EP1530408A2 - Microfocus x-ray system - Google Patents

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Publication number
EP1530408A2
EP1530408A2 EP04009205A EP04009205A EP1530408A2 EP 1530408 A2 EP1530408 A2 EP 1530408A2 EP 04009205 A EP04009205 A EP 04009205A EP 04009205 A EP04009205 A EP 04009205A EP 1530408 A2 EP1530408 A2 EP 1530408A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
target
current
control
microfocus
target current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP04009205A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP1530408A3 (en
Inventor
Alfred Reinhold
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Comet GmbH
Original Assignee
Feinfocus Rontgen-Systeme GmbH
Comet GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Feinfocus Rontgen-Systeme GmbH, Comet GmbH filed Critical Feinfocus Rontgen-Systeme GmbH
Publication of EP1530408A2 publication Critical patent/EP1530408A2/en
Publication of EP1530408A3 publication Critical patent/EP1530408A3/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30—Controlling
    • H05G1/46—Combined control of different quantities, e.g. exposure time as well as voltage or current
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30—Controlling
    • H05G1/34—Anode current, heater current or heater voltage of X-ray tube

Definitions

  • the invention relates to a microfocus X-ray device mentioned in the preamble of claim 1 Art as well as a method of regulating the intensity of generated by a microfocus X-ray device X-ray radiation in the preamble of claim 24 mentioned type.
  • Microfocus X-ray devices are general known, for example by US 4,344,013, and For example, for testing printed circuit boards in the Electronics industry used. Corresponding microfocus X-ray devices are also represented by EP 0 815 582 B1 WO 96/29723 and DE 32 225 11 A1.
  • microfocus X-ray facilities of the relevant Art known to be a target and means of Have exposure of the target with a target stream.
  • the well-known microfocus X-ray devices also have means for controlling the intensity (dose rate) the generated X-rays.
  • These funds are in the known X-ray devices, for example formed by one of a filament outgoing emission current is regulated.
  • a disadvantage of the known microfocus X-ray devices is that the regulation achieved does not have sufficient reliability. This leads to to that, for example, when investigating a electronic components in the course of the investigation the image brightness changes. This limits in particular the possibilities of automatic image processing, the one constant or almost constant image brightness requires, to a considerable extent.
  • the invention is based on the object Microfocus X-ray device in the preamble of Specify claim 1 mentioned type, in which the reliability the scheme is increased.
  • the intensity of the X-radiation in that at least one parameter the target current, in particular the current of the target stream is controlled.
  • the intensity (dose rate) of the the X-ray tube produced X-rays with high Constancy and reliability controllable.
  • This is the X-ray device according to the invention, in particular in Areas where it is particularly useful a high consistency of the intensity of the generated X-radiation arrives.
  • the inventive X-ray device particularly good at the examination electronic components used in the Method of automatic image processing for use come that only with reasonable reliability are applicable when the intensity of the generated X-rays are sufficiently constant.
  • a particular advantage of the teaching according to the invention is that due to the regulation of the target current neither the thermal behavior of the X-ray tube and an associated high voltage generator one more Aging of components of the X-ray device the Intensity of the generated X-radiation in essential Influence dimensions. Also a change between different ones Operating modes of the X-ray device with different focal spot sizes leads at a Control of the target current is not essential Change in the intensity of the generated X-radiation.
  • any parameters of Target current can be controlled. Since it is the target stream usually a direct current act It is particularly useful to determine the amperage of the To regulate target current. Is that the case? at the target current, for example, a pulsed one Electricity, such as the pulse duration or the Duty cycle of the target current to be regulated. These the target current is an alternating current, for example, the amplitude and / or the Frequency of the target current to be regulated.
  • the one or the regulating parameters of the target current immediately capture, for example, when controlling the current the target current characterized in that the current of the target current is measured.
  • the parameter to be controlled of the target current indirectly. Will the current of the Controlled target current, so it is possible, for example, the current strength of the target current indirectly thereby to detect that backscattered from the target stream Electrons and thus an "image" of the current of the target current.
  • a development of the teaching of the invention provides that the target is electrically against a body the X-ray tube isolated on the body is arranged.
  • the Current of the target current with particularly high reliability measurable and as actual value for the control usable.
  • a current sensor for detection an actual value of the current intensity of the target current intended.
  • the detected by the current sensor actual value of the Target current can in this embodiment immediately used as actual value for the control of the target current become.
  • the scheme of the target stream it is also possible to be based on a different size, for example, one dependent on the target stream electrical size. In particular, it is possible to convert the measured target current into a voltage and to use this voltage as the actual value for the control.
  • the means for regulation the target stream on a control device is provided.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that the control device detected one Actual value of the target current with a predetermined setpoint of the target current and a manipulated variable changed so that the difference between the setpoint and the actual value is minimized.
  • the scheme can also based electrical quantities are taken from the target stream are dependent.
  • the detected actual value of the target current are converted into a voltage, which then fed as an actual value of the control device that is given a predetermined voltage Setpoint one of a nominal value of the target current dependent voltage compares and the manipulated variable so changed that difference between the setpoint and the actual value is minimized.
  • the microfocus X-ray device a high voltage generator for generating a preferably substantially constant high voltage on, by for generating an emission current the X-ray tube electrons, preferably from a Cathode released electrons, towards the Target are accelerated.
  • the Manipulated variable is the emission current.
  • control device an electrical or electronic circuit comprising a Regulator forms.
  • the Controller implemented by hardware.
  • the Control device also realized by software be.
  • the control device having an electronic circuit, by a Control software is controllable, such that the scheme software controlled.
  • a special advantage this embodiment is that the control of the target current by changing the software simple way is changeable.
  • the electronic Circuit has a microcontroller or the like.
  • Such microcontrollers are considered simple and inexpensive standard components available.
  • the regulation of the target current during operation of the X-ray device is always turned on be.
  • the teaching according to the invention provides that the control of the target current on and off is.
  • the regulation of the target stream can be switched off, for example if stable control of the target current is not possible, for example because of momentary Operating parameters of the X-ray device to a Prevent malfunction of the scheme.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that when the regulation of the Targetstromes another regulator the emission current the X-ray tube regulates. In this embodiment is switched off after the regulation of the Target current of the emission current of the X-ray tube regulated. Albeit by regulating the emission current not with sufficient accuracy a regulation of Intensity of the generated X-radiation is possible this is nevertheless due to the regulation of the emission current ensured that fluctuations in intensity to keep to a certain extent.
  • Teaching provides that when switching on the scheme the target stream currently flowing target stream the Setpoint of the target current forms. This embodiment allows it when switching on the scheme present intensity of the X-radiation and thus to keep the present image brightness constant.
  • Another embodiment of the embodiment with the regulation of the emission current provides that a when switching off the control of the target current momentarily flowing emission current setpoint for the Control of the emission current through the further control device forms. In this embodiment changes when switching off the control of the target current the image brightness is not.
  • control device controls the target current so that exceeding a predetermined or predefinable maximum electrical Performance of the target is prevented.
  • a damage to the target through an electrical overload for example, by overshoot at power up could occur reliably avoided.
  • Another advantageous embodiment of the invention Teaching provides that switching on the Control of the target current after switching on the Microfocus X-ray tube is delayed in time. On this way it is ensured that the scheme of Target current is activated only when a stable Operation of the scheme is possible.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that the switching takes place when the Emission current a predetermined or predetermined Setpoint reached. In this embodiment, it is ensured that the scheme is not about one Time is activated, to which no emission current flows.
  • a development of the aforementioned provides Embodiment, that at a reduction the high voltage the control parameters are changed so that the inertia of the scheme is increased, and that when increasing the high voltage, the control parameters be changed so that the inertia of the control decreases is.
  • the inertia the scheme to the terms of high voltage adapted in the x-ray tube prevailing conditions.
  • the x-ray tube may have means by which the emission current so distractable or can be blocked, that an impact of the emission current is substantially prevented on the target.
  • a development of the aforementioned embodiment provides that upon activation of the funds, by the emission current is deflectable or blockable, switching off the control of the target current takes place. In this way, malfunctions of the control are reliable avoided.
  • Teaching means which determine whether there is a short circuit at the target, wherein the Means upon detection of a short circuit the regulation Turn off the target current. That way is prevents the target in case of a short circuit, in which the target stream is wholly or partially derived is destroyed by too high a target current becomes.
  • An inventive method for controlling the Intensity of the generated by an X-ray device X-radiation is specified in claim 24.
  • the X-ray device has a X-ray tube 4, which has a target 6, the on a base body 8 of the X-ray tube 4 is arranged. From the drawing is not apparent and therefore is explained here that the target 6 electrically isolated against the main body 8 of the x-ray tube 4 at the Basic body 8 is arranged.
  • the insulation can, for example made of ceramic or the like.
  • the X-ray device 2 further comprises means for Exposure of the target 6 to a target current, which have a filament 10 connected as a cathode.
  • the means for applying the target 6 with a target current further comprises a high voltage generator 12 for generating a variable, after a change, however, essentially constant High voltage, by means of which in one inside the Main body 4 prevailing vacuum from the filament 10th released electrons towards the target 6 be accelerated, with the impact of the electrons on the target 6 in the expert generally known Way X-ray radiation arises.
  • Electrons form an emission stream 14, the is focused by means of a coil 16.
  • a Aperture 18 is arranged, which serves the diameter of the electron beam to reduce such the x-ray tube has a focal spot with a diameter of ⁇ 200 ⁇ m, in particular ⁇ 10 ⁇ m, so that the X-ray tube 4 is formed as a microfocus X-ray tube is.
  • the X-ray device 2 further comprises means for Regulation of the intensity (dose rate) of the generated X-radiation, in the drawing by the reference numeral 20 is symbolized on, wherein the means according to the invention Means for regulating the amperage of the Have target current.
  • the means according to the invention Means for regulating the amperage of the Have target current.
  • Embodiment is the parameter to be controlled of the target current, the current of the target current.
  • the means for controlling the target stream have in this embodiment, a control device 22, which in this embodiment a Microcontroller has, by a control software is controllable, such that the regulation of the current the target stream is software controlled.
  • the X-ray device 2 also has a sensor 24, which senses the target current at the target 6 and a measuring amplifier 26 supplies.
  • the measuring amplifier 26 amplifies the measured target current, the output signal the measuring amplifier is an actual value of the current of the target current forms an input 28th the control device 22 is supplied.
  • the control device 22 also has another input 30 fed to a target value of the current of the target current, wherein the controller 22 detected the Actual value of the target current with the target value of the target current compares and changes a manipulated variable in such a way that the difference between the setpoint and the Actual value is minimized.
  • the emission current forms the manipulated variable the regulation.
  • the emission current generated by that from the filament 10th Electrons leak through the from the high voltage generator 12 generated high voltage in the direction of the target will be accelerated.
  • a grid or the like is arranged on the one also from the high voltage generator 12th generated voltage can be applied.
  • the emission current is variable, wherein the emission current increases as the reduced voltage applied to the grid and at Reduction of the voltage applied to the grid increases.
  • To influence the manipulated variable is an output 32 of the control device 22 with a control input 34th connected to the high voltage generator 12, wherein the at the grid applied voltage and thus the emission current is variable via the control input 34.
  • the Filament 10 When operating the X-ray device 2 is the Filament 10 is heated so that in a vacuum electrons exit the filament 10. About the high voltage generator is between the anode 6 connected as the target and the filament 10 connected as a cathode High voltage generated due to which from the filament 10 escaping electrons towards the Target 6 are accelerated and an emission current the X-ray tube 4 form.
  • the emission current 14 is focused on the coil 16 and the diaphragm 18, wherein a portion of the emission stream reaching the target 14 forms the target stream.
  • the controller 22 compares the detected actual value with a at the entrance 30 applied setpoint and minimizes the difference between the predetermined or predefinable setpoint and the detected actual value.
  • the target current is regulated and held constant with high accuracy, so that the Intensity (dose rate) to the generated X-radiation is kept constant.
  • the brightness remains one by means of X-ray radiation for examination an electronic component generated image constant, so that an evaluation of the image by means of automatic image processing allows or is considerably simplified.
  • the controller 22 is in this embodiment designed so that the regulation of Target current is switched on and off.
  • the emission current is measured and the regulation then turned on when the emission current is a predetermined or has reached a predefinable setpoint.
  • the control input 30 of the control device 22 is supplied becomes.
  • control device when turned off Control of the target current by another, in the drawing, not shown control device regulated the emission current of the X-ray tube, wherein when switching off the control of the target current currently flowing emission current a setpoint for the regulation of the emission current through the further Dictates control device. This is a change the image brightness when turning off the Control of the target current avoided.
  • control parameters of the control device 22 depending on the voltage from the high voltage generator 12 generated high voltage changeable, in such a way that at a reduction of the high voltage, the control parameters be changed so that the inertia of the Regulation is increased, and that with an increase in the High voltage the control parameters are changed so that the inertia of the control is reduced.
  • the X-ray tube 4 means has, by which the emission current so distractable or is blockable, that an impact of the emission current is substantially prevented on the target.
  • this also known as shutter Means is the control of the target current in the embodiment switched off.
  • the control device in the embodiment 22 regulates the control device in the embodiment 22 the target current so that an exceeding a predetermined or predetermined maximum electrical Performance of the target is prevented. Furthermore, will determined by means not shown in the drawing, whether there is a short circuit at the target 6, these means upon detection of a short circuit turn off the control of a target current. To this Way is in the embodiment damage or destroying the target by overloading reliably avoided.
  • the X-ray device 2 allows in a simple and reliable way a scheme the intensity (dose rate) of the generated X-radiation.

