EP1825247A1 - Resistive partikelsensoren mit messelektroden - Google Patents

Resistive partikelsensoren mit messelektroden

Info

Publication number
EP1825247A1
EP1825247A1 EP05796929A EP05796929A EP1825247A1 EP 1825247 A1 EP1825247 A1 EP 1825247A1 EP 05796929 A EP05796929 A EP 05796929A EP 05796929 A EP05796929 A EP 05796929A EP 1825247 A1 EP1825247 A1 EP 1825247A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
measuring
sensor
electrodes
electrode
measuring electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP05796929A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Lutz DORFMÜLLER
Ralf Schmidt
Markus Siebert
Sabine Rösch
Helmut Marx
Henrik Schittenhelm
Gerd Teike
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP1825247A1 publication Critical patent/EP1825247A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0656—Investigating concentration of particle suspensions using electric, e.g. electrostatic methods or magnetic methods

Definitions

  • the invention relates to a sensor for determining the concentration of particles in gases, in particular soot particles, according to the preamble of claim 1.
  • a sensor with a device for detecting soot particles in the exhaust pipe can be mounted.
  • a resistive particle sensor which has at least one non-conductive carrier element, measuring electrodes being arranged on a carrier element.
  • the measuring electrodes are usually designed in an interdigital comb structure.
  • each measuring electrode is formed of a series of so-called individual finger electrodes, which are electrically connected to each other.
  • the finger electrodes of both measuring electrodes intermesh alternately like a comb, hence the term "interdigital
  • an increasing current can be measured at a constant applied voltage between the measuring electrodes, and the change in the respective measured variable - the sensor signal - can be used to derive the deposition or rate of deposition of the particles.
  • This measuring method corresponds to a collecting measuring principle and the sooted sensor surface therefore has to increase from time to time
  • an integrated heater may heat the sooty sensor so that the accumulated soot is completely burned off.
  • the sensor is then returned to its original state after the soot particles are burned, and a new measurement cycle with re-deposition and measurement of particles is thereby made possible.
  • Measuring and regeneration phases thus always alternate in time.
  • a disadvantage of this procedure results from the fact that no new attachment of the particles is possible during combustion.
  • the sensor according to the invention for determining the concentration of particles in gases, in particular soot particles has the advantage that the sensitivity of the measurement is improved.
  • the rate of deposition of particles can be increased at the same particle concentration and thus the measured values can be increased.
  • the measuring phase is increased compared to the regeneration phase.
  • the sensor can be kept longer in the measurement phase before the sensor signal shows saturation phenomena.
  • Figures Ia and Ib each an embodiment of a particle sensor with arranged on a support member measuring electrodes in plan view, and
  • Figures 2a, 2b and 2c each show a further embodiment of a particle sensor with arranged on a support element measuring electrodes in plan view.
  • the senor 1 has a determination of the concentration of particles in FIG. 1 a.
  • the space between the measuring electrodes 10, 15 serves as a measuring area 12, on which the particles to be detected are deposited.
  • the two measuring electrodes 10, 15 are connected via contacts 20, 25 with a measuring and control unit, not shown in the figures and can be acted upon with a voltage.
  • the measured value changes.
  • the measured value is the resistance
  • the two measuring electrodes 10, 15 are according to the invention so designed that upon application of a voltage between the measuring electrodes 10, 15, an asymmetrical electric field is formed on the measuring area 12.
  • a symmetrical electric field is characterized in that the field has a constant direction and strength throughout the field.
  • Such a field is formed, for example, by interdigital comb electrodes known in the art.
