EP2256752B1 - Transformateur d'ondes millimétriques à fort coefficient de transformation et à faibles pertes d'insertion - Google Patents

Transformateur d'ondes millimétriques à fort coefficient de transformation et à faibles pertes d'insertion Download PDF

Info

Publication number
EP2256752B1
EP2256752B1 EP10164168A EP10164168A EP2256752B1 EP 2256752 B1 EP2256752 B1 EP 2256752B1 EP 10164168 A EP10164168 A EP 10164168A EP 10164168 A EP10164168 A EP 10164168A EP 2256752 B1 EP2256752 B1 EP 2256752B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
primary
transformer
winding
secondary winding
level
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Not-in-force
Application number
EP10164168A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP2256752A3 (fr
EP2256752A2 (fr
Inventor
Didier Belot
Bernardo Leite
Eric Kerherve
Jean-Baptiste Begueret
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
STMicroelectronics SA
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
STMicroelectronics SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, STMicroelectronics SA filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP2256752A2 publication Critical patent/EP2256752A2/fr
Publication of EP2256752A3 publication Critical patent/EP2256752A3/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP2256752B1 publication Critical patent/EP2256752B1/fr
Not-in-force legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F19/00—Fixed transformers or mutual inductances of the signal type
    • H01F19/04—Transformers or mutual inductances suitable for handling frequencies considerably beyond the audio range
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2804—Printed windings

