EP1625244B1 - Verfahren zur entschichtung eines bauteils - Google Patents

Verfahren zur entschichtung eines bauteils Download PDF

Info

Publication number
EP1625244B1
EP1625244B1 EP04726500A EP04726500A EP1625244B1 EP 1625244 B1 EP1625244 B1 EP 1625244B1 EP 04726500 A EP04726500 A EP 04726500A EP 04726500 A EP04726500 A EP 04726500A EP 1625244 B1 EP1625244 B1 EP 1625244B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
component
agent
current
process according
time
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP04726500A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1625244A1 (de
Inventor
Ursus KRÜGER
Daniel Körtvelyessy
Ralph Reiche
Jan Steinbach
Gabriele Winkler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to EP04726500A priority Critical patent/EP1625244B1/de
Publication of EP1625244A1 publication Critical patent/EP1625244A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1625244B1 publication Critical patent/EP1625244B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F5/00Electrolytic stripping of metallic layers or coatings

Definitions

  • the invention relates to a method for stripping a component according to the preamble of claim 1.
  • Operationally stressed components such as e.g. Turbine blades of gas turbines are subjected to an acid treatment, so that the component can be reused.
  • the operationally stressed MCrAlY layers on the component are removed by immersing them in approximately 50 ° -80 ° C warm 20% hydrochloric acid. After a period of time derived from empirical values, the blades are removed from the acid bath, rinsed with water and then blasted abrasive. The process sequence acid bath and blasting is repeated several times until the entire MCrAlY layer is dissolved or dissolved. The repetition of the individual process steps is usually necessary because the acid dissolves only near-surface aluminum-containing phases of the MCrAlY layer. Deeper areas of the MCrAlY layer can therefore not be resolved in one step. On the surface remains a porous layer matrix back, which is subsequently removed by means of irradiation, for example. Mechanically.
  • the period of time that the blades remain in the acid does not reflect the actual time required for the individual blade to stop the dissolution process, but is defaults to a certain amount of time.
  • the residence time in the acid bath is determined based on general empirical values.
  • each component is claimed individually differently strong, so that a fixed specification leads to different or incomplete dissolution behavior of the claimed surface. In many cases remain Components without further progress of stripping until the expiration of the predetermined period of time in the acid bath.
  • the object is achieved by a method for stripping a component according to claim 1.
  • a voltage is temporarily applied to the component and another pole, during which the component is in a de-coating, in particular in an acid bath, whereby a current flows.
  • the time course of the current determined from individual measuring points, has characteristic features which reflect the current state of de-coating of the component and enable the determination of an end point of the stripping process. By means of the current flow, it can thus be recognized whether the stripping proceeds at all even further. Thus, this information can be used to decide on the processing or interruption of the residence of the component in the means.
  • the stripping is not dominated by a voltage-initiated electrolysis process, but only by the attack of the agent (6).
  • FIG. 1 shows a device 1 with which the method according to the invention can be carried out.
  • the device 1 consists of a container 3, for example, metallic or ceramic, in which a means 6, an acid 6 or an electrolyte 6 is arranged, which serve at least partially for stripping a component 9.
  • the component 9 is arranged, whose surface area is to be dissolved. This happens, for example, by the acid attack or attack of the agent 6 on the example. Operated surface of the component. 9
  • a voltage / current source 18 is present, which is electrically connected to the component 9 via connecting means 15.
  • a circuit may be closed by connecting the connection means 15 to a pole, i. an electrode 12, which is arranged in the acid 6 or connected to the container 3, so that a current between the component 9 and the pole 3, 12 can flow, which can also be measured.
  • the current flows through the interior of the component 9 through the stressed surface of the component 9 and through the means 6 toward the electrode 12 or the container 3.
  • the current flows discontinuously.
  • a voltage pulse can be applied at regular and irregular intervals and the current can be measured.
  • FIG. 2 Such a temporal course of the current is in FIG. 2 shown.
  • the current I increases at the beginning with the time t and is initially substantially constant after a certain time.
  • the stripping has not yet been completed, ie the stripping rate is still high.
  • the current I decreases.
  • the decrease (range or point 27 in the curve I (t)) of the current I points on that only a little layer material is dissolved.
  • the dissolution process can therefore be stopped if, for example, a predetermined comparison value for the current intensity is reached.
  • the dissolution process is not dominated by a voltage-initiated electrolysis process, but solely by the acid attack.
  • the time course of the current I (t) 24 is determined from individual measuring points 21, which are determined at regular or irregular intervals.
  • the total measuring time (application of a voltage) to determine measuring points 21 in relation to the stripping time, ie the time in which the layer is removed, 1: 100, 1: 1000 or 1: 10000, since the voltage is applied only very briefly becomes.
  • the magnitude of the current or voltage pulse is adjusted so that there is no effect on the process.
  • an electrolyte may be present in the container 3, e.g. a dissolved salt, which also gives an acid, but since no current or voltage permanently or largely applied, no electrolytic process and thus no electrolytic stripping process takes place.
  • a container 3 and several components 9 can be arranged for stripping, wherein for each component individually a current curve I (t) is determined, so that the components may be different lengths in the one container 3.
  • Another component 9 can also serve as a pole 12.
  • the method can also be carried out in substeps.
  • an abrasive stripping is carried out in each case in an intermediate process step, which removes residues of acid products and / or leads to the acceleration of stripping, since after a certain period of time of the component 9 in the means 6, for example, a brittle layer has formed, which is abrasive better remove.
  • a watering of the component 9 can be carried out in a process intermediate step.
  • the method steps treatment of the component 9 in the middle 6, abrasive irradiation can be repeated as desired.
  • the stripping of the component or components 9 is carried out without the presence of a voltage, i. There is no electrolytic stripping process.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)