  • the individual finger electrodes are typically realized by unstructured, linear conductor tracks, which are all arranged parallel to one another. This results in a constant electric field between the finger electrodes.
  • the mutually facing sides 30, 35 of the first 10 and the second measuring electrode 15 are not arranged parallel to one another in the case of the sensor 1. Rather, the distance between the first 10 and the second measuring electrode 15 increases or decreases continuously along the course of the electrode. This results in a region with closely spaced sides 30, 35 of the measuring electrodes 10, 15, and a region with widely spaced sides 30, 35 of the measuring electrodes 10, 15. The transition from one region to the other is continuously flowing. When a voltage is applied, a non-constant field is created. Particles which precipitate on the measuring region 12 of the sensor 1 cause, via the formation of conductive paths, a reduction in resistance between the measuring electrodes 10, 15 and thereby lead to a sensor current. First, a conductive path is created in the region of the closely adjacent sides 30, 35. Because the distance between the measuring electrodes 10, 15 is very narrow at this point, a comparatively small range is sufficient
  • the measuring electrodes 10, 15 Since, due to the special design and arrangement of the measuring electrodes 10, 15, a larger measuring area 12 can be formed for the attachment of the particles, higher currents can also be achieved until they reach the saturation range compared to previously known interdigital measuring electrodes. The sensor signal is thus amplified.
  • At least one measuring electrode 10, 15 may have finger electrodes 40 of varying width. While in FIG. 1a the first and the second measuring electrodes 10, 15 have the shape of a triangle, in FIG. 2b the individual finger electrodes 40 of a measuring electrode 10, 15 have the shape of a triangle. As a result, the distance between two adjacent finger electrodes 40 continuously changes along the length of the finger electrodes 40. This results in the same advantageous effects as described in the first embodiment. Also, areas are generated by the tip-shaped design with a targeted preferential growth direction of the deposited soot particles.
  • FIG. 2 a or in addition (FIGS. 2 b, 2 c), ie combined with one another for the varying spacing of the measuring electrodes 10, 15 or finger electrodes 40, it is proposed that at least one measuring electrode 10, 15 pass along the other measuring electrode 15, 10 facing side 30, 35 or along the finger electrodes 40 has a structure 45.
  • Structure 45 is formed by regularly arranged peaks, squares, dots or other geometric shapes. Such structures 45 on the electrode sides lead to an increased field at an applied voltage.
  • the structured finger electrodes 40 as in FIG. 2 a, lead to a non-constant electric field on the measuring region 12.
  • the polarisable or already charged particles are preferentially deposited in comparison with electrodes without structured sides with uniformly applied voltage. Due to the increased field gradients, this increases the particle accumulation rate. Consequently, higher sensor currents are achieved at a given particle concentration. This can then allow the use of simplified measuring electronics in the control unit for signal evaluation, since leakage currents or the EMC currents (electromagnetic compatibility) exert only small disturbances.
  • the measuring electrodes 10, 15 are designed so that upon application of a voltage between the measuring electrodes 10, 15, an asymmetric electric field is formed on the measuring area 12.
  • the asymmetric electric field is a spatially inhomogeneous electrical Field.
  • the special design of the field distribution enables targeted spatial control of particle accumulation. In particular, the formation of conductive paths in preferred areas can be controlled. The temporal path growth can therefore be directed in a desired direction.
  • more than two measuring electrodes 10, 15 can be provided for this, z.
  • at least one center electrode can be arranged between the first and the second measuring electrodes 10, 15. The geometric shape and the applied potential at all electrodes must be adapted to the desired field distribution.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

