehrere Flügel auf, wobei die Flügel wieder entsprechend ausgerichtete bzw. ausgebildete Flügelflächen aufweisen, um den Teilchen den gewünschten Impuls in Richtung der Strömungs- bzw. Förderrichtung der Vakuumpumpe zu geben. Insbesondere ist ein derartiges drehbares Rückhalteelement um eine senkrecht zur Rotorwelle angeordnete Achse oder Welle drehbar. Hierbei kann ein derartiges drehbares Rückhalteelement mit einer Antriebseinrichtung, wie einem Motor verbunden sein. Ebenso kann das Drehen dieses Rückhalteelements durch das von der Pumpe geförderte Medium erfolgen. Hierzu kann das Umlenkelement weitere, insbesondere flügelartig ausgebildete Ansätze aufweisen, die in die Hauptströmung der Vakuumpumpe hineinragen.
Zusätzlich oder anstelle des Vorsehens von einem oder mehreren derartigen Umlenkelementen im Bereich des Zwischeneinlasses können ein oder mehrere Umlenkelemente im Bereich zwischen zwei benachbarten Rotoren angeordnet sein.
Auch hierbei kann es sich wiederum um entsprechende passive, d. h. starre oder um aktive, insbesondere drehbare Umlenkelemente handeln. Bevorzugt ist es hierbei, dass ein zwischen zwei benachbarten Rotoren angeordnetes Umlenkelement mit der Rotorwelle verbunden ist, so dass das Umlenkelement auf Grund der Drehung der Rotorwelle zusammen mit den ebenfalls mit der Rotorwelle verbundenen Rotorelementen gedreht wird.
Zusätzlich oder anstatt der vorstehend beschriebenen Umlenkelemente können an einer Gehäuseinnenwand ein oder mehrere Umlenkelemente vorgesehene sein. Derartige Umlenkelemente sind insbesondere an einer dem Zwischeneinlass gegenüberliegenden Gehäuseinnenwand angeordnet. Diese Umlenkelemente, die vorzugsweise als passive Umlenkelemente ausgebildet sind, weisen wiederum Umlenkflächen auf, so dass ein Umlenken der Teilchen des durch den Zwischeneinlass eintretenden Mediums in Richtung des nachgeordneten Rotors bzw. in Richtung des Pumpenauslasses erfolgt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
1 eine schematische Schnittansicht einer Multiple-Inlet-Pumpe gemäß dem Stand der Technik,
2 eine schematische Querschnittsansicht entlang der Linie II-II in 1,
3 eine schematische Querschnittsansicht einer Multiple-Inlet-Vakuumpumpe im Bereich des Zwischeneinlasses einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
4 eine schematische Querschnittsansicht einer Multiple-Inlet-Vakuumpumpe im Bereich des Zwischeneinlasses einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
5 einen schematischen Linksschnitt einer Multi-Inlet-Pumpe gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung,
6 einen schematischen Linksschnitt einer Multi-Inlet-Pumpe gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung,
7 einen schematischen Linksschnitt einer Multi-Inlet-Pumpe gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung und
8 eine schematische Querschnittsansicht entlang der Linie VIII-VIII in 7.
Eine Multiple-Inlet-Vakuumpumpe, wie sie schematisch in den 1 und 2 dargestellt ist, weist im dargestellten Beispiel zwei Rotore 10, 12 auf, die jeweils zwei Rotorelemente 14 aufweisen. Die insbesondere Rotorschaufel bzw. Rotorflügel aufweisenden Rotorelemente sind fest mit einer gemeinsamen Rotorwelle 16 verbunden. Die Rotorwelle 16 ist über einen nicht dargestellten Elektromotor angetrieben.
Ferner weist die Multiple-Inlet-Pumpe im dargestellten Beispiel zwei Statoren 18, 20 auf. Die beiden Statoren weisen Statorelemente 22 auf, die insbesondere Statorschaufeln bzw. Statorflügel aufweisen. Die Statorelemente 22 sind fest mit dem Pumpengehäuse 24, beispielsweise über Statorringe oder dergleichen verbunden. Die einzelnen Statorelemente 22 sind jeweils abwechselnd mit Rotorelementen 14 angeordnet. Durch schnelles Rotieren der Rotoren 10, 12 erfolgt ein Ansaugen eines zu fördernden Mediums durch einen Einlass 26 in Richtung eines Pfeils 28.
Das Medium durchströmt die beiden Rotoren 10, 12 sowie die beiden Statoren 18, 20 und tritt durch einen Auslass 30 in Richtung eines Pfeils 32 aus der Vakuumpumpe aus. Selbstverständlich können die Rotoren sowie die Statoren auch eine größere Anzahl an Stator- bzw. an Rotorelementen aufweisen.
Zwischen den beiden dargestellten Rotoren 10, 12 weist das Gehäuse 14 einen Zwischeneinlass 34 auf. Durch den Zwischeneinlass wird Medium eingesaugt, wobei die Hauptströmungsrichtung durch einen Pfeil 36 dargestellt ist.