Abstract

Betriebsbeanspruchte Bauteile werden oft durch eine Säurebehandlung wieder der Verwertung zugeführt. Die Zeitdauer, während dessen die Bauteil in der Säure verbleiben ist bisher standardmäßig festgelegt, so dass individuelle Beanspruchungen nicht berücksichtigt sind. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils schlägt vor, dass zumindest wiederholt eine Spannung an dem Bauteil angelegt wird, wodurch ein Strom (I) fließt, dessen zeitlicher Verlauf den Zustand des Entschichtungsprozesses darstellt und zur Entscheidung über die Beendigung oder Unterbrechung der Säurebehandlung genutzt wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Betriebsbeanspruchte Bauteile, wie z.B. Turbinenschaufeln von Gasturbinen werden einer Säurebehandlung unterzogen, so dass das Bauteil wieder verwendet werden kann.
  • Im Falle von Gasturbinenschaufeln werden die betriebsbeanspruchten MCrAlY-Schichten auf dem Bauteil abgelöst, indem sie in ca. 50° - 80°C warme 20%-tige Salzsäure getaucht werden. Nach einer aus Erfahrungswerten abgeleiteten Zeitdauer werden die Schaufeln aus dem Säurebad genommen, mit Wasser gespült und anschließend abrasiv gestrahlt. Die Prozessfolge Säurebad und Strahlen wird dabei mehrfach wiederholt, bis die gesamte MCrAlY-Schicht ab- bzw. aufgelöst ist. Die Wiederholung der einzelnen Prozessschritte ist in der Regel notwendig, da durch die Säure ausschließlich oberflächennahe aluminiumhaltige Phasen der MCrAlY-Schicht aufgelöst werden. Tieferliegende Bereiche der MCrAlY-Schicht können daher nicht in einem Schritt aufgelöst werden. An der Oberfläche bleibt eine poröse Schichtmatrix zurück, welche nachfolgend mittels Bestrahlen bspw. mechanisch entfernt wird.
  • Die Zeitdauer, in der die Schaufeln in der Säure verbleiben, spiegelt dabei nicht die tatsächliche für die individuelle Schaufel benötigte Zeit bis zum Stopp des Auflösungsprozesses wieder, sondern wird standardmäßig auf eine bestimmte Zeit festgelegt. Die Verweildauer im Säurebad wird dabei aufgrund von allgemeinen Erfahrungswerten festgelegt.
  • Jedoch ist jedes Bauteil individuell verschieden stark beansprucht, so dass eine feste Vorgabe zu unterschiedlichen oder nicht vollständigen Auflösungsverhalten der beanspruchten Oberfläche führt. Vielfach verbleiben die Bauteile auch ohne weiteren Fortschritt der Entschichtung bis zum Ablauf der vorgegebenen Zeitspanne in dem Säurebad.
  • Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine individuelle Festlegung der minimal notwendigen Auflösungsdauer pro individueller Schaufel (Typ Beschichtungsdicke, Zustand nach Betriebsbeanspruchung, usw.) zu ermöglichen.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils gemäß Anspruch 1.
  • Dabei wird eine Spannung zeitweise an das Bauteil und einem weiteren Pol angelegt, währenddessen sich das Bauteil in einem Entschichtungsmittel, insbesondere in einem Säurebad befindet, wodurch ein Strom fließt. Der zeitliche Verlauf des Stroms, bestimmt aus einzelnen Messpunkten, weist charakteristische Merkmale auf, die den aktuellen Entschichtungszustand des Bauteils widerspiegeln und die Bestimmung eines Endpunktes des Entschichtungsverfahrens ermöglichen. Über den Stromfluss kann also erkannt werden, ob die Entschichtung überhaupt noch weiter voranschreitet. Somit kann diese Information zur Entscheidung über die Bearbeitung oder Unterbrechung des Aufenthalts des Bauteils in dem Mittel herangezogen werden. Die Entschichtung wird nicht durch einen spannungsinitiierten Elektrolyseprozess, sondern allein durch den Angriff des Mittels (6) dominiert.