Es wird ein Sensor (1) zur Bestimmung der Konzentration von Partikeln in Gasen, insbesondere von Russpartikeln, mit mindestens einem Trägerelement (5) und einem Messbereich (12) zwischen mindestens einer ersten (10) und einer zweiten Messelektrode (15) vorgeschlagen, wobei die beiden Messelektroden (10, 15) so gestaltet sind, dass unter Beaufschlagung einer Spannung zwischen den Messelektroden (10, 15) ein asymmetrisches elektrisches Feld auf dem Messbereich (12) gebildet wird. Beispielhaft können die zueinander zugewandten Seiten (30, 35) der ersten (10) und der zweiten Messelektrode (15) nicht parallel zueinander angeordnet sein. Weiter ist es auch möglich, dass mindestens eine Messelektrode (10, 15) entlang an der der anderen Messelektrode (15, 10) zugewandten Seite (30, 35) oder entlang an den Fingerelektroden (40) eine Struktur (45) aufweist.

Description

Resistive Partikelsensoren mit Messelektroden
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Bestimmung der Konzentration von Partikeln in Gasen, insbesondere von Rußpartikeln, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Im Zuge der umweltfreundlichen Bemühungen, den Rußausstoß von Dieselmotoren zu reduzieren, entsteht die Notwendigkeit, die Konzentration der Rußpartikeln im Abgas einfach bestimmen zu können. Insbesondere ist eine Überwachung des Rußgehalts nach einem Dieselpartikelfilter (DPF) während des Fahrbetriebes sinnvoll. Darüber hinaus ist eine Beladungsprognose eines Dieselpartikelfilters zur Regenerationskontrolle notwendig, um eine hohe Systemsicherheit zu erreichen.
Zur Bestimmung der Rußkonzentration im Abgas von
Brennkraftmaschinen kann ein Sensor mit einer Vorrichtung zur Detektion von Rußpartikeln im Abgasrohr montiert werden.
Aus DE 101 33 384 Al oder auch aus DE 33 04 548 Al ist jeweils ein resistiver Partikelsensor bekannt, der mindestens ein nichtleitendes Trägerelement aufweist, wobei auf einem Trägerelement Messelektroden angeordnet sind. Die Messelektroden sind üblicherweise in einer interdigitalen Kammstruktur ausgeführt. In einer interdigitalen Kammstruktur wird jede Messelektrode aus einer Reihe von sogenannten einzelnen Fingerelektroden gebildet, die elektrisch miteinander verbunden sind. Die Fingerelektroden beider Messelektroden greifen kammartig abwechselnd ineinander, daher die Bezeichnung „interdigitale
Kammstruktur". Eine Anlagerung von Partikeln auf der zwischen den Elektroden aufgespannten Messfläche, der sogenannten Kriechstromfläche, führt zu einer Leitfähigkeits- oder Impedanzänderung der Messfläche zwischen den Fingern der Elektroden. Mit steigender Partikelkonzentration auf der Messfläche nimmt beispielsweise der Widerstand, der Realteil der Impedanz, ab. Alternativ kann ein zunehmender Strom bei konstanter angelegter Spannung zwischen den Messelektroden gemessen werden. Aus der Änderung der jeweiligen Messgröße - dem Sensorsignal - lässt sich die Anlagerung bzw. die Anlagerungsrate der Partikeln ableiten.
Dieses Messverfahren entspricht einem sammelnden Messprinzip und die verrußte Sensoroberfläche muss daher von Zeit zu
Zeit - immer wenn ein definierter Sättigungsstrom oder ein anderer Schwellwert erreicht ist - von den leitfähigen Rußpartikeln befreit werden. Für eine Regeneration der verrußten Oberfläche kann eine Hochspannung zwischen den Elektroden angelegt werden, um über den Stromfluss die
Rußpartikeln zu verbrennen. Alternativ kann ein integrierter Heizer den mit Ruß behafteten Sensor heizen, so dass der angesammelte Ruß vollständig abgebrannt wird. Der Sensor befindet sich dann nach der Verbrennung der Rußpartikeln wieder im ursprünglichen Zustand, und ein neuer Messzyklus mit erneuter Anlagerung und Messung von Partikeln wird dadurch ermöglicht. Mess- und Regenerationsphasen wechseln sich also zeitlich immer ab. Ein Nachteil dieser Vorgehensweise ergibt sich dadurch, dass während der Verbrennung keine neue Anlagerung der Partikeln möglich ist. Auch nach der Regeneration kann nicht sofort Ruß wieder angesammelt werden, der Sensor benötigt aufgrund seiner thermischen Trägheit für die Thermalisierung des Sensorelementes mit dem Abgas eine bestimmte Zeit. Da während der Regenerations- und der darauffolgenden Abkühlphase des Sensors kein Ruß angesammelt werden kann, ist der Sensor während dieser Phasen unempfindlich gegenüber einer möglicherweise vorhandenen Rußkonzentration. Eine möglichst lange Messphase ist daher anzustreben. Gleichzeitig muss der Messwert so groß sein, dass eine frühe und deutliche Aussage zu der Partikelkonzentration ermöglicht wird.
