EP1266352A2 - Markierungseinrichtung, verfahren und vorrichtung zu deren herstellung sowie verfahren zum auslesen einer solchen markierungseinrichtung - Google Patents

Markierungseinrichtung, verfahren und vorrichtung zu deren herstellung sowie verfahren zum auslesen einer solchen markierungseinrichtung

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Publication number
EP1266352A2
EP1266352A2 EP01915131A EP01915131A EP1266352A2 EP 1266352 A2 EP1266352 A2 EP 1266352A2 EP 01915131 A EP01915131 A EP 01915131A EP 01915131 A EP01915131 A EP 01915131A EP 1266352 A2 EP1266352 A2 EP 1266352A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
film
station
magnetic
carrier film
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP01915131A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Wolfgang Eberhardt
Jan Morenzin
Daniel Schondelmaier
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungszentrum Juelich GmbH
Original Assignee
Forschungszentrum Juelich GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Forschungszentrum Juelich GmbH filed Critical Forschungszentrum Juelich GmbH
Publication of EP1266352A2 publication Critical patent/EP1266352A2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K1/00—Methods or arrangements for marking the record carrier in digital fashion
    • G06K1/12—Methods or arrangements for marking the record carrier in digital fashion otherwise than by punching
    • G06K1/125—Methods or arrangements for marking the record carrier in digital fashion otherwise than by punching by magnetic means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/06187—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code with magnetically detectable marking
    • G06K19/06196—Constructional details
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
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    • G06K19/12—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code using markings of different kinds or more than one marking of the same kind in the same record carrier, e.g. one marking being sensed by optical and the other by magnetic means at least one kind of marking being used for authentication, e.g. of credit or identity cards the marking being sensed by magnetic means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T29/49133—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. with component orienting

Definitions

  • Marking device method and device for their production and method for reading out such a marking device
  • the invention relates to a marking device for the identification of objects, with a coding from areas with different magnetic properties, method and device for their production, and a method for reading out such a marking device.
  • Magnetic encodings are often used for marking and thus individual assignment and securing of credit cards, credit cards, access cards, electronic keys or the like, often in the form of a so-called magnetic strip.
  • a permanent magnetic layer is selected for the coding, i.e. magnetized in areas such that areas of different magnetization arise, and in the sense of the present description unmagnetized areas, that is to say those with zero magnetization, also belong.
  • the magnetic signature or coding can be detected and then processed according to the respective purpose.
  • US Pat. Nos. 5,480,685 and 5,972,438 describe magnetic strips in which magnetic particles are embedded in a binder matrix, the magnetic strips each having two layers of different coercivity.
  • magnetic particles are also present within a binder matrix, the magnetic particles being influenced by the application of an external magnetic field in such a way that they produce magnetic areas of different characteristics.
  • This type of magnetic stripe has the disadvantage that the magnetic structure can be changed subsequently by heating the binder and then realigning the magnetic particles by external magnetic fields.
  • a multiplicity of microcrystalline structures are arranged in a random grid. The magnetic stripe is then subjected to saturation magnetization, the remnant noise being read out and used for identification. This magnetic stripe can also be influenced by external manipulation.
  • a marking device in which the coding has a magnetic base layer and a magnetic coding layer, which cooperate in such a way that areas with non-parallel or anti-parallel magnetic coupling result from the extension of the base layer and coding layer.
  • the effect of the magnetic interlayer coupling is used.
  • the marking device has the advantage of a very characteristic behavior which deviates from the usual magnetic markings when external magnetic fields are applied, which is particularly evident in that although the non-parallel or anti-parallel coupling breaks up under the influence of a saturation magnetic field, the original magnetization is restored after removal of the external magnetic field.
  • the coding cannot therefore be deleted by external magnetic fields.
  • the effect can be used, for example, to reactivate weakened or even lost magnetic codes due to longer storage times by exposing them to a saturation magnetic field.
  • the invention has for its object to design a marking device of the type mentioned so that the coding is permanent, difficult to manipulate and insensitive to external influences. It should also make it possible to carry out an authenticity check without a data connection to an external computer. Another object is to provide methods and devices for the manufacture of such marking devices.
  • the first part of the above-mentioned object is achieved according to the invention in that magnetic regions made of a homogeneous, ferromagnetic or ferrimagnetic material are present, each of which has a magnetic anisotropy with a magnetically easy and hard axis, in at least one specific direction - this is then the intended reading direction - areas with different directions of the easy axes and / or areas with remanence of different strengths derteil.
  • the basic idea is to provide a spatial distribution of the magnetic anisotropy, each with a magnetically light and hard axis. Such anisotropy is also referred to as bidirectional anisotropy.
  • the ferromagnetic or ferrimagnetic material has a Curie temperature far above room temperature - preferably above 150 ° C - as is the case with the ferromagnetic materials Co or NiFe.
  • Homogeneous materials are understood to mean both elemental substances and alloys or chemical compounds of such substances as oxides, provided that they are constant over the length of the coding - apart from any given crystallinity - which are not, for example, matrix systems or the like.
  • the marking device is expediently present in such a way that the magnetic areas adjoin one another directly in the specific direction. However, this does not rule out that the magnetic areas are also spaced apart in the specific direction, the areas between the magnetic areas not being able to be made magnetizable.
  • the magnetic regions have saturation magnetizations of the same size.
  • a homogeneous magnetization over the extension then arises the coding, which forms a reference and enables an authenticity test. It is understood, however, that this is not a mandatory requirement, since the saturation magnetization can also vary over the extent of the coding. If this variation is saved, the authenticity test can be used to determine whether there has been manipulation or not.
  • the coding as such is stored in the distribution of the magnetic bias or the anisotropy.
  • the marking device can be produced in that a coding layer made of a homogeneous, ferromagnetic or ferrimagnetic material is applied to a carrier and that areas with magnetic anisotropy with a magnetically light and hard axis are produced in such a way that areas in at least one specific direction with different directions of the easy axes and / or areas with remanences of different strengths follow one another. This can be done in such a way that the magnetic areas directly adjoin one another in the specific direction and / or are spaced apart.
  • the coding layer can be made relatively thin, it is advisable to use vapor deposition technology for the layer structure, that is to say to use thermal vapor deposition, sputtering or the like.
  • the coding layer should then be covered by a protective layer, for example made of DIC (diamond like carbon) or you, which is preferably also applied by vapor deposition.
  • the magnetic anisotropy can be impressed in a simple manner by applying an inhomogeneous magnetic field to the coding layer during layer construction.
  • the distribution of the inhomogeneity of this magnetic field causes a pattern of different magnetic anisotropy to arise and allows the coding layer to be applied with a uniform layer thickness.
  • the magnetic field can be generated, for example, by inhomogeneously magnetizing a magnetizable carrier or a magnetizable base for the carrier.
  • the support is placed on this support and the coding layer is built up on the combination of support and support.
  • the marking device can be produced particularly economically if a carrier film is withdrawn from a supply and brought together with a continuously moving magnetic film and both are passed through a coating station in which the coding layer is applied. Then the carrier film and magnetic film should be separated again. It is expedient that the magnetic film is also removed from a supply and then magnetized and taken up again in a memory after the coating station. It is particularly advantageous if the magnetic film circulates through the Coating station is performed. In order to produce a changing inhomogeneity of the magnetic field, the magnetic film should be magnetized individually in front of the coating station and demagnetized again after the coating station, or its magnetization should be homogenized.
  • the magnetic field can also be built up by means of coils generating magnetic fields.
  • a magnetic field device assigned to at least the coating station for generating an inhomogeneous magnetic field over the surface of the carrier film
  • the magnetic field device is arranged in front of the coating station and that a magnetizable carrier film is guided through it.
  • the magnetic field device can have a magnetic film which is magnetized inhomogeneously, the guide devices bringing the carrier film and magnetic film together in front of the coating station.
  • a storage memory for the magnetic film is provided in front of the coating station and a storage memory of the coating station and the magnetic field device has a magnetizing device which is arranged between the storage memory and the coating station.
  • the magnetic film can also be endless and can be guided through the coating station together with the carrier film via the guide devices.
  • the magnetic field device should then have a magnetizing device, seen in the direction of travel of the carrier film, in front of the coating station, which generates an inhomogeneous magnetic field, and a quenching device should be provided for demagnetizing or homogenizing the magnetic field between the coating station and the magnetizing device.
  • the magnetic film can be stretched, for example, on a support roller which is assigned to the coating station and over which the carrier film runs.
  • the roll shell itself can also be designed to be magnetizable, with a magnetizing device for magnetizing the roll shell and a soldering device Shearing device for demagnetizing or homogenizing the magnetic field can be provided.
  • the roll shell can also be provided with a magnetizable coating.
  • the quenching device and the magnetizing device should be arranged one after the other in the direction of rotation of the support roller in the region of the roller shell which is free of the carrier film.
  • the magnetic field device has a plurality of magnetic field-generating coils. These coils can be arranged in the region of the surface of a carrier roller, over the roller jacket of which the carrier film is guided through the coating station, so that an inhomogeneous magnetic field prevails during the vapor deposition.
  • At least the coating station is assigned a heating device for generating a homogeneous temperature field, preferably above the Curie temperature.
  • a further coating station is provided for applying a protective layer to the coding layer.
  • the coating stations have vapor deposition devices in order to bring about the application of the coding layer by means of thermal vapor deposition or sputtering.
  • the storage device or storage device can advantageously be designed as supply rolls or storage rolls.
  • the method according to the invention can also be designed in such a way that the magnetic regions are built up with a direction of evaporation which is oblique to the surface of the carrier, at least two different directions of evaporation being used with respect to the plane of the carrier. This alone allows the anisotropy distribution according to the invention to be effected with different directions of the easy axes. However, this effect can also be enhanced by simultaneously impressing an expediently inhomogeneous magnetic field, which is in each case rectified to the vapor deposition devices.
  • the aforementioned method can be carried out by covering areas of the carrier with a first mask when vapor deposition in a first vapor deposition direction, and that at least the areas of the substrate that have been vapor-deposited with the first vapor deposition device are vapor-deposited in a second vapor deposition direction a second mask can be covered.
  • the first and second vapor deposition devices can also be identical if they have devices by means of which the vapor deposition direction can be changed. There is the possibility that areas that have not previously been vaporized are also covered with the second mask when vapor deposition in the second direction of evaporation and at least some of these areas are vaporized in a third vapor deposition device after removal of this second mask and application of a third mask.
  • a carrier film and at least two mask films are each withdrawn from a supply and the carrier film and one of the mask films are brought together before each vapor deposition and then the vapor deposition takes place from the side of the mask film and the mask film is separated again from the carrier film before the carrier film is brought together with another mask film.
  • the mask film can be provided with a specific mask pattern even before it is withdrawn from the supply.
  • the masking film be provided with recesses only after deduction from the supply, but before being brought together with the carrier film.
  • guiding devices and a drive for guiding the carrier film from the supply store through the coating stations to the receiving memory and for merging the carrier film with a mask film in front of a coating station and for separating the carrier film and mask film after a coating station.
  • Each coating station is expediently assigned a storage memory for a mask film and a storage memory for holding the mask film.
  • a mask formation station for forming recesses in the mask film can be arranged in each case between the storage memory for the mask film and the combination of mask film and carrier film, in order to impress an individual mask pattern on the mask film.
  • the mask formation station can have, for example, a laser burning device which has a control device for variable location control.
  • a further coating station can be provided for applying a protective layer to the coding layer.
  • the storage devices are expediently designed as supply rolls and the storage devices as storage rolls.
  • the coating stations should preferably have carrier rollers. sen, the carrier film and the mask film are guided over the roll shell.
  • the method according to the invention can also be carried out by first building up a layer and magnetizing this layer during or afterwards in such a way that it has a homogeneous anisotropy direction, and then the layer
  • the temperature being above the Curie temperature of the layer.
  • the distribution of the different magnetic anisotropy can be controlled in that either the temperature field is made inhomogeneous under the simultaneous action of a magnetic field, the magnetic field can be homogeneous or inhomogeneous, or that an inhomogeneous magnetic field acts at a homogeneous temperature field.
  • a magnetizable carrier can be provided which is magnetized accordingly.
  • a magnetizable base can also be provided, which magnetizes correspondingly homogeneously or inhomogeneously and the carrier with the layer is placed on this base. If the magnetic field is imprinted after the layer build-up, the combination of base and carrier can then be exposed to the temperature field.
  • a carrier film should be pulled from a supply and brought together with a continuously moving magnetic film and both should be passed through a heating station, after which they are also separated again.
  • the magnetic film can also be removed from a supply and then magnetized and stored in a memory after the heating station.
  • the magnetic film is circulated through the heating station, the magnetic film being magnetized in front of the heating station and either demagnetized after the heating station or its magnetization being homogenized. The latter is particularly expedient if the carrier film is to be exposed to an inhomogeneous magnetic field.
  • inhomogeneous or homogeneous magnetization and / or inhomogeneous or homogeneous temperature control can be carried out in the treatment station in accordance with the method provided for this purpose.
  • a coating station for applying a layer with a homogeneous anisotropy direction to the carrier film
  • the coating station is provided with a device for generating a sufficiently strong homogeneous magnetic field which defines the direction of the magnetic anisotropy.
  • the device can be designed in such a way that a magnetic field which is sufficiently large for the realignment of the magnetic anisotropy is brought about directly above the carrier film between the coating station and carrier film and at the point where the material strikes the carrier film.
  • a magnetic field can be applied with the aid of a magnetic film which is magnetized in a correspondingly homogeneous or inhomogeneous manner, the guide devices bringing the carrier film and magnetic film together in front of the treatment station.
  • this can be done in that a storage memory for the magnetic film is provided in front of the treatment station and a storage memory after the treatment station and in that the magnetizing device is arranged between the storage device and the heating device.
  • the magnetic film can also be endless and can be guided together with the carrier film through the heating device via the guide devices. If an inhomogeneous magnetic field is to be generated, the magnetizing device should be arranged in front of the heating device, as seen in the direction of travel of the carrier film, and an extinguishing device for demagnetizing or homogenizing the magnetic field between the heating device and magnetizing device can be provided.
  • the magnetic film can be freely guided over deflection rollers. However, it can also be clamped onto a support roller which is assigned to the treatment station. In this case, however, an additional magnetic film can be dispensed with if the roller shell is designed to be magnetizable or has a magnetizable coating.
  • the extinguishing device and the magnetizing device are expediently arranged one after the other in the direction of rotation of the support roller in the region of the support roller which is free of the carrier film.
  • the treatment station can have heating devices for locally heating the carrier film, lasers being particularly suitable for this. In this case, a homogeneous magnetic field generated by an appropriate magnetizing device is sufficient.
  • the treatment station can have a heating device for generating a homogeneous temperature field and a magnetizing device for generating an inhomogeneous magnetic field.
  • a homogeneously magnetized layer in the sense of the present invention can be changed not only by subsequent exposure to a magnetic and temperature field, but also by local ion bombardment in such a way that there is a change in the direction of the anisotropy and / or the Remanence is coming.
