EP1473387A1 - Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils - Google Patents

Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils Download PDF

Info

Publication number
EP1473387A1
EP1473387A1 EP03010059A EP03010059A EP1473387A1 EP 1473387 A1 EP1473387 A1 EP 1473387A1 EP 03010059 A EP03010059 A EP 03010059A EP 03010059 A EP03010059 A EP 03010059A EP 1473387 A1 EP1473387 A1 EP 1473387A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
component
stripping
current
voltage
acid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP03010059A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Ursus Dr. Krüger
Daniel Körtvelyssy
Ralph Reiche
Jan Steinbach
Gabriele Winkler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to EP03010059A priority Critical patent/EP1473387A1/de
Priority to EP04726500A priority patent/EP1625244B1/de
Priority to US10/555,137 priority patent/US20070080072A1/en
Priority to CNB2004800118915A priority patent/CN100545311C/zh
Priority to DE502004009570T priority patent/DE502004009570D1/de
Priority to PCT/EP2004/003818 priority patent/WO2004097070A1/de
Publication of EP1473387A1 publication Critical patent/EP1473387A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F5/00Electrolytic stripping of metallic layers or coatings

Definitions

  • the invention relates to a method for stripping a Component according to the preamble of claim 1.
  • Components subject to operational stress such as turbine blades of gas turbines, are subjected to an acid treatment so that the component can be reused.
  • the operating MCrAlY layers on the component are removed by immersing them in 20% hydrochloric acid at a temperature of approx. 50 ° - 80 ° C.
  • the blades are removed from the acid bath, rinsed with water and then abrasively blasted.
  • the process sequence of acid bath and blasting is repeated several times until the entire MCrAlY layer is detached or dissolved. The repetition of the individual process steps is usually necessary because only acidic aluminum-containing phases of the MCrAlY layer are dissolved by the acid.
  • Deeper areas of the MCrAlY layer can therefore not be resolved in one step.
  • a porous layer matrix remains on the surface, which is subsequently mechanically removed, for example, by irradiation.
  • the time period in which the blades remain in the acid does not reflect the actual time required for the individual blade to stop the dissolution process, but is set to a specific time by default.
  • the residence time in the acid bath is determined based on general experience.
  • each component is individually different in strength claimed so that a fixed default to different or incomplete dissolution behavior of the stressed surface leads. In many cases they remain Components even without further delamination progress at the end of the specified period in the acid bath.
  • the task is solved by a stripping process of a component according to claim 1.
  • a voltage is applied to the component at least temporarily and another pole, during which the Component in a stripping agent, especially in one Acid bath is located, causing a current to flow.
  • the temporal Course of the current has characteristic features that the current state of delamination of the component reflect and the determination of an end point of the Enable stripping process. About the flow of electricity can thus be recognized whether the stripping is still at all continues to advance. This information can thus be used for Decision on the processing or interruption of the Residence of the component can be used in the mean.
  • Figure 1 shows a device 1 with which the The inventive method can be carried out.
  • the device 1 consists of a container 3, for example metallic, in which an agent 6, an acid 6 or an electrolyte 6 is arranged, which are used at least partially for stripping a component 9.
  • the component 9, the surface area of which is to be dissolved, is arranged in the agent 6 or in an acid 6. This is done, for example, by acid attack on the surface of the component 9, which is subject to operational stress, for example.
  • a voltage / current source 18 is present which is electrically connected to the component 9 via connecting means 15.
  • a circuit can be closed in that the connecting means 15 are connected to a pole, ie an electrode 12, which is arranged in the acid 6 or to the container 3, so that a current can flow between the component 9 and the pole 3, 12 that can also be measured.
  • the current flows through the interior of the component 9 through the stressed surface of the component 9 and through the means 6 to the electrode 12 or the container 3.
  • the current can flow continuously or discontinuously.
  • a voltage pulse can therefore be applied at regular and irregular intervals and the current measured.
  • FIG. 2 Such a time course of the current is shown in FIG. 2.
  • the current I increases at the beginning with the time t and is initially essentially constant after a certain point in time.
  • the stripping has not yet been completed, ie the stripping rate is still high.
  • the current I decreases.
  • the decrease (area or point 27 in the curve I (t)) of the current I indicates that only a little layer material is dissolved.
  • the dissolving process can therefore be stopped when, for example, a predetermined comparison value for the current strength has been reached.
  • the measuring voltage is only applied for a very short time, the dissolution process is not dominated by the electrolysis process, but solely by the acid attack. If, for example, a constant voltage is applied permanently, there is also a change in the current over time (FIG. 2), which can be determined and used to determine the end point of the stripping process.
  • the time course of the current I (t) 24 can also be individual measuring points 21 are determined, which in regular or irregular intervals.
  • a plurality of components 9 can also be arranged in a container 3 for decoating, a current curve I (t) being determined individually for each component, so that the components may have different lengths in the one container 3.
  • Another component 9 can also serve as a pole 12.
  • the method can also be carried out in partial steps.
  • an abrasive stripping is carried out in one intermediate process step, the residues of acid products are removed and / or the stripping is accelerated, since after a certain period of time of the component 9 in the agent 6, for example, a brittle layer has formed which is abrasive can be removed better.
  • the component 9 can also be washed in an intermediate process step.
  • the component 9 is then arranged again in the means (6).
  • the process steps treatment of the component 9 on average 6, abrasive radiation can be repeated as desired.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)

