EP1165286B1 - Aufnahmefutter für optische bauteile zum feinschleifen und/oder polieren - Google Patents

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EP1165286B1
EP1165286B1 EP01913524A EP01913524A EP1165286B1 EP 1165286 B1 EP1165286 B1 EP 1165286B1 EP 01913524 A EP01913524 A EP 01913524A EP 01913524 A EP01913524 A EP 01913524A EP 1165286 B1 EP1165286 B1 EP 1165286B1
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EP
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chuck
basic body
recess
supporting elements
designed
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EP01913524A
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Eginhard Jung
Günther Böhm
Michael Thomas
Helmut Lotz
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Leica Camera AG
Original Assignee
Leica Camera AG
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/005—Blocking means, chucks or the like; Alignment devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B24B41/061—Work supports, e.g. adjustable steadies axially supporting turning workpieces, e.g. magnetically, pneumatically

Definitions

  • the invention relates to a receiving feed for optical components for Fine grinding and / or polishing with several support elements elastic material for the components and an arrangement for Supply or discharge of air opposite the back of the Support element, wherein the receiving chuck with a base body a spindle shaft with a central bore and one Cover part for receiving the support elements.
  • Spherical or convex are preferably used as optical components concave curved lenses are provided.
  • a feed of this type for single lens processing is from DE 198 12 186 A1 known.
  • the lens holder consists of one rotationally symmetrical body with a recess into which one lens to be processed is inserted and to the other side a rubber membrane is complete. Above a central hole in the shaft of the intake chuck the rubber membrane can be attached to it Compressed air is applied to the rear. If the Then the rubber membrane expands, it lies on the lens and presses it evenly against the polishing tool. Here comes there is a flat contact since both parts are the same Have radius of curvature. By creating a vacuum on the Membrane surface, the lens can be sucked onto the membrane surface and in put a hanging position.
  • the lens Due to the weight of the lens, it can be different System pressures come through the membrane surface. Because when polishing not only the surface quality is improved, but also Corrections in the lens geometry made in the fine area different plant pressure leads to inaccuracies in the lens surface.
  • the hanging is therefore preferred Recording the lens chosen so that its own weight the system pressure to the polishing tool after the membrane for the Polishing process was ventilated. When the picture is lying down, the Uniformity of the system pressure e.g. due to different thicknesses supported in the membrane. The centrally fed The amount of compressed air can be individually adapted to the lens to be processed become.
  • EP 0 169 931 A1 Intake feed known with the support zones in the membrane surface different system pressure by the supply different regulated air pressure can be generated.
  • feed is also an embodiment for described simultaneous recording of several lenses.
  • Such a feed has a basic and one with it connected support body.
  • the support body is provided with a cap-shaped coating, which by a Surrounding ring is held on the base body. Symmetrical to There are several axes of rotation of the support body in this Includes wells. In the area of these wells the cap-shaped covering an elastic membrane on which the to processing lenses with their central area. The Inclusion of the lens as a whole is made by a molding in the cap-shaped coating formed that the lens diameter is adjusted.
  • the base body has a shaft for holding the Intake chuck in a processing machine.
  • the body contains a central breakthrough for the shaft Air supply.
  • Each of the recesses in the support body will through a separate air duct with the central opening in the Basic body connected, the respective membrane portions of the Coating are fixed in the recess and seal them airtight.
  • Via a duct inside which is separate from the other air ducts of the central breakthrough and through the support body the remaining lower surface of the coating can be passed through with compressed air be charged. This way, everyone can Support areas with different pressure can be created.
  • the coating is complex in shape and requires an elaborate process Mounting on the support body. While in the Membrane parts the air supply can also be regulated individually the local pressure build-up under the remaining area of the coating over the central air supply cannot be influenced.