  • the ion bombardment can take place with the aid of a focused ion beam. Alternatively, it is provided that the ion bombardment takes place over a wide area and an inhomogeneous electric charge field is generated in the region of the carrier.
  • an electrically chargeable carrier is charged inhomogeneously before the ion bombardment.
  • the electrical charging can take place, for example, with the aid of an inhomogeneously electrically charged base, in that the carrier is placed on this base.
  • the carrier film is expediently drawn off from a supply and, after coating, brought together as a base with a continuously moving charge film. Both are then subjected to extensive ion bombardment. Then they are separated again.
  • the charge film can also be removed from a supply and then charged and stored in a memory after ion bombardment.
  • the charge film can also be circulated through an ion bombardment station and the charge film can be charged in front of the ion bombardment station and discharged again after the ion bombardment station, or the electrical charge can be homogenized. In this way, a charge pattern can be individually stamped on.
  • a carrier film and a mask film are continuously supplied from one supply each are withdrawn and brought together and that the ion bombardment then takes place from the side of the masking film and the masking film is separated again from the carrier film.
  • the mask film should be provided with recesses after deduction from the supply and before being brought together with the carrier film.
  • a masking film provided with recesses is already kept in stock.
  • the device can be designed analogously to the device in which a treatment station with a magnetizing device and heating device is provided. Instead of this treatment station, an ion bombardment station is now provided for the ion beam exposure to the layer located on the carrier film. With the help of the ion bombardment station, a focused ion beam can be generated, with a control device cooperating to control the ion beam in a targeted manner. Inhomogeneous ion beam exposure can also be generated with a flat ion beam if it strikes an inhomogeneous charge field in the area of the carrier film with areas that have a charge corresponding to the charge of the ions and accordingly repel the ion beam in these areas, i.e. not on the carrier film let hit.
  • the latter can be achieved, for example, in that an electrically chargeable carrier film is guided through the ion bombardment station and is passed over a charging device with an inhomogeneous electric charge is provided.
  • an electrically chargeable charge foil which is provided with an inhomogeneous electrical charge, is passed through the ion bombardment station and that the guiding devices bring the carrier foil and charge foil together in front of the ion bombardment station.
  • a storage store for the charge film in front of the ion bombardment station and a storage store after the ion bombardment station and a charging device for inhomogeneous charging of the charge film can be arranged between the store and ion bombardment station.
  • the charge film can also be endless and can be guided together with the carrier film through the ion bombardment station via the guide devices.
  • the charging device viewed in the direction of travel of the carrier film, is provided in front of the ion bombardment station and a quenching device for discharging or homogenizing the electrical charge between the ion bombardment station and the charging device.
  • the charge film can also be clamped onto a support roller which is assigned to the ion bombardment station.
  • a charge film can be dispensed with if the roll shell of the backup roll can be charged with electrical charge. Then a charging device for charging the roll shell and an extinguishing device for discharging or homogenizing the electrical charge of the roll shell should be provided. So that the roll shell can be electrically charged, it can also be provided with a corresponding coating.
  • the unloading device and the charging device are expediently arranged one after the other in the direction of rotation of the support roller in the region of the support roller which is free of the carrier film.
  • a mask film is guided through the ion bombardment station and that the guide device bring together the carrier film and mask film in front of the ion bombardment station in such a way that the ion bombardment takes place from the side of the mask film, and that the guide devices follow the carrier film and mask film disconnect the ion bombardment station.
  • the ion bombardment can take place over a wide area, the exposure to the layer on the carrier film being limited to the recesses in the mask film.
  • a preformed mask film can already be introduced into the device.
  • a mask formation station for forming recesses in the mask film is arranged between a storage reservoir for the mask film and the combination of mask film and carrier film, the mask formation station being provided as a laser burning device with a control device for variable local control.
  • the invention further relates to a method for reading out the marking devices described above with the aid of at least one magnetic field sensor.
  • the coding is subjected to at least two readout processes, a readout process in a zero field and a readout process in an external magnetic field, or the readout processes in different magnetic fields.
  • the first-mentioned reading process the information stored in the magnetic areas is recorded in a spatially resolved manner, for example by reading out certain features of the hysteresis loop.
  • the second readout process which is preferably carried out with saturation magnetization, the distribution of the saturation magnetization is recorded and compared with a predefined reference structure. The order of the two reading processes is not important.
  • conventional magnetic field sensors are suitable for reading out the marking devices according to the invention, i.e.
  • inductive, magneto-resistive, magneto-optical, Hall or SQUID sensors can be used.
  • the spatially resolved reading takes place by relative movement between the magnetic field sensor and the marking device, it being irrelevant whether only one of them or both are moved.
  • a plurality of magnetic field sensors can also be used in order to detect the magnetic structure of the marking device in a spatially resolved state in the idle state.
  • hysteresis loop can be used to determine the information stored in the coding.
  • the remanence in one is easy to grasp Zero field or a very small magnetic field. Instead, however, there is also the possibility of detecting the flow change at the boundaries of two areas, since stray fields arise at the boundaries of the marking device according to the invention, the distribution of which in a certain direction forms the coding.
  • Figure 1 is a plan view of part of a marking device in remanence showing the hysteresis loops of two magnetic areas;
  • Figure 2 shows a longitudinal section through the marking device according to Figure 1 and
  • FIG. 3 shows a schematic diagram of the marking device according to FIGS. 1 and 2 with a magnetic field sensor.
  • FIG. 4 shows the principle for the production of an inhomogeneous magnetic field by means of a magnetizable base
  • FIG. 5 shows a device for producing a marking device by means of layer construction in an inhomogeneous magnetic field
  • FIG. 6 shows a device for producing a marking device by means of oblique evaporation in two directions of evaporation
  • Figure 7 shows a device for producing a marking film by means of ion bombardment.
  • a marking device 21 is shown in FIGS. 1 and 2, in which a homogeneous, ferromagnetic layer 23 is applied to a carrier 22.
  • the ferromagnetic layer 23 for example made of Fe, Co, Ni, a magnetic rare earth metal, an alloy or a ferrite of the same, is composed of randomly arranged and formed and distributed over the surface magnetic areas - for example designated 24 or 25.
  • a magnetic anisotropy has been generated by appropriate local field application in such a way that in the magnetic regions 24, 25 the easy axis is aligned according to the arrows (symbolized in FIG. 2 by the point in a circle).
  • the magnetic areas 24 show a magnetic behavior corresponding to the hysteresis loop 26, while the magnetic areas 25 show a magnetic behavior corresponding to the Have hysteresis loop 27.
  • the magnetic areas 24 show a magnetic behavior corresponding to the hysteresis loop 26.
  • the magnetic areas 25 show a magnetic behavior corresponding to the Have hysteresis loop 27.
  • the flux changes that occur there generate stray fields which, like the local magnetization themselves, structure a signal curve which corresponds to the coding.
  • the marking device 21 is shown upside down, so that the carrier 22 is on the top and the ferromagnetic layer 23 on the bottom.
  • Underneath is a magnetic field sensor 31, which has a reading head 32, to which the marking device 21 with the carrier 22 is guided in the pulling direction.
  • a stray field is generated at the boundaries of the regions magnetized differently in the zero field, which induces a current pulse 33.
  • Via an external current source 34 an additional current can be fed into a coil 35 on the read head 32, whereby an external magnetic field is generated at the location of the detection.
  • the signal resulting from reading is processed in an amplification stage 37 and in a further stage 38. If the external current is zero, the stored information can be read. Is the current sufficient to saturate the ferromagnetic layer 23 gen, the current pulses 33 disappear. An authenticity check of the coding is thus possible.
  • the magnetic field sensor 31 and the ferromagnetic layer 23 are matched to one another in such a way that the saturation field corresponds to a field strength at which the characteristic of the magnetic field sensor 31 is linear in order to distinguish between saturation of the coding and saturation of the magnetic field sensor 31 can.
  • a magnetic field sensor that is suitable for detecting the local magnetization of the layer (e.g. magneto-optical reading devices), so that an influence of the external field on the sensitivity of the magnetic field sensor can be excluded.
  • FIG. 4 shows a carrier plate 41 on which a magnetic film 42 is placed.
  • the magnetic foil 42 is magnetized perpendicularly to the layer plane in strips - designated 43 by way of example - in one strip 43 with a preferred direction downwards and in the adjacent strip 43 with a preferred direction upwards, which is symbolized by the arrows.
  • a carrier film 45 is placed on the magnetic film 42, via which a magnetic field distribution is generated by the magnetic film 42, the components of which vary in the layer plane in accordance with the underlying pattern, which is represented by the horizontal arrows on the carrier film 45.
  • a suitable ferromagnetic or ferrimagnetic material is evaporated onto the carrier film 45, the magnetic field distribution determines the spatial distribution of the magnetic anisotropy and thus the signature of the coding.
  • FIG. 5 shows a device 46 in which the principle shown in FIG. 4 is applied in a continuous manufacturing process.
  • the device 46 is located in a housing, not shown here, which is under high vacuum.
  • the device 46 has two steaming stations 47, 48, with each steaming station 47, 48 being assigned a support roller 49, 50 which are flanked in the lower area by deflection rollers 51, 52 and 53, 54, respectively.
  • the first steaming station 47 is provided with a steaming device 55 above the associated support roller 49.
  • the support roller 49 is provided on its roller shell with a magnetic layer 58, for example an approximately 3 mm thin polymer layer, into which a high proportion of romagnetic particles is embedded.
  • a magnetizing device 59 is provided below the support roller 49 and between the associated deflecting rollers 51, 52, which has a series of permanent magnets and / or magnetic field-generating coils and is able to provide the magnetic layer 58 with a specific magnetization pattern, the simplest in FIG the form shown in Figure 4.
  • the magnetic layer 58 thereby generates an inhomogeneous magnetic field corresponding to its magnetization.
  • To the right of the magnetizing device 59 there is a quenching device 60 which either completely demagnetizes the magnetic layer 58 or magnetizes it homogeneously and thus eliminates the inhomogeneous magnetization previously impressed by the magnetizing device 59.
  • a carrier film 62 for example a polyester film, is rolled up on a supply roll 61.
  • the carrier film 62 is pulled off the supply roll 61 by driving the support rollers 49, 50 and rotates around the first deflection roller 51 and thus reaches the magnetic layer 58, where it is carried along by the rotation of the support roller 49.
  • the carrier film 62 receives a layer 63 made of a ferromagnetic material. The desired directional distribution of the magnetic anisotropy is generated by the spatial magnetic field distribution, caused by the magnetic layer 58.
  • the carrier film 62 After running around the deflection rollers 52, 53, the carrier film 62 reaches the second vapor deposition station 48, where it opens the circumference of the associated support roller 50 runs up and rotates with the support roller 50. It passes through a vapor deposition device 64, with which a protective layer 65 made of z. B. DLC is applied. After passing through the second evaporation station 48, the carrier film 62 runs around the last deflection roller 54 and is taken up by a storage roller 66. It can then be separated.
  • the device 71 has three steaming stations 72, 73, 74, with the steaming stations 72, 73, 74 being assigned support rollers 75, 76, 77, which are flanked in the lower region by deflection rollers 78, 79 or 80, 81 or 82, 83, respectively are.
  • a vapor deposition device 84, 85, 86 is arranged above each of the support rolls 75, 76, 77.
  • a supply roll 88 In front of the first support roller 75 there is a supply roll 88 on which a carrier film 89 is rolled up.
  • a further supply roll 90 is arranged above the supply roll 88, on which a masking film 91 is rolled up.
  • a laser device 92 Associated with the further supply roll 90 is a laser device 92, with the aid of which recesses — designated 93, for example, are burned out of the masking film 91.
  • a third supply roll 94 on which a second masking film 95 is rolled up.
  • the third supply roll 94 is also here a laser device 96 is assigned, with the aid of which recesses — designated 97 by way of example — are burned out of the mask film 95.
  • the carrier film 89 and the mask films 91, 95 are withdrawn from their supply rolls 88 or 90 or 94 at the same speed, for example by driving the support rollers 75, 76, 77.
  • the mask films 91, 95 are just behind each associated supply roll 90 or 94, a pattern of recesses 93, 97 is burned in with the aid of laser devices 92, 96.
  • the laser beams generated by the laser devices 92, 96 there may also be several of them - predetermined patterns or random patterns that are constantly changing, for example with the aid of a random generator, can be generated, but these are in a complementary context, which is explained further below becomes.
  • the carrier film 89 and the mask film 91 converge on the first deflection roller 78 and are carried along by the support roller 75.
  • the mask film 91 lies on the outside on the carrier film 89. Both are guided past the first vapor deposition device 84 in the upper region of the support roller 75, the vapor deposition device 84 vapor-depositing a first ferromagnetic layer 98 in a first direction, which, however, only separates on the carrier film 89 in the region of the recesses 93.
  • the deflection roller 79 rotates, the masking film 91 is guided away from the carrier film 89 upwards and rolled onto a storage roller 99.
  • the carrier film 89 then runs horizontally to the next deflecting roller 80 and merges there with the second mask film 95.
  • a second ferromagnetic layer layer 100 is evaporated onto the carrier film 89 in a second direction deviating from the first.
  • the deposition on the carrier film 89 is also limited to the area of the recesses 97.
  • the recesses 97 are arranged such that they only leave areas on the carrier film 89 that were covered in the first coating station 72 by the masking film 91 there.
  • the different vapor deposition directions of the vapor deposition devices 84, 85 result in regions with different directions of the easy axes of the magnetic anisotropy.
  • the carrier film 89 coated in this way wraps around the deflection rollers 81, 82 and thus reaches the last support roller 77.
  • a protective layer 103 is applied to the ferromagnetic coding layer 102.
  • the carrier film 89 provided with the coding coating is rolled up onto a storage roller 103. It can then be assembled according to its respective use.
  • FIG. 7 shows a further device 111 for the production of a marking device with area-specific anisotropy. It has in the order of passage a first steaming station 112, an ion bombardment station 113 and a second steaming station 114.
  • the stations 112, 113, 114 are assigned support rollers 115, 116, 117, each of which has two deflection rollers 118, 119 or 120, 121 or 122 in the lower region, 123 are flanked.
  • the steaming stations 112, 114 are each provided with a steaming device 124, 125 arranged above the associated support roller 115, 117.
  • An ion bombardment device 127 is arranged in the ion bombardment station 113 above the associated support roller 116.
  • a charge distribution device 128 is arranged on the left-hand side, with which areas with positive and / or areas of negative charge can be generated on the support roller 116. This can be done, for example, according to the principle of the laser printer.
  • the support roller 116 is provided with an electrically chargeable coating 129.
  • an extinguishing device 130 To the right of the charge distribution device 128 there is an extinguishing device 130 which either completely discharges the surface of the support roller 116 or provides it with a homogeneous electrical charge.
  • a carrier film 132 is rolled up on a supply roll 131.
