EP2676034A1 - Statorelement sowie hochvakuumpumpe - Google Patents

Statorelement sowie hochvakuumpumpe

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Publication number
EP2676034A1
EP2676034A1 EP12703107.8A EP12703107A EP2676034A1 EP 2676034 A1 EP2676034 A1 EP 2676034A1 EP 12703107 A EP12703107 A EP 12703107A EP 2676034 A1 EP2676034 A1 EP 2676034A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
stator
webs
vacuum pump
rotor
high vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP12703107.8A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Heinrich Engländer
Michael Richter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of EP2676034A1 publication Critical patent/EP2676034A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps

Definitions

  • the invention relates to a stator for a high vacuum pump and a high vacuum pump.
  • a turbomolecular pump has a plurality of rotor elements arranged in a housing, wherein each rotor element has a plurality of rotor blades. Between the individual rotor elements fixedly connected to the stator stator elements are arranged, which have a plurality of stator vanes.
  • a Holweck stage is provided as the molecular or gas friction pump adjoining the turbomolecular pump.
  • the Holweck stage has, for example, a cylinder connected to the last rotor element in the direction of flow.
  • the cylinder is surrounded by one or more threads.
  • the delivery cross sections of a molecular or gas friction pump are in this case smaller than the mean free path of the gases to be delivered, this has the consequence that the Gasteiichen essentially but against the walls do not meet against each other.
  • Such a Holweck stage is described for example in DE 19 632 375, wherein this Holweck stage has a plurality of concentric with each other fixedly connected to the last rotor element cylindrical elements. Between these non-rotating elements are arranged with threads, so that by rotation of the cylindrical elements, a gas transport takes place in the threads.
  • the introduction of the pumped gas in the Holweck stage takes place here through openings in the last rotor element or a perforated disc which is connected to the rotor and carries the cylindrical elements of the Holweck stage. Since the gas thus passes through the holes in the disk tn the Holweck stage, flow losses occur, which entail a reduction in throughput.
  • the object of the invention is to provide a stator for a high vacuum pump and a high vacuum pump, with which a flow rate improvement can be achieved.
  • stator element according to claim 1 or by a high vacuum pump according to claim 11.
  • the stator element according to the invention is arranged immediately downstream in the axial conveying direction of the last rotor element of a high-vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.
  • a molecular or gas friction pump can in turn be arranged downstream of the stator element according to the invention in the conveying direction.
  • the stator element according to the invention has a housing element which is connected to the housing of the high-vacuum pump, in particular the turbomolecular pump.
  • a housing element instead of a housing element itself, it can also be a carrier element connected to the housing or surrounded by a further housing. Stator bars are arranged on the inside of this housing or carrier element.
  • the stator webs preferably extend only over the stator vanes of the individual stator elements arranged between the rotor elements total effective width of the rotor elements, and project from the inside of the housing element inwardly to a particular cylindrical rotor extension.
  • the stator webs are open inwards.
  • the stator webs are preferably arranged obliquely or teii-spirally corresponding to a web of a thread.
  • stator web when the stator element is mounted, the stator web surround a cylindrical rotor extension, wherein the cylindrical rotor attachment is preferably connected to the last rotor element and thus likewise rotates.
  • an essential aspect of the invention is that the configuration of the Statorfiügel is selected such that the interaction at Holweck stages between the opposite threaded walls and the cylindrical member is reduced, or even avoided.
  • a large delivery cross-section is preferably provided in the thread, which supports the pumping action, in particular in the region close to the inner rotor attachment.
  • the stator webs extend in the circumferential direction along the inside of the housing element.
  • each individual stator web is preferably a partial thread, which, however, only extends around part of the circumference.
  • the stator webs preferably have a length of at least one sixth, in particular at least one fifth and more preferably at least a quarter of the entire circumference.
  • the stator webs always have a length which is less than half, in particular smaller than one third of the total volume.
  • the stator webs in this case have an inclination to the longitudinal or conveying direction of the pump.
  • the stator webs have a radial depth that is greater than the mean free path of the Gasteiichen to be funded, in particular, the radial depth is at least 1.2 times, preferably 1.5 times and in particular at least 2.5 ause the average free Wegicarde of Gasteiichen to be promoted.
  • the throughput can be further improved.
  • the radial depth of the stator webs is thus at least 10 mm, in particular at least 15 mm and particularly preferably at least 20 mm.