Abstract

Betriebsbeanspruchte Bauteile werden oft durch eine Säurebehandlung wieder der Verwertung zugeführt. Die Zeitdauer, während dessen die Bauteil in der Säure verbleiben ist bisher standardmäßig festgelegt, so dass individuelle Beanspruchungen nicht berücksichtigt sind. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils schlägt vor, dass zumindest wiederholt eine Spannung an dem Bauteil angelegt wird, wodurch ein Strom (I) fließt, dessen zeitlicher Verlauf den Zustand des Entschichtungsprozesses darstellt und zur Entscheidung über die Beendigung oder Unterbrechung der Säurebehandlung genutzt wird. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Betriebsbeanspruchte Bauteile, wie z.B. Turbinenschaufeln von Gasturbinen werden einer Säurebehandlung unterzogen, so dass das Bauteil wieder verwendet werden kann.
Im Falle von Gasturbinenschaufeln werden die betriebsbeanspruchten MCrAlY-Schichten auf dem Bauteil abgelöst, indem sie in ca. 50° - 80°C warme 20%-tige Salzsäure getaucht werden. Nach einer aus Erfahrungswerten abgeleiteten Zeitdauer werden die Schaufeln aus dem Säurebad genommen, mit Wasser gespült und anschließend abrasiv gestrahlt. Die Prozessfolge Säurebad und Strahlen wird dabei mehrfach wiederholt, bis die gesamte MCrAlY-Schicht ab- bzw. aufgelöst ist. Die Wiederholung der einzelnen Prozessschritte ist in der Regel notwendig, da durch die Säure ausschließlich oberflächennahe aluminiumhaltige Phasen der MCrAlY-Schicht aufgelöst werden. Tieferliegende Bereiche der MCrAlY-Schicht können daher nicht in einem Schritt aufgelöst werden. An der Oberfläche bleibt eine poröse Schichtmatrix zurück, welche nachfolgend mittels Bestrahlen bspw. mechanisch entfernt wird.
Die Zeitdauer, in der die Schaufeln in der Säure verbleiben, spiegelt dabei nicht die tatsächliche für die individuelle Schaufel benötigte Zeit bis zum Stopp des Auflösungsprozesses wieder, sondern wird standardmäßig auf eine bestimmte Zeit festgelegt. Die Verweildauer im Säurebad wird dabei aufgrund von allgemeinen Erfahrungswerten festgelegt.
Jedoch ist jedes Bauteil individuell verschieden stark beansprucht, so dass eine feste Vorgabe zu unterschiedlichen oder nicht vollständigen Auflösungsverhalten der beanspruchten Oberfläche führt. Vielfach verbleiben die Bauteile auch ohne weiteren Fortschritt der Entschichtung bis zum Ablauf der vorgegebenen Zeitspanne in dem Säurebad.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine individuelle Festlegung der minimal notwendigen Auflösungsdauer pro individueller Schaufel (Typ Beschichtungsdicke, Zustand nach Betriebsbeanspruchung, usw.) zu ermöglichen.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils gemäß Anspruch 1.
Dabei wird eine Spannung zumindest zeitweise an das Bauteil und einem weiteren Pol angelegt, währenddessen sich das Bauteil in einem Entschichtungsmittel, insbesondere in einem Säurebad befindet, wodurch ein Strom fließt. Der zeitliche Verlauf des Stroms weist charakteristische Merkmale auf, die den aktuellen Entschichtungszustand des Bauteils widerspiegeln und die Bestimmung eines Endpunktes des Entschichtungsverfahrens ermöglichen. Über den Stromfluss kann also erkannt werden, ob die Entschichtung überhaupt noch weiter voranschreitet. Somit kann diese Information zur Entscheidung über die Bearbeitung oder Unterbrechung des Aufenthalts des Bauteils in dem Mittel herangezogen werden.
In den Unteransprüchen sind weitere vorteilhafte Verfahrensschritte aufgelistet, die in vorteilhafter Weise miteinander kombiniert werden können.
Es zeigen
  • Figur 1 eine Vorrichtung um das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen und
