EP1530408A2 - Microfocus-Röntgeneinrichtung - Google Patents

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EP1530408A2
EP1530408A2 EP04009205A EP04009205A EP1530408A2 EP 1530408 A2 EP1530408 A2 EP 1530408A2 EP 04009205 A EP04009205 A EP 04009205A EP 04009205 A EP04009205 A EP 04009205A EP 1530408 A2 EP1530408 A2 EP 1530408A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
target
current
control
microfocus
target current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP04009205A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1530408A3 (de
Inventor
Alfred Reinhold
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Comet GmbH
Original Assignee
Feinfocus Rontgen-Systeme GmbH
Comet GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Feinfocus Rontgen-Systeme GmbH, Comet GmbH filed Critical Feinfocus Rontgen-Systeme GmbH
Publication of EP1530408A2 publication Critical patent/EP1530408A2/de
Publication of EP1530408A3 publication Critical patent/EP1530408A3/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30—Controlling
    • H05G1/46—Combined control of different quantities, e.g. exposure time as well as voltage or current
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30—Controlling
    • H05G1/34—Anode current, heater current or heater voltage of X-ray tube

Definitions

  • the invention relates to a microfocus X-ray device mentioned in the preamble of claim 1 Art as well as a method of regulating the intensity of generated by a microfocus X-ray device X-ray radiation in the preamble of claim 24 mentioned type.
  • Microfocus X-ray devices are general known, for example by US 4,344,013, and For example, for testing printed circuit boards in the Electronics industry used. Corresponding microfocus X-ray devices are also represented by EP 0 815 582 B1 WO 96/29723 and DE 32 225 11 A1.
  • microfocus X-ray facilities of the relevant Art known to be a target and means of Have exposure of the target with a target stream.
  • the well-known microfocus X-ray devices also have means for controlling the intensity (dose rate) the generated X-rays.
  • These funds are in the known X-ray devices, for example formed by one of a filament outgoing emission current is regulated.
  • a disadvantage of the known microfocus X-ray devices is that the regulation achieved does not have sufficient reliability. This leads to to that, for example, when investigating a electronic components in the course of the investigation the image brightness changes. This limits in particular the possibilities of automatic image processing, the one constant or almost constant image brightness requires, to a considerable extent.
  • the invention is based on the object Microfocus X-ray device in the preamble of Specify claim 1 mentioned type, in which the reliability the scheme is increased.
  • the intensity of the X-radiation in that at least one parameter the target current, in particular the current of the target stream is controlled.
  • the intensity (dose rate) of the the X-ray tube produced X-rays with high Constancy and reliability controllable.
  • This is the X-ray device according to the invention, in particular in Areas where it is particularly useful a high consistency of the intensity of the generated X-radiation arrives.
  • the inventive X-ray device particularly good at the examination electronic components used in the Method of automatic image processing for use come that only with reasonable reliability are applicable when the intensity of the generated X-rays are sufficiently constant.
  • a particular advantage of the teaching according to the invention is that due to the regulation of the target current neither the thermal behavior of the X-ray tube and an associated high voltage generator one more Aging of components of the X-ray device the Intensity of the generated X-radiation in essential Influence dimensions. Also a change between different ones Operating modes of the X-ray device with different focal spot sizes leads at a Control of the target current is not essential Change in the intensity of the generated X-radiation.
  • any parameters of Target current can be controlled. Since it is the target stream usually a direct current act It is particularly useful to determine the amperage of the To regulate target current. Is that the case? at the target current, for example, a pulsed one Electricity, such as the pulse duration or the Duty cycle of the target current to be regulated. These the target current is an alternating current, for example, the amplitude and / or the Frequency of the target current to be regulated.
  • the one or the regulating parameters of the target current immediately capture, for example, when controlling the current the target current characterized in that the current of the target current is measured.
  • the parameter to be controlled of the target current indirectly. Will the current of the Controlled target current, so it is possible, for example, the current strength of the target current indirectly thereby to detect that backscattered from the target stream Electrons and thus an "image" of the current of the target current.
  • a development of the teaching of the invention provides that the target is electrically against a body the X-ray tube isolated on the body is arranged.
  • the Current of the target current with particularly high reliability measurable and as actual value for the control usable.
  • a current sensor for detection an actual value of the current intensity of the target current intended.
  • the detected by the current sensor actual value of the Target current can in this embodiment immediately used as actual value for the control of the target current become.
  • the scheme of the target stream it is also possible to be based on a different size, for example, one dependent on the target stream electrical size. In particular, it is possible to convert the measured target current into a voltage and to use this voltage as the actual value for the control.
  • the means for regulation the target stream on a control device is provided.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that the control device detected one Actual value of the target current with a predetermined setpoint of the target current and a manipulated variable changed so that the difference between the setpoint and the actual value is minimized.
  • the scheme can also based electrical quantities are taken from the target stream are dependent.
  • the detected actual value of the target current are converted into a voltage, which then fed as an actual value of the control device that is given a predetermined voltage Setpoint one of a nominal value of the target current dependent voltage compares and the manipulated variable so changed that difference between the setpoint and the actual value is minimized.
  • the microfocus X-ray device a high voltage generator for generating a preferably substantially constant high voltage on, by for generating an emission current the X-ray tube electrons, preferably from a Cathode released electrons, towards the Target are accelerated.
  • the Manipulated variable is the emission current.
  • control device an electrical or electronic circuit comprising a Regulator forms.