  • the maximum radial depth is in this case a maximum of 40 mm, in particular a maximum of 30 mm and particularly preferably a maximum of 20 mm.
  • the passage height or the distance between two adjacent stator webs is selected to be large and is preferably 30 to 60%, in particular 45 to 55% of the chord depth.
  • adjacent stator webs overlap in the circumferential direction by at least 10 to 70%, preferably 20 to 70% and particularly preferably 30 to 60%.
  • stator element is designed such that all, provided between two adjacent stator webs inlet openings lie in the same entrance level.
  • the gas particles emerging from the last stator element of the turbomolecule pump therefore enter directly into one of the inlet openings of the stator webs.
  • the preferably located in an entrance level inlet openings in the circumferential direction preferably have an opening width of at least 10 to 15% of the circumference.
  • the circumferential direction preferably at least four, in particular six and particularly preferably eight stator bars are provided.
  • stator webs extend radially inwardly have decreasing depth. In the conveying direction, the depth in the stator webs thus preferably decreases.
  • the stator webs preferably have the same inner diameter, so that a constant small distance from the cylindrical rotor extension is realized.
  • stator element brings about an improvement in the throughput, in particular in the case of different combinations of these features.
  • the invention relates to a high vacuum pump, which in particular has a turbomolecular pump, wherein the last rotor element in the conveying direction, a stator with stator bars, as described above, is arranged downstream. It is particularly preferred in this case that the stator directly adjoins the last rotor element, wherein in particular between the last rotor element and the stator according to the invention no conventional stator of a turbomolecular pump is provided. Furthermore, it is preferred that a cylindrical rotor extension is connected to the last rotor element, which is surrounded by the stator element or the individual stator webs of the stator element. This co-rotating cylindrical rotor lug serves to seal the insides of the individual stator webs in order to minimize the amount of backflowing gas and to support the conveying mechanism in the region close to the cylinder.
  • Fig. 1 A schematic sectional view of an inventive
  • High vacuum pump. 2 shows a schematic perspective sectional view of a preferred embodiment of the stator element according to the invention.
  • the high vacuum pump has a turbomolecular pump 10.
  • This has in a housing 12 on a bearing 14 arranged on a rotor 16.
  • the rotor 16 has a plurality of rotor elements 18, each having a plurality Rotorflugi. Between the rotor elements 18, stator elements 20 are arranged which are fixed in the housing 12 via stator rings 22. With the aid of the turbomolecular pump 10, the gas is conveyed through a pump inlet 24 in the conveying direction 26.
  • a housing member 28 is connected with the housing 12 of the turbomolecular pump 10.
  • the housing element 28 has on its inner side 30 stator webs 32.
  • the stator webs 32 are arranged directly adjacent to the last rotor element in the conveying direction 26, so that no further intermediate element, in particular no stator element, is provided between the last rotor element 18 and the stator webs 32.
  • a cylindrically shaped rotor lug 38 is firmly connected, so that the rotor lug 38 rotates together with the rotor 16.
  • the stator webs 32 surround the rotor extension 38.
  • the housing member 28 has a flange 34, via which the housing member 28 is connected by means of screws 36 with the housing 12 of the turbomolecular pump.
  • stator bars (FIG. 2) are distributed regularly.
  • the stator webs 32 which are inclined in accordance with a partial thread, each extend over approximately one quarter to one third of the total Perimeter, with adjacent Statorstege 32 each overlap by about 55%.
  • the stator webs 32 have a radial depth t (FIG. 1) which is greater than the mean free path length of the gas paths to be conveyed.
  • the depth t is 10 to 20 mm.
  • the depth t decreases in the conveying direction.
  • the depth ti of the region of the stator webs 32 immediately adjacent to the set rotor element is deeper than the depth t 2 in a region farther away therefrom.
  • the inclination or orientation of the individual stator webs 32 relative to one another is selected such that a passage height h (FIG. 2) of two adjacent startor wings 32 amounts to at least 30 to 60% of the blade depth t.
  • an inlet opening 40 is formed between two adjacent stator webs in each case.
  • all inlet openings 40 are located in a common entry plane which adjoins directly the lower wing plane of the last rotor element 18 in the conveying direction 26.