  • the carrier film 132 is pulled off the supply roll 131, for example by driving the support rolls 115, 116, 117, rotates around the first deflection roll 118 and reaches the circumference of the first support roll 115, where it is carried by it. It runs past the first vapor deposition device 124 and there is provided with a ferromagnetic layer 133 by sputtering under a homogeneous magnetic field. With this layer 133, the carrier film 132 runs around the subsequent deflection rollers 119, 120 and then runs onto the jacket of the second support roller 116 and wraps around it.
  • the layer 133 is influenced in such a way that the direction of the magnetic anisotropy is changed, so that a coding layer 134 is formed.
  • the backup roller 116 is homogenized by the extinguishing device 130 in front of the charge distribution device 128 as it passes through, i.e. either fully discharged or provided with a homogeneous charge, so that the charge distribution device 128 can repeatedly charge a new, randomly generated distribution pattern onto the support roller 116.
  • the carrier film 132 After the deflection roller 121, 122 rotates, the carrier film 132 reaches the second vapor deposition station 114, in which case it is again guided over the circumference of the support roller 117. There, the layer 133 receives a protective layer 135 over the entire surface with the aid of the vaporization device 125. The carrier film 132 then runs around the last deflection roller 123 and is rolled up onto a storage roller 136. It can then be separated.
  • the devices 71, 111 shown in FIGS. 6 and 7 are also arranged within a housing which is under high vacuum.

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Markierungseinrichtung (21) für die Kennzeichnung von Objekten, mit einer Kodierung aus Bereichen (24, 25) mit unterschiedlichen magnetischen Eigenschaften. Die Markierungseinrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass magnetische Bereiche (24, 25) aus einem homogenen, ferro- oder ferrimagnetischen Material vorhanden sind, die jeweils eine magnetische Anisotropie mit magnetisch leichter und harter Achse aufweisen, wobei in wenigstens einer bestimmten Richtung Bereiche mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen und/oder Bereiche mit Remanenzen unterschiedlicher Stärke aufeinanderfolgen. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zu Herstellung einer solchen Markierungseinrichtung sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.

Description

Beschreibung;
Markierungseinrichtung, Verfahren und Vorrichtung zu deren Herstellung sowie Verfahren zum Auslesen einer solchen Markierungseinrichtung
Die Erfindung betrifft eine Markierungseinrichtung für die Kennzeichnung von Objekten, mit einer Kodierung aus Bereichen mit unterschiedlichen magnetischen Eigenschaften, Verfahren und Vorrichtung zu deren Herstellung sowie ein Verfahren zum Auslesen einer solchen Markierungseinrichtung.
Für die Markierung und damit individuelle Zuordnung und Sicherung von Scheckkarten, Kreditkarten, Zugangskarten, elektronischen Schlüsseln oder dergleichen werden vielfach magnetische Kodierungen verwendet, und zwar häufig in Form eines sogenannten Magnetstreifens. Für die Kodierung wird eine permanentmagnetische Schicht selektiv, d.h. bereichsweise derart aufmagnetisiert, daß Bereiche unterschiedlicher Magnetisierung entstehen, wobei im Sinne der vorliegenden Beschreibung auch unmagnetisierte Bereiche, also solche mit der Magnetisierung Null, gehören. Mit entsprechenden Magnetfeldsensoren kann die magnetische Signatur bzw. Kodierung erfaßt und dann entsprechend dem jeweiligen Zweck verarbeitet werden.
Es sind zahlreiche unterschiedliche Vorschläge für die Ausbildung von Magnetstreifen gemacht worden. In der US 4,650,978 werden hierzu die natürlichen zufälligen Variationen der magnetischen Eigenschaften des Magnetstreifens, verursacht durch die Variationen bezüglich Koerzi- tivität, Granularität, Schichtdicke, Oberflächenprofil und insbesondere durch zufällige Variationen in der Hystereseschleife und ihrer zurückliegenden magnetischen Geschichte, herangezogen. Ähnlich wird bei der Kodierung nach der US 5,616,904 und US 4,837,426 verfahren. Die magnetische Struktur wird dabei in geeigneter Form digitalisiert und zur Kennung der Objekte benutzt. Ein Nachteil besteht darin, daß die Magnetstreifen relativ einfach manipuliert werden können und unbeständig gegenüber äußeren magnetischen Feldern sind.
In den US 5,480,685 und 5,972,438 sind Magnetstreifen beschrieben, bei denen magnetische Partikel in einer Bindermatrix eingelagert sind, wobei die Magnetstreifen jeweils zwei Lagen unterschiedlicher Koerzitivität aufweisen. Auch bei dem Magnetstreifen nach der US 5,177,344 sind magnetische Partikel innerhalb einer Bindermatrix vorhanden, wobei die magnetischen Partikel durch Anlegen eines äußeren Magnetfeldes derart beeinflußt werden, daß sie magnetische Bereiche unterschiedlicher Charakteristik ergeben. Diese Art von Magnetstreifen haben den Nachteil, daß die magnetische Struktur nachträglich geändert werden kann, indem der Binder erhitzt wird und dann die magnetischen Partikel durch äußere Magnetfelder neu ausgerichtet werden . Bei dem Magnetstreifen nach der US 5,365,586 sind eine Vielzahl von mikrokristallinen Strukturen in einem zufälligen Raster angeordnet. Der Magnetstreifen wird dann einer Sättigungsmagnetisierung unterworfen, wobei das rema- nente Rauschen ausgelesen und zu Identifikationen verwendet wird. Auch dieser Magnetstreifen ist durch äußere Manipulation beeinflußbar.
In der US 5,254,843 werden die beim Beschreiben konventioneller Magnetbänder und -streifen entstandenen zufälligen Variationen in der zeitlichen Abfolge der Flußwechsel ausgenutzt und zur Identifikation des jeweiligen Objekts herangezogen. Auch hier ist die zufällige Struktur bei Kenntnis leicht zu reproduzieren. Außerdem erfordert das Verfahren eine Zufälligkeit der zeitlichen Variationen, welche insbesondere bei maschinellem Schreiben nicht zwingend gegeben ist.
In der nicht vorveröffentlichten PCT/EP 99/08433 ist eine Markierungseinrichtung vorgeschlagen, bei der die Kodierung eine magnetische Grundschicht und eine magnetische Kodierungsschicht aufweist, welche so zusammenwirken, daß sich über die Erstreckung von Grundschicht und Kodierungsschicht Bereiche mit nichtparalleler oder antiparalleler magnetischer Kopplung ergeben. Dabei wird von dem Effekt der magnetischen Zwischenschichtkopplung Gebrauch gemacht. Die Markierungseinrichtung hat den Vorteil eines sehr charakteristischen, von den üblichen magnetischen Markierungen abweichenden Verhaltens bei Anlegen von externen Magnetfeldern, was sich insbesondere darin äußert, daß zwar die nicht- oder antiparallele Kopplung unter Einfluß eines Sättigungsmagnetfeldes aufbricht, sich die ursprüngliche Magnetisierung jedoch nach Entfernung des äußeren Magnetfeldes wieder einstellt. Die Kodierung kann deshalb durch äußere Magnetfelder nicht gelöscht werden. Außerdem kann der Effekt dazu genutzt werden, beispielsweise aufgrund längerer Lagerzeit abgeschwächte oder sogar verlorengegangene magnetische Kodierungen zu reaktivieren, indem sie einem Sättigungsmagnetfeld ausgesetzt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Markierungseinrichtung der eingangs genannten Art so zu gestalten, daß die Kodierung dauerhaft, schwer zu manipulieren und unempfindlich gegen äußere Einflüsse ist. Sie sollte darüber hinaus ermöglichen, daß eine Echtheitsprüfung ohne Datenverbindung zu einem externen Rechner möglich ist. Eine weitere Aufgabe besteht darin, Verfahren und Vorrichtungen für die Herstellung solcher Markierungseinrichtungen bereitzustellen.
Der erste Teil der oben genannten Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß magnetische Bereiche aus einem homogenen, ferro- oder ferrimagnetischen Material vorhanden sind, die jeweils eine magnetische Anisotropie mit magnetisch leichter und harter Achse aufweisen, wobei in wenigstens einer bestimmten Richtung - diese ist dann die vorgesehene Ausleserichtung - Bereiche mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen und/oder Bereiche mit Remanenzen unterschiedlicher Stärke aufeinan- derfolgen. Grundgedanke ist es also, eine räumliche Verteilung der magnetischen Anisotropie mit jeweils magnetisch leichter und harter Achse vorzusehen. Eine solche Anisotropie wird auch als bidirektionale Anisotropie bezeichnet. Sie ist gegen äußere Einflüsse unempfindlich, sofern das ferro- oder ferrimagnetische Material eine Curie-Temperatur weit oberhalb der Raumtemperatur - vorzugsweise oberhalb von 150°C - hat, wie dies bei den fer- romagnetischen Materialien Co oder NiFe der Fall ist. Dabei sind unter homogenen Materialien sowohl elementare Stoffe als auch Legierungen oder chemische Verbindungen solcher Stoffe wie Oxide zu verstehen, sofern sie über die Erstreckung der Kodierung - sieht man von eventuell gegebener Kristallinität ab - gleichbleibend sind, bei denen es sich also z.B. nicht um Matrixsysteme oder dergleichen handelt.
Zweckmäßigerweise liegt die Markierungseinrichtung so vor, daß die magnetischen Bereiche in der bestimmten Richtung unmittelbar aneinandergrenzen. Dies schließt jedoch nicht aus, daß die magnetischen Bereiche in der bestimmten Richtung auch beabstandet sind, wobei die Bereiche zwischen den magnetischen Bereichen nicht magneti- sierbar ausgebildet sein können.
Bei der Erfindung ist es von Vorteil, wenn die magnetischen Bereiche gleich große Sättigungsmagnetisierungen aufweisen. Bei Beaufschlagung der Kodierung mit einem äußeren Magnetfeld bis in den Sättigungsbereich entsteht dann eine homogene Magnetisierung über die Erstreckung der Kodierung, das eine Referenz bildet und einen Echtheitstest ermöglicht. Es versteht sich, daß dies jedoch nicht zwingende Voraussetzung ist, denn die Sättigungsmagnetisierung kann auch über die Erstreckung der Kodierung variieren. Wenn diese Variation gespeichert ist, kann über den Echtheitstest festgestellt werden, ob eine Manipulation vorliegt oder nicht. Die Kodierung als solche ist in der Verteilung der magnetischen Vorspannung bzw. der Anisotropie gespeichert.
Die erfindungsgemäße Markierungseinrichtung kann dadurch hergestellt werden, daß auf einem Träger eine Kodierungsschicht aus einem homogenen, ferro- oder ferrimagneti- schen Material aufgebracht wird und daß Bereich mit magnetischer Anisotropie mit magnetisch leichter und harter Achse derart erzeugt werden, daß in wenigstens einer bestimmten Richtung Bereiche mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen und/oder Bereiche mit Remanenzen unterschiedlicher Stärke aufeinander folgen. Dies kann in der Weise geschehen, daß die magnetischen Bereiche in der bestimmten Richtung unmittelbar aneinander grenzen und/oder beabstandet sind.
Da die Kodierungsschicht relativ dünn ausgebildet sein kann, empfiehlt es sich, für den Schichtenaufbau von der Aufdampftechnologie Gebrauch zu machen, also thermisches Aufdampfen, Aufsputtern oder dergleichen anzuwenden. Die Kodierungsschicht sollte dann durch eine Schutzschicht abgedeckt werden, beispielsweise aus DIC (diamond like carbon) oder Sie, die vorzugsweise ebenfalls durch Aufdampfen aufgebracht wird.
Die Aufprägung der magnetischen Anisotropie kann in einfacher Weise dadurch erfolgen, daß die Kodierungsschicht beim Schichtaufbau mit einem inhomogenen Magnetfeld beaufschlagt wird. Die Verteilung der Inhomogenität dieses Magnetfeldes bewirkt, daß ein Muster unterschiedlicher magnetischer Anisotropie entsteht, und erlaubt es, die Kodierungsschicht mit einer gleichmäßigen Schichtdicke aufzutragen.
Das Magnetfeld kann beispielsweise dadurch erzeugt werden, daß ein agnetisierbarer Träger oder eine magneti- sierbare Unterlage für den Träger inhomogen magnetisiert wird. Im letzteren Fall wird der Träger auf dieser Unterlage aufgelegt, und es erfolgt der Aufbau der Kodierungsschicht auf der Kombination von Unterlage und Träger.
Die Markierungseinrichtung kann besonders ökonomisch hergestellt werden, wenn eine Trägerfolie von einem Vorrat abgezogen und mit einer fortlaufend bewegten Magnetfolie zusammengeführt wird und beide durch eine Beschichtungs- station geführt werden, in der die Kodierungsschicht aufgebracht wird. Anschließend sollten Trägerfolie und Magnetfolie wieder getrennt werden. Dabei ist es zweckmäßig, daß auch die Magnetfolie von einem Vorrat abgezogen und dann magnetisiert wird und nach der Beschichtungsstation in einem Speicher wieder aufgenommen wird. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Magnetfolie im Umlauf durch die Beschichtungsstation geführt wird. Um eine sich ändernde Inhomogenität des Magnetfeldes zu erzeugen, sollte die Magnetfolie vor der Beschichtungsstation individuell magnetisiert und nach der Beschichtungsstation wieder entmagnetisiert oder deren Magnetisierung homogenisiert werden.
Statt einer Magnetfolie kann das Magnetfeld auch mittels magnetfelderzeugenden Spulen aufgebaut werden.
Eine Vorrichtung zur Durchführung des vorbeschriebenen Verfahrens ist gekennzeichnet durch
a) einen Vorratsspeicher für eine Trägerfolie;
b) eine Beschichtungsstation zum Aufbau der Kodierungsschicht;
c) eine zumindest der Beschichtungsstation zugeordnete Magnetfeldeinrichtung zur Erzeugung eines inhomogenen Magnetfeldes über die Fläche der Trägerfolie;
d) einen Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Markierungseinrichtung;
e) Führungseinrichtungen und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie von dem Vorratsspeicher durch die Beschichtungsstation bis zum Aufnahmespeicher. Bei dieser Vorrichtung kann vorgesehen sein, daß die Magnetfeldeinrichtung vor der Beschichtungsstation angeordnet und daß durch diese eine magnetisierbare Trägerfolie geführt ist. Statt dessen kann die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetfolie aufweisen, die inhomogen magnetisiert ist, wobei die Führungseinrichtungen ein Zusammenführen von Trägerfolie und Magnetfolie vor der Beschichtungsstation bewirken. Konkret kann dies dadurch geschehen, daß ein Vorratsspeicher für die Magnetfolie vor der Beschichtungsstation und ein Aufnahmespeicher der Beschichtungsstation vorgesehen sind und die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetisiereinrichtung aufweist, die zwischen Vorratsspeicher und Beschichtungsstation angeordnet ist.