Abstract

The device has an x-ray tube (4) with a target (6), an arrangement for subjecting the target to x-radiation and an arrangement for regulating the intensity (dosage rate) of the x-radiation produced. The arrangement for regulating the intensity (dosage rate) of the x-radiation produced has an arrangement for regulating at least one parameter of the target current, especially the current level of the target current. An independent claim is also included for a method of regulating the intensity of the x-radiation produced by an x-ray tube in a microfocus device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art sowie ein Verfahren zur Regelung der Intensität der durch eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung der im Oberbegriff des Anspruchs 24 genannten Art.The invention relates to a microfocus X-ray device mentioned in the preamble of claim 1 Art as well as a method of regulating the intensity of generated by a microfocus X-ray device X-ray radiation in the preamble of claim 24 mentioned type.

Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen sind allgemein bekannt, beispielsweise durch US 4,344,013, und werden beispielsweise zum Prüfen von Leiterplatten in der Elektronikindustrie eingesetzt. Entsprechende Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen sind ferner auch durch EP 0 815 582 B1 WO 96/29723 und DE 32 225 11 A1 bekannt.Microfocus X-ray devices are general known, for example by US 4,344,013, and For example, for testing printed circuit boards in the Electronics industry used. Corresponding microfocus X-ray devices are also represented by EP 0 815 582 B1 WO 96/29723 and DE 32 225 11 A1.

Es sind Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen der betreffenden Art bekannt, die ein Target und Mittel zur Beaufschlagung des Targets mit einem Targetstrom aufweisen. Die bekannten Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen weisen ferner Mittel zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung auf. Diese Mittel sind bei den bekannten Röntgeneinrichtungen beispielsweise dadurch gebildet, daß ein von einem Filament ausgehender Emissionsstrom geregelt wird.There are microfocus X-ray facilities of the relevant Art known to be a target and means of Have exposure of the target with a target stream. The well-known microfocus X-ray devices also have means for controlling the intensity (dose rate) the generated X-rays. These funds are in the known X-ray devices, for example formed by one of a filament outgoing emission current is regulated.