  • the inlet openings 40 In the circumferential direction, the inlet openings 40 have an opening width of 10 to 15% of the entire circumference.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

Ein Statorelement für eine Hochvakuumpumpe ist in Förderrichtung (26) dem letzten Rotorelement nachgeordnet. Das Statorelement weist ein Gehäuseelement (28), das mit einem Gehäuse (12) der Hochvakuumpumpe verbunden ist. An einer Innenseite (30) des Gehäuseelementes (28) sind mehrere in Umfangsrichtung regelmäßig verteilt angeordnete Statorstege (32) angeordnet.

Description

Statorelement sowie Hochvakuumpumpe
Die Erfindung betrifft ein Statorelement für einen Hochvakuumpumpe sowie eine Hochvakuumpumpe.
Viele Hochvakuumpumpen sind heutzutage zweistufig aufgebaut, wobei die erste Stufe durch eine Turbomoieku!arpumpe ausgebildet ist, an die sich in Förderrichtung eine Molekular- oder Gasreibungspumpe anschließt. Eine Turbomolekularpumpe weist mehrere in einem Gehäuse angeordnete Rotorelemente auf, wobei jedes Rotorelement mehrere Rotorflügel aufweist. Zwischen den einzelnen Rotorelementen sind mit dem Gehäuse fest verbundene Statorelemente angeordnet, die mehrere Statorflügel aufweisen. Als sich an die Turbomolekularpumpe anschließende Molekular- oder Gasreibungspumpe ist beispielsweise eine Holweck-Stufe vorgesehen. Die Holweck-Stufe weist beispielsweise einen mit dem in Strömungsrichtung letzten Rotorelement verbundenen Zylinder auf. Der Zylinder ist von einem oder mehreren Gewindegängen umgeben. Die Förderquerschnitte einer Molekular- oder Gasreibungspumpe sind hierbei kleiner als die mittlere freie Weglänge der zu fördernden Gase, Dies hat zur Folge, dass die Gasteiichen im Wesentlichen nur an die Wände jedoch nicht gegeneinander stoßen. Eine derartige Holweck-Stufe ist beispielsweise in DE 19 632 375 beschrieben, wobei diese Holweck-Stufe mehrere konzentrisch zueinander angeordnete jeweils fest mit dem letzten Rotorelement verbundene zylindrische Elemente aufweist. Zwischen diesen sind nicht rotierende Elemente mit Gewindegängen angeordnet, sodass durch Rotation der zylindrischen Elemente ein Gastransport in den Gewindegängen erfolgt. Die Einleitung des geförderten Gases in die Holweck-Stufe erfolgt hierbei durch Öffnungen in dem letzten Rotorelement oder eine Lochscheibe, die mit dem Rotor verbunden ist und die zylindrischen Elemente der Holweck-Stufe trägt. Da das Gas somit durch die Löcher in der Scheibe tn die Holweck-Stufe gelangt, treten Strömungsverluste auf, die eine Durchsatzverminderung mit sich bringen.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Statorelement für eine Hochvakuumpumpe sowie eine Hochvakuumpumpe zu schaffen, mit der eine Durchsatzverbesserung erzielt werden kann.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Statorelement gemäß Anspruch 1 bzw. durch eine Hochvakuumpumpe gemäß Anspruch 11.
Das erfindungsgemäße Statorelement ist unmittelbar in axialer Förderrichtung dem letzten Rotorelement einer Hochvakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekuiarpurnpe, nachfolgend angeordnet. Hierbei kann dem erfindungsgemäßen Statorelement in Förderrichtung wiederrum eine Molekular- oder Gasreibungspumpe nachgeordnet sein. Das erfindungsgemäße Statorelement weist ein Gehäuseelement auf, das mit dem Gehäuse der Hochvakuumpumpe, insbesondere der Turbomolekuiarpurnpe verbunden ist. Anstelle eines Gehäuseeiementes selbst kann es sich auch um ein mit dem Gehäuse verbundenes oder von einem weiteren Gehäuse umgebenes Trägerelement handeln. An der Innenseite dieses Gehäuse- bzw. Trägerelementes sind Statorstege angeordnet. Die Statorstege erstrecken sich hierbei, im Unterschied zu den Statorflügeln der einzelnen zwischen den Rotorelementen angeordneten Statorelementen, vorzugsweise nur über die gesamte wirksame Breite der Rotorelemente, und ragen von der Innenseite des Gehäuseelementes nach innen bis zu einem insbesondere zylindrischen Rotoransatz. Vorzugsweise sind die Statorstege im Gegensatz zu herkömmlichen zwischen Rotorelementen angeordneten Statorflügeln nach innen offen. Ferner sind die Statorstege vorzugsweise entsprechend eines Stegs eines Gewindegangs schräg bzw. teii-spiralförmig angeordnet Hierdurch kann eine aktive Pumpwirkung der Statorstege realisiert werden, die einer Ruckströmung, wie sie bei herkömmlichen Statorflügeln auftritt, entgegenwirkt und ferner die Förderwirkung unterstützt.