Vorteile der Erfindung
Der erfindungsgemäße Sensor zur Bestimmung der Konzentration von Partikeln in Gasen, insbesondere von Rußpartikeln, hat den Vorteil, dass die Empfindlichkeit der Messung verbessert wird. Insbesondere kann auch die Anlagerungsrate von Partikeln bei gleicher Partikelkonzentration verstärkt und damit die Messwerte erhöht werden.
Gleichzeitig wird die Messphase gegenüber der Regenerationsphase erhöht. Auf eine einfache Weise wird erreicht, dass der Sensor länger in der Messphase gehalten werden kann, bevor das Sensorsignal Sättigungserscheinungen zeigt.
Vorteilhafte Weiterbildungen des Sensors sind in den Unteransprüchen angegeben und in der Beschreibung beschrieben. Zeichnung
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeich- nung und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Figuren Ia und Ib jeweils ein Ausführungsbeispiel eines Partikelsensors mit auf einem Trägerelement angeordneten Messelektroden in Draufsicht, und
Figuren 2a, 2b und 2c jeweils ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Partikelsensors mit auf einem Trägerelement angeordneten Messelektroden in Draufsicht.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In einem ersten Ausführungsbeispiel nach Figur Ia weist der Sensor 1 zur Bestimmung der Konzentration von Partikeln in
Gasen, insbesondere von Rußpartikeln, ein Trägerelement 5 auf, auf welchem als Messvorrichtung eine erste 10 und eine zweite Messelektrode 15 angeordnet sind. Der Raum zwischen den Messelektroden 10, 15 dient als Messbereich 12, auf dem sich die zu detektierenden Partikeln anlagern. Die beiden Messelektroden 10, 15 sind über Kontaktierungen 20, 25 mit einer in den Figuren nicht dargestellten Mess- und Steuereinheit verbindbar und mit einer Spannung beaufschlagbar. Je nach Anlagerungszustand der Partikeln auf dem Messbereich 20 ändert sich der Messwert. Abhängig vom Messmodus ist der Messwert der Widerstand
(Impedanz) oder die Stromstärke, die über die Messelektroden 10, 15 gemessen werden. Wie zuvor erläutert, kann aus den Messwerten schließlich die Rußkonzentration in einem Gas bestimmt werden. Die beiden Messelektroden 10, 15 sind dabei erfindungsgemäß so gestaltet, dass unter Beaufschlagung einer Spannung zwischen den Messelektroden 10, 15 ein asymmetrisches elektrisches Feld auf dem Messbereich 12 gebildet wird. Ein symmetrisches elektrisches Feld ist dadurch gekennzeichnet, dass das Feld überall im Feld eine konstante Richtung und Stärke aufweist. Solch ein Feld wird beispielsweise von aus dem Stand der Technik bekannten interdigitalen Kammelektroden gebildet. Die einzelnen Fingerelektroden werden typischerweise durch unstrukturierte, lineare Leiterbahnen realisiert, die alle zueinander parallel angeordnet sind. Daraus resultiert ein konstantes elektrisches Feld zwischen den Fingerelektroden.
Wie aber aus Figur 1 erkennbar, sind beim Sensor 1 die zueinander zugewandten Seiten 30, 35 der ersten 10 und der zweiten Messelektrode 15 nicht parallel zueinander angeordnet. Vielmehr nimmt der Abstand zwischen der ersten 10 und der zweiten Messelektrode 15 entlang des Elektrodenverlaufs kontinuierlich zu bzw. ab. Dadurch entsteht ein Bereich mit eng beieinander liegenden Seiten 30, 35 der Messelektroden 10, 15, und ein Bereich mit weit voneinander liegenden Seiten 30, 35 der Messelektroden 10, 15. Der Übergang von einem zum anderen Bereich ist dabei kontinuierlich fließend. Bei Anlegen einer Spannung entsteht ein nicht konstantes Feld. Partikel, die sich auf dem Messbereich 12 des Sensors 1 niederschlagen, verursachen über die Bildung leitfähiger Pfade eine Widerstandsreduktion zwischen den Messelektroden 10, 15 und führen dadurch zu einem Sensorstrom. Zunächst wird im Bereich der eng aneinanderliegenden Seiten 30, 35 ein leitfähiger Pfad erzeugt. Weil der Abstand zwischen den Messelektroden 10, 15 an dieser Stelle sehr eng ist, reicht eine vergleichsweise geringe