  • the Controller implemented by hardware.
  • the Control device also realized by software be.
  • the control device having an electronic circuit, by a Control software is controllable, such that the scheme software controlled.
  • a special advantage this embodiment is that the control of the target current by changing the software simple way is changeable.
  • the electronic Circuit has a microcontroller or the like.
  • Such microcontrollers are considered simple and inexpensive standard components available.
  • the regulation of the target current during operation of the X-ray device is always turned on be.
  • the teaching according to the invention provides that the control of the target current on and off is.
  • the regulation of the target stream can be switched off, for example if stable control of the target current is not possible, for example because of momentary Operating parameters of the X-ray device to a Prevent malfunction of the scheme.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that when the regulation of the Targetstromes another regulator the emission current the X-ray tube regulates. In this embodiment is switched off after the regulation of the Target current of the emission current of the X-ray tube regulated. Albeit by regulating the emission current not with sufficient accuracy a regulation of Intensity of the generated X-radiation is possible this is nevertheless due to the regulation of the emission current ensured that fluctuations in intensity to keep to a certain extent.
  • Teaching provides that when switching on the scheme the target stream currently flowing target stream the Setpoint of the target current forms. This embodiment allows it when switching on the scheme present intensity of the X-radiation and thus to keep the present image brightness constant.
  • Another embodiment of the embodiment with the regulation of the emission current provides that a when switching off the control of the target current momentarily flowing emission current setpoint for the Control of the emission current through the further control device forms. In this embodiment changes when switching off the control of the target current the image brightness is not.
  • control device controls the target current so that exceeding a predetermined or predefinable maximum electrical Performance of the target is prevented.
  • a damage to the target through an electrical overload for example, by overshoot at power up could occur reliably avoided.
  • Another advantageous embodiment of the invention Teaching provides that switching on the Control of the target current after switching on the Microfocus X-ray tube is delayed in time. On this way it is ensured that the scheme of Target current is activated only when a stable Operation of the scheme is possible.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that the switching takes place when the Emission current a predetermined or predetermined Setpoint reached. In this embodiment, it is ensured that the scheme is not about one Time is activated, to which no emission current flows.
  • a development of the aforementioned provides Embodiment, that at a reduction the high voltage the control parameters are changed so that the inertia of the scheme is increased, and that when increasing the high voltage, the control parameters be changed so that the inertia of the control decreases is.
  • the inertia the scheme to the terms of high voltage adapted in the x-ray tube prevailing conditions.
  • the x-ray tube may have means by which the emission current so distractable or can be blocked, that an impact of the emission current is substantially prevented on the target.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that upon activation of the funds, by the emission current is deflectable or blockable, switching off the control of the target current takes place. In this way, malfunctions of the control are reliable avoided.
  • Teaching means which determine whether there is a short circuit at the target, wherein the Means upon detection of a short circuit the regulation Turn off the target current. That way is prevents the target in case of a short circuit, in which the target stream is wholly or partially derived is destroyed by too high a target current becomes.
  • An inventive method for controlling the Intensity of the generated by an X-ray device X-radiation is specified in claim 24.
  • the X-ray device has a X-ray tube 4, which has a target 6, the on a base body 8 of the X-ray tube 4 is arranged. From the drawing is not apparent and therefore is explained here that the target 6 electrically isolated against the main body 8 of the x-ray tube 4 at the Basic body 8 is arranged.
  • the insulation can, for example made of ceramic or the like.
  • the X-ray device 2 further comprises means for Exposure of the target 6 to a target current, which have a filament 10 connected as a cathode.
  • the means for applying the target 6 with a target current further comprises a high voltage generator 12 for generating a variable, after a change, however, essentially constant High voltage, by means of which in one inside the Main body 4 prevailing vacuum from the filament 10th released electrons towards the target 6 be accelerated, with the impact of the electrons on the target 6 in the expert generally known Way X-ray radiation arises.
  • Electrons form an emission stream 14, the is focused by means of a coil 16.
  • a Aperture 18 is arranged, which serves the diameter of the electron beam to reduce such the x-ray tube has a focal spot with a diameter of ⁇ 200 ⁇ m, in particular ⁇ 10 ⁇ m, so that the X-ray tube 4 is formed as a microfocus X-ray tube is.
  • the X-ray device 2 further comprises means for Regulation of the intensity (dose rate) of the generated X-radiation, in the drawing by the reference numeral 20 is symbolized on, wherein the means according to the invention Means for regulating the amperage of the Have target current.
  • the means according to the invention Means for regulating the amperage of the Have target current.
  • Embodiment is the parameter to be controlled of the target current, the current of the target current.
  • the means for controlling the target stream have in this embodiment, a control device 22, which in this embodiment a Microcontroller has, by a control software is controllable, such that the regulation of the current the target stream is software controlled.
  • the X-ray device 2 also has a sensor 24, which senses the target current at the target 6 and a measuring amplifier 26 supplies.
  • the measuring amplifier 26 amplifies the measured target current, the output signal the measuring amplifier is an actual value of the current of the target current forms an input 28th the control device 22 is supplied.
  • the control device 22 also has another input 30 fed to a target value of the current of the target current, wherein the controller 22 detected the Actual value of the target current with the target value of the target current compares and changes a manipulated variable in such a way that the difference between the setpoint and the Actual value is minimized.
  • the emission current forms the manipulated variable the regulation.