  • In den Unteransprüchen sind weitere vorteilhafte Verfahrensschritte aufgelistet, die in vorteilhafter Weise miteinander kombiniert werden können.
  • Es zeigen
    • Figur 1 eine Vorrichtung um das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen und
    • Figur 2 einen zeitlichen Stromverlauf, der sich bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt.
  • Figur 1 zeigt eine Vorrichtung 1, mit der das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann.
  • Die Vorrichtung 1 besteht aus einem Behälter 3, beispielsweise metallisch oder keramisch, in dem ein Mittel 6, eine Säure 6 oder ein Elektrolyt 6 angeordnet ist, die zumindest teilweise zur Entschichtung eines Bauteils 9 dienen.
  • In dem Mittel 6 oder in einer Säure 6 ist das Bauteil 9 angeordnet, dessen Oberflächenbereich aufgelöst werden soll. Dies geschieht beispielsweise durch den Säureangriff oder Angriff des Mittels 6 auf die bspw. betriebsbeanspruchte Oberfläche des Bauteils 9.
  • Erfindungsgemäß ist eine Spannungs/Stromquelle 18 vorhanden, die elektrisch über Verbindungsmittel 15 mit dem Bauteil 9 verbunden ist. Ein Stromkreis kann dadurch geschlossen werden, dass die Verbindungsmittel 15 mit einem Pol, d.h. einer Elektrode 12, die in der Säure 6 angeordnet ist oder mit dem Behälter 3 verbunden werden, so dass ein Strom zwischen Bauteil 9 und dem Pol 3, 12 fließen kann, der auch gemessen werden kann.
  • Der Strom fließt über das Innere des Bauteils 9 durch die beanspruchte Oberfläche des Bauteils 9 und durch das Mittel 6 hin zu der Elektrode 12 oder den Behälter 3. Der Strom fließt diskontinuierlich. So kann daher in regelmäßigen und unregelmäßigen Abständen ein Spannungspuls angelegt werden und der Strom gemessen werden.
  • Ein solcher zeitlicher Verlauf des Stroms ist in Figur 2 dargestellt. Der Strom I steigt am Anfang mit der Zeit t an und ist nach einem gewissen Zeitpunkt zunächst im Wesentlichen konstant. Die Entschichtung ist noch nicht vollständig erfolgt, d.h. die Entschichtungsrate ist noch hoch.
  • Nach einer gewissen Zeit t sinkt der Strom I. Das Absinken (Bereich oder Punkt 27 in der Kurve I(t)) des Stroms I zeigt an, dass nur noch wenig Schichtmaterial aufgelöst wird. Der Auflöseprozess kann daher gestoppt werden, wenn bspw. ein vorgegebener Vergleichswert für die Stromstärke erreicht ist.
  • Da die Messspannung nur für sehr kurze Zeit angelegt wird, wird der Auflösungsprozess nicht durch einen spannungsinitiierten Elektrolyseprozess, sondern allein durch den Säureangriff dominiert.
  • Der zeitliche Verlauf des Stroms I(t) 24 wird aus einzelnen Messpunkten 21 ermittelt, die in regelmäßigen oder unregelmäßigen Abständen bestimmt werden.
  • Die gesamte Messzeit (Anlegen einer Spannung) um Messpunkte 21 zu ermitteln beträgt im Verhältnis zur Entschichtungszeit, also der Zeit, in der die Schicht entfernt wird, 1:100, 1:1000 oder 1:10000, da die Spannung immer nur sehr kurz angelegt wird.
  • Die Höhe des Strom oder Spannungspulses wird so eingestellt, dass sich kein Einfluss auf das Verfahren ergibt.
  • Zwar kann in dem Behälter 3 ein Elektrolyt vorhanden sein, z.B. ein gelöstes Salz, das auch eine Säure ergibt, aber da kein Strom oder Spannung permanent oder größtenteils anliegt, findet kein elektrolytischer Prozess und damit auch kein elektrolytischer Entschichtungsprozess statt.
  • In einem Behälter 3 können auch mehrere Bauteile 9 zur Entschichtung angeordnet werden, wobei für jedes Bauteil individuell eine Stromkurve I(t) ermittelt wird, so dass die Bauteile ggf. unterschiedlich lang in dem einen Behälter 3 sind.