Die einzelnen Teilchen, wie Moleküle des durch den Zwischeneinlass 34 angesaugten Mediums, bewegen sich jedoch, wie beispielsweise durch die gepunkteten Pfeile dargestellt. Aus der Darstellung (insbesondere 2) ist ersichtlich, dass die einzelnen Teilchen an den Gehäuseinnenwänden 38 sowie an der Oberfläche 40 der Rotorwelle 16 derart reflektiert werden können, dass die Teilchen wieder durch den Zwischeneinlass 34 austreten. Hierdurch ist die Förderkapazität der Pumpe durch den Zwischeneinlass 34 beeinträchtigt.
In den nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung sind Bauteile, die im Wesentlichen identisch oder ähnlich mit Bauteilen gemäß 1 und 2 sind, mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.
Die nachstehend beschriebenen einzelnen Ausführungsformen der Erfindung können auch beliebig miteinander kombiniert werden.
Gemäß einer ersten Ausführungsform (3) sind mit der Rotorwelle im Wesentlichen radial verlaufende Flügel 42 verbunden. Durch die 42 ist eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Umlenkelements realisiert. Die Flügel 42, die ein drehbares Umlenkelement ausbilden, rotieren auf Grund der Drehung der Rotorwelle 16. Ähnlich eines Schaufelrades erfolgt hierdurch eine Mitnahme von Teilchen, die durch den Zwischeneinlass 34 in das Pumpengehäuse 24 in den Bereich 44 zwischen den beiden Rotoren 10, 12 eindringen (Pfeile 46).
Die einzelnen Flügel 42 weisen hierbei vorzugsweise eine geneigte oder gekrümmte Oberfläche 48 auf, so dass beispielsweise beim Drehen der Flügel 42 entgegen des Uhrzeigersinns nicht nur eine Mitnahme der einzelnen Teilchen erfolgt, sondern die Teilchen auch einen Impuls senkrecht zur Zeichenebene in Strömungsrichtung der nachgeordneten Rotors erfahren. Hierdurch kann die Menge des durch den Zwischeneinlass 34 angesaugten Mediums erhöht und somit ein höheres Vakuum am Zwischeneinlass 34 erzeugt werden.
Bei einer weiteren Ausführungsform (4) sind in einem Bereich 50 des Zwischeneinlasses 34 gitterförmige Umlenkelemente 52 vorgesehen. Die Umlenkelemente 52 weisen senkrecht zur Zeichenebene angeordnete Öffnungen auf, durch die die durch den Zwischeneinlass 34 angesaugten Teilchen strömen. Hierbei sind die einzelnen Streben der gitterförmigen Umlenkelemente 52 vorzugsweise geneigt bzw. flügelförmig ausgebildet, so dass auf die Teilchen wiederum ein senkrecht zur Zeichenebene, d. h. parallel zur Rotorwelle 16 gerichteter Impuls einwirkt. Hierbei werden die Teilchen vorzugsweise nicht vollständig parallel zur Welle umgelenkt, sondern lediglich in Richtung des nachgeordneten Rotors 12 umgelenkt, so dass die Teilchen von dem Rotor 12 erfasst und in Richtung des Auslasses 30 gefördert werden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform (5) sind im Bereich 50 des Zwischeneinlasses 34 schematisch dargestellte mehrere unterschiedliche Umlenkelemente dargestellt. Es handelt sich hierbei um Umlenkelemente 54, die jeweils eine ebene Umlenkfläche 56 aufweisen. Die Umlenkfläche 56 ist in Förderrichtung 32 der Pumpe bzw. in Richtung des Auslasses 30 geneigt. Eine weitere Ausgestaltung der Umlenkelemente ist durch die Umlenkelemente 58 dargestellt, die im Querschnitt prismatisch ausgebildet sind. Hierbei weist die Spitze des Prismas im Wesentlichen in Richtung des Bereichs 44, der zwischen den beiden Rotoren 10, 12, jedoch nicht notwendiger Weise in einem Winkel von 90° zur Rotorwellenachse 16 ausgebildet ist. Ebenso können Umlenkelemente 60 vorgesehen sein, die flügelförmig ausgebildet sind, so dass eine Umlenkfläche 62 gekrümmt ist.
Bei den in 5 dargestellten Umlenkelementen 54, 58, 60 handelt es sich beispielsweise um Gitterstreben des Gitters 52 (4). Durch die Umlenkelemente 54, 58, 60 erfolgt wiederum das erfindungsgemäße Umlenken der Teilchen des durch den Zwischeneinlass 34 angesaugten Mediums in Richtung des Rotors 12 bzw. in Richtung des Auslasses 30.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (6) ist neben einem statischen Umlenkelement 52, das wiederum entsprechende Gitterelemente 54, 58, 60 zur Umlenkung aufweisen kann, ein rotierendes Rückhalteelement 64 vorgesehen. Das Rückhalteelement 64, das insbesondere entsprechend eines Rotorelements mit Flügeln ausgebildet ist, ist mit einer Welle 66 verbunden und verhindert vor allem das Austreten von Teilchen durch den Zwischeneinlass 34. Die Welle 66 ist um eine Achse 68 drehbar, wobei die Achse 68 im dargestellten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen senkrecht zur Rotorwelle 16 angeordnet ist. In Einströmrichtung 70 des Zwischeneinlasses 34 kann dem drehbaren Rückhalteelement 64 ein weiteres gitterförmiges Umlenkelement 52 vorgeschaltet sein. Ebenso kann in diesem Bereich jedoch auch lediglich ein sternförmiges Element vorgesehen sein, das die Welle 66 trägt. Die einzelnen, im Wesentlichen radial verlaufenen Elemente des Sterns sind hierbei vorzugsweise wiederum flügelförmig ausgebildet, um bereits in diesem Bereich ein erfindungsgemäßes Umlenken der Teilchen vorzunehmen.