Ein Nachteil der bekannten Mikrofocus-Röntgeneinrichtungen besteht darin, daß die erzielte Regelung keine ausreichende Zuverlässigkeit aufweist. Dies führt dazu, daß sich beispielsweise bei Untersuchung eines elektronischen Bauteiles im Verlaufe der Untersuchung die Bildhelligheit ändert. Dies schränkt insbesondere die Möglichkeiten einer automatischen Bildverarbeitung, die eine konstante oder nahezu konstante Bildhelligkeit voraussetzt, in erheblichem Maße ein.A disadvantage of the known microfocus X-ray devices is that the regulation achieved does not have sufficient reliability. this leads to to that, for example, when investigating a electronic components in the course of the investigation the image brightness changes. This limits in particular the possibilities of automatic image processing, the one constant or almost constant image brightness requires, to a considerable extent.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrofocus-Röntgeneinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art anzugeben, bei der die Zuverlässigkeit der Regelung erhöht ist.The invention is based on the object Microfocus X-ray device in the preamble of Specify claim 1 mentioned type, in which the reliability the scheme is increased.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Lehre gelöst. Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der von einer Mikrofocus-Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung ist im Anspruch 24 angegeben.This object is achieved by the specified in claim 1 Teaching solved. An inventive method for Control of the intensity (dose rate) of a microfocus X-ray device generated X-rays is specified in claim 24.

Der Grundgedanke der erfindungsgemäßen Lehre besteht darin, die Intensität der Röntgenstrahlung (Dosisrate) dadurch zu regeln, daß wenigstens ein Parameter des Targetstromes, insbesondere die Stromstärke des Targetstromes, geregelt wird. Durch Regelung des Targetstromes ist die Intensität (Dosisrate) der durch die Röntgenröhre erzeugten Röntgenstrahlung mit hoher Konstanz und Zuverlässigkeit regelbar. Damit ist die erfindungsgemäße Röntgeneinrichtung insbesondere in Bereichen gut einsetzbar, in denen es besonders auf eine hohe Konstanz der Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung ankommt. Insbesondere ist die erfindungsgemäße Röntgeneinrichtung besonders gut bei der Untersuchung elektronischer Bauteile einsetzbar, bei der Verfahren der automatischen Bildverarbeitung zur Anwendung kommen, die nur dann mit hinreichender Zuverlässigkeit anwendbar sind, wenn die Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung hinreichend konstant sind.The basic idea of the teaching according to the invention exists therein, the intensity of the X-radiation (dose rate) in that at least one parameter the target current, in particular the current of the target stream is controlled. By regulation of the Target current is the intensity (dose rate) of the the X-ray tube produced X-rays with high Constancy and reliability controllable. This is the X-ray device according to the invention, in particular in Areas where it is particularly useful a high consistency of the intensity of the generated X-radiation arrives. In particular, the inventive X-ray device particularly good at the examination electronic components used in the Method of automatic image processing for use come that only with reasonable reliability are applicable when the intensity of the generated X-rays are sufficiently constant.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Lehre besteht darin, daß aufgrund der Regelung des Targetstromes weder das thermische Verhalten der Röntgenröhre und eines zugehörigen Hochspannungsgenerators noch eine Alterung der Komponenten der Röntgeneinrichtung die Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung in wesentlichem Maße beeinflussen. Auch ein Wechsel zwischen unterschiedlichen Betriebsarten der Röntgeneinrichtung mit unterschiedlichen Brennfleckgrößen führt bei einer Regelung des Targetstromes nicht zu einer wesentlichen Änderung der Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung.A particular advantage of the teaching according to the invention is that due to the regulation of the target current neither the thermal behavior of the X-ray tube and an associated high voltage generator one more Aging of components of the X-ray device the Intensity of the generated X-radiation in essential Influence dimensions. Also a change between different ones Operating modes of the X-ray device with different focal spot sizes leads at a Control of the target current is not essential Change in the intensity of the generated X-radiation.

Erfindungsgemäß können beliebige Parameter des Targetstromes geregelt werden. Da es sich bei dem Targetstrom in der Regel um einen Gleichstrom handeln wird, ist es besonders zweckmäßig, die Stromstärke des Targetstromes zu regeln. Handelt es sich demgegenüber bei dem Targetstrom beispielsweise um einen gepulsten Strom, so können beispielsweise die Pulsdauer oder das Tastverhältnis des Targetstromes geregelt werden. Handelt es sich bei dem Targetstrom um einen Wechselstrom, so können beispielsweise die Amplitude und/oder die Frequenz des Targetstromes geregelt werden.According to the invention, any parameters of Target current can be controlled. Since it is the target stream usually a direct current act It is particularly useful to determine the amperage of the To regulate target current. Is that the case? at the target current, for example, a pulsed one Electricity, such as the pulse duration or the Duty cycle of the target current to be regulated. These the target current is an alternating current, for example, the amplitude and / or the Frequency of the target current to be regulated.

Erfindungsgemäß ist es möglich, den oder die zu regelnden Parameter des Targetstromes unmittelbar zu erfassen, beispielsweise bei Regelung der Stromstärke des Targetstromes dadurch, daß die Stromstärke des Targetstromes gemessen wird. Erfindungsgemäß ist es jedoch auch möglich, den zu regelnden Parameter des Targetstromes indirekt zu erfassen. Wird die Stromstärke des Targetstromes geregelt, so ist es beispielsweise möglich, die Stromstärke des Targetstromes indirekt dadurch zu erfassen, daß von dem Targetstrom rückgestreute Elektronen und damit ein "Abbild" der Stromstärke des Targetstromes zu erfassen.According to the invention, it is possible to the one or the regulating parameters of the target current immediately capture, for example, when controlling the current the target current characterized in that the current of the target current is measured. However, it is according to the invention also possible, the parameter to be controlled of the target current indirectly. Will the current of the Controlled target current, so it is possible, for example, the current strength of the target current indirectly thereby to detect that backscattered from the target stream Electrons and thus an "image" of the current of the target current.

Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß das Target elektrisch gegen einen Grundkörper der Röntgenröhre isoliert an dem Grundkörper angeordnet ist. Bei dieser Ausführungsform ist die Stromstärke des Targetstromes mit besonders hoher Zuverlässigkeit meßbar und als Istwert für die Regelung verwendbar.A development of the teaching of the invention provides that the target is electrically against a body the X-ray tube isolated on the body is arranged. In this embodiment, the Current of the target current with particularly high reliability measurable and as actual value for the control usable.

Zweckmäßigerweise ist ein Stromsensor zur Erfassung eines Istwertes der Stromstärke des Targetstromes vorgesehen. Der von dem Stromsensor erfaßte Istwert des Targetstromes kann bei dieser Ausführungsform unmittelbar als Istwert für die Regelung des Targetstromes herangezogen werden. Es ist jedoch auch möglich, die Regelung des Targetstromes auf einer anderen Größe zu basieren, beispielsweise einer von dem Targetstrom abhängigen elektrischen Größe. Insbesondere ist es möglich, den gemessenen Targetstrom in eine Spannung zu wandeln und diese Spannung als Istwert für die Regelung heranzuziehen.Conveniently, a current sensor for detection an actual value of the current intensity of the target current intended. The detected by the current sensor actual value of the Target current can in this embodiment immediately used as actual value for the control of the target current become. However, it is also possible the scheme of the target stream to be based on a different size, for example, one dependent on the target stream electrical size. In particular, it is possible to convert the measured target current into a voltage and to use this voltage as the actual value for the control.

Zweckmäßigerweise weisen die Mittel zur Regelung des Targetstromes eine Regeleinrichtung auf.Conveniently, the means for regulation the target stream on a control device.

Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß die Regeleinrichtung einen erfaßten Istwert des Targetstromes mit einem vorgegebenen Sollwert des Targetstromes vergleicht und eine Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird. Bei der vorgenannten Ausführungsform kann die Regelung auch auf Basis von elektrischen Größen erfolgen, die von dem Targetstrom abhängig sind. Insbesondere kann der erfaßte Istwert des Targetstromes in eine Spannung gewandelt werden, die dann als Istwert der Regeleinrichtung zugeführt wird, die diese Spannung mit einem vorgegebenen Sollwert einer von einem Sollwert des Targetstromes abhängigen Spannung vergleicht und die Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird. A development of the aforementioned embodiment provides that the control device detected one Actual value of the target current with a predetermined setpoint of the target current and a manipulated variable changed so that the difference between the setpoint and the actual value is minimized. In the aforementioned Embodiment, the scheme can also based electrical quantities are taken from the target stream are dependent. In particular, the detected actual value of the target current are converted into a voltage, which then fed as an actual value of the control device that is given a predetermined voltage Setpoint one of a nominal value of the target current dependent voltage compares and the manipulated variable so changed that difference between the setpoint and the actual value is minimized.