Definitions

  • the present invention relates to transformers of alternating signals with millimeter wavelengths, that is to say whose frequency is between about 30 GHz and about 300 GHz.
  • the figure 1 represents the circuit diagram of a transformer 1.
  • a primary winding 3 At the terminals of a primary winding 3 is applied an alternating signal IN.
  • the transformer 1 is used to raise or lower the voltage V IN of the input AC signal IN, to isolate one with respect to the other two circuits, to filter a possible DC component of the signal IN or to adapt the impedances between different components of a circuit.
  • the coefficient n is related to the value ls / Lp , where Ls and Lp are the respective inductances of the secondary and primary windings.
  • transformers capable of processing millimeter wavelength signals.
  • European automobile radars 80 GHz
  • the broadcasting of high-definition video over wireless networks 60 GHz
  • the Ls and Lp values vary greatly with frequency, in particular because of the skin effect and the small skin thickness in which a high frequency signal propagates in a conductor (0.27 ⁇ m in 60 GHz copper).
  • Another difficulty lies in the fact that the resonance frequency of the transformer, that is to say the frequency from which the transformer is no longer operational, decreases as the number of turns of the windings increases.
  • millimeter wave transformers can not have more than two turns per winding.
  • the Figure 2A is a perspective view of a millimeter wave transformer 11.
  • the transformer 11 comprises a primary winding 13, consisting of a lathe formed in a metallization level M1, and a secondary winding 15, consisting of two towers essentially formed in the same metallization level M2 less than the level M1.
  • the intersection between the two towers constituting the secondary winding 15 passes through a conductive section 17, formed in a metallization level M3 less than the M2 level and connected to the towers by vias (not shown).
  • the primary winding 13 is disposed above the secondary winding 15, so that the average diameter (average of the outer diameter and inner diameter) of the primary winding coincides with the average diameter of the secondary winding.
  • the primary and secondary windings consist of conductor tracks of identical widths (for example 4 ⁇ m) formed in successive metallization levels isolated from each other.
  • the Figure 2B is a sectional view of the transformer 11 of the Figure 2A according to a plan schematized by the line A of the Figure 2A .
  • the primary winding 13 and the secondary winding 15 are separated by an insulating layer 19.
  • transformers of this type lies in the high insertion losses that they introduce, particularly because of the significant resistivity of the windings.
  • the transformation coefficient n of the transformer 11 is determined by the inductances Lp and Ls of the primary and secondary windings. These inductances depend strongly on the working frequency. It would be desirable, at a given working frequency, to be able to increase the transformation coefficient n, that is to say increase the ratio between the inductances Ls and Lp.
  • an object of an embodiment of the present invention is to provide a millimeter wave transformer that overcomes all or at least some of the disadvantages mentioned above of the solutions of the prior art.
  • An object of an embodiment of the present invention is to provide such a transformer having a high conversion coefficient.
  • An object of an embodiment of the present invention is to provide such a transformer with low insertion losses.
  • the invention provides a millimeter wave transformer in which the track width of the primary winding is greater than the track width of the secondary winding.
  • an embodiment of the present invention provides a millimeter wave transformer comprising at the primary a tower consisting of a conductive track made in at least a first metallization level, and the secondary winding facing the primary tower, comprising at least one a tower consisting of a conductive track made in at least a second isolated metallization level of said at least one first level, the track width of the primary tower being at least greater than the total width of the secondary winding.
  • the secondary winding is arranged facing the outer portion of the primary tower, so that the outer perimeter of the secondary winding coincides with the outer perimeter of the primary tower.
  • the secondary winding comprises two turns made in said at least one second level of metallization, the intersection between these two turns being made in a third metallization level isolated from the first level.
  • the conductive tracks are copper tracks.
  • An embodiment of the present invention provides a method of adjusting the transformation coefficient of a millimeter wave transformer comprising at the primary a tower consisting of a conductive track made in at least a first level of metallization, and secondary a winding facing the primary tower, comprising at least one tower consisting of a conductive track made in at least a second isolated metallization level of said at least a first level, the width of the primary tower track being greater than the width of the the secondary winding track and the track width of the primary tower being greater than the total width of the secondary winding, this method comprising a step of adjusting the position of the secondary winding, towards the outer part of the primary tower to increase said coefficient and to the inner portion of the primary tower to decrease said coefficient.
  • the figure 3A is a perspective view of a millimeter wave transformer 21.
  • the transformer 21 comprises a primary winding 23, consisting of a lathe formed in a metallization level M1, and a secondary winding 25, consisting of two turns formed essentially in the same metallization level M2 less than the level M1.