  • Figur 2 einen zeitlichen Stromverlauf, der sich bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt.
  • Figur 1 zeigt eine Vorrichtung 1, mit der das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann.
    Die Vorrichtung 1 besteht aus einem Behälter 3, beispielsweise metallisch, in dem ein Mittel 6, eine Säure 6 oder ein Elektrolyt 6 angeordnet ist, die zumindest teilweise zur Entschichtung eines Bauteils 9 dienen. In dem Mittel 6 oder in einer Säure 6 ist das Bauteil 9 angeordnet, dessen Oberflächenbereich aufgelöst werden soll. Dies geschieht beispielsweise durch den Säureangriff auf die bspw. betriebsbeanspruchte Oberfläche des Bauteils 9. Erfindungsgemäß ist eine Spannungs/Stromquelle 18 vorhanden, die elektrisch über Verbindungsmittel 15 mit dem Bauteil 9 verbunden ist. Ein Stromkreis kann dadurch geschlossen werden, dass die Verbindungsmittel 15 mit einem Pol, d.h. einer Elektrode 12, die in der Säure 6 angeordnet ist oder mit dem Behälter 3 verbunden werden, so dass ein Strom zwischen Bauteil 9 und dem Pol 3, 12 fließen kann, der auch gemessen werden kann.
    Der Strom fließt über das Innere des Bauteils 9 durch die beanspruchte Oberfläche des Bauteils 9 und durch das Mittel 6 hin zu der Elektrode 12 oder den Behälter 3. Der Strom kann kontinuierlich oder diskontinuierlich fließen. So kann daher in regelmäßigen und unregelmäßigen Abständen ein Spannungspuls angelegt werden und der Strom gemessen werden.
    Ein solcher zeitlicher Verlauf des Stroms ist in Figur 2 dargestellt. Der Strom I steigt am Anfang mit der Zeit t an und ist nach einem gewissen Zeitpunkt zunächst im wesentlichen konstant. Die Entschichtung ist noch nicht vollständig erfolgt, d.h. die Entschichtungsrate ist noch hoch.
    Nach einer gewissen Zeit t sinkt der Strom I. Das Absinken (Bereich oder Punkt 27 in der Kurve I(t)) des Stroms I zeigt an, dass nur noch wenig Schichtmaterial aufgelöst wird. Der Auflöseprozess kann daher gestoppt werden, wenn bspw. ein vorgegebener Vergleichswert für die Stromstärke erreicht ist.
    Wenn die Messspannung nur für sehr kurze Zeit angelegt wird, wird der Auflösungsprozess nicht durch den Elektrolyseprozess, sondern allein durch den Säureangriff dominiert.
    Wenn bspw. eine konstante Spannung dauerhaft angelegt wird, ergibt sich aber ebenfalls eine zeitliche Veränderung des Stromes (Fig. 2), der ermittelt und zur Bestimmung des Endpunktes des Entschichtungsprozesses benutzt werden kann.
    Der zeitliche Verlauf des Stroms I(t) 24 kann auch aus einzelnen Messpunkten 21 ermittelt werden, die in regelmäßigen oder unregelmäßigen Abständen bestimmt werden.
    In einem Behälter 3 können auch mehrere Bauteile 9 zur Entschichtung angeordnet werden, wobei für jedes Bauteil individuell eine Stromkurve I(t) ermittelt wird, so dass die Bauteile ggf. unterschiedlich lang in dem einem Behälter 3 sind.
    Ein weiteres Bauteil 9 kann auch als Pol 12 dienen.
    Das Verfahren kann auch in Teilschritten durchgeführt werden. Dabei wird jeweils in einem Verfahrenszwischenschritt eine abrasive Entschichtung durchgeführt, die Rückstände von Säureprodukten entfernt und/oder zur Beschleunigung der Entschichtung führt, da sich nach einem gewissen zeitlichen Aufenthalt des Bauteils 9 in dem Mittel 6 bspw. eine spröde Schicht gebildet hat, die sich abrasiv besser entfernen lässt.
    Ebenso kann eine Wässerung des Bauteils 9 in einem Verfahrenszwischenschritt durchgeführt werden.
    Danach wird das Bauteil 9 erneut in dem Mittel (6) angeordnet wird.
    Die Verfahrensschritte Behandlung des Bauteils 9 im Mittel 6, abrasive Bestrahlung können beliebig wiederholt werden.