  • Ein weiteres Bauteil 9 kann auch als Pol 12 dienen.
  • Das Verfahren kann auch in Teilschritten durchgeführt werden.
  • Dabei wird jeweils in einem Verfahrenszwischenschritt eine abrasive Entschichtung durchgeführt, die Rückstände von Säureprodukten entfernt und/oder zur Beschleunigung der Entschichtung führt, da sich nach einem gewissen zeitlichen Aufenthalt des Bauteils 9 in dem Mittel 6 bspw. eine spröde Schicht gebildet hat, die sich abrasiv besser entfernen lässt.
  • Ebenso kann eine Wässerung des Bauteils 9 in einem Verfahrenszwischenschritt durchgeführt werden.
  • Danach wird das Bauteil 9 erneut in dem Mittel (6) angeordnet wird.
  • Die Verfahrensschritte Behandlung des Bauteils 9 im Mittel 6, abrasive Bestrahlung können beliebig wiederholt werden.
  • Die Entschichtung des oder der Bauteile 9 läuft ohne das Vorhandensein einer Spannung, d.h. es liegt kein elektrolytischer Entschichtungsprozess vor.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils (9),
    bei dem das Bauteil (9) in einem Mittel (6) angeordnet ist,
    das die Oberfläche des Bauteils (9) zumindest teilweise angreift,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    nur zeitweise eine Spannung an das Bauteil (9) und einem weiteren Pol (3, 12) angelegt wird,
    so dass ein Strom (I) zumindest durch das Mittel (6) fließt,
    dessen zeitlicher Verlauf (I(t)) den Zustand des Entschichtungsprozesses darstellt und zur Entscheidung über die Beendigung oder Unterbrechung des Aufenthalts des Bauteils (9) in dem Mittel (6) herangezogen wird, wobei die Entschichtung nicht durch einen spannungsinitiierten Elektrolyseprozess,
    sondern allein durch den Angriff des Mittels (6) dominiert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    als weiterer Pol eine Elektrode (12) in dem Mittel (6) verwendet wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    als Mittel (6) eine Säure verwendet wird
  4. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet , dass
    der Strom (I).am Anfang des Entschichtungsprozesses mit der Zeit (t) ansteigt und dann relativ konstant bleibt.
  5. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet , dass
    ein Absinken des Stroms (I(t)) im zeitlichen Verlauf, insbesondere auf einen vorgegebenen Vergleichswert, einen Endpunkt des Entschichtungsprozesses markiert.
  6. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    das Verfahren in Teilschritten durchgeführt wird, wobei jeweils in einem Verfahrenszwischenschritt eine abrasive Entschichtung stattfindet und das Bauteil (9) danach erneut in dem Mittel (6) angeordnet wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    in einem Verfahrenszwischenschritt das Bauteil (9) gespült wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Spannung gepulst wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass ein Behälter (3) für das Mittel (6) verwendet wird, und dass mehrere Bauteile (9) in einem Behälter (3) vorhanden sind,
    für die (9) jeweils ein individueller zeitlicher Verlauf (I(t)) ermittelt wird.
EP04726500A 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils Expired - Lifetime EP1625244B1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04726500A EP1625244B1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03010059A EP1473387A1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils
PCT/EP2004/003818 WO2004097070A1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils
EP04726500A EP1625244B1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1625244A1 EP1625244A1 (de) 2006-02-15
EP1625244B1 true EP1625244B1 (de) 2009-06-03