An der Innenseite 38 des Gehäuses 24 kann insbesondere dem Zwischeneinlass 34 gegenüber liegend ein weiteres Umlenkelement 72 vorgesehen sein. Hierbei kann es sich in einfacher Ausführungsform um eine in Richtung des Rotors 12 geneigte Fläche handeln. Ebenso kann das Umlenkelement 32 jedoch auch gitterförmig ausgebildet sein oder eine entsprechend strukturierte Oberfläche aufweisen, so dass mehrere einzelne Umlenkflächen ausgebildet sind, die wiederum ein Umlenken der Teilchen in Richtung des Rotors 12 bewirken.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (7 und 8) ist ein aktives Umlenk- bzw. Rückhalteelement 74 vorgesehen. Das Umlenk- bzw. Rückhalteelement 74 ist über Halteelemente 78 mit der Rotorwelle 16 verbunden. Die Halteelemente 78 können hierbei sternförmig oder wie Rotorelemente mit Rotorflügeln ausgebildet sein. In einem äußeren zylinderringförmigen Bereich 80 des Umlenk- bzw. Rückhalteelements 74 sind mehrere Flügel bzw. Schaufeln 82 (8) angeordnet. Durch diese wird wiederum ein Fördern des Mediums in Richtung des Innenraums bzw. -bereichs 44 bewirkt.
Insbesondere wenn das Umlenk- bzw. Rückhalteelement 74 mit anderen beispielsweise im Bereich 50 des Zwischeneinlasses 34 angeordneten Umlenkelementen kombiniert ist, kann das Umlenk- bzw. Rückhalteelement 74 auch einen geringeren Durchmesser aufweisen. Selbstverständlich ist auch jede beliebige andere Kombination der vorstehend beschriebenen einzelnen Umlenk- bzw. Rückhalteelemente möglich.

Claims

Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit mehreren in einem Gehäuse (24) angeordneten Rotoren (10, 12) mit jeweils mindestens einem Rotorelement (14), wobei die Rotoren (10, 12) mit einer Rotorwelle (16) verbunden sind, mehreren mit dem Gehäuse (24) verbundenen Statoren (18, 20) mit jeweils mindestens einem Statorelement (22), einem im Gehäuse (24) vorgesehenen Einlass (26) durch das Medium in Richtung eines im Gehäuse vorgesehenen Auslasses (30) angesaugt wird, das von den, insbesondere allen Rotoren (10, 12) gefördert wird, und mindestens einem zwischen zwei benachbarten Rotoren (10, 12) angeordneten Zwischeneinlass (34) zum Ansaugen von Medium, das durch den mindestens einen in Strömungsrichtung (32) nachgeordneten Rotor (12) gefördert wird, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich (50) des Zwischeneinlasses (34) und/oder im Bereich (44) zwischen den benachbarten Rotoren (10, 12) mindestens eine Umlenkeinrichtung (42, 52, 54, 58, 60, 64, 72, 74) zum Umlenken des Mediums in Strömungsrichtung (32) vorgesehen ist.
Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Umlenkelement (72) Umlenkflächen aufweist, die auf Teilchen des zu fördernden Mediums einen Impuls und/oder eine Reflektion mit einem in Strömungsrichtung (32) weisenden Impuls-Reflektionsanteil aufweisen.
Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkelement (72) zumindest teilweise flügelförmig ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Umlenkflächen, insbesondere die Flügelflächen in Strömungsrichtung (32) geneigt (54), gekrümmt (60) und/oder prismatisch (58) ausgebildet sind.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein in den Bereich (50) des Zwischeneinlasses (34) angeordnetes Umlenkelement (52, 54, 58, 60) starr ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein in dem Bereich (44) zwischen den Rotoren (10, 12) angeordnetes Umlenkelement (42, 74) drehbar ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das drehbare Umlenkelement (42, 74) um die Rotorwelle (16) herum angeordnet, insbesondere mit der Rotorwelle (16) verbunden ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Umlenkelement (64) in dem Bereich (50) des Zwischeneinlasses (34), insbesondere um eine Achse (66), die im Wesentlichen senkrecht zur Rotorwelle (16) ist, drehbar ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein weiteres an einer Gehäuseinnenseite (38) angeordnetes, insbesondere dem Zwischeneinlass (34) gegenüberliegendes Umlenkelement (72) vorgesehen ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptströmungsrichtung (36) im Bereich des Zwischeneinlasses (34) im Wesentlichen senkrecht zur Rotorwelle (16) verläuft.