Zweckmäßigerweise weist die Mikrofocus-Röntgeneinrichtung einen Hochspannungsgenerator zum Erzeugen einer vorzugsweise im wesentlichen konstanten Hochspannung auf, durch die zum Erzeugen eines Emissionsstromes der Röntgenröhre Elektronen, vorzugsweise aus einer Kathode freigesetzte Elektronen, in Richtung auf das Target beschleunigbar sind.Conveniently, the microfocus X-ray device a high voltage generator for generating a preferably substantially constant high voltage on, by for generating an emission current the X-ray tube electrons, preferably from a Cathode released electrons, towards the Target are accelerated.

Um eine besonders einfache und zuverlässige Regelung des Targetstromes zu erzielen, sieht eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform vor, daß die Stellgröße der Emmissionsstrom ist.To a particularly simple and reliable regulation to achieve the target current, sees a development the aforementioned embodiment, that the Manipulated variable is the emission current.

Eine andere Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Regeleinrichtung eine elektrische oder elektronische Schaltung aufweist, die einen Regler bildet. Bei dieser Ausführungsform ist der Regler durch Hardware realisiert.Another embodiment of the invention Teaching provides that the control device an electrical or electronic circuit comprising a Regulator forms. In this embodiment, the Controller implemented by hardware.

Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann die Regeleinrichtung jedoch auch durch Software realisiert sein. Hierzu sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre vor, daß die Regeleinrichtung eine elektronische Schaltung aufweist, die durch eine Regelungssoftware steuerbar ist, derart, daß die Regelung softwaregesteuert erfolgt. Ein besonderer Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, daß die Regelung des Targetstromes durch Veränderung der Software auf einfache Weise veränderbar ist.According to the respective requirements, the Control device, however, also realized by software be. For this purpose, an advantageous development of inventive teaching that the control device having an electronic circuit, by a Control software is controllable, such that the scheme software controlled. A special advantage this embodiment is that the control of the target current by changing the software simple way is changeable.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsformen sieht vor, daß die elektronische Schaltung einen Mikrocontroller oder dergleichen aufweist. Derartige Mikrocontroller stehen als einfache und kostengünstige Standardbauteile zur Verfügung.An advantageous development of the aforementioned Embodiments provides that the electronic Circuit has a microcontroller or the like. Such microcontrollers are considered simple and inexpensive standard components available.

Grundsätzlich kann die Regelung des Targetstromes während des Betriebs der Röntgeneinrichtung stets eingeschaltet sein. Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht jedoch vor, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist. Bei dieser Ausführungsform kann das Ein- bzw. Ausschalten der Regelung des Targetstromes durch einen Benutzer und/oder automatisch erfolgen. Die Regelung des Targetstromes kann biespielsweise dann ausgeschaltet werden, wenn eine stabile Regelung des Targetstromes nicht möglich ist, beispielsweise wegen momentaner Betriebsparameter der Röntgeneinrichtung, um einer Fehlfunktion der Regelung vorzubeugen.In principle, the regulation of the target current during operation of the X-ray device is always turned on be. A particularly advantageous development However, the teaching according to the invention provides that the control of the target current on and off is. In this embodiment, the input or Turn off the control of the target current by a User and / or done automatically. The regulation of the target stream can be switched off, for example if stable control of the target current is not possible, for example because of momentary Operating parameters of the X-ray device to a Prevent malfunction of the scheme.

Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes eine weitere Regeleinrichtung den Emissionsstrom der Röntgenröhre regelt. Bei dieser Ausführungsform wird nach einem Ausschalten der Regelung des Targetstromes der Emissionsstrom der Röntgenröhre geregelt. Wenn auch durch Regelung des Emissionsstromes nicht mit hinreichender Genauigkeit eine Regelung der Intensität der erzeugten Röntgenstrahlung möglich ist, so ist gleichwohl durch die Regelung des Emissionsstromes sichergestellt, daß Schwankungen der Intensität sich in einem gewissen Rahmen halten.A development of the aforementioned embodiment provides that when the regulation of the Targetstromes another regulator the emission current the X-ray tube regulates. In this embodiment is switched off after the regulation of the Target current of the emission current of the X-ray tube regulated. Albeit by regulating the emission current not with sufficient accuracy a regulation of Intensity of the generated X-radiation is possible this is nevertheless due to the regulation of the emission current ensured that fluctuations in intensity to keep to a certain extent.

Eine andere Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom den Sollwert des Targetstromes bildet. Diese Ausführungsform ermöglicht es, die beim Einschalten der Regelung vorliegende Intensität der Röntgenstrahlung und damit die vorliegende Bildhelligkeit konstant zu halten.Another embodiment of the invention Teaching provides that when switching on the scheme the target stream currently flowing target stream the Setpoint of the target current forms. This embodiment allows it when switching on the scheme present intensity of the X-radiation and thus to keep the present image brightness constant.

Eine andere Weiterbildung der Ausführungsform mit der Regelung des Emissionsstromes sieht vor, daß ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom einen Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes durch die weitere Regeleinrichtung bildet. Bei dieser Ausführungsform ändert sich beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes die Bildhelligkeit nicht.Another embodiment of the embodiment with the regulation of the emission current provides that a when switching off the control of the target current momentarily flowing emission current setpoint for the Control of the emission current through the further control device forms. In this embodiment changes when switching off the control of the target current the image brightness is not.

Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß die Regeleinrichtung den Targetstrom so regelt, daß ein Überschreiten einer vorgegebenen oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets verhindert ist. Bei dieser Ausführugnsform ist eine Beschädigung des Targets durch einen elektrische Überlastung, die beispielsweise durch ein Überschwingen beim Einschalten auftreten könnte, zuverlässig vermieden.Another advantageous embodiment of the invention Teaching provides that the control device controls the target current so that exceeding a predetermined or predefinable maximum electrical Performance of the target is prevented. In this embodiment is a damage to the target through an electrical overload, for example, by overshoot at power up could occur reliably avoided.

Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß ein Einschalten der Regelung des Targetstromes nach einem Einschalten der Mikrofocus-Röntgenröhre zeitlich verzögert erfolgt. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die Regelung des Targetstromes erst dann aktiviert wird, wenn ein stabiler Betrieb der Regelung möglich ist.Another advantageous embodiment of the invention Teaching provides that switching on the Control of the target current after switching on the Microfocus X-ray tube is delayed in time. On this way it is ensured that the scheme of Target current is activated only when a stable Operation of the scheme is possible.

Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß das Einschalten erfolgt, wenn der Emissionsstrom einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert erreicht. Bei dieser Ausführungsform ist sichergestellt, daß die Regelung nicht etwa zu einem Zeitpunkt aktiviert wird, zu dem noch kein Emissionsstrom fließt.A development of the aforementioned embodiment provides that the switching takes place when the Emission current a predetermined or predetermined Setpoint reached. In this embodiment, it is ensured that the scheme is not about one Time is activated, to which no emission current flows.

Da die Eigenschaften der durch den Hochspannungsgenerator, das zugehörige Hochspannungskabel und die Röntgenröhre gebildeten Regelstrecke der Regelung des Targetstromes u. U. in erheblichem Maße von der Hochspannung abhängig sind, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre vor, daß Regelparameter der Regeleinrichtung in Abhängigkeit von der Hochspannung veränderbar sind. Because the properties of the high-voltage generator, the associated high voltage cable and the X-ray tube formed controlled system of the scheme of Target current u. U. to a considerable extent from the high voltage are dependent, sees an advantageous development The teaching of the invention that control parameters the control device depending on the High voltage are changeable.

Insbesondere sieht eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform vor, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht ist, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert ist. Bei dieser Ausführungsform wird die Trägheit der Regelung an die hinsichtlich der Hochspannung in der Röntgenröhre herrschenden Verhältnisse angepaßt.In particular, a development of the aforementioned provides Embodiment, that at a reduction the high voltage the control parameters are changed so that the inertia of the scheme is increased, and that when increasing the high voltage, the control parameters be changed so that the inertia of the control decreases is. In this embodiment, the inertia the scheme to the terms of high voltage adapted in the x-ray tube prevailing conditions.