Alternativ dazu kann aber die Magnetfolie auch endlos ausgebildet sein und über die Führungseinrichtungen zusammen mit der Trägerfolie durch die Beschichtungsstation geführt werden. Zweckmäßigerweise sollte dann die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetisiereinrichtung in Laufrichtung der Trägerfolie gesehen vor der Beschichtungsstation aufweisen, die ein inhomogenes Magnetfeld erzeugt, und es sollte eine Löscheinrichtung zur Entmagnetisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes zwischen Beschichtungsstation und Magnetisiereinrichtung vorgesehen sein. Die Magnetfolie kann beispielsweise auf einer Stützwalze aufgespannt sein, die der Beschichtungsstation zugeordnet ist und über die die Trägerfolie läuft. Statt dessen kann jedoch auch der Walzenmantel selbst magnetisierbar ausgebildet sein, wobei auch hier wieder eine Magnetisiereinrichtung zum Magnetisieren des Walzenmantels und eine Lö- Scheinrichtung zur Entmagnetisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes vorgesehen sein kann. Der Walzenmantel kann auch mit einer magnetisierbaren Beschichtung versehen sein. In allen Fällen sollten Löscheinrichtung und Magnetisiereinrichtung in Drehrichtung der Stützwalze nacheinander in dem Bereich des Walzenmantels angeordnet sein, der frei von der Trägerfolie ist.
Abweichend davon ist vorgesehen, daß die Magnetfeldeinrichtung eine Mehrzahl von magnetfelderzeugenden Spulen aufweist. Diese Spulen können im Bereich der Oberfläche einer Trägerwalze angeordnet sein, über deren Walzenmantel die Trägerfolie durch die Beschichtungsstation geführt ist, so daß während der Bedampfung ein inhomogenes Magnetfeld vorherrscht.
Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung ist vorgesehen, daß zumindest der Beschichtungsstation eine Heizeinrichtung zur Erzeugung eines homogenen Temperaturfeldes vorzugsweise oberhalb der Curie-Temperatur zugeordnet ist.
Ferner ist vorgeschlagen, daß eine weitere Beschichtungsstation zum Aufbringen einer Schutzschicht auf die Kodierungsschicht vorgesehen ist. Dabei ist es zweckmäßig, wenn die Beschichtungsstationen Aufdampfeinrichtungen aufweisen, um das Aufbringen der Kodierungsschicht mittels thermischem Aufdampfen oder Aufsputtern zu bewirken. Die Vorratsspeicher bzw. Aufnahmespeicher können vorteilhafterweise als Vorratsrollen bzw. Speicherrollen ausgebildet sein. Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch so ausgebildet sein, daß die magnetischen Bereiche mit zur Oberfläche des Trägers schräger Aufdampfrichtung aufgebaut werden, wobei in Bezug auf die Ebene des Trägers zumindest zwei unterschiedliche Aufdampfrichtungen angewandt werden. Allein hierdurch kann schon die erfindungsgemäße Anisotropieverteilung mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen bewirkt werden. Diese Wirkung kann jedoch auch durch gleichzeitiges Aufprägen eines zweckmäßigerweise inhomogenen Magnetfeldes verstärkt werden, das jeweils gleichgerichtet zu den Aufdampfeinrichtungen ist.
Konkret kann das vorgenannte Verfahren dadurch ausgeführt werden, daß beim Aufdampfen in einer ersten Aufdampfrichtung Bereiche des Trägers mit einer ersten Maske abgedeckt werden, und daß beim Aufdampfen in einer zweiten Aufdampfrichtung wenigstens die Bereiche des Trägers, die mit der ersten Aufdampfeinrichtung bedampft worden sind, mit einer zweiten Maske abgedeckt werden.. Dabei können erste und zweite Aufdampfeinrichtungen auch identisch sein, wenn sie Einrichtungen aufweisen, mit deren Hilfe die Aufdampfrichtung verändert werden kann. Es besteht die Möglichkeit, daß beim Aufdampfen in der zweiten Auf- da pfrichtung mit der zweiten Maske auch bisher nicht bedampfte Bereiche abgedeckt werden und zumindest ein Teil dieser Bereiche nach Entfernung dieser zweiten Maske und Aufbringung einer dritten Maske in einer dritten Aufdampfeinrichtung bedampft werden. Um die Markierungseinrichtung in einem fortlaufenden Prozeß herstellen zu können, ist nach der Erfindung vorgesehen, daß eine Trägerfolie und wenigstens zwei Maskenfolien von jeweils einem Vorrat abgezogen und vor jeder Bedampfung die Trägerfolie und eine der Maskenfolien zusammengeführt und dann die Bedampfung von der Seite der Maskenfolie erfolgt und die Maskenfolie wieder von der Trägerfolie getrennt wird, bevor die Trägerfolie mit einer weiteren Maskenfolie zusammengeführt wird. Dabei kann die Maskenfolie schon vor dem Abzug von dem Vorrat mit einem bestimmten Maskenmuster versehen sein. Alternativ dazu ist vorgeschlagen, daß die Maskenfolie erst nach Abzug von dem Vorrat, jedoch vor dem Zusammenführen mit der Trägerfolie mit Ausnehmungen versehen wird.
Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist gekennzeichnet durch
a) einen Vorratsspeicher für eine Trägerfolie;
b) mehrere Beschichtungsstationen zum Bedampfen der Trägerfolie in unterschiedlichen Bedampfungsrichtun- gen;
c) eine der Anzahl der Beschichtungsstationen entsprechende Anzahl von Vorratsspeichern für Maskenfolien;
d) Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Maskenfolien; e) einen Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Markierungseinrichtung;
f) Führungseinrichtungen und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie von dem Vorratsspeicher durch die Beschichtungsstationen bis zum Aufnahmespeicher sowie zum Zusammenführen der Trägerfolie mit jeweils einer Maskenfolie vor einer Beschichtungsstation und zum Trennen von Trägerfolie und Maskenfolie nach einer Beschichtungsstation.
Zweckmäßigerweise ist jeder Beschichtungsstation ein Vorratsspeicher für eine Maskenfolie und ein Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Maskenfolie zugeordnet. Dabei kann jeweils zwischen VorratsSpeicher für die Maskenfolie und der Vereinigung von Maskenfolie und Trägerfolie eine Maskenbildungsstation zum Ausformen von Ausnehmungen in der Maskenfolie angeordnet sein, um der Maskenfolie ein individuelles Maskenmuster aufzuprägen. Die Maskenbildungsstation kann beispielsweise eine Laserbrenneinrichtung aufweisen, die eine Steuereinrichtung zur veränderlichen Ortssteuerung hat.
Auch bei dieser Vorrichtung kann eine weitere Beschichtungsstation zum Aufbringen einer Schutzschicht auf die Kodierungsschicht vorgesehen sein. Die Vorratsspeicher sind zweckmäßigerweise als Vorratsrollen und die Aufnahmespeicher als Speicherrollen ausgebildet. Vorzugsweise sollten die Beschichtungsstationen Trägerwalzen aufwei- sen, über deren Walzenmantel die Trägerfolie und die Maskenfolie geführt sind.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch in der Weise ausgeführt werden, daß zunächst eine Schicht aufgebaut und diese Schicht währenddessen oder danach so magnetisiert wird, daß sie eine homogene Anisotropierichtung aufweist, und daß die Schicht dann
a) einem homogenen Magnetfeld und einem inhomogenen Temperaturfeld oder
b) einem inhomogenen Magnetfeld und einem homogenen Temperaturfeld oder
c ) einem inhomogenen Magnet- und Temperaturfeld
ausgesetzt wird, wobei die Temperatur oberhalb der Curie- Temperatur der Schicht liegt. Durch Erhitzen der homogen magnetisierten Schicht auf eine Temperatur oberhalb der Curie-Temperatur kann die Verteilung der unterschiedlichen magnetischen Anisotropie dadurch gesteuert werden, daß entweder das Temperaturfeld unter gleichzeitiger Einwirkung eines Magnetfeldes inhomogen gestaltet wird, wobei das Magnetfeld homogen oder inhomogen ausgebildet sein kann, oder daß bei homogenem Temperaturfeld ein inhomogenes Magnetfeld einwirkt.
Zum Aufbau des Magnetfeldes sowohl beim Schichtaufbau als auch bei der anschließenden Temperaturbeaufschlagung kann ein magnetisierbarer Träger vorgesehen sein, der entsprechend magnetisiert wird. Statt dessen kann auch eine magnetisierbare Unterlage vorgesehen sein, die entsprechend homogen bzw. inhomogen magnetisiert und der Träger mit der Schicht auf diese Unterlage aufgelegt wird. Sofern es um die Aufprägung des Magnetfeldes nach dem Schichtaufbau geht, kann dann die Kombination von Unterlage und Träger dem Temperaturfeld ausgesetzt werden.
Damit das Verfahren kontinuierlich ausgeführt werden kann, sollte eine Trägerfolie von einem Vorrat abgezogen und mit einer fortlaufend bewegten Magnetfolie zusammengeführt und beide durch eine Heizstation geführt werden, wonach sie auch wieder getrennt werden. Dabei kann auch die Magnetfolie zunächst von einem Vorrat abgezogen und dann magnetisiert werden und nach der Heizstation in einem Speicher aufgenommen werden. Alternativ dazu kann vorgesehen sein, daß die Magnetfolie im Umlauf durch die Heizstation geführt wird, wobei die Magnetfolie vor der Heizstation magnetisiert und nach der Heizstation entweder entmagnetisiert oder deren Magnetisierung homogenisiert wird. Letzteres ist insbesondere dann zweckmäßig, wenn die Trägerfolie einem inhomogenen Magnetfeld ausgesetzt werden soll.
Eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens ist erfindungsgemäß gekennzeichnet durch
a) einen Vorratsspeicher für eine Trägerfolie; b) eine BehandlungsStation mit Magnetisiereinrichtung und Heizeinrichtung;
c) einen Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Markierungseinrichtung;
d) Führungseinrichtungen und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie vom Vorratsspeicher durch die Behandlungsstation zum Aufnahmespeicher.
Mit Hilfe dieser Vorrichtung kann entsprechend dem dafür vorgesehenen Verfahren in der Behandlungsstation eine inhomogene oder homogene Magnetisierung und/oder eine inhomogene oder homogene Temperierung vorgenommen werden. Vorausgegangen ist die Aufbringung einer homogenen, ferro- oder ferrimagnetischen Schicht mit einer homogenen Ausrichtung der bidirektionalen Anisotropie auf die Trägerfolie. Zweckmäßigerweise geschieht dies in einer einzigen Vorrichtung, indem die vorbeschriebene Vorrichtung durch folgende Vorrichtungsteile ergänzt wird:
a) eine Beschichtungsstation zum Aufbringen einer Schicht mit homogener Anisotropierichtung auf die Trägerfolie;
b) Führungseinrichtungen und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie vom Vorratsspeicher durch die Beschichtungsstation und die Behandlungsstation bis zum Aufnahmespeicher . Die Beschichtungsstation ist dabei mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines ausreichend starken homogenen Magnetfeldes versehen, das die Richtung der magnetischen Anisotropie festlegt. Die Einrichtung kann so ausgebildet sein, daß direkt oberhalb der Trägerfolie zwischen Beschichtungsstation und Trägerfolie und am Ort des Auftreffens des Materials auf die Trägerfolie ein für die erneute Ausrichtung der magnetischen Anisotropie ausreichend großes Magnetfeld bewirkt wird.
Die Beaufschlagung mit einem Magnetfeld kann auch in diesem Fall mit Hilfe einer Magnetfolie geschehen, die entsprechend homogen oder inhomogen magnetisiert ist, wobei die Führungseinrichtungen ein Zusammenführen von Trägerfolie und Magnetfolie vor der BehandlungsStation bewirken. Konkret kann dies dadurch geschehen, daß ein Vorratsspeicher für die Magnetfolie vor der Behandlungsstation und ein Aufnahmespeicher nach der Behandlungsstation vorgesehen sind und daß die Magnetisiereinrichtung zwischen Vorratsspeicher und Heizeinrichtung angeordnet ist.
Statt dessen kann die Magnetfolie auch endlos ausgebildet und über die Führungseinrichtungen zusammen mit der Trägerfolie durch die Heizeinrichtung geführt sein. Sofern ein inhomogenes Magnetfeld erzeugt werden soll, sollte die Magnetisiereinrichtung in Laufrichtung der Trägerfolie gesehen vor der Heizeinrichtung angeordnet und zusätzlich eine Löscheinrichtung zur Entmagnetisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes zwischen Heizeinrichtung und Magnetisiereinrichtung vorgesehen sein. Dabei kann die Magnetfolie frei über Umlenkwalzen geführt werden. Sie kann jedoch auch auf eine Stützwalze aufgespannt sein, die der BehandlungsStation zugeordnet ist. In diesem Fall kann jedoch auf eine zusätzliche Magnetfolie verzichtet werden, wenn der Walzenmantel magnetisierbar ausgebildet ist oder eine magnetisierbare Beschichtung aufweist. Löschungeinrichtung und Magnetisiereinrichtung sind zweckmäßigerweise in Drehrichtung der Stützwalze nacheinander in dem Bereich der Stützwalze angeordnet, der frei von der Trägerfolie ist.
Je nach Verf hrensart kann die BehandlungsStation Heizeinrichtungen zum lokalen Erhitzen der Trägerfolie aufweisen, wobei sich hierfür insbesondere Laser eignen. In diesem Fall reicht ein homogenes Magnetfeld, erzeugt durch eine entsprechende Magnetisiereinrichtung, aus. Alternativ dazu kann die Behandlungsstation eine Heizeinrichtung zum Erzeugen eines homogenen Temperaturfeldes sowie eine Magnetisiereinrichtung zur Erzeugung eines inhomogenen Magnetfeldes aufweisen.
Die Veränderung einer homogen magnetisierten Schicht im Sinne der vorliegenden Erfindung kann nicht nur durch nachträgliche Beaufschlagung mit einem Magnet- und Temperaturfeld erfolgen, sondern auch durch lokalen Ionenbe- schuß in der Weise, daß es dort zu einer Veränderung der Richtung der Anisotropie und/oder der Remanenz kommt. Dabei kann der Ionenbeschuß mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahles erfolgen. Alternativ dazu ist vorgesehen, daß der lonenbeschuß flächig erfolgt und im Bereich des Trägers ein inhomogenes elektrisches Ladungsfeld erzeugt wird.
Dies kann in der Weise geschehen, daß ein elektrisch auf- ladbarer Träger vor dem lonenbeschuß inhomogen elektrisch aufgeladen wird. Die elektrische Aufladung kann beispielsweise mit Hilfe einer inhomogen elektrisch aufgeladenen Unterlage erfolgen, indem der Träger auf diese Unterlage aufgelegt wird.
Die Trägerfolie wird zweckmäßigerweise von einem Vorrat abgezogen und nach der Beschichtung mit einer fortlaufend bewegten Ladungsfolie als Unterlage zusammengeführt. Beide werden dann mit flächigem lonenbeschuß beaufschlagt. Anschließend werden sie wieder voneinander getrennt. Dabei kann auch die Ladungsfolie von einem Vorrat abgezogen und dann aufgeladen und nach dem lonenbeschuß in einen Speicher aufgenommen werden.