    Claims (10)

    1. Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils (9),
      bei dem das Bauteil (9) in einem Mittel (6) angeordnet ist,
      das die Oberfläche des Bauteils (9) zumindest teilweise angreift,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      zumindest zeitweise eine Spannung an das Bauteil (9) und einen weiteren Pol (3, 12) angelegt wird,
      so dass ein Strom (I) zumindest durch das Mittel (6) fließt,
      dessen zeitlicher Verlauf (I(t)) den Zustand des Entschichtungsprozesses darstellt und zur Entscheidung über die Beendigung oder Unterbrechung des Aufenthalts des Bauteils (9) in dem Mittel (6) herangezogen wird.
    2. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      als weiterer Pol eine Elektrode (12) in dem Mittel (6) verwendet wird.
    3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      als Mittel (6) eine Säure verwendet wird
    4. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      der Strom (I) am Anfang des Entschichtungsprozesses mit der Zeit (t) ansteigt und dann relativ konstant bleibt.
    5. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      ein Absinken des Stroms (I(t)) im zeitlichen Verlauf, insbesondere auf einen vorgegebenen Vergleichswert, einen Endpunkt des Entschichtungsprozesses markiert.
    6. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      das Verfahren in Teilschritten durchgeführt wird,
      wobei jeweils in einem Verfahrenszwischenschritt eine abrasive Entschichtung stattfindet und
      das Bauteil (9) danach erneut in dem Mittel (6) angeordnet wird.
    7. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      in einem Verfahrenszwischenschritt das Bauteil (9) gespült wird.
    8. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      die Spannung nur zeitweise angelegt wird.
    9. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass
      die Spannung gepulst wird.
    10. Verfahren nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass ein Behälter (3) für das Mittel (6) verwendet wird, und dass mehrere Bauteile (9) in einem Behälter (3) vorhanden sind,
      für die (9) jeweils ein individueller zeitlicher Verlauf (I(t)) ermittelt wird.
    EP03010059A 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils Withdrawn EP1473387A1 (de)

    Priority Applications (6)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    EP03010059A EP1473387A1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils
    EP04726500A EP1625244B1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils
    US10/555,137 US20070080072A1 (en) 2003-05-02 2004-04-08 Method for removing layers from a component
    CNB2004800118915A CN100545311C (zh) 2003-05-02 2004-04-08 用于去除一个构件上的涂层的方法
    DE502004009570T DE502004009570D1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils
    PCT/EP2004/003818 WO2004097070A1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils

    Applications Claiming Priority (1)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    EP03010059A EP1473387A1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils

    Publications (1)

    Publication Number Publication Date
    EP1473387A1 true EP1473387A1 (de) 2004-11-03

    Family

    ID=32981802

    Family Applications (2)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP03010059A Withdrawn EP1473387A1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils
    EP04726500A Expired - Lifetime EP1625244B1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils

    Family Applications After (1)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP04726500A Expired - Lifetime EP1625244B1 (de) 2003-05-02 2004-04-08 Verfahren zur entschichtung eines bauteils

    Country Status (5)

    Country Link
    US (1) US20070080072A1 (de)
    EP (2) EP1473387A1 (de)
    CN (1) CN100545311C (de)
    DE (1) DE502004009570D1 (de)
    WO (1) WO2004097070A1 (de)

    Cited By (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    WO2005068689A1 (de) * 2004-01-20 2005-07-28 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum elektrochemischen entschichten von bauteilen
    EP1612299A1 (de) * 2004-06-30 2006-01-04 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils
    EP2053145A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-29 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Entfernung einer metallischen Schicht mittels FIC in einem Zwischenschritt

    Families Citing this family (2)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    CN103088399B (zh) * 2011-10-31 2016-01-06 通用电气公司 多步骤电化学去金属涂层方法
    CN113106532B (zh) * 2021-04-07 2023-04-11 江苏源清动力技术有限公司 一种航空发动机和燃气轮机热部件热障涂层去除工艺