Anlagerung der Partikel aus, um schnell einen leitfähigen Pfad auszubilden und ein Messsignal auszulösen. Damit steigt die Empfindlichkeit des Sensors 1. Im Verlauf der sukzessiven Anlagerung weiterer Partikel werden auch leitfähige Pfade zwischen Seiten 30, 35 der Messelektroden 10, 15 gebildet, die weiter voneinander entfernt liegen. Aufgrund der Perkolationseigenschaften des angelagerten Rußes wird bei jeder Vollendung eines zusätzlichen leitfähigen Pfades ein starker Anstieg der Leitfähigkeit des gesamten Messbereichs 12 stattfinden, der über die Messelektroden 10, 15 bestimmt werden kann. Dadurch wird eine stärkere Signalerhöhung über einen längeren Zeitraum erreicht, als dies bei parallel zueinander angeordneten Messelektroden möglich wäre. Nach dem Kurzschließen der Messelektroden 10, 15 entlang der gesamten Seiten 30, 35 erhöhen weitere Anlagerungen die Leitfähigkeit zusätzlich kontinuierlich weiter, d. h. eine Messung ist auch während dieser Phase möglich. Da durch die besondere Gestaltung und Anordnung der Messelektroden 10, 15 ein größerer Messbereich 12 zur Anlagerung der Partikel gebildet werden kann, können zudem höhere Ströme erreicht werden bis sie in den Sättigungsbereich gelangen als im Vergleich zu bisher bekannten interdigitalen Messelektroden. Das Sensorsignal wird also verstärkt.
Auch bei herkömmlicher interdigitaler Kammstruktur kann ein variierender Abstand zwischen den Fingerelektroden durch eine Modifizierung der Form erzielt werden. Wie in Figur Ib dargestellt, kann mindestens eine Messelektrode 10, 15 Fingerelektroden 40 mit variierender Breite aufweisen. Während in Figur Ia die erste und die zweite Messelektrode 10, 15 die Form eines Dreiecks aufweist, haben in Figur 2b die einzelnen Fingerelektroden 40 einer Messelektrode 10, 15 die Form eines Dreiecks. Dadurch ändern sich der Abstand zwischen zwei benachbarten Fingerelektroden 40 entlang der Länge der Fingerelektroden 40 kontinuierlich. Daraus resultieren die gleichen vorteilhaften Effekte wie bei der ersten Ausführungsform beschrieben. Auch werden durch die spitzenförmige Ausführung Bereiche mit einer gezielten Vorzugswachstumsrichtung der angelagerten Rußpartikel erzeugt. Bisher beschriebene Ausführungsbeispiele weisen stets glatte, unstrukturierte Seiten der Messelektroden 10, 15 oder der einzelnen Fingerelektroden 40 auf. Alternativ (Fig. 2a) oder zusätzlich (Fig. 2b, 2c), d. h. miteinander kombiniert zum variierenden Abstand der Messelektroden 10, 15 bzw. Fingerelektroden 40 wird vorgeschlagen, dass mindestens eine Messelektrode 10, 15 entlang an der der anderen Messelektrode 15, 10 zugewandten Seite 30, 35 oder entlang an den Fingerelektroden 40 eine Struktur 45 aufweist. Die
Struktur 45 wird dabei durch regelmäßig angeordnete Spitzen, Quadrate, Punkte oder andere geometrische Formen gebildet. Solche Strukturen 45 an den Elektrodenseiten führen bei einer angelegten Spannung zu einer Feldüberhöhung. Schon allein die strukturierten Fingerelektroden 40 wie in Figur 2a führen zu einem nicht konstanten elektrischen Feld auf dem Messbereich 12. Durch diese Feldüberhöhung werden die polarisierbaren oder bereits geladenen Partikel im Vergleich zu Elektroden ohne strukturierte Seiten bei gleich stark angelegter Spannung bevorzugt angelagert. Aufgrund der verstärkten Feldgradienten erhöht sich damit die Partikelanlagerungsrate. Folglich werden höhere Sensorströme bei gegebener Partikelkonzentration erzielt. Dies kann dann die Verwendung vereinfachter Messelektronik im Steuergerät zur Signalauswertung ermöglichen, da Leckströme bzw. die EMV-Ströme (elektromagnetische Verträglichkeit) nur noch kleine Störeinflüsse ausüben.
Zusammenfassend wird festgestellt, dass bei allen Ausführungsbeispielen die Messelektroden 10, 15 so gestaltet sind, dass unter Beaufschlagung einer Spannung zwischen den Messelektroden 10, 15 ein asymmetrisches elektrisches Feld auf dem Messbereich 12 gebildet wird. Das asymmetrische elektrische Feld ist ein räumlich inhomogenes elektrisches Feld. Durch die spezielle Ausbildung der Feldverteilung wird eine gezielte räumliche Steuerung der Partikelanlagerung ermöglicht. Insbesondere kann die Ausbildung leitfähiger Pfade in bevorzugten Bereichen gesteuert werden. Das zeitliche Pfadwachstum kann also in eine gewünschte Richtung gelenkt werden. Falls notwendig, können hierfür mehr als zwei Messelektroden 10, 15 vorgesehen werden, z. B. kann zusätzlich mindestens eine in den Figuren nicht dargestellte Mittelelektrode zwischen der ersten und der zweiten Messelektrode 10, 15 angeordnet werden. Dabei ist die geometrische Form und das angelegte Potential an allen Elektroden der gewünschten Feldverteilung anzupassen.