Abweichend dazu kann die Ladungsfolie auch als Unterlage im Umlauf durch eine Ionenbeschußstation geführt und die Ladungsfolie vor der Ionenbeschußstation aufgeladen und nach der Ionenbeschußstation wieder entladen oder die elektrische Ladung homogenisiert werden. Auf diese Weise kann jeweils individuell ein Ladungsmuster aufgeprägt werden.
Alternativ dazu ist vorgeschlagen, daß eine Trägerfolie und eine Maskenfolie fortlaufend von jeweils einem Vorrat abgezogen und zusammengeführt werden und daß dann der lonenbeschuß von der Seite der Maskenfolie erfolgt und die Maskenfolie wieder von der Trägerfolie getrennt wird. In diesem Fall sollte die Maskenfolie nach Abzug von dem Vorrat und vor dem Zusammenführen mit der Trägerfolie mit Ausnehmungen versehen werden. Es kann jedoch auch vorgesehen sein, daß schon eine mit Ausnehmungen versehene Maskenfolie vorrätig gehalten wird.
Die Vorrichtung kann analog zu der Vorrichtung gestaltet sein, bei der eine Behandlungsstation mit Magnetisiereinrichtung und Heizeinrichtung vorgesehen ist. Statt dieser Behandlungsstation ist jetzt eine Ionenbeschußstation für die ionenstrahlbeaufschlagung der auf der Trägerfolie befindlichen Schicht vorgesehen. Mit Hilfe der Ionenbeschußstation kann ein fokussierter Ionenstrahl erzeugt werden, wobei eine Steuereinrichtung zur gezielten Steuerung des Ionenstrahls mitwirkt. Eine inhomogene Ionenstrahlbeaufschlagung kann aber auch mit einem flächigen Ionenstrahl erzeugt werden, wenn er im Bereich der Trägerfolie auf ein inhomogenes Ladungsfeld mit Bereichen trifft, die eine der Ladung der Ionen entsprechende Ladung haben und demgemäß den Ionenstrahl in diesen Bereichen abstoßen, also nicht auf die Trägerfolie auftreffen lassen.
Letzteres kann beispielsweise dadurch verwirklicht werden, daß durch die Ionenbeschußstation eine elektrisch aufladbare Trägerfolie geführt wird, die über eine Aufladeeinrichtung mit einer inhomogenen elektrischen Ladung versehen wird. Alternativ dazu ist vorgesehen, daß durch die Ionenbeschußstation eine elektrisch aufladbare Ladungsfolie geführt wird, die mit einer inhomogenen elektrischen Ladung versehen ist, und daß die Führungseinrichtungen ein Zusammenführen von Trägerfolie und Ladungsfolie vor der Ionenbeschußstation bewirken. Dabei kann ein Vorratsspeicher für die Ladungsfolie vor der Ionenbeschußstation und ein Aufnahmespeicher nach der Ionenbeschußstation sowie eine Aufladeeinrichtung zur inhomogenen Aufladung der Ladungsfolie zwischen Vorratsspeicher und Ionenbeschußstation angeordnet sein. Statt dessen kann die Ladungsfolie aber auch endlos ausgebildet sein und über die Führungseinrichtungen zusammen mit der Trägerfolie durch die Ionenbeschußstation geführt sein. In diesem Fall ist die Aufladeeinrichtung in Laufrichtung der Trägerfolie gesehen vor der Ionenbeschußstation und eine Löscheinrichtung zur Entladung oder Homogenisierung der elektrischen Ladung zwischen Ionenbeschußstation und Aufladeeinrichtung vorgesehen. Dabei kann die Ladungsfolie auch auf eine Stützwalze aufgespannt sein, die der Ionenbeschußstation zugeordnet ist.
Im letzteren Fall kann auf eine Ladungsfolie verzichtet werden, wenn der Walzenmantel der Stützwalze mit elektrischer Ladung aufladbar ist. Dann sollte eine Aufladeeinrichtung zum Aufladen des Walzenmantels und eine Löscheinrichtung zur Entladung oder Homogenisierung der elektrischen Ladung des Walzenmantels vorgesehen sein. Damit der Walzenmantel elektrisch aufladbar ist, kann er auch mit einer entsprechenden Beschichtung versehen sein. Die Entladeeinrichtung und die Aufladeeinrichtung sind zweckmäßigerweise in Drehrichtung der Stützwalze nacheinander in dem Bereich der Stützwalze angeordnet, der frei von der Trägerfolie ist.
Alternativ dazu kann vorgesehen sein, daß durch die Ionenbeschußstation eine Maskenfolie geführt ist und daß die Führungseinrichtung ein Zusammenführen von Trägerfolie und Maskenfolie vor der Ionenbeschußstation in der Weise bewirken, daß der lonenbeschuß von der Seite der Maskenfolie erfolgt, und daß die Führungseinrichtungen Trägerfolie und Maskenfolie nach der Ionenbeschußstation trennen. Auch in diesem Fall kann der lonenbeschuß flächig erfolgen, wobei die Beaufschlagung der Schicht auf der Trägerfolie auf die Ausnehmungen in der Maskenfolie begrenzt wird.
In die Vorrichtung kann schon eine vorgeformte Maskenfolie eingebracht werden. Alternativ dazu ist nach der Erfindung vorgeschlagen, daß. zwischen einem Vorratsspeicher für die Maskenfolie und der Vereinigung von Maskenfolie und Trägerfolie eine Maskenbildungsstation zum Ausformen von Ausnehmungen in der Maskenfolie angeordnet ist, wobei die Maskenbildungsstation als Laserbrenneinrichtung mit einer Steuereinrichtung zur veränderlichen Ortssteuerung versehen ist.
Gegenstand der Erfindung ist des weiteren ein Verfahren zum Auslesen der oben beschriebenen Markierungseinrichtungen mit Hilfe wenigstens eines Magnetfeldsensors. Er- findungsgemäß wird die Kodierung wenigstens zwei Auslesevorgängen unterworfen, wobei ein Auslesevorgang in einem Nullfeld und ein Auslesevorgang in einem äußeren Magnetfeld oder die Auslesevorgänge bei unterschiedlichen Magnetfeldern erfolgen. Beim erstgenannten Auslesevorgang wird die in den magnetischen Bereichen gespeicherte Information ortsaufgelöst erfaßt, beispielsweise durch Auslesen bestimmter Merkmale der Hystereseschleife. Bei dem zweiten Auslesevorgang, der vorzugsweise bei Sättigungsmagnetisierung durchgeführt wird, wird die Verteilung der Sättigungsmagnetisierung erfaßt und mit einer vordefinierten Referenzstruktur verglichen. Dabei kommt es nicht auf die Reihenfolge der beiden Auslesevorgänge an.
Es ist ferner von Vorteil, daß für die Auslesung der erfindungsgemäßen Markierungseinrichtungen übliche Magnetfeldsensoren geeignet sind, d.h. beispielsweise induktive, magneto-resistive, magneto-optische, Hall- oder SQUID-Sensoren, verwendet werden können. Die ortsaufgelöste Auslesung geschieht dabei durch Relativbewegung zwischen dem Magnetfeldsensor und der Markierungseinrichtung, wobei es nicht darauf ankommt, ob nur eine davon oder beide bewegt werden. Es können auch mehrere Magnetfeldsensoren eingesetzt werden, um die magnetische Struktur der Markierungseinrichtung in ruhendem Zustand ortsaufgelöst zu erfassen.
Zur Ermittlung der in der Kodierung gespeicherten Information kommen verschiedene Merkmale der Hystereseschleife in Frage. Einfach zu erfassen ist die Remanenz in einem Nullfeld oder einem sehr kleinen Magnetfeld. Statt dessen besteht jedoch auch die Möglichkeit, den Flußwechsel an den Grenzen zweier Bereiche zu erfassen, da bei der erfindungsgemäßen Markierungseinrichtung an den Grenzen Streufelder entstehen, deren Verteilung in einer bestimmten Richtung die Kodierung bildet.
In der Zeichnung ist die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher veranschaulicht. Es zeigen:
Figur 1 eine Draufsicht auf einen Teil einer Markierungseinrichtung in Remanenz mit Darstellung der Hystereseschleifen von zwei magnetischen Bereichen;
Figur 2 einen Längsschnitt durch die Markierungseinrichtung gemäß Figur 1 und
Figur 3 eine Prinzipdarstellung der Markierungseinrichtung gemäß den Figuren 1 und 2 mit einem Magnetfeldsensor.
Figur 4 eine Darstellung des Prinzips für die Herstellung eines inhomogenen Magnetfeldes mittels magnetisierbarer Unterlage;
Figur 5 eine Vorrichtung zur Herstellung einer Markierungseinrichtung mittels Schichtaufbau in einem inhomogenen Magnetfeld; Figur 6 eine Vorrichtung zur Herstellung einer Markierungseinrichtung mittels schrägem Aufdampfen in zwei Aufdampfrichtungen;
Figur 7 eine Vorrichtung zur Herstellung einer Markierungsfolie mittels lonenbeschuß.
In den Figuren 1 und 2 ist eine Markierungseinrichtung 21 dargestellt, bei der auf einen Träger 22 eine homogene, ferromagnetische Schicht 23 aufgebracht ist. Die ferroma- gnetische Schicht 23, beispielsweise aus Fe, Co, Ni, ein magnetisches Seltenderdmetall, eine Legierung oder ein Ferrit desselben setzt sich aus zufällig angeordneten und ausgebildeten sowie über die Fläche verteilten magnetischen Bereichen - beispielhaft mit 24 bzw. 25 bezeichnet - zusammen. Bei der Herstellung der ferromagnetischen Schicht 23 ist durch entsprechende lokale Feldbeaufschlagung eine magnetische Anisotropie dergestalt erzeugt worden, daß in den magnetischen Bereichen 24, 25 die leichte Achse entsprechend den Pfeilen ausgerichtet ist (in Figur 2 symbolisiert durch den Punkt im Kreis).
Wird eine Messung mit einem Magnetfeldsensor in die durch den Pfeil unterhalb des Trägers 22 angegebenen Richtung (Figur 2), d.h. der Ausleserichtung durchgeführt, zeigen die magnetischen Bereiche 24 ein magnetisches Verhalten entsprechend der Hystereseschleife 26, während die magnetischen Bereiche 25 ein magnetisches Verhalten entsprechend der Hystereseschleife 27 aufweisen. An den Übergän- gen zwischen zwei benachbarten Bereichen 24, 25 ergeben sich Unterschiede in der Stärke der remanenten Magnetisierung bezüglich einer Ausleserichtung. Die dort entstehenden Flußwechsel erzeugen Streufelder, die wie die lokale Magnetisierung selbst eine Strukturierung eines Signalverlaufs bewirken, welche der Kodierung entspricht.
Bei Beaufschlagung mit einem äußeren Magnetfeld im Sättigungsbereich entsteht eine in Richtung des Magnetfeldes H gleichmäßige Magnetisierung. Nach Wegnahme des Magnetfeldes entsteht wieder die dargestellte Struktur.
In Figur 3 ist die Markierungseinrichtung 21 umgedreht dargestellt, so daß sich der Träger 22 an der Oberseite und die ferromagnetische Schicht 23 an der Unterseite befinden. Darunter ist ein Magnetfeldsensor 31 angeordnet, der einen Lesekopf 32 aufweist, an dem die Markierungseinrichtung 21 mit dem Träger 22 in Durchzugsrichtung vorbeigeführt wird. An den Grenzen der im Nullfeld unterschiedlich magnetisierten Bereiche wird ein Streufeld erzeugt, welches einen Strompuls 33 induziert. Über eine externe Stromquelle 34 kann ein zusätzlicher Strom in eine Spule 35 am Lesekopf 32 eingespeist werden, wodurch am Ort der Detektion eine äußeres Magnetfeld erzeugt wird. Das beim Auslesen entstehende Signal wird in einer Verstärkungsstufe 37 und in einer weiteren Stufe 38 verarbeitet. Ist der äußere Strom gleich Null, so können die gespeicherten Informationen gelesen werden. Ist der Strom ausreichend, um die ferromagnetische Schicht 23 zu sätti- gen, verschwinden die Strompulse 33. Damit ist eine Echtheitsprüfung der Kodierung möglich.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Magnetfeldsensor 31 und die ferromagnetische Schicht 23 in der Form aufeinander abgestimmt sind, daß das Sättigungsfeld einer Feldstärke entspricht, bei der die Kennlinie des Magnetfeldsensors 31 linear ist, um zwischen Sättigung der Kodierung und Sättigung des Magnetfeldsensors 31 unterscheiden zu können. Eine weitere Möglichkeit zur Umgehung der Sättigungsproblematik einiger Magnetfeldsensoren, z.B. induktive oder magnetoresistive Magnetfeldsensoren, ist es, das Sättigungsfeld in einer Richtung anzulegen, die nicht dem empfindlichen Bereich des Magnetfeldsensors entspricht. Vorteilhaft ist es auch, einen Magnetfeldsensor zu verwenden, der geeignet ist, die lokale Magnetisierung der Schicht zu erfassen (z.B. magneto-optische Leseeinrichtungen), damit ein Einfluß des äußeren Feldes auf die Empfindlichkeit des Magnetfeldsensors ausgeschlossen werden kann.
Figur 4 zeigt eine Trägerplatte 41, auf die eine Magnetfolie 42 aufgelegt ist. Die Magnetfolie 42 ist senkrecht zur Schichtebene in Streifen - beispielhaft mit 43 bezeichnet - magnetisiert, und zwar in dem einen Streifen 43 mit einer Vorzugsrichtung nach unten und in dem daneben liegenden Streifen 43 mit einer Vorzugsrichtung nach oben, was durch die Pfeile symbolisiert wird. Daraus ergibt sich eine Streufeldkonfiguration, wie sie schematisch durch die Halbkreise 44 veranschaulicht ist. Das so gebildete Streufeld ist ausreichend, um die Richtung der magnetischen Anisotropie festzulegen.
Auf die Magnetfolie 42 ist eine Trägerfolie 45 aufgelegt, über der durch die Magnetfolie 42 eine Magnetfeldverteilung erzeugt wird, deren Komponenten in der Schichtebene entsprechend dem darunter liegenden Muster variiert, was durch die horizontalen Pfeile auf der Trägerfolie 45 dargestellt wird. Beim Aufdampfen eines geeigneten ferro- oder ferrimagnetischen Materials auf die Trägerfolie 45 bestimmt die Magnetfeldverteilung die räumliche Verteilung der magnetischen Anisotropie und damit die Signatur der Kodierung.
Figur 5 zeigt eine Vorrichtung 46, bei der das aus Figur 4 ersichtliche Prinzip in einem kontinuierlichen Herstellungsprozeß angewendet wird. Die Vorrichtung 46 befindet sich in einem hier nicht näher dargestellten Gehäuse, das unter Hochvakuum steht.