Falls entsprechend den jeweiligen Anforderungen erforderlich, kann die Röntgenröhre Mittel aufweisen, durch die der Emissionsstrom derart ablenkbar oder blockierbar ist, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes auf das Target im wesentlichen verhindert ist.If appropriate according to the respective requirements required, the x-ray tube may have means by which the emission current so distractable or can be blocked, that an impact of the emission current is substantially prevented on the target.

Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß bei Aktivierung der Mittel, durch die der Emissionsstrom ablenkbar oder blockierbar ist, ein Ausschalten der Regelung des Targetstromes erfolgt. Auf diese Weise sind Fehlfunktionen der Regelung zuverlässig vermieden.A development of the aforementioned embodiment provides that upon activation of the funds, by the emission current is deflectable or blockable, switching off the control of the target current takes place. In this way, malfunctions of the control are reliable avoided.

Gemäß einer anderen Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lehre sind Mittel vorgesehen, die feststellen, ob an dem Target ein Kurzschluß vorliegt, wobei die Mittel bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung des Targetstromes ausschalten. Auf diese Weise ist verhindert, daß das Target im Falle eines Kurzschlusses, bei dem der Targetstrom ganz oder teilweise abgeleitet wird, durch einen zu hohen Targetstrom zerstört wird.According to another embodiment of the invention Teaching means are provided which determine whether there is a short circuit at the target, wherein the Means upon detection of a short circuit the regulation Turn off the target current. That way is prevents the target in case of a short circuit, in which the target stream is wholly or partially derived is destroyed by too high a target current becomes.

Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Regelung der Intensität der von einer Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung ist im Anspruch 24 angegeben.An inventive method for controlling the Intensity of the generated by an X-ray device X-radiation is specified in claim 24.

Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen der Lehre des Anspruchs 24 sind in den Unteransprüchen 25 bis 39 angegeben.Advantageous and expedient developments of The teaching of claim 24 are in the subclaims 25 to 39 indicated.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert, deren einzige Figur ein stark schematisiertes Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Röntgeneinrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zeigt. Dabei bilden alle beschriebenen oder in der Zeichnung dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen oder deren Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Formulierung bzw. Darstellung in der Beschreibung bzw. in der Zeichnung.The invention will be described below with reference to the accompanying drawings, whose single figure is a highly schematic block diagram an X-ray device according to the invention for carrying out of the inventive method shows. there form all described or illustrated in the drawing Features alone or in any combination the subject matter of the invention, regardless of their abstract in the claims or their Backward relationship and regardless of its formulation or representation in the description or in the Drawing.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Mikrofocus-Röntgeneinrichtung 2 dargestellt, die nachfolgend kurz als Röntgeneinrichtung bezeichnet wird. Die Röntgeneinrichtung weist eine Röntgenröhre 4 auf, die ein Target 6 aufweist, das an einem Grundkörper 8 der Röntgenröhre 4 angeordnet ist. Aus der Zeichnung ist nicht ersichtlich und deshalb wird hier erläutert, daß das Target 6 elektrisch isoliert gegen den Grundkörper 8 der Röntgenröhre 4 an dem Grundkörper 8 angeordnet ist. Die Isolierung kann beispielsweise aus Keramik oder dergleichen bestehen.In the drawing, an embodiment of a microfocus X-ray device 2 according to the invention, the following briefly as X-ray device referred to as. The X-ray device has a X-ray tube 4, which has a target 6, the on a base body 8 of the X-ray tube 4 is arranged. From the drawing is not apparent and therefore is explained here that the target 6 electrically isolated against the main body 8 of the x-ray tube 4 at the Basic body 8 is arranged. The insulation can, for example made of ceramic or the like.

Die Röntgeneinrichtung 2 weist ferner Mittel zur Beaufschlagung des Targets 6 mit einem Targetstrom auf, die einen als Kathode geschalteten Heizfaden 10 aufweisen. Die Mittel zur Beaufschlagung des Targets 6 mit einem Targetstrom weisen ferner einen Hochspannungsgenerator 12 zum Erzeugen einer veränderbaren, nach einer Veränderung jedoch im wesentlichen konstanten Hochspannung auf, mittels derer in einem im Inneren des Grundkörpers 4 herrschenden Vakuum aus dem Heizfaden 10 freigesetzte Elektronen in Richtung auf das Target 6 beschleunigt werden, wobei beim Auftreffen der Elektronen auf das Target 6 in dem Fachmann allgemein bekannter Weise Röntgenstrahlung entsteht.The X-ray device 2 further comprises means for Exposure of the target 6 to a target current, which have a filament 10 connected as a cathode. The means for applying the target 6 with a target current further comprises a high voltage generator 12 for generating a variable, after a change, however, essentially constant High voltage, by means of which in one inside the Main body 4 prevailing vacuum from the filament 10th released electrons towards the target 6 be accelerated, with the impact of the electrons on the target 6 in the expert generally known Way X-ray radiation arises.

Die aus dem Heizfaden 10 austretenden und durch die Hochspannung in Richtung auf das Target 6 beschleunigten Elektronen bilden einen Emissionsstrom 14, der mittels einer Spule 16 fokussiert wird. In Bewegungsrichtung der Elektronen hinter der Spule 16 ist eine Lochblende 18 angeordnet, die dazu dient, den Durchmesser des Elektronenstrahles derart zu verringern, daß die Röntgenröhre einen Brennfleck mit einem Durchmesser von ≤ 200 µm, insbesondere ≤ 10 µm, aufweist, so daß die Röntgenröhre 4 als Mikrofocus-Röntgenröhre ausgebildet ist. Derjenige Teil des Emissionsstromes, der das Target 6 erreicht, bildet einen Targetstrom.The emerging from the filament 10 and through accelerated the high voltage in the direction of the target 6 Electrons form an emission stream 14, the is focused by means of a coil 16. In the direction of movement the electron behind the coil 16 is a Aperture 18 is arranged, which serves the diameter of the electron beam to reduce such the x-ray tube has a focal spot with a diameter of ≦ 200 μm, in particular ≦ 10 μm, so that the X-ray tube 4 is formed as a microfocus X-ray tube is. The part of the emission current, the reaches the target 6, forms a target stream.

Die Röntgeneinrichtung 2 weist ferner Mittel zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung, die in der Zeichnung durch das Bezugszeichen 20 symbolisiert ist, auf, wobei die Mittel erfindungsgemäß Mittel zur Regelung der Stromstärke des Targetstromes aufweisen. Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel ist der zu regelnde Parameter des Targetstromes die Stromstärke des Targetstromes. Die Mittel zur Regelung des Targetstromes weisen bei diesem Ausführungsbeispiel eine Regeleinrichtung 22 auf, die bei diesem Ausführungsbeispiel einen Mikrocontroller aufweist, der durch eine Regelungssoftware steuerbar ist, derart, daß die Regelung der Stromstärke des Targetstromes softwaregesteuert erfolgt.The X-ray device 2 further comprises means for Regulation of the intensity (dose rate) of the generated X-radiation, in the drawing by the reference numeral 20 is symbolized on, wherein the means according to the invention Means for regulating the amperage of the Have target current. In the illustrated in the drawing Embodiment is the parameter to be controlled of the target current, the current of the target current. The means for controlling the target stream have in this embodiment, a control device 22, which in this embodiment a Microcontroller has, by a control software is controllable, such that the regulation of the current the target stream is software controlled.

Die Röntgeneinrichtung 2 weist ferner einen Sensor 24 auf, der den Targetstrom an dem Target 6 abfühlt und einem Meßverstärker 26 zuführt. Der Meßverstärker 26 verstärkt den gemessenen Targetstrom, wobei das Ausgangssignal des Meßverstärkers einen Istwert der Stromstärke des Targetstromes bildet, der einem Eingang 28 der Regeleinrichtung 22 zugeführt wird. Der Regeleinrichtung 22 wird ferner über einen weiteren Eingang 30 ein Sollwert der Stromstärke des Targetstromes zugeführt, wobei die Regeleinrichtung 22 den erfaßten Istwert des Targetstromes mit dem Sollwert des Targetstromes vergleicht und eine Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird.The X-ray device 2 also has a sensor 24, which senses the target current at the target 6 and a measuring amplifier 26 supplies. The measuring amplifier 26 amplifies the measured target current, the output signal the measuring amplifier is an actual value of the current of the target current forms an input 28th the control device 22 is supplied. The control device 22 also has another input 30 fed to a target value of the current of the target current, wherein the controller 22 detected the Actual value of the target current with the target value of the target current compares and changes a manipulated variable in such a way that the difference between the setpoint and the Actual value is minimized.

Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel bildet der Emmissionstrom die Stellgröße der Regelung. Wie allgemein bekannt, wird der Emmissionsstrom dadurch erzeugt, daß aus dem Heizfaden 10 Elektronen austreten, die durch die von dem Hochspannungsgenerator 12 erzeugte Hochspannung in Richtung auf das Target beschleunigt werden. In der Zeichnung ist nicht dargestellt und deshalb wird hier erläutert, daß in Bewegungsrichtung der Elektronen hinter dem Heizfaden 10 ein Gitter oder dergleichen angeordnet ist, an das eine ebenfalls von dem Hochspannungsgenerator 12 erzeugte Spannung anlegbar ist. Durch Veränderung der Spannung an dem Gitter ist der Emmissionsstrom veränderbar, wobei sich der Emmissionsstrom bei Erhöhung der an das Gitter angelegten Spannung verringert und bei Verringerung der an das Gitter angelegten Spannung erhöht.In the embodiment shown in the drawing the emission current forms the manipulated variable the regulation. As is well known, the emission current generated by that from the filament 10th Electrons leak through the from the high voltage generator 12 generated high voltage in the direction of the target will be accelerated. In the drawing is not shown and therefore it is explained here that in the direction of movement of the electrons behind the filament 10 a grid or the like is arranged on the one also from the high voltage generator 12th generated voltage can be applied. By changing the Tension on the grid, the emission current is variable, wherein the emission current increases as the reduced voltage applied to the grid and at Reduction of the voltage applied to the grid increases.

Zur Beeinflussung der Stellgröße ist ein Ausgang 32 der Regeleinrichtung 22 mit einem Steuereingang 34 des Hochspannungsgenerators 12 verbunden, wobei die an das Gitter angelegte Spannung und damit der Emmissionsstrom über den Steuereingang 34 veränderbar ist.To influence the manipulated variable is an output 32 of the control device 22 with a control input 34th connected to the high voltage generator 12, wherein the at the grid applied voltage and thus the emission current is variable via the control input 34.

Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Röntgeneinrichtung 2 ist wie folgt:The operation of the X-ray device according to the invention 2 is as follows:

Bei Betrieb der Röntgeneinrichtung 2 wird der Heizfaden 10 so beheizt, daß im Vakuum Elektronen aus dem Heizfaden 10 austreten. Über den Hochspannungsgenerator wird zwischen dem als Anode geschalteten Target 6 und dem als Kathode geschalteten Heizfaden 10 eine Hochspannung erzeugt, aufgrund derer die aus dem Heizfaden 10 austretenden Elektronen in Richtung auf das Target 6 beschleunigt werden und einen Emissionsstrom der Röntgenröhre 4 bilden. Der Emissionsstrom 14 wird über die Spule 16 und die Blende 18 fokussiert, wobei ein das Target erreichender Teil des Emissionsstromes 14 den Targetstrom bildet. Beim Auftreffen auf das Target 6 erzeugen die Elektronen in dem Fachmann bekannter Weise die Röntgenstrahlung 20, die bei dem Ausführungsbeispiel zur Untersuchung von elektronischen Bauteilen verwendet wird.When operating the X-ray device 2 is the Filament 10 is heated so that in a vacuum electrons exit the filament 10. About the high voltage generator is between the anode 6 connected as the target and the filament 10 connected as a cathode High voltage generated due to which from the filament 10 escaping electrons towards the Target 6 are accelerated and an emission current the X-ray tube 4 form. The emission current 14 is focused on the coil 16 and the diaphragm 18, wherein a portion of the emission stream reaching the target 14 forms the target stream. When hitting the target 6 generate the electrons known in the art Way the X-ray 20, in the embodiment for the investigation of electronic components is used.

Bei Betrieb der Röntgeneinrichtung 2 fühlt der Sensor 24 den Targetstrom ab, der nach einer Verstärkung durch den Meßverstärker 26 als erfaßter Istwert des Targetstromes an den Eingang 28 der Regeleinrichtung 22 angelegt wird. Die Regeleinrichtung 22 vergleicht den erfaßten Istwert mit einem an dem Eingang 30 anliegenden Sollwert und minimiert die Differenz zwischen dem vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert und dem erfaßten Istwert.When operating the X-ray device 2 feels the Sensor 24 from the target current, after a gain through the measuring amplifier 26 as a detected actual value the target stream to the input 28 of the control device 22 is created. The controller 22 compares the detected actual value with a at the entrance 30 applied setpoint and minimizes the difference between the predetermined or predefinable setpoint and the detected actual value.

Wird über die Regeleinrichtung 22 festgestellt, daß sich der Istwert des Targetstromes verringert, was eine Verringerung der Helligkeit eines mittels der Röntgenstrahlung 20 erzeugten Bildes zur Folge hätte, so erhöht die Regeleinrichtung 22 wie in der oben beschriebenen Weise den Emmissionsstrom. Infolgedessen steigt die Stromstärke des Targetstromes so lange an, bis die Differenz zwischen dem erfaßten Istwert des Targetstromes und dem Sollwert null wird. Steigt demgegenüber die Stromstärke des Targetstromes an, so verringert die Regeleinrichtung 22 den Emmissionsstrom über den Steuereingang 34, so daß die Stromstärke des Targetstromes abnimmt, bis die Differenz zwischen dem erfaßten Istwert und dem Sollwert null wird.Is determined via the control device 22, that the actual value of the target current decreases, which a reduction in the brightness of one by means of X-rays would result in 20 generated image, so the controller 22 increases as in the above-described Way the emission stream. Consequently the current strength of the target current increases for so long, until the difference between the detected actual value of Target current and the setpoint is zero. Increase in contrast the current intensity of the target stream, so reduced the control device 22 the emission stream via the control input 34, so that the current of the Target current decreases until the difference between the detected actual value and the setpoint becomes zero.

Auf diese Weise wird der Targetstrom geregelt und mit hoher Genauigkeit konstant gehalten, so daß die Intensität (Dosisrate) zu der erzeugten Röntgenstrahlung konstant gehalten wird. Demzufolge bleibt die Helligkeit eines mittels der Röntgensrahlung zur Untersuchung eines elektronischen Bauteiles erzeugten Bildes konstant, so daß eine Auswertung des Bildes mittels einer automatischen Bildverarbeitung ermöglicht bzw. wesentlich vereinfacht ist.In this way, the target current is regulated and held constant with high accuracy, so that the Intensity (dose rate) to the generated X-radiation is kept constant. As a result, the brightness remains one by means of X-ray radiation for examination an electronic component generated image constant, so that an evaluation of the image by means of automatic image processing allows or is considerably simplified.

Die Regeleinrichtung 22 ist bei diesem Ausführungsbeispiel so ausgebildet, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist.The controller 22 is in this embodiment designed so that the regulation of Target current is switched on and off.

Erfindungsgemäß wird die Regelung des Targetstromes nach einem Einschalten der Röntgenröhre 4 zeitlich verzögert eingeschaltet, um eine Fehlfunktion der Regelung während eines Anlaufens der Röntgeneinrichtung 2, bei dem die Röntgenröhre 4 für den Betrieb vorbereitet wird (warm up), die Spannung an dem Heizfaden 10 eingestellt wird (filament adjust) und der Elektronenstrahl zentriert wird, zu verhindern. Bei dem Ausführungsbeispiel wird der Emissionsstrom gemessen und die Regelung dann eingeschaltet, wenn der Emissionsstrom einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert erreicht hat.According to the invention, the control of the target stream after turning on the X-ray tube 4 in time Delayed switched on to a malfunction of the scheme during start-up of the X-ray device 2, in which the X-ray tube 4 is prepared for operation is set (warm up), the tension on the filament 10 becomes (filament adjust) and the electron beam is centered to prevent. In the embodiment the emission current is measured and the regulation then turned on when the emission current is a predetermined or has reached a predefinable setpoint.