Bereits durch eine derartige Anordnung und Ausgestaltung der Statorfiügel kann eine Durchsatzverbesserung erzielt werden. Besonders bevorzugt ist es hierbei, dass bei montiertem Statorelement die Statorsteg einen zylindrischen Rotoransatz umgeben, wobei der zylindrische Rotoransatz vorzugsweise mit dem letzten Rotorelement verbunden ist und somit ebenfalls rotiert.
In bevorzugter Ausführungsform besteht ein wesentlicher Aspekt der Erfindung darin, dass die Ausgestaltung der Statorfiügel derart gewählt ist, dass die Wechselwirkung bei Holweck-Stufen zwischen den sich gegenüberliegenden Gewindewänden und dem zylindrischen Element verringert, oder sogar vermieden wird. Erfindungsgemäß ist vorzugsweise ein großer Förderquerschnitt im Gewinde vorgesehen, der die Pumpwirkung, insbesondere in dem inneren Rotoransatz-nahen Bereich unterstützt.
Vorzugsweise verlaufen die Statorstege in Umfangsrichtung entlang der Innenseite des Gehäuseelementes. Hierbei handelt es sich vorzugsweise bei jedem einzelnen Statorsteg um einen Teil-Gewindegang, der sich jedoch nur um einen Teil des Umfangs erstreckt. In Umfangsrichtung weisen die Statorstege vorzugsweise eine Länge von mindestens einem Sechstel, insbesondere mindestens einem Fünftel und besonders bevorzugt mindestens einem Viertel des gesamten Umfangs auf. Die Statorstege weisen hierbei jedoch stets eine Länge auf, die geringer als die Hälfte, insbesondere geringer als ein Drittel des gesamten Umfangs beträgt. Die Statorstege weisen hierbei zur Längs- bzw. Förderrichtung der Pumpe eine Neigung auf.
Vorzugsweise weisen die Statorstege eine radiale Tiefe auf, die größer ist als die mittlere freie Weglänge der zu fördernden Gasteiichen, Insbesondere beträgt die radiale Tiefe mindestens das 1,2-Fache, vorzugsweise das 1,5- Fache und insbesondere mindestens das 2,5-Fache der mittleren freien Wegiänge der zu fördernden Gasteiichen. Hierdurch kann der Durchsatz weiter verbessert werden. In einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die radiale Tiefe der Statorstege somit mindestens 10 mm, insbesondere mindestens 15 mm und besonders bevorzugt mindestens 20 mm. Die maximale radiale Tiefe beträgt hierbei maximal 40 mm, insbesondere maximal 30 mm und besonders bevorzugt maximal 20 mm.
Zur weiteren Durchsatzerhöhung ist die Durchtrittshöhe bzw. der Abstand zwischen zwei benachbarten Statorstegen groß gewählt und beträgt vorzugsweise 30 bis 60 %, insbesondere 45 bis 55 % der Flügeltiefe.
Des Weiteren ist es bevorzugt, dass sich benachbarte Statorstege in Umfangsrichtung um mindestens 10 bis 70 %, vorzugsweise 20 bis 70 % und besonders bevorzugt 30 bis 60 % überlappen.
Des Weiteren ist es bevorzugt, dass das Statorelement derart ausgebildet ist, dass sämtliche, zwischen zwei benachbarten Statorstegen vorgesehene Eintrittsöffnungen in derselben Eintrittsebene liegen. Die aus dem letzten Statorelement der TurbomolekuSarpumpe austretenden Gasteilchen treten somit unmittelbar in eine der Eintrittsöffnungen der Statorstege ein. Die vorzugsweise in einer Eintrittsebene liegenden Eintrittsöffnungen weisen in Umfangsrichtung vorzugsweise eine Öffnungsweite von mindestens 10 bis 15 % des Umfangs auf. In Umfangsrichtung sind vorzugsweise mindestens vier, insbesondere sechs und besonders bevorzugt acht Statorstege vorgesehen. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass die Statorstege eine sich radial nach innen verringernde Tiefe aufweisen. In Förderrichtung nimmt die Tiefe in den Statorstegen somit vorzugsweise ab. Hierbei weisen die Statorstege vorzugsweise den gleichen Innendurchmesser auf, so dass ein gleichbleibender geringer Abstand zu dem zylindrischen Rotoransatz realisiert ist.