Family

ID=32981802

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03010059A Withdrawn EP1473387A1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils
EP04726500A Expired - Lifetime EP1625244B1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP03010059A Withdrawn EP1473387A1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20070080072A1 (de)
EP (2) EP1473387A1 (de)
CN (1) CN100545311C (de)
DE (1) DE502004009570D1 (de)
WO (1) WO2004097070A1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004002763A1 (de) * 2004-01-20 2005-08-04 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum elektrochemischen Entschichten von Bauteilen
DE502004006578D1 (de) 2004-06-30 2008-04-30 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils
EP2053145A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-29 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Entfernung einer metallischen Schicht mittels FIC in einem Zwischenschritt
CN103088399B (zh) * 2011-10-31 2016-01-06 通用电气公司 多步骤电化学去金属涂层方法
CN113106532B (zh) * 2021-04-07 2023-04-11 江苏源清动力技术有限公司 一种航空发动机和燃气轮机热部件热障涂层去除工艺

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4338157A (en) * 1979-10-12 1982-07-06 Sigma Corporation Method for forming electrical connecting lines by monitoring the etch rate during wet etching
US4261804A (en) * 1979-11-13 1981-04-14 United Technologies Corporation Selective removal of nickel-based alloys from ferrous-based metals
US4339282A (en) * 1981-06-03 1982-07-13 United Technologies Corporation Method and composition for removing aluminide coatings from nickel superalloys
HU186150B (en) * 1982-10-29 1985-06-28 Latszereszeti Eszkoezoek Gyara Process for the removal electrolitically of nickel, chrome ot gold layers from the surface of copper or cupric alloys and equipemnt for carrying out the process
US4678552A (en) * 1986-04-22 1987-07-07 Pennwalt Corporation Selective electrolytic stripping of metal coatings from base metal substrates
US4886552A (en) * 1988-09-09 1989-12-12 United Technologies Corporation Method for monitoring the removal of a metallic contaminant from the surface of a metallic article
DE3832660A1 (de) * 1988-09-26 1990-03-29 Texas Instruments Deutschland Verfahren und vorrichtung zum abaetzen einer auf einem substrat angebrachten elektrisch leitenden schicht
GB9116332D0 (en) * 1991-07-29 1991-09-11 Diffusion Alloys Ltd Refurbishing of corroded superalloy or heat resistant steel parts and parts so refurbished
US5573624A (en) * 1992-12-04 1996-11-12 International Business Machines Corporation Chemical etch monitor for measuring film etching uniformity during a chemical etching process
US5445705A (en) * 1994-06-30 1995-08-29 International Business Machines Corporation Method and apparatus for contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching process
JP3637977B2 (ja) * 1995-01-19 2005-04-13 株式会社荏原製作所 ポリッシングの終点検知方法
US6494960B1 (en) * 1998-04-27 2002-12-17 General Electric Company Method for removing an aluminide coating from a substrate
DE19840471A1 (de) * 1998-09-04 2000-03-09 Schmid Gmbh & Co Geb Einrichtung zum Abtrag einer Beschichtung von Gegenständen
US6709565B2 (en) * 1998-10-26 2004-03-23 Novellus Systems, Inc. Method and apparatus for uniform electropolishing of damascene ic structures by selective agitation
US6176999B1 (en) * 1998-12-18 2001-01-23 United Technologies Corporation Feedback controlled stripping of airfoils
US6234870B1 (en) * 1999-08-24 2001-05-22 International Business Machines Corporation Serial intelligent electro-chemical-mechanical wafer processor
JP4513145B2 (ja) * 1999-09-07 2010-07-28 ソニー株式会社 半導体装置の製造方法および研磨方法
US6352636B1 (en) * 1999-10-18 2002-03-05 General Electric Company Electrochemical system and process for stripping metallic coatings
US7134934B2 (en) * 2000-08-30 2006-11-14 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for electrically detecting characteristics of a microelectronic substrate and/or polishing medium
EP1211024A3 (de) * 2000-11-30 2004-01-02 JSR Corporation Polierverfahren
US6428683B1 (en) * 2000-12-15 2002-08-06 United Technologies Corporation Feedback controlled airfoil stripping system with integrated water management and acid recycling system
DE10128507B4 (de) * 2001-06-14 2008-07-17 Mtu Aero Engines Gmbh Verwendung einer Vorrichtung zum chemischen oder elektrochemischen Bearbeiten von Bauteilen
US6599416B2 (en) * 2001-09-28 2003-07-29 General Electric Company Method and apparatus for selectively removing coatings from substrates
JP3807295B2 (ja) * 2001-11-30 2006-08-09 ソニー株式会社 研磨方法
US7029567B2 (en) * 2001-12-21 2006-04-18 Asm Nutool, Inc. Electrochemical edge and bevel cleaning process and system
DE10259365A1 (de) * 2002-04-08 2003-10-30 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zur Entfernung von Oberflächenbereichen eines Bauteils
US7033466B2 (en) * 2002-09-27 2006-04-25 United Technologies Corporation Electrochemical stripping using single loop control
DE502004006578D1 (de) * 2004-06-30 2008-04-30 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils

Also Published As

Publication number Publication date
CN1784509A (zh) 2006-06-07
US20070080072A1 (en) 2007-04-12
EP1473387A1 (de) 2004-11-03
DE502004009570D1 (de) 2009-07-16
WO2004097070A1 (de) 2004-11-11
EP1625244A1 (de) 2006-02-15
CN100545311C (zh) 2009-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1507901B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur entfernung von oberflächenbereichen eines bauteils
EP3551786B1 (de) Elektropolierverfahren und elektrolyt hierzu
DE102017006205B4 (de) Verfahren zum Glätten eines generativ gefertigten Bauteils
AT519430A1 (de) Elektrochemisches pulspolieren
WO2011131166A1 (de) Verfahren zum bearbeiten einer oberfläche eines bauteils
DE102014204806A1 (de) Verfahren zur Neuherstellung von Durchgangslöchern in einem Schichtsystem
WO2016124362A1 (de) Verfahren zum kaltgasspritzen mit maske
EP1625244B1 (de) Verfahren zur entschichtung eines bauteils
WO2006002610A1 (de) Verfahren zum abtragen einer beschichtung von einem bauteil
EP2386378A2 (de) Fertigungsverfahren für medizintechnische Gefäßstützen
EP3487639A1 (de) Verfahren zum reinigen einer kunststoffoberfläche
EP1612299B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils
DE102015209745A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Tl-Blisk
WO2015162306A1 (de) Verfahren zur oberflächenbehandlung eines biokorrodierbaren implantats
EP1575731A1 (de) Verfahren zur nachbearbeitung eines durchgangslochs eines bauteils
EP4144468A1 (de) Fertigungsvorrichtung zum elektrochemischen bearbeiten eines bauteils, insbesondere eines turbinenbauteils, verfahren zum elektrochemischen bearbeiten eines bauteils und bauteil
WO2011110323A1 (de) Verfahren zum elektrochemischen entschichten von gasturbinenbauteilen
DE2629637A1 (de) Verfahren zur herstellung von elektroden fuer blei-saeure-akkumulatoren
DE102007059717B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen sowie Verwendung einer derartigen Vorrichtung
DE4419276A1 (de) Verfahren zur Vorbereitung des Beschichtungsprozesses von aktivierbaren oder reaktivierbaren Elektroden für elektrolytische Zwecke
DE112014000960B4 (de) Verfahren zur Bestimmung, ob eine säurehaltige wässrige Lösung für eine Beizbehandlung brauchbar ist
DE102004053135A1 (de) Verfahren zum Abtragen einer Beschichtung von einem Bauteil
DE102020200574A1 (de) Verfahren und System zur Nachbehandlung von mittels additiven Fertigungsverfahren hergestellten Objekten
DE102022106313A1 (de) Verfahren zum bearbeiten eines werkstücks durch elektrochemisches abtragen
DE102006056494A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum kombinierten mechanisch-hydraulisch-chemischen Entzundern von Metallen

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20050909

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CH DE ES FR GB IT LI

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: KOERTVELYESSY, DANIEL

Inventor name: STEINBACH, JAN

Inventor name: KRUEGER, URSUS

Inventor name: REICHE, RALPH

Inventor name: WINKLER, GABRIELE

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): CH DE ES FR GB IT LI

17Q First examination report despatched

Effective date: 20080215

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE ES FR GB IT LI

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: SIEMENS SCHWEIZ AG

REF Corresponds to:

Ref document number: 502004009570

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20090716

Kind code of ref document: P

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20090914

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20100304

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 13

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 14

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PCOW

Free format text: NEW ADDRESS: WERNER-VON-SIEMENS-STRASSE 1, 80333 MUENCHEN (DE)

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 15

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20190423

Year of fee payment: 16

Ref country code: DE

Payment date: 20190617

Year of fee payment: 16

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20190425

Year of fee payment: 16

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20190402

Year of fee payment: 16

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20190702

Year of fee payment: 16

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 502004009570

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200430

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200430

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200430

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20201103

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20200408

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200408

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200408