  • the intersection between the two towers constituting the secondary winding 25 passes through a conductive section 27, formed in a metallization level M3 less than the M2 level and connected to the towers by vias (not shown).
  • the primary winding 23 is disposed above the secondary winding 25, so that the average diameter (average of the outer diameter and inner diameter) of the primary winding coincides with the average diameter of the secondary winding.
  • the figure 3B is a sectional view of the transformer 21 of the figure 3A according to a plan schematized by the line A of the figure 3A .
  • the conductive tracks are separated from each other by an insulator 29.
  • the track width of the primary winding 23 is greater than the track width of the secondary winding 25.
  • the track width of the primary winding 23 is greater than the total width of the secondary winding 25, i.e., in this case, twice the track width of the secondary winding plus the width insulation 29 between the first and second turns of the secondary winding.
  • secondary winding 1, 5. ⁇ m.
  • the Figure 4A represents the evolution of the transformation coefficient n of the transformers illustrated by the FIGS. 2A-2B and 3A-3B , depending on the frequency of the input signal.
  • Curve 31 corresponds to the case of transformer 11 of figures 2A and 2B , for track widths of the primary and secondary windings equal to 4 ⁇ m.
  • Curve 33 corresponds to the case of transformer 21 of Figures 3A and 3B , for track widths of the primary and secondary windings respectively equal to 12 microns and 4 microns.
  • the curve 33 is clearly above the curve 31 regardless of the working frequency considered and in particular for the millimeter wavelength signals.
  • the transformation coefficient of the transformer 11 is equal to 3.11 and that of the transformer 21 is equal to 4.24.
  • the Figure 4B represents the evolution of insertion losses of transformers 11 and 21, as a function of the frequency of the input signal.
  • Curve 41 corresponds to the case of transformer 11, for track widths of primary and secondary windings equal to 4 ⁇ m.
  • the curve 43 corresponds to the case of the transformer 21, for the track widths of the primary and secondary windings respectively equal to 12 microns and 4 microns.
  • the curve 43 is well below the curve 41 regardless of the working frequency considered and in particular for the millimeter wavelength signals.
  • the insertion losses of the transformer 11 are 1.33 dB and those of the transformer 21 are 1.01 dB.
  • the track width of the primary winding is beneficial only within a certain threshold. Indeed, from a certain width, there is a degradation of the performance of the transformer, and in particular an increase in insertion losses. For example, if the secondary winding consists of two tows of 4 ⁇ m track width, separated by 1.5 ⁇ m of insulation, or a total width of 9.5 ⁇ m, care should be taken not to increase the width of the track of the primary winding beyond 24 ⁇ m.
  • track width of the primary winding is greater than the total width of the secondary winding, different positions of the secondary winding facing the primary winding are possible.
  • the secondary winding is positioned under the outer portion of the primary winding, so that its outer perimeter coincides with the outer perimeter of the primary winding.
  • the Figure 5A is a perspective view showing a millimeter wave transformer 51.
  • the transformer 51 comprises a primary winding 53, consisting of a lathe formed in a metallization level M1, and a secondary winding 55, consisting of a lathe formed in a metallization level M2 lower than the level M1.
  • the primary winding 53 is arranged opposite the secondary winding 55, so that the inner perimeters of the primary and secondary windings coincide.
  • the Figure 5B is a sectional view of the transformer 51 of the Figure 5A according to a plan schematized by the line A of the Figure 5A .
  • the Figure 6A is a perspective view showing a millimeter wave transformer 61.
  • the transformer 61 comprises a primary winding 63, consisting of a lathe formed in a metallization level M1, and a secondary winding 65, consisting of a lathe formed in a metallization level M2 lower than the level M1.
  • the primary winding 63 is disposed opposite the secondary winding 65, so that the outer perimeters of the primary and secondary windings coincide.
  • the Figure 6B is a sectional view of the transformer 61 of the Figure 6A according to a plan schematized by the line A of the Figure 6A .
  • the figure 7 represents the evolution of the transformation coefficient n of the transformers illustrated by the Figures 5A-5B and 6A-6B , depending on the frequency of the input signal.
  • the curves 71 and 73 correspond respectively to the transformers 51 ( Figures 5A and 5B ) and 61 ( Figures 6A and 6B ), for track widths of the primary and secondary windings respectively equal to 12 microns and 4 microns.
  • the curve 73 is clearly above the curve 71 regardless of the working frequency considered and in particular for the millimeter wavelength signals.
  • the transformation coefficient of the transformer 51 is equal to 1.16 and that of the transformer 61 is equal to 1.28.
  • the inventors have determined that, for a given primary winding diameter, the transformation coefficient increases linearly with the diameter of the secondary winding, when the latter is within the range of values for which the primary and secondary windings are opposite. one of the other.
  • metallization levels lower or higher than other metallization levels have been mentioned in the description of embodiments of the invention, in particular, the primary windings have been described as being arranged above the secondary windings. The invention is not restricted to these particular cases. The order of the metallization levels can be reversed, and in particular, the secondary winding can be arranged above the primary winding.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Coils Of Transformers For General Uses (AREA)

