EP1834163A1 - Vorrichtung zum messen von kräften, insbesondere drucksensor, und zugehöriges herstellverfahren - Google Patents

Vorrichtung zum messen von kräften, insbesondere drucksensor, und zugehöriges herstellverfahren

Info

Publication number
EP1834163A1
EP1834163A1 EP05823178A EP05823178A EP1834163A1 EP 1834163 A1 EP1834163 A1 EP 1834163A1 EP 05823178 A EP05823178 A EP 05823178A EP 05823178 A EP05823178 A EP 05823178A EP 1834163 A1 EP1834163 A1 EP 1834163A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
substrate
deformation body
deformation
layer
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP05823178A
Other languages
German (de)
English (en)
French (fr)
Inventor
Joachim Morsch
Jens Rabe
Wolfgang Brode
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hydac Electronic GmbH
Original Assignee
Hydac Electronic GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hydac Electronic GmbH filed Critical Hydac Electronic GmbH
Publication of EP1834163A1 publication Critical patent/EP1834163A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0045—Diaphragm associated with a buried cavity
EP05823178A 2005-01-03 2005-12-21 Vorrichtung zum messen von kräften, insbesondere drucksensor, und zugehöriges herstellverfahren Withdrawn EP1834163A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005001298A DE102005001298A1 (de) 2005-01-03 2005-01-03 Vorrichtung zum Messen von Kräften, insbesondere Drucksensor, und zugehöriges Herstellverfahren
PCT/EP2005/013749 WO2006072391A1 (de) 2005-01-03 2005-12-21 Vorrichtung zum messen von dräften, insbesondere drucksensor, und zugehöriges herstellverfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1834163A1 true EP1834163A1 (de) 2007-09-19

Family

ID=35708939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP05823178A Withdrawn EP1834163A1 (de) 2005-01-03 2005-12-21 Vorrichtung zum messen von kräften, insbesondere drucksensor, und zugehöriges herstellverfahren

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20080098820A1 (ja)
EP (1) EP1834163A1 (ja)
JP (1) JP2008527313A (ja)
DE (1) DE102005001298A1 (ja)
WO (1) WO2006072391A1 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005004603B3 (de) 2005-02-01 2006-06-08 Siemens Ag Kraftsensor
DE102007034691B4 (de) * 2007-07-11 2011-02-03 Hydac Electronic Gmbh Differenzdrucksensor
DE102010030156A1 (de) * 2010-06-16 2011-12-22 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramischer Drucksensor
JP2012047725A (ja) 2010-07-30 2012-03-08 Canon Anelva Corp 静電容量圧力センサ
WO2012055029A1 (en) 2010-10-29 2012-05-03 Orpyx Medical Technologies Inc. Peripheral sensory and supersensory replacement system
JP2012247372A (ja) * 2011-05-30 2012-12-13 Nippon Mektron Ltd 圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュール
CN105530855B (zh) 2013-05-21 2018-08-28 Orpyx医药技术有限公司 压力数据获取组件
EP3088859B1 (en) * 2013-12-25 2019-03-06 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Pressure measurement device
US9841339B2 (en) * 2015-08-28 2017-12-12 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Double-acting pressure sensor
JP6581900B2 (ja) * 2015-12-28 2019-09-25 アズビル株式会社 圧力センサ
JP6521876B2 (ja) * 2016-01-14 2019-05-29 アズビル株式会社 圧力センサ
CN108072477B (zh) * 2017-12-05 2020-09-18 北京遥测技术研究所 一种mems气压传感器以及提高其长期稳定性的方法
DE102019122623A1 (de) * 2019-08-22 2021-02-25 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Sensorbauteil, Halbzeug, Verfahren zur Anbringung und zur Herstellung eines Sensorbauteils
JP7436218B2 (ja) 2020-01-27 2024-02-21 アズビル株式会社 圧力センサ
JP7436235B2 (ja) 2020-02-19 2024-02-21 アズビル株式会社 圧力センサ