    Citations (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US4539087A (en) * 1982-10-29 1985-09-03 Latszereszeti Eszkozok Gyara Method for electrolytic removal of galvanic nickel, chromium or gold layers from the surface of a copper or copper alloy base and apparatus for carrying out the method
    EP1094134A1 (de) * 1999-10-18 2001-04-25 General Electric Company Elektrochemische Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von metallischen Überzügen
    US20030062271A1 (en) * 2001-09-28 2003-04-03 Kool Lawrence Bernard Method and apparatus for selectively removing coatings from substrates

    Family Cites Families (25)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US4338157A (en) * 1979-10-12 1982-07-06 Sigma Corporation Method for forming electrical connecting lines by monitoring the etch rate during wet etching
    US4261804A (en) * 1979-11-13 1981-04-14 United Technologies Corporation Selective removal of nickel-based alloys from ferrous-based metals
    US4339282A (en) * 1981-06-03 1982-07-13 United Technologies Corporation Method and composition for removing aluminide coatings from nickel superalloys
    US4678552A (en) * 1986-04-22 1987-07-07 Pennwalt Corporation Selective electrolytic stripping of metal coatings from base metal substrates
    US4886552A (en) * 1988-09-09 1989-12-12 United Technologies Corporation Method for monitoring the removal of a metallic contaminant from the surface of a metallic article
    DE3832660A1 (de) * 1988-09-26 1990-03-29 Texas Instruments Deutschland Verfahren und vorrichtung zum abaetzen einer auf einem substrat angebrachten elektrisch leitenden schicht
    GB9116332D0 (en) * 1991-07-29 1991-09-11 Diffusion Alloys Ltd Refurbishing of corroded superalloy or heat resistant steel parts and parts so refurbished
    US5573624A (en) * 1992-12-04 1996-11-12 International Business Machines Corporation Chemical etch monitor for measuring film etching uniformity during a chemical etching process
    US5445705A (en) * 1994-06-30 1995-08-29 International Business Machines Corporation Method and apparatus for contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching process
    JP3637977B2 (ja) * 1995-01-19 2005-04-13 株式会社荏原製作所 ポリッシングの終点検知方法
    US6494960B1 (en) * 1998-04-27 2002-12-17 General Electric Company Method for removing an aluminide coating from a substrate
    DE19840471A1 (de) * 1998-09-04 2000-03-09 Schmid Gmbh & Co Geb Einrichtung zum Abtrag einer Beschichtung von Gegenständen
    US6709565B2 (en) * 1998-10-26 2004-03-23 Novellus Systems, Inc. Method and apparatus for uniform electropolishing of damascene ic structures by selective agitation
    US6176999B1 (en) * 1998-12-18 2001-01-23 United Technologies Corporation Feedback controlled stripping of airfoils
    US6234870B1 (en) * 1999-08-24 2001-05-22 International Business Machines Corporation Serial intelligent electro-chemical-mechanical wafer processor
    JP4513145B2 (ja) * 1999-09-07 2010-07-28 ソニー株式会社 半導体装置の製造方法および研磨方法
    US7134934B2 (en) * 2000-08-30 2006-11-14 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for electrically detecting characteristics of a microelectronic substrate and/or polishing medium
    EP1211024A3 (de) * 2000-11-30 2004-01-02 JSR Corporation Polierverfahren
    US6428683B1 (en) * 2000-12-15 2002-08-06 United Technologies Corporation Feedback controlled airfoil stripping system with integrated water management and acid recycling system
    DE10128507B4 (de) * 2001-06-14 2008-07-17 Mtu Aero Engines Gmbh Verwendung einer Vorrichtung zum chemischen oder elektrochemischen Bearbeiten von Bauteilen
    JP3807295B2 (ja) * 2001-11-30 2006-08-09 ソニー株式会社 研磨方法
    US7029567B2 (en) * 2001-12-21 2006-04-18 Asm Nutool, Inc. Electrochemical edge and bevel cleaning process and system
    DE10259365A1 (de) * 2002-04-08 2003-10-30 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zur Entfernung von Oberflächenbereichen eines Bauteils
    US7033466B2 (en) * 2002-09-27 2006-04-25 United Technologies Corporation Electrochemical stripping using single loop control
    EP1612299B1 (de) * 2004-06-30 2008-03-19 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils

    Patent Citations (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US4539087A (en) * 1982-10-29 1985-09-03 Latszereszeti Eszkozok Gyara Method for electrolytic removal of galvanic nickel, chromium or gold layers from the surface of a copper or copper alloy base and apparatus for carrying out the method
    EP1094134A1 (de) * 1999-10-18 2001-04-25 General Electric Company Elektrochemische Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von metallischen Überzügen
    US20030062271A1 (en) * 2001-09-28 2003-04-03 Kool Lawrence Bernard Method and apparatus for selectively removing coatings from substrates