Description

    Domaine de l'invention
  • La présente invention concerne les transformateurs de signaux alternatifs à longueurs d'ondes millimétriques, c'est-à-dire dont la fréquence est comprise entre environ 30 GHz et environ 300 GHz.
    • Exposé de l'art antérieur
  • La figure 1 représente le schéma électrique d'un transformateur 1. Aux bornes d'un enroulement primaire 3 est appliqué un signal alternatif IN. Un enroulement secondaire 5, couplé à l'enroulement primaire 3, fournit à ses bornes un signal OUT de même fréquence que le signal IN mais de tension VOUT pouvant être supérieure ou inférieure à la tension VIN du primaire. Le transformateur 1 est utilisé pour élever ou abaisser la tension VIN du signal alternatif IN d'entrée, pour isoler l'un par rapport à l'autre deux circuits, pour filtrer une éventuelle composante continue du signal IN ou pour adapter les impédances entre différents composants d'un circuit. Le coefficient de transformation n du transformateur 1 fixe la valeur VOUT de la tension de sortie selon la règle VOUT = n*VIN. Le coefficient n est lié à la valeur Ls / Lp ,
    Figure imgb0001
     où Ls et Lp sont les inductances respectives des enroulements secondaire et primaire.
  • Certaines applications nécessitent des transformateurs aptes à traiter des signaux de longueurs d'ondes millimétriques. On pourra par exemple citer de façon non limitative les radars automobiles européens (80 GHz) et la diffusion de vidéo à haute définition sur réseaux sans fil (60 GHz). Aux longueurs d'ondes millimétriques, les valeurs Ls et Lp varient beaucoup avec la fréquence, notamment en raison de l'effet de peau et de la faible épaisseur de peau dans laquelle un signal haute fréquence se propage dans un conducteur (0,27 µm dans du cuivre à 60 GHz). Une autre difficulté réside dans le fait que la fréquence de résonance du transformateur, c'est-à-dire la fréquence à partir de laquelle le transformateur n'est plus opérationnel, diminue lorsque le nombre de tours des enroulements augmente. En pratique, les transformateurs d'ondes millimétriques ne peuvent pas avoir plus de deux tours par enroulement.
  • La figure 2A est une vue en perspective d'un transformateur d'ondes millimétriques 11. Le transformateur 11 comporte un enroulement primaire 13, constitué d'un tour formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 15, constitué de deux tours essentiellement formés dans un même niveau de métallisation M2 inférieur au niveau M1. L'intersection entre les deux tours constituant l'enroulement secondaire 15 passe par un tronçon conducteur 17, formé dans un niveau de métallisation M3 inférieur au niveau M2 et relié aux tours par des vias (non représentés). L'enroulement primaire 13 est disposé au dessus de l'enroulement secondaire 15, de façon que le diamètre moyen (moyenne du diamètre extérieur et du diamètre intérieur) de l'enroulement primaire coïncide avec le diamètre moyen de l'enroulement secondaire. De façon classique, dans le domaine des circuits intégrés comprenant des éléments passifs, les enroulements primaires et secondaires sont constitués de pistes conductrices de largeurs identiques (par exemple 4 µm) formées dans des niveaux de métallisation successifs isolés les uns des autres.
  • La figure 2B est une vue en coupe du transformateur 11 de la figure 2A selon un plan schématisé par la ligne A de la figure 2A. L'enroulement primaire 13 et l'enroulement secondaire 15 sont séparés par une couche isolante 19.
  • Un inconvénient des transformateurs de ce type réside dans les pertes d'insertion élevées qu'ils introduisent, en raison notamment de la résistivité non négligeable des enroulements.
  • En outre, le coefficient de transformation n du transformateur 11 est déterminé par les inductances Lp et Ls des enroulements primaire et secondaire. Ces inductances dépendent fortement de la fréquence de travail. Il serait souhaitable, à une fréquence de travail donnée, de pouvoir augmenter le coefficient de transformation n, c'est-à-dire augmenter le rapport entre les inductances Ls et Lp.
    • Résumé
  • Ainsi, un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer un transformateur d'ondes millimétriques palliant tous ou au moins certains des inconvénients cités ci-dessus des solutions de l'art antérieur.
  • Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer un tel transformateur présentant un fort coefficient de transformation.
  • Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer un tel transformateur à faibles pertes d'insertion.
  • De façon générale, l'invention prévoit un transformateur d'ondes millimétriques dans lequel la largeur de piste de l'enroulement primaire est supérieure à la largeur de piste de l'enroulement secondaire.
  • Ainsi, un mode de réalisation de la présente invention prévoit un transformateur d'ondes millimétriques comportant au primaire un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un premier niveau de métallisation, et au secondaire un enroulement en regard du tour primaire, comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un second niveau de métallisation isolé dudit au moins un premier niveau, la largeur de piste du tour primaire étant au moins supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire.
  • Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'enroulement secondaire est disposé en regard de la partie extérieure du tour primaire, de façon que le périmètre extérieur de l'enroulement secondaire coïncide avec le périmètre extérieur du tour primaire.
  • Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'enroulement secondaire comporte deux tours réalisés dans ledit au moins un second niveau de métallisation, l'intersection entre ces deux tours étant réalisée dans un troisième niveau de métallisation isolé du premier niveau.