  • the emission current generated by that from the filament 10th Electrons leak through the from the high voltage generator 12 generated high voltage in the direction of the target will be accelerated.
  • a grid or the like is arranged on the one also from the high voltage generator 12th generated voltage can be applied.
  • the emission current is variable, wherein the emission current increases as the reduced voltage applied to the grid and at Reduction of the voltage applied to the grid increases.
  • To influence the manipulated variable is an output 32 of the control device 22 with a control input 34th connected to the high voltage generator 12, wherein the at the grid applied voltage and thus the emission current is variable via the control input 34.
  • the Filament 10 When operating the X-ray device 2 is the Filament 10 is heated so that in a vacuum electrons exit the filament 10. About the high voltage generator is between the anode 6 connected as the target and the filament 10 connected as a cathode High voltage generated due to which from the filament 10 escaping electrons towards the Target 6 are accelerated and an emission current the X-ray tube 4 form.
  • the emission current 14 is focused on the coil 16 and the diaphragm 18, wherein a portion of the emission stream reaching the target 14 forms the target stream.
  • the controller 22 compares the detected actual value with a at the entrance 30 applied setpoint and minimizes the difference between the predetermined or predefinable setpoint and the detected actual value.
  • the target current is regulated and held constant with high accuracy, so that the Intensity (dose rate) to the generated X-radiation is kept constant.
  • the brightness remains one by means of X-ray radiation for examination an electronic component generated image constant, so that an evaluation of the image by means of automatic image processing allows or is considerably simplified.
  • the controller 22 is in this embodiment designed so that the regulation of Target current is switched on and off.
  • the emission current is measured and the regulation then turned on when the emission current is a predetermined or has reached a predefinable setpoint.
  • the control input 30 of the control device 22 is supplied becomes.
  • control device when turned off Control of the target current by another, in the drawing, not shown control device regulated the emission current of the X-ray tube, wherein when switching off the control of the target current currently flowing emission current a setpoint for the regulation of the emission current through the further Dictates control device. This is a change the image brightness when turning off the Control of the target current avoided.
  • control parameters of the control device 22 depending on the voltage from the high voltage generator 12 generated high voltage changeable, in such a way that at a reduction of the high voltage, the control parameters be changed so that the inertia of the Regulation is increased, and that with an increase in the High voltage the control parameters are changed so that the inertia of the control is reduced.
  • the X-ray tube 4 means has, by which the emission current so distractable or is blockable, that an impact of the emission current is substantially prevented on the target.
  • this also known as shutter Means is the control of the target current in the embodiment switched off.
  • the control device in the embodiment 22 regulates the control device in the embodiment 22 the target current so that an exceeding a predetermined or predetermined maximum electrical Performance of the target is prevented. Furthermore, will determined by means not shown in the drawing, whether there is a short circuit at the target 6, these means upon detection of a short circuit turn off the control of a target current. To this Way is in the embodiment damage or destroying the target by overloading reliably avoided.
  • the X-ray device 2 allows in a simple and reliable way a scheme the intensity (dose rate) of the generated X-radiation.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung (2), die eine Röntgenröhre (4), die ein Target (6) aufweist, Mittel zur Beaufschlagung des Targets (6) mit einem Targetstrom und Mittel zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung aufweist. Erfindungsgemäß weisen die Mittel zur Regelung der Intensität der Röntgenstrahlung (20) Mittel zur Regelung eines Parameters des Targetstromes, insbesondere der Stromstärke des Targetstromes, auf. Auf diese Weise ist die Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung mit hoher Zuverlässigkeit und Genauigkeit regelbar. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art sowie ein Verfahren zur Regelung der Intensität der durch eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung der im Oberbegriff des Anspruchs 24 genannten Art.
Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen sind allgemein bekannt, beispielsweise durch US 4,344,013, und werden beispielsweise zum Prüfen von Leiterplatten in der Elektronikindustrie eingesetzt. Entsprechende Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen sind ferner auch durch EP 0 815 582 B1 WO 96/29723 und DE 32 225 11 A1 bekannt.
Es sind Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen der betreffenden Art bekannt, die ein Target und Mittel zur Beaufschlagung des Targets mit einem Targetstrom aufweisen. Die bekannten Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen weisen ferner Mittel zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung auf. Diese Mittel sind bei den bekannten Röntgeneinrichtungen beispielsweise dadurch gebildet, daß ein von einem Filament ausgehender Emissionsstrom geregelt wird.
Ein Nachteil der bekannten Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen besteht darin, daß die erzielte Regelung keine ausreichende Zuverlässigkeit aufweist. Dies führt dazu, daß sich beispielsweise bei Untersuchung eines elektronischen Bauteiles im Verlaufe der Untersuchung die Bildhelligheit ändert. Dies schränkt insbesondere die Möglichkeiten einer automatischen Bildverarbeitung, die eine konstante oder nahezu konstante Bildhelligkeit voraussetzt, in erheblichem Maße ein.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art anzugeben, bei der die Zuverlässigkeit der Regelung erhöht ist.
Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Lehre gelöst. Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der von einer Mikrofocus-Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung ist im Anspruch 24 angegeben.