Die Vorrichtung 46 hat zwei BedampfungsStationen 47, 48, wobei jeder Bedampfungsstation 47, 48 eine Stützwalze 49, 50 zugeordnet ist, die im unteren Bereich jeweils von Umlenkrollen 51, 52 bzw. 53, 54 flankiert sind.
Die erste BedampfungsStation 47 ist oberhalb der zugehörigen Stützwalze 49 mit einem Bedampfungsgerät 55 versehen. Die Stützwalze 49 ist auf ihrem Walzenmantel mit einer Magnetschicht 58 versehen, beispielsweise einer ca. 3 mm dünnen Polymerschicht, in die ein hoher Anteil an fer- romagnetischen Partikeln eingelagert ist. Unterhalb der Stützwalze 49 und zwischen den zugehörigen Umlenkrollen 51, 52 ist linksseitig eine Magnetisiereinrichtung 59 vorgesehen, die eine Reihe von Permanentmagneten und/oder von magnetfelderzeugenden Spulen aufweist und in der Lage ist, die Magnetschicht 58 mit einem bestimmten Magnetisierungsmuster zu versehen, am einfachsten in der aus Figur 4 ersichtlichen Form. Die Magnetschicht 58 erzeugt hierdurch ein ihrer Magnetisierung entsprechendes inhomogenes Magnetfeld. Rechts neben der Magnetisiereinrichtung 59 ist eine Löscheinrichtung 60 angeordnet, die die Magnetschicht 58 entweder vollständig entmagnetisiert oder sie homogen magnetisiert und damit die zuvor durch die Magnetisiereinrichtung 59 aufgeprägte inhomogene Magnetisierung beseitigt.
Auf einer Vorratsrolle 61 ist eine Trägerfolie 62 beispielsweise eine Polyesterfolie, aufgerollt. Im Betrieb wird die Trägerfolie 62 durch Antrieb der Stützwalzen 49, 50 von der Vorratsrolle 61. abgezogen und umläuft die erste Umlenkrolle 51 und gelangt so auf die Magnetschicht 58, wo sie durch die Drehung der Stützwalze 49 mitgenommen wird. In dem Bedampfungsgerät 55 erhält die Trägerfolie 62 eine Lage 63 aus einem ferromagnetischen Material. Durch die räumliche Magnetfeldverteilung, hervorgerufen durch die Magnetschicht 58, wird die gewünschte Richtungsverteilung der magnetischen Anisotropie erzeugt.
Nach Umlaufen der Umlenkrollen 52, 53 gelangt die Trägerfolie 62 in die zweite Bedampfungsstation 48, wo sie auf den Umfang der zugehörigen Stützwalze 50 aufläuft und mit der Stützwalze 50 umläuft. Dabei passiert sie ein Bedamp- fungsgerät 64, mit dem ganzflächig eine Schutzschicht 65 aus z. B. DLC aufgebracht wird. Nach Durchlauf der zweiten BedampfungsStation 48 umläuft die Trägerfolie 62 die letzte Umlenkrolle 54 und wird von einer Speicherrolle 66 aufgenommen. Sie kann dann anschließend vereinzelt werden.
Bei der Vorrichtung 71 gemäß Figur 6 kommt ein anderes Herstellungsverfahren zur Anwendung. Die Vorrichtung 71 hat drei Bedampfungsstationen 72, 73, 74, wobei den BedampfungsStationen 72, 73, 74 Stützwalzen 75, 76, 77 zugeordnet sind, die im unteren Bereich jeweils von Umlenkrollen 78, 79 bzw. 80, 81 bzw. 82, 83 flankiert sind. Oberhalb der Stützwalzen 75, 76, 77 ist jeweils ein Bedampfungsgerät 84, 85, 86 angeordnet.
Vor der ersten Stützwalze 75 befindet sich eine Vorratsrolle 88, auf der eine Trägerfolie 89 aufgerollt ist. Oberhalb der Vorratsrolle 88 ist eine weitere Vorratsrolle 90 angeordnet, auf der eine Maskenfolie 91 aufgerollt ist. Der weiteren Vorratsrolle 90 zugeordnet ist ein Lasergerät 92, mit dessen Hilfe Ausnehmungen - beispielhaft mit 93 bezeichnet - aus der Maskenfolie 91 ausgebrannt werden.
Vor der zweiten Stützwalze 76 befindet sich eine dritte Vorratsrolle 94, auf der eine zweite Maskenfolie 95 aufgerollt ist. Der dritten Vorratsrolle 94 ist auch hier ein Lasergerät 96 zugeordnet, mit dessen Hilfe Ausnehmungen - beispielhaft mit 97 bezeichnet - aus der Maskenfolie 95 ausgebrannt werden.
Im Betrieb werden die Trägerfolie 89 und die Maskenfolien 91, 95 mit gleicher Geschwindigkeit von ihren Vorratsrollen 88 bzw. 90 bzw. 94 abgezogen, beispielsweise durch Antrieb der Stützwalzen 75, 76, 77. Dabei wird in die Maskenfolien 91, 95 kurz hinter der jeweils zugehörigen Vorratsrolle 90 bzw. 94 mit Hilfe der Lasergeräte 92, 96 ein Muster von Ausnehmungen 93, 97 eingebrannt. Durch entsprechende Steuerung der von den Lasergeräten 92, 96 erzeugten Laserstrahlen - es können auch jeweils mehrere sein - können vorgegebene oder sich beispielsweise mit Hilfe eines Zufallsgenerators stetig ändernde, zufällige Muster, erzeugt werden, die jedoch in einem komplementären Zusammenhang stehen, der weiter unten erläutert wird.
Die Trägerfolie 89 und die Maskenfolie 91 laufen an der ersten Umlenkrolle 78 zusammen und werden von der Stützwalze 75 mitgenommen. Dabei liegt die Maskenfolie 91 außenseitig auf der Trägerfolie 89 auf. Beide werden im oberen Bereich der Stützwalze 75 an dem ersten Bedamp- fungsgerät 84 vorbeigeführt, wobei das Bedampfungsgerät 84 eine erste ferromagnetische Schichtlage 98 in einer ersten Richtung aufgedampft, die sich allerdings nur im Bereich der Ausnehmungen 93 auf der Trägerfolie 89 abscheidet. Nach Umlaufen der Umlenkrolle 79 wird die Maskenfolie 91 von der Trägerfolie 89 nach oben weggeführt und auf eine Speicherrolle 99 aufgerollt. Die Trägerfolie 89 verläuft dann waagerecht zur nächsten Umlenkrolle 80 und vereinigt sich dort mit der zweiten Maskenfolie 95. Beide laufen dann auf die Stützwalze 76 auf. Mit Hilfe des Bedampfungsgeräts 85 wird in einer zweiten, von der ersten abweichenden Richtung eine zweite ferromagnetische Schichtlage 100 auf die Trägerfolie 89 aufgedampft. Dabei ist das Abscheiden auf die Trägerfolie 89 auch hier auf den Bereich der Ausnehmungen 97 begrenzt. Die Ausnehmungen 97 sind so angeordnet, daß sie auf der Trägerfolie 89 nur Bereiche freilassen, die in der ersten Beschichtungsstation 72 durch die dortige Maskenfolie 91 abgedeckt waren. Durch die unterschiedlichen Aufdampfrichtungen der Bedampfungsgerate 84, 85 entstehen Bereiche mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen der magnetischen Anisotropie.
im Anschluß daran umschlingt die so beschichtete Trägerfolie 89 die Umlenkrollen 81, 82 und gelangt so auf die letzte Stützwalze 77. Mit Hilfe des dort vorhandenen weiteren Bedampfungsgeräts 86 wird auf die ferromagnetische Kodierungsschicht 102 eine Schutzschicht 103 aufgebracht. Nach Passieren der letzten Umlenkrolle 83 wird die mit der Kodierungsbeschichtung versehene Trägerfolie 89 auf eine Speicherrolle 103 aufgerollt. Sie kann dann entsprechend ihrer jeweiligen Verwendung konfektioniert werden.
Figur 7 zeigt eine weitere Vorrichtung 111 für die Herstellung einer Markierungseinrichtung mit bereichsweiser Anisotropie. Sie hat in der Reihenfolge des Durchgangs eine erste Bedampfungsstation 112, eine Ionenbeschußstation 113 und eine zweite BedampfungsStation 114. Den Stationen 112, 113, 114 sind Stützwalzen 115, 116, 117 zugeordnet, die im unteren Bereich jeweils von zwei Umlenkrollen 118, 119 bzw. 120, 121 bzw. 122, 123 flankiert sind.
Die Bedampfungsstationen 112, 114 sind jeweils mit einem oberhalb der zugehörigen Stützwalze 115, 117 angeordneten Bedampfungsgerät 124, 125 versehen. In der Ionenbeschußstation 113 ist oberhalb der zugehörigen Stützwalze 116 ein Ionenbeschußgerät 127 angeordnet. Unterhalb der Stützwalze 116 und zwischen den dazugehörigen Umlenkrollen 120, 121 ist linksseitig ein Ladungsverteilgerät 128 angeordnet, mit dem auf der Stützwalze 116 Bereiche mit positiver und/oder Bereiche negativer Ladung erzeugt werden können. Dies kann beispielsweise nach dem Prinzip des Laserdruckers erfolgen. Hierzu ist die Stützwalze 116 mit einer elektrisch aufladbaren Beschichtung 129 versehen. Rechts von dem Ladungsverteilgerät 128 ist ein Löschgerät 130 angeordnet, das die Oberfläche der Stützwalze 116 entweder vollständig entlädt oder mit einer homogenen elektrischen Ladung versieht.
Auf einer Vorratsrolle 131 ist eine Trägerfolie 132 aufgerollt. Im Betrieb wird die Trägerfolie 132 beispielsweise durch Antrieb der Stützwalzen 115, 116, 117 von der Vorratsrolle 131 abgezogen, umläuft die erstes Umlenkrolle 118 und gelangt auf den Umfang der ersten Stützwalze 115, wo sie von dieser mitgenommen wird. Dabei läuft sie an dem ersten Bedampfungsgerät 124 vorbei und wird dort mittels Aufsputtern unter einem homogenen Magnetfeld mit einer ferromagnetischen Schicht 133 versehen. Mit dieser Schicht 133 umläuft die Trägerfolie 132 die nachfolgenden Umlenkrollen 119, 120 und läuft dann auf den Mantel der zweiten Stützwalze 116 auf und umschlingt diese. Dabei läuft sie an dem Ionenbeschußgerät 127 vorbei, das die Schicht 133 über die gesamte Breite der Trägerfolie 132 beschießt. Aufgrund der Ladungsverteilung auf der Oberfläche der Stützwalze 116, die zuvor von dem Ladungsverteilgerät 128 erzeugt worden ist, entstehen auf der Oberfläche der Erstschicht 133 Bereiche mit für die Ionen aus dem Ionenbeschußgerät 127 abstoßendem und anziehendem Potential. In den Bereichen mit anziehendem Potential wird die Schicht 133 derart beeinflußt, daß die magnetische Anisotropie in ihrer Richtung geändert wird, so daß eine Kodierungsschicht 134 entsteht.
Die Stützwalze 116 wird beim Durchlauf jeweils vor dem Ladungsverteilgerät 128 durch das Löschgerät 130 homogenisiert, d.h. entweder vollständig entladen oder mit einer homogenen Aufladung versehen, so daß das Ladungsverteilgerät 128 immer wieder ein neues, zufällig erzeugtes Verteilungsmuster auf die Stützwalze 116 aufladen kann.
Nach Umlaufen der Umlenkrolle 121, 122 gelangt die Trägerfolie 132 in die zweite Bedampfungsstation 114, wobei sie auch hier wieder über den Umfang der Stützwalze 117 geführt wird. Dort erhält die Schicht 133 mit Hilfe des Bedampfungsgeräts 125 ganzflächig eine Schutzschicht 135. Die Trägerfolie 132 umläuft dann die letzte Umlenkrolle 123 und wird auf eine Speicherrolle 136 aufgerollt. Sie kann dann anschließend vereinzelt werden.
Es versteht sich, daß auch die in den Figuren 6 und 7 gezeigten Vorrichtungen 71, 111 innerhalb eines Gehäuses angeordnet ist, das unter Hochvakuum steht.

Claims

Ansprüche:
1. Markierungseinrichtung (21) für die Kennzeichnung von Objekten, mit einer Kodierung aus Bereichen (24, 25) mit unterschiedlichen magnetischen Eigenschaften, dadurch gekennzeichnet, daß magnetische Bereiche (24, 25) aus einem homogenen, ferro- oder ferrimagnetischen Material vorhanden sind, die jeweils eine magnetischen Anisotropie mit magnetisch leichter und harter Achse aufweisen, wobei in wenigstens einer bestimmten Richtung Bereiche mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen und/oder Bereiche mit Remanenzen unterschiedlicher Stärke aufeinanderfolge .
2. Markierungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß magnetische Bereiche (24, 25) in der bestimmten Richtung unmittelbar aneinander- grenzen.
3. Markierungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß magnetische Bereiche in der bestimmten Richtung beabstandet sind.
4. Markierungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche zwischen den magnetischen Bereichen nicht magnetisierbar sind.
5. Markierungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Bereiche gleich große Sättigungsmagnetisierungen aufweisen.
6. Verfahren zur Herstellung einer Markierungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Träger (22) eine Kodierungsschicht (23) aus einem homogenen, ferro- oder ferrimagnetischem Material aufgebracht wird und daß Bereiche (24, 25) mit magnetischer Anisotropie mit magnetisch leichter und harter Achse derart erzeugt werden, daß in wenigstens einer bestimmten Richtung Bereiche mit unterschiedlichen Richtungen der leichten Achsen und/oder Bereiche mit Remanenzen unterschiedlicher Stärke aufeinanderfolgen.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierungsschicht (23) so aufgebaut wird, daß magnetische Bereiche (24, 25) in der bestimmten Richtung unmittelbar aneinandergrenzen.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierungsschicht so aufgebaut wird, daß die magnetischen Bereiche in der bestimmten Richtung beabstandet sind.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierungsschicht so aufgebaut wird, daß die Bereiche zwischen den magnetischen Bereichen nicht magnetisierbar sind.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierungsschicht (23) so aufgebaut wird, daß die magnetischen Bereiche (24, 25) gleichgroße Sättigungsmagnetisierungen aufweisen.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierungsschicht (23) durch Aufdampfen aufgebaut wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Kodierungsschicht (63, 64, 100, 134) eine Schutzschicht (65, 101, 135) insbesondere durch Aufdampfen aufgebracht wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierungsschicht (63) beim Schichtaufbau mit einem inhomogenen Magnetfeld beaufschlagt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufbau des Magnetfeldes ein magnetisierbarer Träger inhomogen magnetisiert wird.