Sämtliche vorstehend beschriebene bevorzugte Ausgestaltungen des Statorelementes bewirken, insbesondere bei unterschiedlichen Kombinationen dieser Merkmale, eine Verbesserung des Durchsatzes,
Ferner betrifft die Erfindung eine Hochvakuumpumpe, die insbesondere eine Turbomolekularpumpe aufweist, wobei dem in Förderrichtung letzten Rotorelement ein Statorelement mit Statorstegen, wie vorstehend beschrieben, nachgeordnet ist. Besonders bevorzugt ist es hierbei, dass sich das Statorelement unmittelbar an das letzte Rotorelement anschließt, wobei insbesondere zwischen dem letzten Rotorelement und dem erfindungsgemäßen Statorelement kein herkömmlicher Stator einer Turbomolekularpumpe vorgesehen ist. Ferner ist es bevorzugt, dass mit dem letzten Rotorelement ein zylindrischer Rotoransatz verbunden ist, der von dem Statorelement, bzw. den einzelnen Statorstegen des Statorelementes, umgeben ist. Dieser mitrotierende zylindrische Rotoransatz dient zur Abdichtung der Innenseiten der einzelnen Statorstege, um die Menge an rückströmendem Gas möglichst gering zu halten und den Fördermechanismus in zylindernahem Bereich zu unterstützen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen :
Fig. 1: Eine schematische Schnittansicht einer erfindungsgemäßen
Hochvakuumpumpe. Fig. 2: Eine schematische perspektivische geschnittene Ansicht einer erfindungsgemäßen bevorzugten Ausführungsform des Statorelementes.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Hochvakuumpumpe eine Turbomolekularpumpe 10 auf. Diese weist in einem Gehäuse 12 einen auf einer Lagerung 14 angeordneten Rotor 16 auf. Der Rotor 16 weist mehrere Rotorelemente 18 auf, die jeweils mehrere Rotorflügei aufweisen. Zwischen den Rotorelementen 18 sind Statorelemente 20 angeordnet, die über Statorringe 22 in dem Gehäuse 12 fixiert sind. Mit Hilfe der Turbomolekularpumpe 10 erfolgt ein Fördern des Gases durch einen Pumpeneinlass 24 in Förderrichtung 26.
Mit dem Gehäuse 12 der Turbomolekularpumpe 10 ist ein Gehäuseelement 28 verbunden. Das Gehäuseelement 28 weist an seiner Innenseite 30 Statorstege 32 auf. Die Statorstege 32 sind unmittelbar benachbart zu dem in Förderrichtung 26 letzten Rotorelement angeordnet, sodass zwischen dem letzten Rotorelement 18 und den Statorstegen 32 kein weiteres Zwischenelement, insbesondere kein Statorelement vorgesehen ist.
Mit dem letzten Rotorelement 18 ist ein zylindrisch ausgebildeter Rotoransatz 38 fest verbunden, sodass der Rotoransatz 38 zusammen mit dem Rotor 16 rotiert. Die Statorstege 32 umgeben den Rotoransatz 38.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel weist das Gehäuseelement 28 einen Flansch 34 auf, über den das Gehäuseelement 28 mittels Schrauben 36 mit dem Gehäuse 12 der Turbomolekularpumpe verbunden ist.
Im dargestellten Ausführungsbeispie! sind an der Innenseite 30 des Gehäuseelementes 28 sechs Statorstege (Fig. 2) regelmäßig verteilt angeordnet. Die entsprechend eines Teil-Gewindegangs geneigten Statorstege 32 erstrecken sich jeweils über ca. ein Viertel bis ein Drittel des gesamten Umfangs, wobei sich benachbarte Statorstege 32 jeweils um ca. 55 % überdecken.