  • Selon un mode de réalisation de la présente invention, les pistes conductrices sont des pistes de cuivre.
  • Un mode de réalisation de la présente invention prévoit un procédé d'ajustement du coefficient de transformation d'un transformateur d'ondes millimétriques comportant au primaire un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un premier niveau de métallisation, et au secondaire un enroulement en regard du tour primaire, comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un second niveau de métallisation isolé dudit au moins un premier niveau, la largeur de la piste du tour primaire étant supérieure à la largeur de la piste d'enroulement secondaire et la largeur de piste du tour primaire étant supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire, ce procédé comportant une étape d'ajustement de la position de l'enroulement secondaire, vers la partie extérieure du tour primaire pour augmenter ledit coefficient et vers la partie intérieure du tour primaire pour diminuer ledit coefficient.
    • Brève description des dessins
  • Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles :
    • la figure 1, précédemment décrite, représente le schéma électrique d'un transformateur ;
    • la figure 2A, précédemment décrite, est une vue en perspective d'un transformateur d'ondes millimétriques ;
    • la figure 2B, précédemment décrite, est une vue en coupe du transformateur de la figure 2A ;
    • la figure 3A est une vue en perspective représentant un exemple de transformateur d'ondes millimétriques selon un mode de réalisation de l'invention ;
    • la figure 3B est une vue en coupe du transformateur de la figure 3A ;
    • les figures 4A et 4B représentent les évolutions du coefficient de transformation et des pertes d'insertion en fonction de la fréquence du signal d'entrée pour les transformateurs des figures 2A et 3A ;
    • la figure 5A est une vue en perspective représentant un exemple de transformateur d'ondes millimétriques selon un autre mode de réalisation de l'invention ;
    • la figure 5B est une vue en coupe du transformateur de la figure 5A ;
    • la figure 6A est une vue en perspective d'un exemple de transformateur d'ondes millimétriques selon un autre mode de réalisation de l'invention ;
    • la figure 6B est une vue en coupe du transformateur de la figure 6A ; et
    • La figure 7 représente l'évolution du coefficient de transformation en fonction de la fréquence du signal d'entrée pour les transformateurs des figures 5A et 6A.
    Description détaillée
  • Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des circuits intégrés, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle.
  • La figure 3A est une vue en perspective d'un transformateur d'ondes millimétriques 21. Le transformateur 21 comporte un enroulement primaire 23, constitué d'un tour formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 25, constitué de deux tours formés essentiellement dans un même niveau de métallisation M2 inférieur au niveau M1. L'intersection entre les deux tours constituant l'enroulement secondaire 25 passe par un tronçon conducteur 27, formé dans un niveau de métallisation M3 inférieur au niveau M2 et relié aux tours par des vias (non représentés). L'enroulement primaire 23 est disposé au dessus de l'enroulement secondaire 25, de façon que le diamètre moyen (moyenne du diamètre externe et du diamètre interne) de l'enroulement primaire coïncide avec le diamètre moyen de l'enroulement secondaire.
  • La figure 3B est une vue en coupe du transformateur 21 de la figure 3A selon un plan schématisé par la ligne A de la figure 3A. Les pistes conductrices sont séparées les unes des autres par un isolant 29.
  • Comme cela est illustré, la largeur de piste de l'enroulement primaire 23 est supérieure à la largeur de piste de l'enroulement secondaire 25. Selon un mode de réalisation illustré en figures 3A et 3B, la largeur de piste de l'enroulement primaire 23 est supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire 25, c'est-à-dire, dans ce cas, deux fois la largeur de piste de l'enroulement secondaire plus la largeur de l'isolant 29 compris entre le premier et le second tour de l'enroulement secondaire. On pourra par exemple choisir une largeur de piste de 12 µm pour l'enroulement primaire 23, une largeur de piste de 4 µm pour l'enroulement secondaire 25, et une largeur d'isolant 29 entre le premier et le second tour de l'enroulement secondaire de 1, 5. µm.
  • La figure 4A représente l'évolution du coefficient de transformation n des transformateurs illustrés par les figures 2A-2B et 3A-3B, en fonction de la fréquence du signal d'entrée. La courbe 31 correspond au cas du transformateur 11 des figures 2A et 2B, pour des largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire égales à 4 µm. La courbe 33 correspond au cas du transformateur 21 des figures 3A et 3B, pour des largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire respectivement égales à 12 µm et 4 µm.
  • La courbe 33 se situe nettement au dessus de la courbe 31 quelle que soit la fréquence de travail considérée et notamment pour les signaux à longueur d'onde millimétrique. Par exemple, à 60 GHz, le coefficient de transformation du transformateur 11 est égal à 3,11 et celui du transformateur 21 est égal à 4,24.
  • La figure 4B représente l'évolution des pertes d'insertion des transformateurs 11 et 21, en fonction de la fréquence du signal d'entrée. La courbe 41 correspond au cas du transformateur 11, pour des largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire égales à 4 µm. La courbe 43 correspond au cas du transformateur 21, pour des largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire respectivement égales à 12 µm et 4 µm.