15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufbau des Magnetfelds eine magnetisierbare Unterlage (58) inhomogen magnetisiert wird und daß der Träger (62) auf diese Unterlage (58) aufgelegt wird und der Aufbau der Kodierungsschicht (63) auf der Kombination von Unterlage (58) und Träger (62) erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerfolie von einem Vorrat abgezogen und mit einer fortlaufend bewegten Magnetfolie zusammengeführt wird und beide durch eine Beschichtungsstation geführt werden, in der die Kodierungsschicht aufgebracht wird.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß Trägerfolie und Magnetfolie nach der Beschichtungsstation getrennt werden.
18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie von einem Vorrat abgezogen und dann magnetisiert wird und nach der Beschichtungsstation in einem Speicher aufgenommen wird.
19. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie (58) im Umlauf durch die Beschichtungsstation geführt wird.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie (58) vor der Beschichtungsstation (47) magnetisiert und nach der Beschichtungsstation (47) entmagnetisiert oder deren Magnetisierung homogenisiert wird.
21. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld mit magnetfelderzeugenden Spulen aufgebaut wird.
22. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 13 bis 21, gekennzeichnet durch:
a) einen Vorratsspeicher (61) für eine Trägerfolie (62);
b) eine Beschichtungsstation (47) zum Aufbau der Kodierungsschicht (63) ;
c) eine zumindest der Beschichtungsstation (47) zugeordnete Magnetfeldeinrichtung (59) zur Erzeugung eines inhomogenen Magnetfeldes über die Fläche der Trägerfolie (62);
d) einen Aufnahmespeicher (66) für die Aufnahme der Markierungseinrichtung; e) Führungseinrichtungen (49 bis 54) und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie (62) von dem Vorratsspeicher (61) durch die Beschichtungsstation (47) bis zum Aufnahmespeicher (66).
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldeinrichtung vor der Beschichtungsstation angeordnet und daß durch diese eine magnetisierbare Trägerfolie geführt ist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetfolie aufweist, die inhomogen magnetisiert ist, und daß die Führungseinrichtungen ein Zusammenführen von Trägerfolie und Magnetfolie vor der Beschichtungsstation bewirken.
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vorratsspeicher für die Magnetfolie vor der Beschichtungsstation und ein Aufnahmespeicher nach der Beschichtungsstation vorgesehen sind und daß die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetisiereinrichtung aufweist, die zwischen Vorratsspeicher und Beschichtungsstation angeordnet ist.
26. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie endlos ausgebildet und über die Führungseinrichtungen zusammen mit der Trägerfolie durch die Beschichtungsstation geführt ist.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetisiereinrichtung in Laufrichtung der Trägerfolie gesehen vor der Beschichtungsstation aufweist, die ein inhomogenes Magnetfeld erzeugt, und daß eine Löscheinrichtung zur Entmagnetisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes zwischen Beschichtungsstation und Magnetisiereinrichtung vorgesehen sind.
28. Vorrichtung nach Anspruch 26 oder 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie auf einer Stützwalze aufgespannt ist, die der Beschichtungsstation zugeordnet ist.
29. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Beschichtungsstation (47) eine Stützwalze (49) zugeordnet ist, über deren Walzenmantel (58) die Trägerfolie (62) an der Beschichtungsstation (47) vorbeigeführt wird, und daß der Walzenmantel (58) magnetisierbar ausgebildet ist.
30. Vorrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldeinrichtung eine Magnetisiereinrichtung (59) zum Magnetisieren des Walzenmantels (58) aufweist, die ein inhomogenes Magnetfeld erzeugt, und daß ein Löscheinrichtung (60) zur Entmagnetisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes vorgesehen ist.
31. Vorrichtung nach Anspruch 29 oder 30, dadurch gekennzeichnet, daß der Walzenmantel eine magnetisierbare Beschichtung (58) aufweist.
32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß Löscheinrichtung (60) und Magnetisiereinrichtung (59) in Drehrichtung der Stützwalze (47) nacheinander in dem Bereich der Stützwalze (47) angeordnet sind, der frei von der Trägerfolie ( 62 ) ist.
33. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldeinrichtung eine Mehrzahl von magnetfelderzeugenden Spulen aufweist.
34. Vorrichtung nach Anspruch 33 , dadurch gekennzeichnet, daß die Spulen im Bereich der Oberfläche einer Trägerwalze angeordnet sind, über deren Walzenmantel die Trägerfolie durch die Beschichtungsstation geführt ist.
35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der Beschichtungsstation eine Heizeinrichtung zur Erzeugung eines homogenen Temperaturfeldes zugeordnet ist.
36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 35, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Beschich- tungsstation (48) zum Aufbringen einer Schutzschicht (65) auf die Kodierungsschicht vorgesehen ist.
37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 36, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstationen (47, 48) zumindest eine Aufdampfeinrichtung aufweist.
38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß der bzw. die Vorratsspeicher und der bzw. die Aufnahmespeicher als Vorratsrollen (61) bzw. Speicherrollen (66) ausgebildet sind.
39. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstationen) (47, 48) wenigstens eine Trägerwalze (49, 50) aufweist, über deren Walzenmantel die Trägerfolie (62) geführt ist.
40. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche mit zur Oberfläche des Trägers (89) schräger Aufdampfrichtung aufgebaut werden, wobei zumindest zwei unterschiedliche Aufdampfrichtungen angewandt werden.
41. Verfahren nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß in die Aufdampfrichtungen jeweils gleichgerichtete Magnetfelder einwirken.
42. Verfahren nach Anspruch 40 oder 41, dadurch gekennzeichnet, daß beim Aufdampfen in einer ersten Aufdampfrichtung Bereiche des Trägers (89) mit einer ersten Maske (91) abgedeckt werden und daß beim Aufdampfen in einer zweiten Aufdampfrichtung wenigstens die Bereiche des Trägers (89), die mit der ersten Aufdampfrichtung bedampft worden sind, mit einer zweiten Maske (95) abgedeckt werden.
43. Verfahren nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, daß beim Aufdampfen in der zweiten Aufdampfrichtung mit der zweiten Maske auch bisher nicht bedampfte Bereiche abgedeckt werden und zumindest ein Teil dieser Bereiche nach Entfernung der zweiten Maske und Aufbringen einer dritten Maske in einer dritten Aufdampfrichtung bedampft werden.
44. Verfahren nach Anspruch 42 oder 43, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerfolie (89) und wenigstens zwei Maskenfolien (91, 95) von jeweils einem Vorrat (88, 90, 94) abgezogen und vor jeder Bedampfung die Trägerfolie (89) und eine der Maskenfolien (91, 95) zusammengeführt und dann die Bedampfung von der Seite der Maskenfolie (91, 95) erfolgt und die Maskenfolie (91) wieder von der Trägerfolie (89) getrennt wird, bevor die Trägerfolie (89) mit einer weiteren Maskenfolie (95) zusammengeführt wird.
45. Verfahren nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskenfolien (91, 95) jeweils nach Abzug von dem Vorrat (90, 94) und vor dem Zusammenführen mit der Trägerfolie (89) mit Ausnehmungen (93, 97) versehen werden.
46. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 40 bis 45, gekennzeichnet durch:
a) einen Vorratsspeicher (88) für eine Trägerfolie (89);
b) mehrere Beschichtungsstationen (72, 73) zum Bedampfen der Trägerfolie (89) in unterschiedlichen Bedampfungsrichtungen;
c) eine der Anzahl der Beschichtungsstationen (72, 73) entsprechende Anzahl von Vorratsspeichern (90, 94) für Maskenfolien (91, 95);
d) Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Maskenfolien;
e) einen Aufnahmespeicher (104) für die Aufnahme der Markierungseinrichtung;
f) Führungseinrichtungen (75 bis 83) und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie (89) von dem Vorratsspeicher (88) durch die Beschichtungsstationen (72, 73) bis zum Aufnahmespeicher (104) sowie zum Zusammenführen der Trägerfolie (89) mit jeweils einer Maskenfolie (91, 95) vor einer Beschichtungsstation (72, 73) und zum Trennen von Trägerfolie (89) und Maskenfolie (91, 95) nach einer Beschichtungsstation (72, 73).
47. Vorrichtung nach Anspruch 46, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Beschichtungsstation (72, 73) ein Vorratsspeicher (90, 94) für eine Maskenfolie (91, 95) und ein Aufnahmespeicher (99, 101) für die Aufnahme der Maskenfolie (91, 95) zugeordnet ist.
48. Vorrichtung nach Anspruch 46 oder 47, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils zwischen Vorratsspeicher (90, 94) für die Maskenfolie (91, 95) und der Vereinigung von Maskenfolie (91, 95) und Trägerfolie (89) eine Maskenbildungsstation (92, 96) zum Ausformen von Ausnehmungen (93, 97) in der Maskenfolie (91, 95) angeordnet ist.
49. Vorrichtung nach Anspruch 48, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskenbildungsstation (92, 96) eine Laserbrenneinrichtung aufweist.
50. Vorrichtung nach Anspruch 49, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskenbildungsstationen (92, 96) jeweils eine Steuereinrichtung zur veränderlichen Ortssteuerung der Laserbrenneinrichtung aufweist.
51. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 46 bis 50, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Beschichtungsstation (74) zum Aufbringen einer Schutzschicht (103) auf die Kodierungsschicht (102) vorgesehen ist.
52. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 46 bis 51, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorratsspeicher als Vorratsrollen (88, 90, 94) und die Aufnahmespeicher als Speicherrollen (99, 101, 104) ausgebildet sind.
53. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 46 bis 52, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstationen (72, 73, 74) Trägerwalzen (75, 76, 77) aufweisen, über deren Walzenmantel die Trägerfolie (89) und die Maskenfolien (91, 95) geführt sind.
54. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine homogen magneti- sierte Schicht aufgebaut und die Schicht
a) einem homogenen Magnetfeld und einem inhomogenen Temperaturfeld oder
b) einem inhomogenen Magnetfeld und einem homogenen Temperaturfeld oder
c) einem inhomogenen Magnet- und Temperaturfeld ausgesetzt wird, wobei die Temperatur oberhalb der Curie-Temperatur der Schicht liegt.
55. Verfahren nach Anspruch 54, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufbau des Magnetfeldes ein magnetisierbarer Träger magnetisiert wird.
56. Verfahren nach Anspruch 54, dadurch gekennzeichnet, daß im Aufbau des Magnetfelds eine magnetisierbare Unterlage magnetisiert wird und daß der Träger mit der Schicht auf diese Unterlage aufgelegt wird und die Kombination von Unterlage und Träger dem Temperaturfeld ausgesetzt wird.
57. Verfahren nach Anspruch 56, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerfolie von einem Vorrat abgezogen und mit einer fortlaufend bewegten Magnetfolie als Unterlage zusammengeführt wird und beide durch eine Heizstation geführt werden.
58. Verfahren nach Anspruch 57, dadurch gekennzeichnet, daß Trägerfolie und Magnetfolie nach der Heizstation getrennt werden.
59. Verfahren nach Anspruch 57 oder 58, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie von einem Vorrat abgezogen und dann magnetisiert wird und nach der Heizstation in einem Speicher aufgenommen wird.
60 . Verfahren nach Anspruch 57 oder 58 dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie im Umlauf durch die Heizstation geführt wird.
61. Verfahren nach Anspruch 60, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie vor der Heizstation magnetisiert und nach der Heizstation entmagnetisiert oder deren Magnetisierung homogenisiert wird.
62. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 54 bis 61, gekennzeichnet durch:
a) einen Vorratsspeicher für eine Trägerfolie;
b) eine Behandlungsstation mit Magnetisiereinrichtung und Heizeinrichtung;
c) einen Aufnahmespeicher für die Aufnahme der Markierungseinrichtung;
d) Führungseinrichtungen und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie vom Vorratsspeicher durch die Behandlungsstation bis zum Aufnahmespeicher.
63. Vorrichtung nach Anspruch 62, gekennzeichnet durch:
a) eine Beschichtungsstation zum Aufbringen einer homogen magnetisierten Schicht auf die Trägerfolie; b) Führungseinrichtungen und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie vom Vorratsspeicher durch die Beschichtungsstation und die Behandlungsstation bis zum Aufnahmespeicher .
64. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 62 oder 63, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetisiereinrichtung eine Magnetfolie aufweist, die magnetisiert ist, und daß die Führungseinrichtungen ein Zusammenführen von Trägerfolie und Magnetfolie vor der Behandlungsstation bewirken.
65. Vorrichtung nach Anspruch 64, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vorratsspeicher für die Magnetfolie vor der Behandlungsstation und ein Aufnahmespeicher nach der Behandlungsstation vorgesehen sind und daß die Magnetisiereinrichtung zwischen Vorratsspeicher und Heizeinrichtung angeordnet ist.
66. Vorrichtung nach Anspruch 64, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie endlos ausgebildet und über die Führungseinrichtungen zusammen mit der Trägerfolie durch die Heizeinrichtung geführt ist.
67. Vorrichtung nach Anspruch 66, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetisiereinrichtung in Laufrichtung der Trägerfolie gesehen vor der Heizeinrichtung angeordnet ist und ein inhomogenes Magnetfeld erzeugt, und daß eine Löscheinrichtung zur Entmagne- tisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes zwischen Heizeinrichtung und Magnetisiereinrichtung vorgesehen ist.
68. Vorrichtung nach Anspruch 66 oder 67, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfolie auf eine Stützwalze aufgespannt ist, die der Behandlungsstation zugeordnet ist.
69. Vorrichtung nach Anspruch 62, dadurch gekennzeichnet, daß der Behandlungsstation eine Stützwalze zugeordnet ist, über deren Walzenmantel die Trägerfolie an der Behandlungsstation vorbeigeführt wird, und daß der Walzenmantel magnetisierbar ausgebildet ist.
70. Vorrichtung nach Anspruch 69, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetisiereinrichtung ein inhomogenes Magnetfeld erzeugt und daß eine Löscheinrichtung zur Entmagnetisierung oder Homogenisierung des Magnetfeldes vorgesehen ist.
71. Vorrichtung nach Anspruch 69 oder 70, dadurch gekennzeichnet, daß der Walzenmantel eine magnetisierbare Beschichtung aufweist.
72. Vorrichtung nach Anspruch 70 oder 71, dadurch gekennzeichnet, daß Löscheinrichtung und Magnetisiereinrichtung in Drehrichtung der Stützwalze nach- einander in dem Bereich der Stützwalze angeordnet ist, der frei von der Trägerfolie ist.
73. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 62 bis 72, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation Heizeinrichtungen zum lokalen Erhitzen aufweist.
74. Vorrichtung nach Anspruch 73, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung(en) wenigstens einen Laser aufweist.
75. Vorrichtung nach Anspruch 73 oder 74, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation eine Magnetisiereinrichtung zur Erzeugung eines homogenen Magnetfeldes aufweist.
76. Vorrichtung nach Anspruch 75, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation eine Heizeinrichtung zum Erzeugen eines homogenen Temperaturfeldes sowie eine Magnetisiereinrichtung zur Erzeugung eines inhomogenen Magnetfeldes aufweist.
77. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 62 bis 76, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Beschichtungsstation zum Aufbringen einer Schutzschicht auf die Zweitschicht vorgesehen ist.
78. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 62 bis 77, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstation eine oder mehrere Aufdampfeinrichtungen aufweist.
79. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 62 bis 78, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorratsspeicher als Vorratsrolle und der Aufnahmespeicher als Speicherrolle ausgebildet sind.
80. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 63 bis 79, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstation und die Behandlungsstation Trägerwalzen aufweisen, über deren Walzenmantel die Trägerfolie geführt ist.
81. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine homogen magneti- sierte Schicht (133) aufgebaut und die Schicht (133) lokal derart mit lonenbeschuß beaufschlagt wird, daß es lokal zu einer Veränderung der leichten Achse und/oder der Remanenz kommt.
82. Verfahren nach Anspruch 81, dadurch gekennzeichnet, daß der lonenbeschuß mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahls erfolgt.
83. Verfahren nach Anspruch 81, dadurch gekennzeichnet, daß der lonenbeschuß flächig erfolgt und im Bereich des Trägers (132) ein inhomogenes elektrisches Ladungsfeld erzeugt wird.
84. Verfahren nach einem der Ansprüche 81 bis 83, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrisch auflad- barer Träger vor dem lonenbeschuß inhomogen elektrisch aufgeladen wird.
15. Verfahren nach Anspruch 83, dadurch gekennzeichnet, daß eine elektrisch aufladbare Unterlage (129) inhomogen elektrisch aufgeladen wird und daß der Träger (132) auf diese Unterlage (129) aufgelegt wird und der lonenbeschuß auf die Kombination von Unterlage (129) und Träger (132) erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 85, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerfolie von einem Vorrat abgezogen und nach der Beschichtung mit einer fortlaufend bewegten Ladungsfolie (129) als Unterlage zusammengeführt wird und beide mit lonenbeschuß beaufschlagt werden.
i7. Verfahren nach Anspruch 86, dadurch gekennzeichnet, daß Trägerfolie und Ladungsfolie nach dem lonenbeschuß getrennt werden.
58. Verfahren nach Anspruch 86 oder 87, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsfolie von einem Vorrat abgezogen und dann aufgeladen und nach dem lonenbeschuß in einen Speicher aufgenommen wird.
59. Verfahren nach Anspruch 86 oder 87, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ladungsfolie (129) als Unterlage im Umlauf durch eine Ionenbeschußstation (113) geführt wird und die Ladungsfolie (129) vor der Ionenbeschußstation (113) aufgeladen und nach der Ionenbeschußstation (113) entladen oder die elektrische Ladung homogenisiert wird.
90. Verfahren nach Anspruch 81 oder 82, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerfolie und eine Maskenfolie fortlaufend von jeweils einem Vorrat abgezogen und zusammengeführt werden und daß dann der lonenbeschuß von der Seite der Maskenfolie erfolgt und die Maskenfolie wieder von der Trägerfolie getrennt wird.
91. Verfahren nach Anspruch 90, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskenfolie nach Abzug von dem Vorrat und vor dem Zusammenführen mit der Trägerfolie mit Ausnehmungen versehen wird.
92. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 81 bis 91, gekennzeichnet durch:
a) einen Vorratsspeicher (131) für eine Trägerfolie (132);
b) eine Ionenbeschußstation (113) für die Ionen- strahlbeaufschlagung der Schicht (133);
c) einen Aufnahmespeicher (136) für die Markierungseinrichtung;
d) Führungseinrichtungen (115 bis 123) und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie (132) vom Vorratsspeicher (131) durch die Ionenbeschußstation (113) bis zum Aufnahmespeicher (136).
93. Vorrichtung nach Anspruch 92, gekennzeichnet durch:
a) eine Beschichtungsstation (112) zum Aufbringen einer homogen magnetisierten Schicht (133) auf die Trägerfolie (132);
b) Führungseinrichtungen (115 bis 123) und einen Antrieb zum Führen der Trägerfolie (132) vom Vorratsspeicher (131) durch die Beschichtungsstation (112) und die Ionenbeschußstation (113) bis zum Aufnahmespeicher (136).
94. Vorrichtung nach Anspruch 92 oder 93, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenbeschußstation einen fokussierten Ionenstrahl erzeugt und eine Steuereinrichtung zur gezielten Steuerung des Ionenstrahl vorgesehen ist.
95. Vorrichtung nach Anspruch 92 oder 93, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Ionenbeschußstation eine elektrisch aufladbare Trägerfolie geführt ist, die über ein Aufladeeinrichtung mit einer inhomogenen elektrischen Ladung versehen ist.
96. Vorrichtung nach Anspruch 92 oder 93, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Ionenbeschußstation eine elektrisch aufladbare Ladungsfolie geführt ist, die mit einer inhomogenen elektrischen Ladung versehen ist, und daß die Führungseinrichtungen ein Zusammenführen von Trägerfolie und Ladungsfolie vor der Ionenbeschußstation bewirken.
97. Vorrichtung nach Anspruch 96, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vorratsspeicher für die Ladungsfolie vor der Ionenbeschußstation und ein Aufnahmespeicher nach der ionenbeschußstation sowie eine Aufladeeinrichtung zur inhomogenen Aufladung der Ladungsfolie zwischen Vorratsspeicher und Ionenbeschußstation vorgesehen sind.
98. Vorrichtung nach Anspruch 96, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsfolie endlos ausgebildet ist und über die Führungseinrichtung zusammen mit der Trägerfolie durch die Ionenbeschußstation geführt ist und daß die Aufladeeinrichtung in Laufrichtung der Trägerfolie gesehen vor der Ionenbeschußstation und eine Löscheinrichtung zur Entladung oder Homogenisierung der elektrischen Ladung zwischen Ionenbeschußstation und Aufladeeinrichtung vorgesehen sind.
99. Vorrichtung nach Anspruch 98, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsfolie auf eine Stützwalze aufgespannt ist, die der Ionenbeschußstation zugeordnet ist.
100. Vorrichtung nach Anspruch 92 oder 93, dadurch gekennnzeichnet, daß der Ionenbeschußstation (113) eine Stützwalze (116) zugeordnet ist, über deren Walzenmantel (129) die Trägerfolie (132) an der Ionenbeschußstation (113) vorbeigeführt wird, und daß der Walzenmantel (129) mit elektrischer Ladung aufladbar ist, wobei eine Aufladeeinrichtung (128) zum Aufladen des Walzenmantels (129) und eine Löscheinrichtung (130) zur Entladung oder Homogenisierung der elektrischen Ladung des Walzenmantels (129) vorgesehen sind.
101. Vorrichtung nach Anspruch 100, dadurch gekennzeichnet, daß der Walzenmantel (129) eine mit elektrischer Ladung aufladbare Beschichtung aufweist.
102. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 98 bis 101, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladeeinrichtung (130) und die Aufladeeinrichtung (128) in Drehrichtung der Stützwalze (116) nacheinander in dem Bereich der Stützwalze (116) angeordnet sind, der frei von der Trägerfolie (132) ist.
103. Vorrichtung nach Anspruch 92 oder 93, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Ionenbeschußstation eine Maskenfolie geführt ist und daß die Führungseinrichtung ein Zusammenführen von Trägerfolie und Maskenfolie vor der Ionenbeschußstation in der Weise bewirken, daß der lonenbeschuß von der Seite der Maskenfolie erfolgt, und daß die Führungseinrichtun- gen Trägerfolie und Maskenfolie nach der Ionenbeschußstation trennen.
104. Vorrichtung nach Anspruch 103, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen einem Vorratsspeicher für die Maskenfolie und der Vereinigung von Maskenfolie und Trägerfolie eine Maskenbildungsstation zum Ausformen von Ausnehmungen in der Maskenfolie angeordnet ist.
105. Vorrichtung nach Anspruch 104, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskenbildungsstation eine Laserbrenneinrichtung aufweist.
106. Vorrichtung nach Anspruch 105, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskenbildungsstation eine Steuereinrichtung zur veränderlichen Ortssteuerung der Laserbrenneinrichtung aufweist.
107. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 92 bis 106, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Beschichtungsstation (114) zum Aufbringen einer Schutzschicht (135) auf die Schicht (133) vorgesehen ist.
108. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 93 bis 107, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstation (en) (112, 114) wenigstens eine Auf ampfeinrich- tung (124, 125) aufweist.
109. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 92 bis 108, dadurch gekennzeichnet, daß der VorratsSpeicher als Vorratsrolle und der Aufnahmespeicher als Speicherrolle ausgebildet sind.
110. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 93 bis 109, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungsstation und die Ionenbeschußstation Trägerwalzen aufweisen, über deren Walzenmantel die Trägerfolie geführt ist.
111. Verfahren zum Auslesen von Markierungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, mit Hilfe eines Magnetfeldsensors, dadurch gekennzeichnet, daß die Kodierung wenigstens zwei Auslesevorgängen unterworfen sind, wobei ein Auslesevorgang in einem Nullfeld und ein Auslesevorgang in einem äußeren Magnetfeld oder die Auslesevorgänge bei unterschiedlichen äußeren Magnetfeldern erfolgt.
112. Verfahren nach Anspruch 111, dadurch gekennzeichnet, daß ein Auslesevorgang bei Sättigungsmagnetisierung durchgeführt wird.
113. Verfahren zum Auslesen von Markierungseinrichtungen nach einem der Ansprüche 1 bis 5 mit Hilfe eines Magnetfeldsensors, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Auslesevorgang durchgeführt wird, bei dem die Remanenz erfaßt wird.
114. Verfahren zum Auslesen von Markierungseinrichtungen nach einem der Ansprüche 1 bis 5 mit Hilfe eines Magnetfeldsensors, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Auslesevorgang derart durchgeführt wird, daß der Flußwechsel an der Grenze zweier magnetischer Bereiche erfaßt wird.
Verfahren zum Auslesen von Markierungseinrichtungen nach einem der Ansprüche 1 bis 5 mit Hilfe eines Magnetfeldsensors, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei Auslesevorgänge ohne äußeres Magnetfeld durchgeführt werden und daß die Kodierung vor einem Auslesevorgang in einer Richtung und vor einem weiteren Auslesevorgang in einer anderen Richtung bis zur Sättigung magnetisiert wird.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070190364A1 (en) * 2006-02-14 2007-08-16 Heraeus, Inc. Ruthenium alloy magnetic media and sputter targets
US9939824B2 (en) 2011-10-07 2018-04-10 Honeywell International Inc. Thermostat with remote access feature
DE102012204660B4 (de) 2012-03-22 2018-02-08 Universität Kassel Magnetisches Echtheitsmerkmal
JP5579218B2 (ja) * 2012-03-28 2014-08-27 株式会社東芝 圧力検知素子の製造方法

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2988466A (en) * 1957-11-29 1961-06-13 Gen Electric Magnetic material
US3735728A (en) * 1971-12-01 1973-05-29 Andvari Inc Apparatus for continuous vacuum deposition
AT343373B (de) 1972-10-20 1978-05-26 Basf Ag Magnetogrammtrager zur nicht unbemerkt veranderbaren aufzeichnung magnetischer signale und verfahren zur herstellung solcher aufzeichnungen
US3873975A (en) * 1973-05-02 1975-03-25 Minnesota Mining & Mfg System and method for authenticating and interrogating a magnetic record medium
US3878367A (en) * 1973-05-02 1975-04-15 Minnesota Mining & Mfg Magnetic security document and method for making same
DE2405623A1 (de) * 1974-02-06 1976-01-08 Basf Ag Magnetische duennschichtfilme mit austauschanisotropem verhalten
GB1529937A (en) * 1974-10-16 1978-10-25 Emi Ltd Magnetic recording
FR2370339A1 (fr) * 1976-11-04 1978-06-02 Transac Dev Transact Automat Procede d'enregistrement magnetique inalterable
FR2385154A1 (fr) * 1977-03-25 1978-10-20 Metalimphy Procede et dispositif d'identification d'etiquettes codees
US4103315A (en) * 1977-06-24 1978-07-25 International Business Machines Corporation Antiferromagnetic-ferromagnetic exchange bias films
DE2950174A1 (de) 1979-12-13 1981-06-19 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen Verfahren und vorrichtung zur echtheitspruefung von aufzeichnungstraegern, die gegen faelschung zu sichern sind
DE3224234A1 (de) * 1981-09-01 1983-03-10 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung von metallfreien streifen bei der metallbedampfung eines isolierstoffbandes und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US4650978A (en) * 1985-01-23 1987-03-17 Rmh Systems, Inc. Off line cash card system and method
JPS61250837A (ja) * 1985-04-30 1986-11-07 Sony Corp 蒸着磁気テ−プの製造方法
US4837426A (en) 1987-01-16 1989-06-06 Rand, Mcnally & Company Object verification apparatus and method
US5177344A (en) 1990-10-05 1993-01-05 Rand Mcnally & Company Method and appparatus for enhancing a randomly varying security characteristic
US5235166A (en) 1991-02-14 1993-08-10 Xtec Incorporated Data verification method and magnetic media therefor
JPH05101365A (ja) * 1991-03-22 1993-04-23 Tdk Corp 垂直磁気記録媒体およびその製造方法
US5254843A (en) 1991-08-07 1993-10-19 Hynes John E Securing magnetically encoded data using timing variations in encoded data
US5448515A (en) * 1992-09-02 1995-09-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Magnetic thin film memory and recording/reproduction method therefor
US5365586A (en) 1993-04-09 1994-11-15 Washington University Method and apparatus for fingerprinting magnetic media
US5480685A (en) 1993-10-22 1996-01-02 Tomoegawa Paper Co., Ltd. Method of making a magnetic recording medium comprising two magnetic layers
US5759710A (en) * 1994-08-18 1998-06-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium with a magnetic layer having a specific oxygen signal strength profile in the thickness direction
JP3277245B2 (ja) * 1995-03-27 2002-04-22 富士通株式会社 光磁気記録媒体及びその再生方法
US5529814A (en) * 1995-10-19 1996-06-25 Read-Rite Corporation Method of producing exchange coupled magnetic thin films with post-deposition annealing
US5821859A (en) * 1996-06-07 1998-10-13 Ibm Corporation Concealed magnetic ID code and antitheft tag
GB2316907B (en) * 1996-09-04 2000-09-06 Thorn Secure Science Ltd A data store
DE19735603C1 (de) * 1997-08-15 1998-11-19 Ardenne Anlagentech Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage für Mehrschichtsysteme
US5936293A (en) * 1998-01-23 1999-08-10 International Business Machines Corporation Hard/soft magnetic tunnel junction device with stable hard ferromagnetic layer
DE19852368A1 (de) 1998-11-13 2000-05-25 Forschungszentrum Juelich Gmbh Markierungseinrichtung
JP3891540B2 (ja) * 1999-10-25 2007-03-14 キヤノン株式会社 磁気抵抗効果メモリ、磁気抵抗効果メモリに記録される情報の記録再生方法、およびｍｒａｍ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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