Bei dem Ausführungsbeispiel bildet ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom den Sollwert des Targetstromes, der dem Steuereingang 30 der Regeleinrichtung 22 zugeführt wird.In the embodiment forms at power up the control of the target current currently flowing Target current the target value of the target current, the the control input 30 of the control device 22 is supplied becomes.

Ferner wird bei dem Ausführungsbeispiel bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes durch eine weitere, in der Zeichnung nicht dargestellte Regeleinrichtung der Emissionsstrom der Röntgenröhre geregelt, wobei ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom einen Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes durch die weitere Regeleinrichtung vorgibt. Auf diese Weise ist eine Veränderung der Bildhelligkeit bei einem Ausschalten der Regelung des Targetstromes vermieden.Further, in the embodiment, when turned off Control of the target current by another, in the drawing, not shown control device regulated the emission current of the X-ray tube, wherein when switching off the control of the target current currently flowing emission current a setpoint for the regulation of the emission current through the further Dictates control device. This is a change the image brightness when turning off the Control of the target current avoided.

Ferner wird bei dem Ausführungsbeispiel bei einer Änderung des Sollwertes der nach der Änderung wieder im wesentlichen konstanten Hochspannung die Regelung des Targetstromes ausgeschaltet, bis ein neuer Sollwert der Hochspannung erreicht ist. Weiterhin sind bei dem Ausführungsbeispiel Regelparameter der Regeleinrichtung 22 in Abhängigkeit von der von dem Hochspannungsgenerator 12 erzeugten Hochspannung veränderbar, und zwar derart, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht ist, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert ist.Further, in the embodiment in a Change of the setpoint after the change again in essential constant high voltage the regulation of Target current off until a new setpoint of High voltage is reached. Furthermore, in the embodiment Control parameters of the control device 22 depending on the voltage from the high voltage generator 12 generated high voltage changeable, in such a way that at a reduction of the high voltage, the control parameters be changed so that the inertia of the Regulation is increased, and that with an increase in the High voltage the control parameters are changed so that the inertia of the control is reduced.

Aus der Zeichnung ist nicht ersichtlich und deshalb wird hier erläutert, daß die Röntgenröhre 4 Mittel aufweist, durch die der Emissionsstrom derart ablenkbar oder blockierbar ist, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes auf das Target im wesentlichen verhindert ist. Bei Aktivierung dieser auch als Shutter bezeichneten Mittel wird die Regelung des Targetstromes bei dem Ausführungsbeispiel ausgeschaltet.From the drawing is not apparent and therefore is explained here that the X-ray tube 4 means has, by which the emission current so distractable or is blockable, that an impact of the emission current is substantially prevented on the target. When activated, this also known as shutter Means is the control of the target current in the embodiment switched off.

Um das Target 6 vor einer Beschädigung zu schützen, regelt bei dem Ausführungsbeispiel die Regeleinrichtung 22 den Targetstrom so, daß ein Überschreiten einer vorgegebenen oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets verhindert wird. Ferner wird durch in der Zeichnung nicht dargestellte Mittel festgestellt, ob an dem Target 6 ein Kurzschluß vorliegt, wobei diese Mittel bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung eines Targetstromes ausschalten. Auf diese Weise ist bei dem Ausführungsbeispiel eine Beschädigung oder Zerstörung des Targets durch eine Überlastung zuverlässig vermieden.To protect the target 6 from damage, regulates the control device in the embodiment 22 the target current so that an exceeding a predetermined or predetermined maximum electrical Performance of the target is prevented. Furthermore, will determined by means not shown in the drawing, whether there is a short circuit at the target 6, these means upon detection of a short circuit turn off the control of a target current. To this Way is in the embodiment damage or destroying the target by overloading reliably avoided.

Die erfindungsgemäße Röntgeneinrichtung 2 ermöglicht auf einfache und zuverlässige Weise eine Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung.The X-ray device 2 according to the invention allows in a simple and reliable way a scheme the intensity (dose rate) of the generated X-radiation.

Claims (40)