  • La courbe 43 se situe nettement au dessous de la courbe 41 quelle que soit la fréquence de travail considérée et notamment pour les signaux à longueur d'onde millimétrique. Par exemple, à 60 GHz, les pertes d'insertion du transformateur 11 sont de 1,33 dB et celles du transformateur 21 sont de 1,01 dB.
  • On notera que l'augmentation de la largeur de piste de l'enroulement primaire n'est bénéfique qu'en deçà d'un certain seuil. En effet, à partir d'une certaine largeur, on observe une dégradation des performances du transformateur, et notamment une augmentation des pertes d'insertion. Par exemple, si l'enroulement secondaire est composé de deux tours de 4 µm de largeur de piste, séparées par 1,5 µm d'isolant, soit une largeur totale de 9,5 µm, on veillera à ne pas augmenter la largeur de piste de l'enroulement primaire au-delà de 24 µm.
  • Si la largeur de piste de l'enroulement primaire est supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire, différents positionnements de l'enroulement secondaire en regard de l'enroulement primaire sont possibles.
  • Selon un aspect de l'invention, l'enroulement secondaire est positionné sous la partie extérieure de l'enroulement primaire, de façon que son périmètre extérieur coïncide avec le périmètre extérieur de l'enroulement primaire.
  • La figure 5A est une vue en perspective représentant un transformateur d'ondes millimétriques 51. Le transformateur 51 comporte un enroulement primaire 53, constitué d'un tour formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 55, constitué d'un tour formé dans un niveau de métallisation M2 inférieur au niveau M1. L'enroulement primaire 53 est disposé en regard de l'enroulement secondaire 55, de façon que les périmètres intérieurs des enroulements primaire et secondaire coïncident.
  • La figure 5B est une vue en coupe du transformateur 51 de la figure 5A selon un plan schématisé par la ligne A de la figure 5A.
  • La figure 6A est une vue en perspective représentant un transformateur d'ondes millimétriques 61. Le transformateur 61 comporte un enroulement primaire 63, constitué d'un tour formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 65, constitué d'un tour formé dans un niveau de métallisation M2 inférieur au niveau M1. L'enroulement primaire 63 est disposé en regard de l'enroulement secondaire 65, de façon que les périmètres extérieurs des enroulements primaire et secondaire coïncident.
  • La figure 6B est une vue en coupe du transformateur 61 de la figure 6A selon un plan schématisé par la ligne A de la figure 6A.
  • La figure 7 représente l'évolution du coefficient de transformation n des transformateurs illustrés par les figures 5A-5B et 6A-6B, en fonction de la fréquence du signal d'entrée. Les courbes 71 et 73 correspondent respectivement aux transformateurs 51 (figures 5A et 5B) et 61 (figures 6A et 6B), pour des largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire respectivement égales à 12 µm et 4 µm.
  • La courbe 73 se situe nettement au dessus de la courbe 71 quelle que soit la fréquence de travail considérée et notamment pour les signaux à longueur d'onde millimétrique. Par exemple, à 60 GHz, le coefficient de transformation du transformateur 51 est égal à 1,16 et celui du transformateur 61 est égal à 1,28.
  • Les inventeurs ont déterminé que, pour un diamètre d'enroulement primaire donné, le coefficient de transformation augmente linéairement avec le diamètre de l'enroulement secondaire, lorsque ce dernier est compris dans la plage de valeurs pour lesquelles les enroulements primaire et secondaire sont en regard l'un de l'autre.
  • Ainsi, pour renforcer le coefficient de transformation, on prévoit de disposer l'enroulement secondaire sous la partie extérieure de l'enroulement primaire, de façon que les périmètres extérieurs des enroulements coïncident, comme cela est illustré en figure 6A.
  • Selon un avantage de l'invention, il est possible d'ajuster finement le coefficient de transformation aux besoins spécifiés en positionnant de façon adaptée l'enroulement secondaire, vers l'intérieur ou vers l'extérieur de l'enroulement primaire.
  • Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, l'invention ne se restreint pas aux exemples de transformateurs millimétriques exposés ci-dessus dans lesquels les enroulements secondaires comportent un ou deux tours. L'homme de l'art saura mettre en oeuvre l'invention quel que soit le nombre de tours de l'enroulement secondaire (en pratique pas plus de deux tours pour des fréquences supérieures à 50 GHz). Par ailleurs, des valeurs numériques de largeur de piste ont été données à titre d'exemple. L'invention ne se restreint pas à ces seuls cas particuliers. En outre, l'utilisation de pistes conductrices en cuivre a été évoquée. L'invention ne se restreint pas à ce seul cas particulier. L'homme de l'art saura mettre en oeuvre l'invention quels que soient les matériaux employés pour la réalisation du transformateur. De plus, on a mentionné dans la description de modes de réalisation de l'invention des niveaux de métallisation inférieurs ou supérieurs à d'autres niveaux de métallisation, notamment, on a décrit les enroulements primaires comme étant disposés au dessus des enroulements secondaires. L'invention ne se restreint pas à ces cas particuliers. L'ordre des niveaux de métallisation peut être inversé, et notamment, l'enroulement secondaire peut être disposé au dessus de l'enroulement primaire.