Claims

Ansprüche
1. Sensor (1) zur Bestimmung der Konzentration von Partikeln in Gasen, insbesondere von Rußpartikeln, mit mindestens einem Trägerelement (5) und einem Messbereich (12) zwischen mindestens einer ersten (10) und einer zweiten Messelektrode (15) , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die beiden Messelektroden (10, 15) so gestaltet sind, dass unter Beaufschlagung einer Spannung zwischen den Messelektroden (10, 15) ein asymmetrisches elektrisches Feld auf dem Messbereich (12) gebildet wird.
2. Sensor (1) nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die zueinander zugewandten Seiten (30, 35) der ersten (10) und der zweiten Elektrode (15) nicht parallel zueinander angeordnet sind.
3. Sensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass der Abstand zwischen der ersten (10) und der zweiten Messelektrode (15) entlang des Elektrodenverlaufs kontinuierlich zu- oder abnimmt.
4. Sensor (1) nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die erste (10) und zweite Messelektrode (15) zusammen eine interdigitale Kammstruktur bilden, wobei mindestens eine Messelektrode (10, 15) Fingerelektroden (40) mit variierender Breite aufweist.
5. Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass mindestes eine Messelektrode (10, 15) oder die Fingerelektroden (40) mindestens einer Messelektrode (10, 15) die Form eines Dreiecks aufweist.
6. Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass mindestens eine Messelektrode (10, 15) entlang an der der anderen Messelektrode (15, 10) zugewandten Seite (30, 35) oder entlang an den Fingerelektroden (40) eine Struktur (45) aufweist.
7. Sensor (1) nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Struktur (45) durch regelmäßig angeordnete Spitzen, Quadrate, Punkte oder andere geometrische Formen gebildet wird.
8. Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass mindestens eine Mittelelektrode zwischen der ersten (10) und der zweiten Messelektrode (15) angeordnet ist.
EP05796929A 2004-12-10 2005-10-17 Resistive partikelsensoren mit messelektroden Withdrawn EP1825247A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004059650A DE102004059650B4 (de) 2004-12-10 2004-12-10 Resistive Partikelsensoren mit Messelektroden
PCT/EP2005/055307 WO2006061278A1 (de) 2004-12-10 2005-10-17 Resistive partikelsensoren mit messelektroden

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1825247A1 true EP1825247A1 (de) 2007-08-29

Family

ID=35448318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP05796929A Withdrawn EP1825247A1 (de) 2004-12-10 2005-10-17 Resistive partikelsensoren mit messelektroden