Der Grundgedanke der erfindungsgemäßen Lehre besteht darin, die Intensität der Röntgenstrahlung (Dosisrate) dadurch zu regeln, daß wenigstens ein Parameter des Targetstromes, insbesondere die Stromstärke des Targetstromes, geregelt wird. Durch Regelung des Targetstromes ist die Intensität (Dosisrate) der durch die Röntgenröhre erzeugten Röntgenstrahlung mit hoher Konstanz und Zuverlässigkeit regelbar. Damit ist die erfindungsgemäße Röntgeneinrichtung insbesondere in Bereichen gut einsetzbar, in denen es besonders auf eine hohe Konstanz der Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung ankommt. Insbesondere ist die erfindungsgemäße Röntgeneinrichtung besonders gut bei der Untersuchung elektronischer Bauteile einsetzbar, bei der Verfahren der automatischen Bildverarbeitung zur Anwendung kommen, die nur dann mit hinreichender Zuverlässigkeit anwendbar sind, wenn die Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung hinreichend konstant sind.
Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Lehre besteht darin, daß aufgrund der Regelung des Targetstromes weder das thermische Verhalten der Röntgenröhre und eines zugehörigen Hochspannungsgenerators noch eine Alterung der Komponenten der Röntgeneinrichtung die Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung in wesentlichem Maße beeinflussen. Auch ein Wechsel zwischen unterschiedlichen Betriebsarten der Röntgeneinrichtung mit unterschiedlichen Brennfleckgrößen führt bei einer Regelung des Targetstromes nicht zu einer wesentlichen Änderung der Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung.
Erfindungsgemäß können beliebige Parameter des Targetstromes geregelt werden. Da es sich bei dem Targetstrom in der Regel um einen Gleichstrom handeln wird, ist es besonders zweckmäßig, die Stromstärke des Targetstromes zu regeln. Handelt es sich demgegenüber bei dem Targetstrom beispielsweise um einen gepulsten Strom, so können beispielsweise die Pulsdauer oder das Tastverhältnis des Targetstromes geregelt werden. Handelt es sich bei dem Targetstrom um einen Wechselstrom, so können beispielsweise die Amplitude und/oder die Frequenz des Targetstromes geregelt werden.
Erfindungsgemäß ist es möglich, den oder die zu regelnden Parameter des Targetstromes unmittelbar zu erfassen, beispielsweise bei Regelung der Stromstärke des Targetstromes dadurch, daß die Stromstärke des Targetstromes gemessen wird. Erfindungsgemäß ist es jedoch auch möglich, den zu regelnden Parameter des Targetstromes indirekt zu erfassen. Wird die Stromstärke des Targetstromes geregelt, so ist es beispielsweise möglich, die Stromstärke des Targetstromes indirekt dadurch zu erfassen, daß von dem Targetstrom rückgestreute Elektronen und damit ein "Abbild" der Stromstärke des Targetstromes zu erfassen.
Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß das Target elektrisch gegen einen Grundkörper der Röntgenröhre isoliert an dem Grundkörper angeordnet ist. Bei dieser Ausführungsform ist die Stromstärke des Targetstromes mit besonders hoher Zuverlässigkeit meßbar und als Istwert für die Regelung verwendbar.
Zweckmäßigerweise ist ein Stromsensor zur Erfassung eines Istwertes der Stromstärke des Targetstromes vorgesehen. Der von dem Stromsensor erfaßte Istwert des Targetstromes kann bei dieser Ausführungsform unmittelbar als Istwert für die Regelung des Targetstromes herangezogen werden. Es ist jedoch auch möglich, die Regelung des Targetstromes auf einer anderen Größe zu basieren, beispielsweise einer von dem Targetstrom abhängigen elektrischen Größe. Insbesondere ist es möglich, den gemessenen Targetstrom in eine Spannung zu wandeln und diese Spannung als Istwert für die Regelung heranzuziehen.
Zweckmäßigerweise weisen die Mittel zur Regelung des Targetstromes eine Regeleinrichtung auf.
Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß die Regeleinrichtung einen erfaßten Istwert des Targetstromes mit einem vorgegebenen Sollwert des Targetstromes vergleicht und eine Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird. Bei der vorgenannten Ausführungsform kann die Regelung auch auf Basis von elektrischen Größen erfolgen, die von dem Targetstrom abhängig sind. Insbesondere kann der erfaßte Istwert des Targetstromes in eine Spannung gewandelt werden, die dann als Istwert der Regeleinrichtung zugeführt wird, die diese Spannung mit einem vorgegebenen Sollwert einer von einem Sollwert des Targetstromes abhängigen Spannung vergleicht und die Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird.
Zweckmäßigerweise weist die Mikrofocus-Röntgeneinrichtung einen Hochspannungsgenerator zum Erzeugen einer vorzugsweise im wesentlichen konstanten Hochspannung auf, durch die zum Erzeugen eines Emissionsstromes der Röntgenröhre Elektronen, vorzugsweise aus einer Kathode freigesetzte Elektronen, in Richtung auf das Target beschleunigbar sind.
Um eine besonders einfache und zuverlässige Regelung des Targetstromes zu erzielen, sieht eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform vor, daß die Stellgröße der Emmissionsstrom ist.
Eine andere Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Regeleinrichtung eine elektrische oder elektronische Schaltung aufweist, die einen Regler bildet. Bei dieser Ausführungsform ist der Regler durch Hardware realisiert.
Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann die Regeleinrichtung jedoch auch durch Software realisiert sein. Hierzu sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre vor, daß die Regeleinrichtung eine elektronische Schaltung aufweist, die durch eine Regelungssoftware steuerbar ist, derart, daß die Regelung softwaregesteuert erfolgt. Ein besonderer Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, daß die Regelung des Targetstromes durch Veränderung der Software auf einfache Weise veränderbar ist.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsformen sieht vor, daß die elektronische Schaltung einen Mikrocontroller oder dergleichen aufweist. Derartige Mikrocontroller stehen als einfache und kostengünstige Standardbauteile zur Verfügung.