    Cited By (5)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    WO2005068689A1 (de) * 2004-01-20 2005-07-28 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum elektrochemischen entschichten von bauteilen
    EP1612299A1 (de) * 2004-06-30 2006-01-04 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils
    US7794581B2 (en) 2004-06-30 2010-09-14 Siemens Aktiengesellschaft Process for the surface treatment of a component, and apparatus for the surface treatment of a component
    EP2053145A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-29 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Entfernung einer metallischen Schicht mittels FIC in einem Zwischenschritt
    WO2009053154A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-30 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur entfernung einer metallischen schicht mittels fic in einem zwischenschritt

    Also Published As

    Publication number Publication date
    CN1784509A (zh) 2006-06-07
    WO2004097070A1 (de) 2004-11-11
    EP1625244B1 (de) 2009-06-03
    CN100545311C (zh) 2009-09-30
    EP1625244A1 (de) 2006-02-15
    US20070080072A1 (en) 2007-04-12
    DE502004009570D1 (de) 2009-07-16

    Similar Documents

    Publication Publication Date Title
    EP1507901B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur entfernung von oberflächenbereichen eines bauteils
    EP2560789B1 (de) Verfahren zum bearbeiten einer oberfläche eines bauteils
    EP3528982B1 (de) Verfahren zur werkzeuglosen entfernung von stützstrukturen bei der generativen fertigung von bauteilen
    AT519430A1 (de) Elektrochemisches pulspolieren
    DE102014204806A1 (de) Verfahren zur Neuherstellung von Durchgangslöchern in einem Schichtsystem
    EP3551786B1 (de) Elektropolierverfahren und elektrolyt hierzu
    DE10210518A1 (de) Verfahren zur Entschichtung von Triebwerksbauteilen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
    EP1625244B1 (de) Verfahren zur entschichtung eines bauteils
    EP2386378A2 (de) Fertigungsverfahren für medizintechnische Gefäßstützen
    WO2019166166A1 (de) Entfernung der stützstrukturen von durch 3d-druck hergestellten bauteilen
    EP1612299B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Bauteils
    WO2006002610A1 (de) Verfahren zum abtragen einer beschichtung von einem bauteil
    EP3984685B1 (de) Verfahren zur herstellung einer oberflächenstruktur eines bauteils
    DE102015204798A1 (de) Verfahren zur Auslegung und/oder zur Überprüfung einer Elektrode zum elektrochemischen Abtragen und Elektrode zum elektrochemischen Abtragen
    EP1575731A1 (de) Verfahren zur nachbearbeitung eines durchgangslochs eines bauteils
    DE102018201668B4 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung von Werkstückoberflächen
    EP4144468A1 (de) Fertigungsvorrichtung zum elektrochemischen bearbeiten eines bauteils, insbesondere eines turbinenbauteils, verfahren zum elektrochemischen bearbeiten eines bauteils und bauteil
    WO2011110323A1 (de) Verfahren zum elektrochemischen entschichten von gasturbinenbauteilen
    WO2019137711A1 (de) Verfahren zur einstellung der oberflächenrauheit eines metallischen bauteils
    DE102017201645A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Reparieren einer beschädigten Schaufelspitze einer gepanzerten und mit einer Schaufelbeschichtung versehenen Turbinenschaufel
    DE2629637A1 (de) Verfahren zur herstellung von elektroden fuer blei-saeure-akkumulatoren
    DE102015200513A1 (de) Lokale Schadenserfassung und lokale Wärmebehandlungund Vorrichtung dafür
    DE102021120263A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines beschichteten Strukturbauteils
    EP2796237A1 (de) Verfahren zur Wiederaufbearbeitung eines metallischen Bauteiles unter Verwendung des heißisostatischen Pressens von dem geschweißten metallischen Bauteil
    EP2845998A1 (de) Bauteil und Verfahren zur Entschichtung eines Bauteils

    Legal Events

    Date Code Title Description
    PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: A1

    Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

    AX Request for extension of the european patent

    Extension state: AL LT LV MK

    AKX Designation fees paid
    REG Reference to a national code

    Ref country code: DE

    Ref legal event code: 8566

    STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

    Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

    18D Application deemed to be withdrawn

    Effective date: 20050504