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7872466B2 (de)
EP (1) EP1825247A1 (de)
JP (1) JP4499797B2 (de)
DE (1) DE102004059650B4 (de)
WO (1) WO2006061278A1 (de)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032906B4 (de) * 2005-07-18 2009-01-08 Entec-Gmbh Environmental Technology Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung und Bewertung von Partikeln in einem Gasstrom
DE102006040351A1 (de) * 2006-08-29 2008-03-06 Robert Bosch Gmbh Sensor zur resistiven Bestimmung von Konzentrationen leitfähiger Partikel in Gasgemischen
DE102007021913A1 (de) * 2007-05-10 2008-11-20 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Sensor zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom sowie deren Verwendung
DE102007021912A1 (de) 2007-05-10 2008-11-13 Robert Bosch Gmbh Sensor und Verfahren zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom
US20080283398A1 (en) * 2007-05-16 2008-11-20 Charles Scott Nelson Soot sensing systems having soot sensors and methods for manufacturing the soot sensors
DE102007033213A1 (de) 2007-07-17 2009-01-22 Robert Bosch Gmbh Sensorelement und Sensor zur Detektion von leitfähigen Partikeln in einem Gasstrom sowie Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung
JP2009144577A (ja) * 2007-12-13 2009-07-02 Mitsubishi Motors Corp パティキュレートフィルタの故障判定装置
DE102008031648A1 (de) * 2008-07-04 2010-01-21 Continental Automotive Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Partikelsensors
EP2211164A1 (de) * 2009-01-27 2010-07-28 Koninklijke Philips Electronics N.V. Fingerelektroden zur mikrofluidischen Einzelteilchenanalyse
JP5531459B2 (ja) * 2009-06-12 2014-06-25 いすゞ自動車株式会社 Ｐｍセンサー
JP5348089B2 (ja) * 2010-08-06 2013-11-20 株式会社デンソー センサ制御装置
JP5531849B2 (ja) * 2010-08-06 2014-06-25 株式会社デンソー センサ制御装置
EP2570802B1 (de) * 2010-08-17 2016-09-21 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Steuerung für einen verbrennungsmotor
JP5542007B2 (ja) * 2010-08-26 2014-07-09 日本碍子株式会社 粒子状物質検出装置
DE102010055478A1 (de) * 2010-12-22 2012-06-28 Continental Automotive Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Rußsensors
US8671736B2 (en) * 2011-05-26 2014-03-18 Emisense Technologies, Llc Agglomeration and charge loss sensor for measuring particulate matter
DE102014220791A1 (de) 2014-10-14 2016-04-14 Robert Bosch Gmbh Sensor zur Bestimmung einer Konzentration von Partikeln in einem Gasstrom
JP6547274B2 (ja) 2014-10-20 2019-07-24 株式会社デンソー 粒子状物質検出センサ
DE102014016413A1 (de) 2014-11-03 2016-05-04 Technische Universität Ilmenau Vorrichtung und Verfahren zur kontinuierlichen Detektion und Analyse von Partikeln in Aerosolen
DE102014222844B4 (de) 2014-11-10 2018-05-09 Continental Automotive Gmbh Rußsensor
KR20160149898A (ko) 2015-06-19 2016-12-28 현대자동차주식회사 입자상 물질 센서
US10914669B2 (en) * 2015-10-22 2021-02-09 Georgia Tech Research Corporation Electronic sensors for multiplexed detection of particles on microfluidic chips and uses thereof
KR101724499B1 (ko) * 2015-12-11 2017-04-07 현대자동차 주식회사 입자상 물질 센서 및 이를 이용한 측정방법
US10309944B2 (en) 2016-09-06 2019-06-04 Ford Global Technologies, Llc Electrostatic PM sensor electrode diagnostics
DE102016223069A1 (de) * 2016-11-23 2018-05-24 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Sensorelements zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum
JP6977366B2 (ja) 2017-07-27 2021-12-08 株式会社デンソー 粒子状物質検出センサ
US11555730B2 (en) 2020-10-09 2023-01-17 Applied Materials, Inc. In-situ method and apparatus for measuring fluid resistivity