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62150131A (ja) 1985-12-24 1987-07-04 Nippon Soken Inc 圧力検出器
JPH0711461B2 (ja) 1986-06-13 1995-02-08 株式会社日本自動車部品総合研究所 圧力検出器
JPS63196081A (ja) 1987-02-10 1988-08-15 Nippon Denso Co Ltd 半導体式圧力検出器
US4790192A (en) 1987-09-24 1988-12-13 Rosemount Inc. Silicon side by side coplanar pressure sensors
DE4114268A1 (de) * 1991-05-02 1992-11-12 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zur ermittlung der groesse von parametern, welche die frequenz von eigenschwingungen von mikrostrukturen aendern
US6062088A (en) * 1996-04-13 2000-05-16 Robert Bosch Gmbh Pressure sensor
US5898359A (en) 1997-12-19 1999-04-27 Delco Electronics Corp. Diffusion-barrier materials for thick-film piezoresistors and sensors formed therewith
KR20010041219A (ko) * 1998-12-24 2001-05-15 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시 압력 센서
US6604425B1 (en) * 2000-06-09 2003-08-12 Hrl Laboratories, Llc Microelectromechanical correlation device and method
DE10036284A1 (de) * 2000-07-26 2002-02-07 Bosch Gmbh Robert Herstellungsverfahren für ein Sensorbauelement, insbesondere Dünnschicht-Hochdrucksensor und Sensorbauelement
DE10055943A1 (de) * 2000-11-10 2002-05-23 Daimler Chrysler Ag Vorrichtung zur Messung eines Belastungszustandes
JP2002310827A (ja) * 2001-04-11 2002-10-23 Denso Corp 圧力センサ
DE10156406A1 (de) 2001-11-16 2003-06-05 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Verformungssensoren mit einem Dehnungsmessstreifen sowie zur Herstellung von Dehnungsmessstreifen und Verformungssensoren sowie Dehnungsmessstreifen
JP2003302299A (ja) * 2002-04-10 2003-10-24 Denso Corp 力学量検出装置の製造方法
DE10314910A1 (de) * 2003-04-01 2004-11-11 Siemens Ag Drucksensor
JP2004356707A (ja) * 2003-05-27 2004-12-16 Hosiden Corp 音響検出機構
TWI224190B (en) * 2003-05-28 2004-11-21 Au Optronics Corp Semiconductor pressure sensor
US7258014B2 (en) * 2004-04-23 2007-08-21 Weston Aerospace Limited Device for measuring pressure
JP4337656B2 (ja) * 2004-06-29 2009-09-30 株式会社デンソー 圧力センサ
FR2877773B1 (fr) * 2004-11-09 2007-05-04 Cit Alcatel Systeme de compensation en temperature reglable pour resonateur micro-ondes
JP4683618B2 (ja) * 2005-02-10 2011-05-18 キヤノンアネルバ株式会社 隔膜型圧力センサ及びその製造方法
US7331236B2 (en) * 2006-03-21 2008-02-19 Radi Medical Systems Ab Pressure sensor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2006072391A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006072391A1 (de) 2006-07-13
JP2008527313A (ja) 2008-07-24
DE102005001298A1 (de) 2006-07-13
US20080098820A1 (en) 2008-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1834163A1 (de) Vorrichtung zum messen von kräften, insbesondere drucksensor, und zugehöriges herstellverfahren
EP1876434A2 (de) Vorrichtung zum Messen von Kräften, insbesondere Drucksensor, und zugehöriges Herstellverfahren
DE102004006201B4 (de) Drucksensor mit Siliziumchip auf einer Stahlmembran
DE10153319B4 (de) Mikrosensor
DE3741941C2 (ja)
DE102005010338B4 (de) Kraftsensoranordnung mit magnetostriktiven Magnetowiderstandssensoren und Verfahren zur Ermittlung einer auf den Träger einer Kraftsensoranordnung wirkenden Kraft
DE102013217726A1 (de) Mikromechanisches Bauteil für eine kapazitive Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine kapazitive Sensorvorrichtung
EP3244181B1 (de) Verfahren zur herstellung eines sensorelements mittels laserstrukturierung
DE19743749A1 (de) Halbleiterdrucksensor
EP0454883B1 (de) Kapazitiver Sensor
DE102013209385A1 (de) Mikromechanische Differenzdrucksensorvorrichtung, entsprechendes Herstellungsverfahren und Differenzdrucksensoranordnung
WO1997021986A1 (de) Mikrosensoren mit siliziummembranen und verfahren zur herstellung derselben
DE102016210479A1 (de) Mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung
DE102014104506A1 (de) Drucksensor
EP2593760B1 (de) Infrarot-sensor mit tunnelkontakt zur messung der verformung einer membran
DE102011017462B4 (de) Vorrichtung zum Messen einer Druckdifferenz, insbesondere kapazitiver Differenzdrucksensor
DE102010054970B4 (de) Vorrichtung zum Wandeln einer Dehnung und/oder Stauchung in ein elektrisches Signal, insbesondere Dehnungsmessfolie
DE102016107238A1 (de) Verfahren zum Fügen einer Differenzdruckmesszelle und Differenzdruckmesszelle
DE102013114741A1 (de) Drucksensor
DE202020005465U1 (de) Druckmesszelle
DE10055943A1 (de) Vorrichtung zur Messung eines Belastungszustandes
DE102005047535B4 (de) Verwendung eines Hochtemperatur-Drucksensors in einem Triebwerkselement
DE102011105539B4 (de) Vorrichtung zum Wandeln einer Kraft in ein elektrisches Signal, insbesondere piezoresistiver Kraftsensor
DE102017212318A1 (de) Mikromechanische Sensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
DE102005002304B4 (de) Mikroelektromechanischer Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20061208

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
17Q First examination report despatched

Effective date: 20130515

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: G01L 9/00 20060101AFI20141013BHEP

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20150130

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20150926