Grundsätzlich kann die Regelung des Targetstromes während des Betriebs der Röntgeneinrichtung stets eingeschaltet sein. Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht jedoch vor, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist. Bei dieser Ausführungsform kann das Ein- bzw. Ausschalten der Regelung des Targetstromes durch einen Benutzer und/oder automatisch erfolgen. Die Regelung des Targetstromes kann biespielsweise dann ausgeschaltet werden, wenn eine stabile Regelung des Targetstromes nicht möglich ist, beispielsweise wegen momentaner Betriebsparameter der Röntgeneinrichtung, um einer Fehlfunktion der Regelung vorzubeugen.
Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes eine weitere Regeleinrichtung den Emissionsstrom der Röntgenröhre regelt. Bei dieser Ausführungsform wird nach einem Ausschalten der Regelung des Targetstromes der Emissionsstrom der Röntgenröhre geregelt. Wenn auch durch Regelung des Emissionsstromes nicht mit hinreichender Genauigkeit eine Regelung der Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung möglich ist, so ist gleichwohl durch die Regelung des Emissionsstromes sichergestellt, daß Schwankungen der Intensität sich in einem gewissen Rahmen halten.
Eine andere Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom den Sollwert des Targetstromes bildet. Diese Ausführungsform ermöglicht es, die beim Einschalten der Regelung vorliegende Intensität der Röntgenstrahlung und damit die vorliegende Bildhelligkeit konstant zu halten.
Eine andere Weiterbildung der Ausführungsform mit der Regelung des Emissionsstromes sieht vor, daß ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom einen Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes durch die weitere Regeleinrichtung bildet. Bei dieser Ausführungsform ändert sich beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes die Bildhelligkeit nicht.
Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Regeleinrichtung den Targetstrom so regelt, daß ein Überschreiten einer vorgegebenen oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets verhindert ist. Bei dieser Ausführugnsform ist eine Beschädigung des Targets durch einen elektrische Überlastung, die beispielsweise durch ein Überschwingen beim Einschalten auftreten könnte, zuverlässig vermieden.
Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß ein Einschalten der Regelung des Targetstromes nach einem Einschalten der Mikrofocus-Röntgenröhre zeitlich verzögert erfolgt. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die Regelung des Targetstromes erst dann aktiviert wird, wenn ein stabiler Betrieb der Regelung möglich ist.
Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß das Einschalten erfolgt, wenn der Emissionsstrom einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert erreicht. Bei dieser Ausführungsform ist sichergestellt, daß die Regelung nicht etwa zu einem Zeitpunkt aktiviert wird, zu dem noch kein Emissionsstrom fließt.
Da die Eigenschaften der durch den Hochspannungsgenerator, das zugehörige Hochspannungskabel und die Röntgenröhre gebildeten Regelstrecke der Regelung des Targetstromes u. U. in erheblichem Maße von der Hochspannung abhängig sind, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre vor, daß Regelparameter der Regeleinrichtung in Abhängigkeit von der Hochspannung veränderbar sind.
Insbesondere sieht eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform vor, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht ist, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert ist. Bei dieser Ausführungsform wird die Trägheit der Regelung an die hinsichtlich der Hochspannung in der Röntgenröhre herrschenden Verhältnisse angepaßt.
Falls entsprechend den jeweiligen Anforderungen erforderlich, kann die Röntgenröhre Mittel aufweisen, durch die der Emissionsstrom derart ablenkbar oder blockierbar ist, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes auf das Target im wesentlichen verhindert ist.
Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß bei Aktivierung der Mittel, durch die der Emissionsstrom ablenkbar oder blockierbar ist, ein Ausschalten der Regelung des Targetstromes erfolgt. Auf diese Weise sind Fehlfunktionen der Regelung zuverlässig vermieden.
Gemäß einer anderen Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sind Mittel vorgesehen, die feststellen, ob an dem Target ein Kurzschluß vorliegt, wobei die Mittel bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung des Targetstromes ausschalten. Auf diese Weise ist verhindert, daß das Target im Falle eines Kurzschlusses, bei dem der Targetstrom ganz oder teilweise abgeleitet wird, durch einen zu hohen Targetstrom zerstört wird.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Regelung der Intensität der von einer Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung ist im Anspruch 24 angegeben.
Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen der Lehre des Anspruchs 24 sind in den Unteransprüchen 25 bis 39 angegeben.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert, deren einzige Figur ein stark schematisiertes Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Röntgeneinrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zeigt. Dabei bilden alle beschriebenen oder in der Zeichnung dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen oder deren Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Formulierung bzw. Darstellung in der Beschreibung bzw. in der Zeichnung.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Mikrofocus-Röntgeneinrichtung 2 dargestellt, die nachfolgend kurz als Röntgeneinrichtung bezeichnet wird. Die Röntgeneinrichtung weist eine Röntgenröhre 4 auf, die ein Target 6 aufweist, das an einem Grundkörper 8 der Röntgenröhre 4 angeordnet ist. Aus der Zeichnung ist nicht ersichtlich und deshalb wird hier erläutert, daß das Target 6 elektrisch isoliert gegen den Grundkörper 8 der Röntgenröhre 4 an dem Grundkörper 8 angeordnet ist. Die Isolierung kann beispielsweise aus Keramik oder dergleichen bestehen.