Claims (5)

  1. Transformateur d'ondes millimétriques comportant au primaire un tour (23 ; 53 ; 63) constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un premier niveau de métallisation (M1), et au secondaire un enroulement (25 ; 55 ; 65) en regard du tour primaire, cet enroulement secondaire comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un second niveau de métallisation (M2) isolé dudit au moins un premier niveau, la largeur de piste du tour primaire étant supérieure à la largeur de la piste d'enroulement secondaire et au moins égale à la largeur totale de l'enroulement secondaire.
  2. Transformateur selon la revendication 1, dans lequel l'enroulement secondaire (65) est disposé en regard de la partie extérieure du tour primaire (63), de façon que le périmètre extérieur de l'enroulement secondaire coïncide avec le périmètre extérieur du tour primaire.
  3. Transformateur selon la revendication 1 à 2, dans lequel l'enroulement secondaire (25) comporte deux tours réalisés dans ledit au moins un second niveau de métallisation (M2), l'intersection (27) entre ces deux tours étant réalisée dans un troisième niveau de métallisation (M3) isolé du premier niveau (M1).
  4. Transformateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les pistes conductrices sont des pistes de cuivre.
  5. Procédé d'ajustement du coefficient de transformation d'un transformateur d'ondes millimétriques comportant au primaire un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un premier niveau de métallisation, et au secondaire un enroulement en regard du tour primaire, comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un second niveau de métallisation isolé dudit au moins un premier niveau, la largeur de piste du tour primaire étant supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire, ce procédé comportant une étape d'ajustement de la position de l'enroulement secondaire, vers la partie extérieure du tour primaire pour augmenter ledit coefficient et vers la partie intérieure du tour primaire pour diminuer ledit coefficient.
EP10164168A 2009-05-27 2010-05-27 Transformateur d'ondes millimétriques à fort coefficient de transformation et à faibles pertes d'insertion Not-in-force EP2256752B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0953496 2009-05-27

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP2256752A2 EP2256752A2 (fr) 2010-12-01
EP2256752A3 EP2256752A3 (fr) 2011-01-05
EP2256752B1 true EP2256752B1 (fr) 2012-05-23

Family

ID=41796399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP10164168A Not-in-force EP2256752B1 (fr) 2009-05-27 2010-05-27 Transformateur d'ondes millimétriques à fort coefficient de transformation et à faibles pertes d'insertion

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20100301987A1 (fr)
EP (1) EP2256752B1 (fr)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102576605B (zh) * 2009-11-17 2016-01-20 马维尔国际贸易有限公司 接地屏蔽电容器
US8836078B2 (en) 2011-08-18 2014-09-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Vertically oriented inductor within interconnect structures and capacitor structure thereof
US8675368B2 (en) 2011-08-18 2014-03-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Vertically oriented semiconductor device and shielding structure thereof
US8791784B2 (en) * 2011-08-18 2014-07-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Vertically oriented semiconductor device and shielding structure thereof
DE102013101768A1 (de) * 2013-02-22 2014-08-28 Intel Mobile Communications GmbH Transformator und elektrische Schaltung
CN103353905B (zh) * 2013-05-07 2015-12-02 江苏大学 一种毫米波宽边耦合集成变压器的高精度模型建立方法
FR3038121B1 (fr) * 2015-06-25 2017-08-18 Thales Sa Transformateur ameliore pour un circuit en technologie mmic
JP2017085239A (ja) * 2015-10-23 2017-05-18 株式会社東芝 インダクティブ結合システム及び通信システム
CN111884606A (zh) * 2020-06-22 2020-11-03 南京迈矽科微电子科技有限公司 基于毫米波变压器的宽带匹配电路及毫米波功率放大电路

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2941484B2 (ja) * 1991-05-31 1999-08-25 株式会社東芝 平面トランス
EP0858666A1 (fr) * 1995-10-31 1998-08-19 The Whitaker Corporation Transformateur a.f. utilisant des structures polymeres metalliques multicouches
JPH09213530A (ja) * 1996-01-30 1997-08-15 Alps Electric Co Ltd 平面トランス
FR2802649B1 (fr) * 1999-12-17 2002-02-08 Commissariat Energie Atomique Micromagnetometre a porte de flux a detection perpendiculaire et son procede de realisation
US6480086B1 (en) * 1999-12-20 2002-11-12 Advanced Micro Devices, Inc. Inductor and transformer formed with multi-layer coil turns fabricated on an integrated circuit substrate
DE20022015U1 (de) * 2000-12-29 2001-03-01 Vogt Electronic Ag Planarkerntransformator
DE10105696A1 (de) * 2001-02-08 2002-08-14 Rohde & Schwarz Symmetrierübertrager
US6927664B2 (en) * 2003-05-16 2005-08-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Mutual induction circuit
TWI280593B (en) * 2005-06-16 2007-05-01 Via Tech Inc Inductor
US7489220B2 (en) * 2005-06-20 2009-02-10 Infineon Technologies Ag Integrated circuits with inductors in multiple conductive layers
US7365627B2 (en) * 2006-03-14 2008-04-29 United Microelectronics Corp. Metal-insulator-metal transformer and method for manufacturing the same
KR100886351B1 (ko) * 2007-01-24 2009-03-03 삼성전자주식회사 변압기 및 밸룬
US7570144B2 (en) * 2007-05-18 2009-08-04 Chartered Semiconductor Manufacturing, Ltd. Integrated transformer and method of fabrication thereof
US8242872B2 (en) * 2007-05-18 2012-08-14 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Transformer with effective high turn ratio