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2836002C2 (de) * 1978-08-17 1986-09-11 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Sensor zur Überwachung der Rußfreiheit von Abgasen
DE3304548A1 (de) * 1983-02-10 1984-08-16 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und vorrichtung zur messung des gehalts an leitfaehigen partikeln in gasen
US4571543A (en) * 1983-03-28 1986-02-18 Southwest Medical Products, Inc. Specific material detection and measuring device
JPS59202043A (ja) * 1983-04-30 1984-11-15 Horiba Ltd デイ−ゼル排気ガス中の煤粒子測定装置
US5858192A (en) * 1996-10-18 1999-01-12 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and apparatus for manipulation using spiral electrodes
DE19853841C2 (de) 1998-11-23 2001-04-12 Victor Gheorghiu Meßsonde und Meßverfahren zur schnellen Erfassung der Partikelkonzentration in strömenden und ruhenden unbrennbaren Gasen
CA2385816A1 (en) 2001-05-15 2002-11-15 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor and method for measuring gas concentration using the same
DE10133384A1 (de) * 2001-07-10 2003-01-30 Bosch Gmbh Robert Sensor zur Detektion von Teilchen und Verfahren zu dessen Funktionskontrolle
US6634210B1 (en) * 2002-04-17 2003-10-21 Delphi Technologies, Inc. Particulate sensor system
WO2004001405A1 (de) * 2002-06-24 2003-12-31 Infineon Technologies Ag Biosensor-array und verfahren zum betreiben eines biosensor-arrays
DE10319664A1 (de) * 2003-05-02 2004-11-18 Robert Bosch Gmbh Sensor zur Detektion von Teilchen
US6971258B2 (en) * 2003-12-31 2005-12-06 Honeywell International Inc. Particulate matter sensor
DE102004028997A1 (de) * 2004-06-16 2006-01-05 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Beeinflussung der Russanlagerung auf Sensoren
DE102004029523A1 (de) * 2004-06-18 2006-01-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren, Partikelsensor und Partikelsensorsystem zur Messung von Partikeln
US20080282769A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-20 Charles Scott Nelson Apparatus and method for shielding a soot sensor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2006061278A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP4499797B2 (ja) 2010-07-07
US7872466B2 (en) 2011-01-18
DE102004059650B4 (de) 2006-09-28
US20080024111A1 (en) 2008-01-31
JP2008523367A (ja) 2008-07-03
WO2006061278A1 (de) 2006-06-15
DE102004059650A1 (de) 2006-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102004059650B4 (de) Resistive Partikelsensoren mit Messelektroden
EP1759183B1 (de) Verfahren zur beeinflussung der russanlagerung auf sensoren
EP1761760B1 (de) Verfahren, partikelsensor und partikelsensorsystem zur messung von partikeln
EP1407255A2 (de) Sensor zur detektion von teilchen und verfahren zu dessen funktionskontrolle
WO2013189806A1 (de) Verfahren zur funktionskontrolle eines sensors zur detektion von teilchen und sensor zur detektion von teilchen
DE102012206524A1 (de) Gerät zur erfasssung von partikeln und korrekturverfahren eines geräts zur erfassung von partikeln
EP3207357B1 (de) Sensor zur bestimmung einer konzentration von partikeln in einem gasstrom
DE102010055478A1 (de) Verfahren zum Betreiben eines Rußsensors
DE102012217428A1 (de) Sensor zur Detektion von Teilchen
DE102019115156A1 (de) Abgasfeinstaubsensor
EP2171437B1 (de) Sensorelement zur detektion von leitfähigen partikeln in einem gasstrom sowie verfahren zu dessen herstellung und dessen verwendung
EP3204750B1 (de) Verfahren zur funktionskontrolle eines sensors zur detektion von teilchen, computerprogramm, elektronisches speichermedium und elektronisches steuergerät
DE102017118736A1 (de) Verfahren und system zur erfassung von im abgas enthaltenen feinstaub
DE102011013544B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Partikelsensors
DE102008004210A1 (de) Verfahren zur Temperaturmessung
WO2018215214A1 (de) Partikelsensor und herstellungsverfahren hierfür
EP1873511A2 (de) Anordnung aus einem partikelfilter und einem sensor zur resistiven bestimmung von konzentrationen leitfähiger partikel in gasen
DE102007039566A1 (de) Sensorelement und Verfahren zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom sowie deren Verwendung
DE102013206092A1 (de) Verfahren zur Auswertung der Messwerte eines Rußsensors
DE102013216899A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb eines sammelnden Partikelsensors
WO2009010471A1 (de) SENSOR, VERFAHREN SOWIE DEREN VERWENDUNG ZUR DETEKTION DER GRÖßENVERTEILUNG VON TEILCHEN IN EINEM GASSTROM
DE102008041791A1 (de) Partikelsensor mit verbessertem Interdigitalelektrodendesign
DE102018222616A1 (de) Verfahren zum Betreiben eines Sensors zur Detektion von Teilchen in einem Messgas
DE102012214974A1 (de) Verfahren und Steuereinheit zum Betrieb eines sammelnden Partikelsensors
WO2018077615A1 (de) Sensorelement zur erfassung von partikeln eines messgases in einem messgasraum

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20070710

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

17Q First examination report despatched

Effective date: 20071017

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): DE FR GB SE

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20130503