Mikrofocus-Röntgeneinrichtung,
mit einer Röntgenröhre, die ein Target aufweist,
mit Mitteln zur Beaufschlagung des Targets mit einem Targetstrom und
mit Mitteln zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der erzeugten Röntgenstrahlung,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Regelung der Intensität der Röntgenstrahlung (20) Mittel zur Regelung wenigstens eines Parameters des Targetstromes, insbesondere der Stromstärke des Targetstromes, aufweisen.Microfocus X-ray device,
with an x-ray tube having a target,
with means for impinging the target with a target stream and
with means for controlling the intensity (dose rate) of the generated X-radiation,
characterized in that the means for controlling the intensity of the X-ray radiation (20) comprises means for controlling at least one parameter of the target current, in particular the current intensity of the target current. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (6) elektrisch gegen einen Grundkörper (8) der Röntgenröhre (4) isoliert an dem Grundkörper (8) angeordnet ist.Microfocus X-ray device according to claim 1, characterized in that the target (6) is electrically arranged against a base body (8) of the X-ray tube (4) on the base body (8). Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Stromsensor (24) zur Erfassung eines Istwertes der Stromstärke des Targetstromes. Microfocus X-ray device according to claim 1, characterized by a current sensor (24) for detecting an actual value of the current intensity of the target current. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Regelung des Targetstromes eine Regeleinrichtung (22) aufweisen.Microfocus X-ray device according to claim 1, characterized in that the means for controlling the target current comprise a control device (22). Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) einen erfaßten Istwert des Targetstromes mit einem vorgegebenen Sollwert des Targetstromes vergleicht und eine Stellgröße derart verändert, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird.Microfocus X-ray device according to claim 4, characterized in that the control device (22) compares a detected actual value of the target current with a predetermined target value of the target current and a manipulated variable changed such that the difference between the desired value and the actual value is minimized. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Hochspannungsgenerator (12) zum Erzeugen einer vorzugsweise im wesentlichen konstanten Hochspannung, durch die zum Erzeugen eines Emissionsstromes (14) der Röntgenröhre (4) Elektronen, vorzugsweise aus einer Kathode freigesetzte Elektronen, in Richtung auf das Target (6) beschleunigbar sind.Microfocus X-ray device according to Claim 1, characterized by a high-voltage generator (12) for generating a preferably substantially constant high voltage, by electrons, preferably electrons released from a cathode, for generating an emission current (14) of the X-ray tube (4) Target (6) can be accelerated. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellgröße der Emmissionsstrom ist.Microfocus X-ray device according to claim 5 and 6, characterized in that the manipulated variable is the emission current. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) eine elektrische oder elektronische Schaltung aufweist, die einen Regler bildet.Microfocus X-ray device according to Claim 4, characterized in that the control device (22) has an electrical or electronic circuit which forms a regulator. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) eine elektronische Schaltung aufweist, die durch eine Regelungssoftware steuerbar ist, derart, daß die Regelung softwaregesteuert erfolgt. Microfocus X-ray device according to claim 4, characterized in that the control device (22) has an electronic circuit which can be controlled by a control software, such that the control is software-controlled. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Schaltung einen Mikrocontroller oder dergleichen aufweist.Microfocus X-ray device according to claim 8 or 9, characterized in that the electronic circuit has a microcontroller or the like. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist.Microfocus X-ray device according to claim 1, characterized in that the control of the target current is switched on and off. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes eine weitere Regeleinrichtung den Emissionsstrom (14) der Röntgenröhre (4) regelt.Microfocus X-ray device according to claim 11, characterized in that, when the control of the target current is switched off, a further control device controls the emission current (14) of the X-ray tube (4). Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom den Sollwert des Targetstromes bildet.Microfocus X-ray device according to Claim 11, characterized in that a target current currently flowing when switching on the control of the target current forms the target value of the target current. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom (14) einen Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes (14) durch die weitere Regeleinrichtung bildet.Microfocus X-ray device according to Claim 12, characterized in that an emission current (14) currently flowing when the control of the target current is switched off forms a desired value for the regulation of the emission current (14) by the further control device. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (22) den Targetstrom so regelt, daß ein Überschreiten einer vorgegebenen oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets (6) verhindert ist.Microfocus X-ray device according to claim 4, characterized in that the control device (22) controls the target current so that exceeding a predetermined or predefinable maximum electrical power of the target (6) is prevented. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Einschalten der Regelung des Targetstromes nach einem Einschalten der Mikrofocus-Röntgenröhre (4) zeitlich verzögert erfolgt.Microfocus X-ray device according to claim 11, characterized in that a switching on of the control of the target current after switching on the microfocus X-ray tube (4) is delayed in time. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Einschalten erfolgt, wenn der Emissionsstrom (14) einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert erreicht.Microfocus X-ray device according to claim 16, characterized in that the switching is effected when the emission current (14) reaches a predetermined or predetermined desired value. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 6 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Änderung des Sollwertes der Hochspannung ein Ausschalten der Regelung des Targetstromes erfolgt, bis ein neuer Sollwert der Hochspannung erreicht ist.Microfocus X-ray device according to claim 6 and 11, characterized in that when the setpoint value of the high voltage is changed, the regulation of the target current is switched off until a new desired value of the high voltage is reached. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß Regelparameter der Regeleinrichtung (22) in Abhängigkeit von der Hochspannung veränderbar sind.Microfocus X-ray device according to claim 5 and 6, characterized in that control parameters of the control device (22) are variable as a function of the high voltage. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht ist, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert ist.Microfocus X-ray device according to claim 19, characterized in that, when the high voltage is reduced, the control parameters are changed such that the inertia of the control is increased, and that the control parameters are changed so that the inertia of the control is reduced when the high voltage is increased , Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenröhre (4) Mittel aufweist, durch die der Emissionsstrom derart ablenkbar oder blockierbar ist, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes (14) auf das Target (6) im wesentlichen verhindert ist.Microfocus X-ray device according to claim 1, characterized in that the X-ray tube (4) comprises means by which the emission current can be deflected or blocked in such a way that an impact of the emission current (14) on the target (6) is substantially prevented. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß bei Aktivierung der Mittel, durch die der Emissionsstrom (14) ablenkbar oder blockierbar ist, ein Ausschalten der Regelung des Targetstromes erfolgt.Microfocus X-ray device according to claim 11 and 21, characterized in that upon activation of the means by which the emission current (14) can be deflected or blocked, the regulation of the target current is switched off. Mikrofocus-Röntgeneinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, die feststellen, ob an dem Target (6) ein Kurzschluß vorliegt, und daß die Mittel bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung des Targetstromes ausschalten.Microfocus X-ray device according to Claim 11, characterized in that means are provided which determine whether there is a short circuit on the target (6), and in that the means switch off the regulation of the target current upon detection of a short circuit. Verfahren zur Regelung der Intensität (Dosisrate) der durch eine Röntgenröhre einer Mikrofocus-Röntgeneinrichtung erzeugten Röntgenstrahlung,
wobei die Röntgenröhre ein Target und Mittel zur Beaufschlagung des Targets mit einem Targetstrom aufweist,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Regelung der Intensität der Röntgenstrahlung wenigstens ein Parameter des Targetstromes, insbesondere die Stromstärke des Targetstromes, geregelt wird.Method for controlling the intensity (dose rate) of the X-ray radiation generated by an X-ray tube of a microfocus X-ray device,
wherein the x-ray tube has a target and means for impinging the target with a target stream,
characterized in that for controlling the intensity of the X-radiation at least one parameter of the target current, in particular the current intensity of the target current is controlled. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß ein Istwert der Stromstärke des Targetstromes erfaßt wird.A method according to claim 24, characterized in that an actual value of the current intensity of the target current is detected. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß ein erfaßter Istwert des Targetstromes mit einem vorgegebenen Sollwert des Targetstromes verglichen und eine Stellgröße derart verändert wird, daß die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Istwert minimiert wird. A method according to claim 24, characterized in that a detected actual value of the target current is compared with a predetermined target value of the target current and a manipulated variable is changed such that the difference between the desired value and the actual value is minimized. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß mittels eines Hochspannungsgenerators eine vorzugsweise im wesentlichen konstante Hochspannung erzeugt wird, durch die Elektronen, vorzugsweise aus einer Kathode freigesetzte Elektronen, zum Erzeugen eines Emissionsstromes der Röntgenröhre in Richtung auf das Target beschleunigt werden.A method according to claim 24, characterized in that by means of a high voltage generator, a preferably substantially constant high voltage is generated, are accelerated by the electrons, preferably released from a cathode electrons, for generating an emission current of the X-ray tube in the direction of the target. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß als Stellgröße der Emmissionsstrom verwendet wird.Method according to Claim 27, characterized in that the emission current is used as the manipulated variable. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung des Targetstromes ein- und ausschaltbar ist.A method according to claim 24, characterized in that the control of the target current is switched on and off. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei ausgeschalteter Regelung des Targetstromes der Emissionsstrom der Röntenröhre geregelt wird.Method according to Claim 29, characterized in that the emission current of the X-ray tube is regulated when the control of the target current is switched off. Verfahren nach Anspruch 29 und 30, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Einschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Targetstrom als Sollwert des Targetstromes verwendet wird.A method according to claim 29 and 30, characterized in that a current when switching on the control of the target current flowing target current is used as the target value of the target current. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß ein beim Ausschalten der Regelung des Targetstromes momentan fließender Emissionsstrom als Sollwert für die Regelung des Emissionsstromes verwendet wird.Method according to Claim 29, characterized in that an emission current that is currently flowing when switching off the regulation of the target current is used as the setpoint value for the regulation of the emission current. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß der Targetstrom so geregelt wird, daß ein Überschreiten einer vorgegegeben oder vorgebbaren maximalen elektrischen Leistung des Targets verhindert wird.A method according to claim 24, characterized in that the target current is controlled so that exceeding a predetermined or predetermined maximum electrical power of the target is prevented. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem Einschalten der Mikrofocus-Röntgenröhre die Regelung des Targetstromes zeitlich verzögert eingeschaltet wird.A method according to claim 29, characterized in that after switching on the microfocus X-ray tube, the control of the target current is switched on delayed in time. Verfahren nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung des Targetstromes eingeschaltet wird, wenn der Emissionsstrom einen vorgegebenen oder vorgebbaren Sollwert errreicht.A method according to claim 34, characterized in that the control of the target current is turned on when the emission current reaches a predetermined or predetermined desired value. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Änderung des Sollwertes der Hochspannung die Regelung des Targetstromes ausgeschaltet wird, bis ein neuer Sollwert der Hochspannung erreicht ist.Method according to Claim 29, characterized in that when the desired value of the high voltage is changed, the regulation of the target current is switched off until a new desired value of the high voltage has been reached. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß Regelparameter der Regelung in Abhängigkeit von der Hochspannung verändert werden.Method according to Claim 24, characterized in that control parameters of the control are changed as a function of the high voltage. Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Verringerung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung erhöht wird, und daß bei einer Erhöhung der Hochspannung die Regelparameter so verändert werden, daß die Trägheit der Regelung verringert wird.A method according to claim 37, characterized in that, when the high voltage is reduced, the control parameters are changed so as to increase the inertia of the control, and that when the high voltage is increased, the control parameters are changed so as to reduce the inertia of the control. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Ablenkung oder Blockierung des Emissionsstromes derart, daß ein Auftreffen des Emissionsstromes auf das Target im wesentlichen verhindert wird, die Regelung des Targetstromes abgeschaltet wird. A method according to claim 29, characterized in that in a deflection or blocking of the emission current such that an impact of the emission current is substantially prevented on the target, the control of the target current is turned off. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß festgestellt wird, ob an dem Target ein Kurzschluß vorliegt, und daß bei Feststellung eines Kurzschlusses die Regelung des Targetstromes abgeschaltet wird.A method according to claim 29, characterized in that it is determined whether there is a short circuit at the target, and that upon detection of a short circuit, the control of the target current is turned off.
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