Die Röntgeneinrichtung 2 weist ferner Mittel zur Beaufschlagung des Targets 6 mit einem Targetstrom auf, die einen als Kathode geschalteten Heizfaden 10 aufweisen. Die Mittel zur Beaufschlagung des Targets 6 mit einem Targetstrom weisen ferner einen Hochspannungsgenerator 12 zum Erzeugen einer veränderbaren, nach einer Veränderung jedoch im wesentlichen konstanten Hochspannung auf, mittels derer in einem im Inneren des Grundkörpers 4 herrschenden Vakuum aus dem Heizfaden 10 freigesetzte Elektronen in Richtung auf das Target 6 beschleunigt werden, wobei beim Auftreffen der Elektronen auf das Target 6 in dem Fachmann allgemein bekannter Weise Röntgenstrahlung entsteht.
Die aus dem Heizfaden 10 austretenden und durch die Hochspannung in Richtung auf das Target 6 beschleunigten Elektronen bilden einen Emissionsstrom 14, der mittels einer Spule 16 fokussiert wird. In Bewegungsrichtung der Elektronen hinter der Spule 16 ist eine Lochblende 18 angeordnet, die dazu dient, den Durchmesser des Elektronenstrahles derart zu verringern, daß die Röntgenröhre einen Brennfleck mit einem Durchmesser von ≤ 200 µm, insbesondere ≤ 10 µm, aufweist, so daß die Röntgenröhre 4 als Mikrofocus-Röntgenröhre ausgebildet ist. Derjenige Teil des Emissionsstromes, der das Target 6 erreicht, bildet einen Targetstrom.
Die Röntgeneinrichtung 2 weist ferner Mittel zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung, die in der Zeichnung durch das Bezugszeichen 20 symbolisiert ist, auf, wobei die Mittel erfindungsgemäß Mittel zur Regelung der Stromstärke des Targetstromes aufweisen. Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel ist der zu regelnde Parameter des Targetstromes die Stromstärke des Targetstromes. Die Mittel zur Regelung des Targetstromes weisen bei diesem Ausführungsbeispiel eine Regeleinrichtung 22 auf, die bei diesem Ausführungsbeispiel einen Mikrocontroller aufweist, der durch eine Regelungssoftware steuerbar ist, derart, daß die Regelung der Stromstärke des Targetstromes softwaregesteuert erfolgt.
Die Röntgeneinrichtung 2 weist ferner einen Sensor 24 auf, der den Targetstrom an dem Target 6 abfühlt und einem Meßverstärker 26 zuführt. Der Meßverstärker 26 verstärkt den gemessenen Targetstrom, wobei das Ausgangssignal des Meßverstärkers einen Istwert der Stromstärke des Targetstromes bildet, der einem Eingang 28 der Regeleinrichtung 22 zugeführt wird. Der Regeleinrichtung 22 wird ferner über einen weiteren Eingang 30 ein Sollwert der Stromstärke des Targetstromes zugeführt, wobei die Regeleinrichtung 22 den erfaßten Istwert des Targetstromes mit dem Sollwert des Targetstromes vergleicht und eine Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird.
Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel bildet der Emmissionstrom die Stellgröße der Regelung. Wie allgemein bekannt, wird der Emmissionsstrom dadurch erzeugt, daß aus dem Heizfaden 10 Elektronen austreten, die durch die von dem Hochspannungsgenerator 12 erzeugte Hochspannung in Richtung auf das Target beschleunigt werden. In der Zeichnung ist nicht dargestellt und deshalb wird hier erläutert, daß in Bewegungsrichtung der Elektronen hinter dem Heizfaden 10 ein Gitter oder dergleichen angeordnet ist, an das eine ebenfalls von dem Hochspannungsgenerator 12 erzeugte Spannung anlegbar ist. Durch Veränderung der Spannung an dem Gitter ist der Emmissionsstrom veränderbar, wobei sich der Emmissionsstrom bei Erhöhung der an das Gitter angelegten Spannung verringert und bei Verringerung der an das Gitter angelegten Spannung erhöht.
Zur Beeinflussung der Stellgröße ist ein Ausgang 32 der Regeleinrichtung 22 mit einem Steuereingang 34 des Hochspannungsgenerators 12 verbunden, wobei die an das Gitter angelegte Spannung und damit der Emmissionsstrom über den Steuereingang 34 veränderbar ist.
Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Röntgeneinrichtung 2 ist wie folgt:
Bei Betrieb der Röntgeneinrichtung 2 wird der Heizfaden 10 so beheizt, daß im Vakuum Elektronen aus dem Heizfaden 10 austreten. Über den Hochspannungsgenerator wird zwischen dem als Anode geschalteten Target 6 und dem als Kathode geschalteten Heizfaden 10 eine Hochspannung erzeugt, aufgrund derer die aus dem Heizfaden 10 austretenden Elektronen in Richtung auf das Target 6 beschleunigt werden und einen Emissionsstrom der Röntgenröhre 4 bilden. Der Emissionsstrom 14 wird über die Spule 16 und die Blende 18 fokussiert, wobei ein das Target erreichender Teil des Emissionsstromes 14 den Targetstrom bildet. Beim Auftreffen auf das Target 6 erzeugen die Elektronen in dem Fachmann bekannter Weise die Röntgenstrahlung 20, die bei dem Ausführungsbeispiel zur Untersuchung von elektronischen Bauteilen verwendet wird.