Die Statorstege 32 weisen eine radiale Tiefe t (Fig. 1) auf, die größer ist a!s die mittlere freie Weglänge der zu fördernden GasteiSchen. Im dargestellten Ausführungsbetspiel beträgt die Tiefe t 10 bis 20 mm. In der dargestellten bevorzugten Ausführungsform nimmt die Tiefe t in Förderrichtung ab. So ist die Tiefe ti des Bereichs der Statorstege 32, der unmittelbar an das Setzte Rotorelement angrenzt, tiefer als die Tiefe t2 in einem hiervon weiter entfernten Bereich. Die Neigung bzw. Ausrichtung der einzelnen Statorstege 32 zueinander ist derart gewählt, dass eine Durchtrittshöhe h (Fig. 2) zweier benachbarter Startorflügel 32 mindestens 30 bis 60 % der Flügeltiefe t beträgt.
Zwischen zwei benachbarten Statorstegen ist jeweils eine Eintrittsöffnung 40 ausgebildet. Vorzugsweise liegen sämtliche Eintrittsöffnungen 40 in einer gemeinsamen Eintrittsebene, die unmittelbar an die untere Flügelebene des in Förderrichtung 26 letzten Rotorelementes 18 anschließt. In Umfangsrichtung weisen die Eintrittsöffnungen 40 eine Öffnungsweite von 10 bis 15 % des gesamten Umfangs auf.

Claims

Patentansprüche
1. Statorelement für eine Hochvakuumpumpe, das dem in Förderrichtung (26) letzten Rotorelement (18) nachgeordnet ist, mit einem mit einem Gehäuse (12) der Hochvakuumpumpe ( 10) verbindbaren Gehäuseelement (28) und an einer Innenseite (30) des Gehäuseelementes (28) angeordneten Statorstegen (32).
2. Statorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Statorstege (32) in Umfangsrichtung entlang der Innenseite (30) verlaufen und vorzugsweise eine Länge von mindestens einem Sechstel, insbesondere mindestens einem Fünftel und besonders bevorzugt mindestens einem Viertel aber vorzugsweise weniger als der Hälfte, insbesondere weniger als einem Drittel des gesamten Umfangs aufweisen.
3. Statorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Statorstege (32) eine radiale Tiefe (t) aufweisen, die größer ist als die mittlere freie Weglänge der zu fördernden Gasteilchen, wobei die radiale Tiefe (t) insbesondere um mindestens das 1,2-fache, vorzugsweise das 1,5-fache und besonders bevorzugt das 2,5-fache größer als die mittlere freie Weglänge der zu fördernden Gase ist.
4. Statorelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Statorstege (32) eine radiale Tiefe (t) von mindestens 10 mm, vorzugsweise mindestens 15 mm und besonders bevorzugt mindestens 20 mm aufweisen, wobei die maximale radiale Tiefe (t) kleiner als 40 mm, vorzugsweise kleiner als 30 mm und besonders bevorzugt kleiner als 20 mm ist.
5. Statoreiement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine Durchtrittshöhe (h) zwischen zwei benachbarten Statorstegen (32) 30 bis 60 %, vorzugsweise 45 bis 55 % der Flügeltiefe (t) beträgt.
6. Statorelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich benachbarte Statorstege (32) in Umfangsrichtung um 10 bis 70 %, vorzugsweise 20 bis 70 % und besonders bevorzugt 30 bis 60 % überlappen.
7. Statorelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass alle zwischen benachbarten Statorstegen (32) vorgesehenen Eintrittsöffnungen (40) in derselben Eintrittsebene liegen.
8. Statorelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass in Umfangsrichtung mindestens vier, vorzugsweise mindestens sechs und besonders bevorzugt mindestens acht Statorstege (32) vorgesehen sind.
9. Statorelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Statorstegen (32) vorgesehene Eintrittsöffnungen (40) in Umfangsrichtung eine Öffnungsweite von mindestens 10 bis 15 % des gesamten Umfangs aufweisen.
10. Statorelement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass sich die radiale Tiefe (t) der Statorstege (32) radial in Förderrichtung verringert.
11. Hochvakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem mehrere Rotorelemente (18) aufweisenden Rotor (16) und einem, dem in Förderrich ung (26) letzten Rotoreiement (18) nachgeordneten Statoreiement nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
12. Hochvakuumpumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Statorelement, insbesondere die Statorstege (32) unmittelbar an das letzte Rotorelement (18) angrenzt.
13. Hochvakuumpumpe nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das in Förderrichtung (26) letzte Rotoreiement (18) mit einem zylindrischen Rotoransatz (38) verbunden ist, der von dem Statorelement insbesondere den Statorstegen (32) umgeben ist.
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