Also Published As

Publication number Publication date
US20100301987A1 (en) 2010-12-02
EP2256752A3 (fr) 2011-01-05
EP2256752A2 (fr) 2010-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2256752B1 (fr) Transformateur d'ondes millimétriques à fort coefficient de transformation et à faibles pertes d'insertion
EP2808946B1 (fr) Dispositif de perturbation d'une propagation d'ondes électromagnétiques et son procédé de fabrication
EP0459571B1 (fr) Ligne de transmission en mode à ondes lentes, du type microruban et circuit incluant une telle ligne
EP1427053B1 (fr) Coupleur directif
EP1601101B1 (fr) Transformateur à changement de mode et filtre passe-bas
EP2184803B1 (fr) Ligne à retard bi-ruban différentielle coplanaire, filtre différentiel d'ordre supérieur et antenne filtrante munis d'une telle ligne
FR2826186A1 (fr) Antenne mulitfonctions integrant des ensembles fil-plaque
FR2552587A1 (fr) Antenne commutable pour les gammes de frequences vhf et uhf
FR2681729A1 (fr) Circuit integre micro-onde hybride.
EP3540853B1 (fr) Antenne à réseau transmetteur large bande
FR2751471A1 (fr) Dispositif rayonnant a large bande susceptible de plusieurs polarisations
EP0828305A1 (fr) Dispositif de transport de signal électrique protégé contre les perturbations électromagnétiques
FR2966985A1 (fr) Conducteur magnetique artificiel et antenne
EP1178500B1 (fr) Structure intégrée d'inductances à valeurs partagées sur un substrat semiconducteur
EP3417507B1 (fr) Plaque de reflexion electromagnetique a structure de metamateriau et dispositif miniature d'antenne comportant une telle plaque
EP2396884B1 (fr) Reseau de filtrage en technologie silicium si-hr
FR2680605A1 (fr) Filtre coupe-bande en ceramique monolithique a plusieurs etages, ou les etages sont isoles les uns des autres.
EP0169122B1 (fr) Elément à capacité variable, commandable par une tension continue
EP0015610A1 (fr) Filtre de réflexion de fréquence image en hyperfréquence et récepteur hyperfréquence comprenant un tel filtre
EP0424255B1 (fr) Cellule de filtrage et filtre correspondant
WO2009077529A2 (fr) Antenne active tres large bande pour radar passif
FR2925980A1 (fr) Plot de contact electrique
EP2688137B1 (fr) Résonateur hyperfréquence a saut d'impédance, notamment pour filtres hyperfréquence coupe-bande ou passe-bande
EP0136941B1 (fr) Perfectionnement aux commutateurs d'ondes électromagnétiques millimétriques
CA2031076A1 (fr) Filtre eliminateur de bande pour guide d'ondes hyperfrequences

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME RS

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME RS

17P Request for examination filed

Effective date: 20110621

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: H01F 19/04 20060101AFI20110705BHEP

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 559410

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20120615

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20120625

Year of fee payment: 3

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 602010001623

Country of ref document: DE

Effective date: 20120802

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20120625

Year of fee payment: 3

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: VDEP

Effective date: 20120523

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

Effective date: 20120523

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120823

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120923

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MK05

Ref document number: 559410

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20120523

BERE Be: lapsed

Owner name: STMICROELECTRONICS SA

Effective date: 20120531

Owner name: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Effective date: 20120531

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120824

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120924

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20120531

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: MM4A

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20120531

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120903

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20120527

26N No opposition filed

Effective date: 20130226

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 602010001623

Country of ref document: DE

Effective date: 20130226

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120823

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20131203

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20140131

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 602010001623

Country of ref document: DE

Effective date: 20131203

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130531

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20120527

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20120523

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100527

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20140527

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20140531

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20140531

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20140527