Bei Betrieb der Röntgeneinrichtung 2 fühlt der Sensor 24 den Targetstrom ab, der nach einer Verstärkung durch den Meßverstärker 26 als erfaßter Istwert des Targetstromes an den Eingang 28 der Regeleinrichtung 22 angelegt wird. Die Regeleinrichtung 22 vergleicht den erfaßten Istwert mit einem an dem Eingang 30 anliegenden Sollwert und minimiert die Differenz zwischen dem vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert und dem erfaßten Istwert.
Wird über die Regeleinrichtung 22 festgestellt, daß sich der Istwert des Targetstromes verringert, was eine Verringerung der Helligkeit eines mittels der Röntgenstrahlung 20 erzeugten Bildes zur Folge hätte, so erhöht die Regeleinrichtung 22 wie in der oben beschriebenen Weise den Emmissionsstrom. Infolgedessen steigt die Stromstärke des Targetstromes so lange an, bis die Differenz zwischen dem erfaßten Istwert des Targetstromes und dem Sollwert null wird. Steigt demgegenüber die Stromstärke des Targetstromes an, so verringert die Regeleinrichtung 22 den Emmissionsstrom über den Steuereingang 34, so daß die Stromstärke des Targetstromes abnimmt, bis die Differenz zwischen dem erfaßten Istwert und dem Sollwert null wird.
Auf diese Weise wird der Targetstrom geregelt und mit hoher Genauigkeit konstant gehalten, so daß die Intensität (Dosisrate) zu der erzeugten Röntgenstrahlung konstant gehalten wird. Demzufolge bleibt die Helligkeit eines mittels der Röntgensrahlung zur Untersuchung eines elektronischen Bauteiles erzeugten Bildes konstant, so daß eine Auswertung des Bildes mittels einer automatischen Bildverarbeitung ermöglicht bzw. wesentlich vereinfacht ist.
Die Regeleinrichtung 22 ist bei diesem Ausführungsbeispiel so ausgebildet, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist.
Erfindungsgemäß wird die Regelung des Targetstromes nach einem Einschalten der Röntgenröhre 4 zeitlich verzögert eingeschaltet, um eine Fehlfunktion der Regelung während eines Anlaufens der Röntgeneinrichtung 2, bei dem die Röntgenröhre 4 für den Betrieb vorbereitet wird (warm up), die Spannung an dem Heizfaden 10 eingestellt wird (filament adjust) und der Elektronenstrahl zentriert wird, zu verhindern. Bei dem Ausführungsbeispiel wird der Emissionsstrom gemessen und die Regelung dann eingeschaltet, wenn der Emissionsstrom einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert erreicht hat.
Bei dem Ausführungsbeispiel bildet ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom den Sollwert des Targetstromes, der dem Steuereingang 30 der Regeleinrichtung 22 zugeführt wird.
Ferner wird bei dem Ausführungsbeispiel bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes durch eine weitere, in der Zeichnung nicht dargestellte Regeleinrichtung der Emissionsstrom der Röntgenröhre geregelt, wobei ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom einen Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes durch die weitere Regeleinrichtung vorgibt. Auf diese Weise ist eine Veränderung der Bildhelligkeit bei einem Ausschalten der Regelung des Targetstromes vermieden.
Ferner wird bei dem Ausführungsbeispiel bei einer Änderung des Sollwertes der nach der Änderung wieder im wesentlichen konstanten Hochspannung die Regelung des Targetstromes ausgeschaltet, bis ein neuer Sollwert der Hochspannung erreicht ist. Weiterhin sind bei dem Ausführungsbeispiel Regelparameter der Regeleinrichtung 22 in Abhängigkeit von der von dem Hochspannungsgenerator 12 erzeugten Hochspannung veränderbar, und zwar derart, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht ist, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert ist.
Aus der Zeichnung ist nicht ersichtlich und deshalb wird hier erläutert, daß die Röntgenröhre 4 Mittel aufweist, durch die der Emissionsstrom derart ablenkbar oder blockierbar ist, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes auf das Target im wesentlichen verhindert ist. Bei Aktivierung dieser auch als Shutter bezeichneten Mittel wird die Regelung des Targetstromes bei dem Ausführungsbeispiel ausgeschaltet.
Um das Target 6 vor einer Beschädigung zu schützen, regelt bei dem Ausführungsbeispiel die Regeleinrichtung 22 den Targetstrom so, daß ein Überschreiten einer vorgegebenen oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets verhindert wird. Ferner wird durch in der Zeichnung nicht dargestellte Mittel festgestellt, ob an dem Target 6 ein Kurzschluß vorliegt, wobei diese Mittel bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung eines Targetstromes ausschalten. Auf diese Weise ist bei dem Ausführungsbeispiel eine Beschädigung oder Zerstörung des Targets durch eine Überlastung zuverlässig vermieden.
Die erfindungsgemäße Röntgeneinrichtung 2 ermöglicht auf einfache und zuverlässige Weise eine Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung.

Claims (40)

  1. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung,
    mit einer Röntgenröhre, die ein Target aufweist,
    mit Mitteln zur Beaufschlagung des Targets mit einem Targetstrom und
    mit Mitteln zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung,
    dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Regelung der Intensität der Röntgenstrahlung (20) Mittel zur Regelung wenigstens eines Parameters des Targetstromes, insbesondere der Stromstärke des Targetstromes, aufweisen.
  2. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (6) elektrisch gegen einen Grundkörper (8) der Röntgenröhre (4) isoliert an dem Grundkörper (8) angeordnet ist.
  3. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Stromsensor (24) zur Erfassung eines Istwertes der Stromstärke des Targetstromes.
  4. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Regelung des Targetstromes eine Regeleinrichtung (22) aufweisen.
  5. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) einen erfaßten Istwert des Targetstromes mit einem vorgegebenen Sollwert des Targetstromes vergleicht und eine Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird.
  6. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Hochspannungsgenerator (12) zum Erzeugen einer vorzugsweise im wesentlichen konstanten Hochspannung, durch die zum Erzeugen eines Emissionsstromes (14) der Röntgenröhre (4) Elektronen, vorzugsweise aus einer Kathode freigesetzte Elektronen, in Richtung auf das Target (6) beschleunigbar sind.
  7. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellgröße der Emmissionsstrom ist.
  8. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) eine elektrische oder elektronische Schaltung aufweist, die einen Regler bildet.
  9. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) eine elektronische Schaltung aufweist, die durch eine Regelungssoftware steuerbar ist, derart, daß die Regelung softwaregesteuert erfolgt.
  10. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Schaltung einen Mikrocontroller oder dergleichen aufweist.
  11. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist.
  12. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes eine weitere Regeleinrichtung den Emissionsstrom (14) der Röntgenröhre (4) regelt.
  13. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom den Sollwert des Targetstromes bildet.
  14. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom (14) einen Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes (14) durch die weitere Regeleinrichtung bildet.
  15. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) den Targetstrom so regelt, daß ein Überschreiten einer vorgegebenen oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets (6) verhindert ist.
  16. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Einschalten der Regelung des Targetstromes nach einem Einschalten der Mikrofocus-Röntgenröhre (4) zeitlich verzögert erfolgt.
  17. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Einschalten erfolgt, wenn der Emissionsstrom (14) einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert erreicht.
  18. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 6 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Änderung des Sollwertes der Hochspannung ein Ausschalten der Regelung des Targetstromes erfolgt, bis ein neuer Sollwert der Hochspannung erreicht ist.
  19. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß Regelparameter der Regeleinrichtung (22) in Abhängigkeit von der Hochspannung veränderbar sind.
  20. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht ist, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert ist.
  21. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenröhre (4) Mittel aufweist, durch die der Emissionsstrom derart ablenkbar oder blockierbar ist, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes (14) auf das Target (6) im wesentlichen verhindert ist.
  22. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß bei Aktivierung der Mittel, durch die der Emissionsstrom (14) ablenkbar oder blockierbar ist, ein Ausschalten der Regelung des Targetstromes erfolgt.
  23. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, die feststellen, ob an dem Target (6) ein Kurzschluß vorliegt, und daß die Mittel bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung des Targetstromes ausschalten.
  24. Verfahren zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der durch eine Röntgenröhre einer Mikrofocus-Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung,
    wobei die Röntgenröhre ein Target und Mittel zur Beaufschlagung des Targets mit einem Targetstrom aufweist,
    dadurch gekennzeichnet, daß zur Regelung der Intensität der Röntgenstrahlung wenigstens ein Parameter des Targetstromes, insbesondere die Stromstärke des Targetstromes, geregelt wird.
  25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß ein Istwert der Stromstärke des Targetstromes erfaßt wird.
  26. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß ein erfaßter Istwert des Targetstromes mit einem vorgegebenen Sollwert des Targetstromes verglichen und eine Stellgröße derart verändert wird, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird.
  27. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß mittels eines Hochspannungsgenerators eine vorzugsweise im wesentlichen konstante Hochspannung erzeugt wird, durch die Elektronen, vorzugsweise aus einer Kathode freigesetzte Elektronen, zum Erzeugen eines Emissionsstromes der Röntgenröhre in Richtung auf das Target beschleunigt werden.
  28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß als Stellgröße der Emmissionsstrom verwendet wird.
  29. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist.
  30. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes der Emissionsstrom der Röntenröhre geregelt wird.
  31. Verfahren nach Anspruch 29 und 30, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom als Sollwert des Targetstromes verwendet wird.
  32. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom als Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes verwendet wird.
  33. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß der Targetstrom so geregelt wird, daß ein Überschreiten einer vorgegegeben oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets verhindert wird.
  34. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem Einschalten der Mikrofocus-Röntgenröhre die Regelung des Targetstromes zeitlich verzögert eingeschaltet wird.
  35. Verfahren nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung des Targetstromes eingeschaltet wird, wenn der Emissionsstrom einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert errreicht.
  36. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Änderung des Sollwertes der Hochspannung die Regelung des Targetstromes ausgeschaltet wird, bis ein neuer Sollwert der Hochspannung erreicht ist.
  37. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß Regelparameter der Regelung in Abhängigkeit von der Hochspannung verändert werden.
  38. Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht wird, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert wird.
  39. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Ablenkung oder Blockierung des Emissionsstromes derart, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes auf das Target im wesentlichen verhindert wird, die Regelung des Targetstromes abgeschaltet wird.
  40. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß festgestellt wird, ob an dem Target ein Kurzschluß vorliegt, und daß bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung des Targetstromes abgeschaltet wird.
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