  • Each insert has a flat surface Support membrane on which is held in the insert by a cylindrical ring element is.
  • a small cavity is arranged under each support membrane Diameter is adapted to the inside diameter of the ring element.
  • Over a Bore in the spindle shaft of the chuck can be in a central distribution line a liquid is passed through the cavity under separate feed lines each support membrane fills and one on the back of the support membrane exerts adjustable pressure.
  • the calotte contains several recesses, in which the essential ones Functional elements adjustable blade supports made of metal are used.
  • the calotte is designed as a hemispherical shell, which is closed with a base plate. From the recesses leads a hole in the interior of the calotte. Is on the bottom plate centrally attached a hollow shaft, which also has a hole with is connected to the dome interior.
  • the hollow shaft is on one Vacuum line connected so that on the cutting edge supports, placed lenses are held by the negative pressure.
  • the device is used to pre-adjust the calotte on the blade supports Lentils in the putty bed of a concave grinding or polishing cap position-oriented.
  • the invention has for its object to a feed create a multiple exposure with the advantages of a single exposure allowed by using series membrane elements and is structurally simple.
  • Lens diameter and lens weights can be adjusted.
  • the Cover parts are screwed to the base body and form an O-ring seal securely closes the air reservoir.
  • the Lid parts can be quickly replaced in this way.
  • the recesses in the cover part can be used for commercially available elastic Support elements with different dimensions can be prepared.
  • the fastening and sealing by means of a pressed into a groove O-ring allows easy assembly and also acts as a Overpressure protection. Should unintended air pressure on the Membrane arrive without a lens and a Polishing tool is brought up to the lens, then that Support element pushed out of the holder without being destroyed.
  • the support elements in a cylindrical holder which in the Recess of the cover part is rotatably supported, can additional relative movement of the individual lenses on the common feed can be realized.
  • the holder can be provided with a drive axle that fits into the Pot space of the base body extends and here geared with the Drive for the spindle shaft is connected.
  • the base body 1 contains a base body 1 with a Spindle shaft 2, in a machine spindle not shown is used to rotate the feed chuck.
  • the spindle shaft 2 is provided with a central bore 3, which also with a not shown compressor vacuum system for air supply connected is.
  • the base body 1 has a peripheral edge 4, through which a pot-shaped space 5 is formed in the base body 1 extends over the entire bottom surface of the base body 1.
  • a cover part 6 On the edge 4 of the base body 1 is a cover part 6, which with the Screwed base body 1 and 7 via an O-ring seal Seals pot space 5.
  • the cover part 6 has a cylindrical shape Recess 8 on.
  • a Rubber-elastic support element On the bottom of the recess 8 is a Rubber-elastic support element, which here as a hat-shaped membrane part 9 is formed with the hat edge 10 facing outwards.
  • Such Membrane parts 9 are as series parts for single lens exposures available.
  • the hat rim 10 engages in a groove 11 in the recess 8 one and is fixed here by an O-ring 12 to the bottom of the Recess 8 pressed.
  • the one under the membrane part 9 Space area of the recess 8 is through a bore 13 with the Pot bottom 5 connected in terms of flow.
  • the lens surface to be processed is light here concave.
  • the top 15 of the cover part 6 is in the usual way a slightly larger radius to the concave lens surface adapted so that the schematically indicated polishing cap 16 the Can edit lens surface unhindered.
  • the im Pot space 5 built air reservoir and the bore 13 an overpressure generated in the space under the membrane part 9, which the membrane part 9th elastically deformed until it is on the convex surface of the lens 14 fits positively.
  • Symmetrical to the axis 17 of the spindle shaft 2 are in the cover part 6 further recesses 8 with inserted in the same way Membrane parts 9 are provided. Preferably three at the same time Lenses 14 processed.
  • the embodiment shown in Figure 2 is based on the same Basic construction as in Fig.1.
  • the same parts are with the same Provide reference numerals.
  • the cylindrical recess 8 is here however, designed as a cylinder bore 18 into which a cylindrical holder 19 is used, the same holding elements for the membrane part 9 has as in Fig.1.
  • the holder 19 has a drive shaft 20 provided with a bore 13 for fluid connection is provided with the pot space 5 and extends into the pot space 5.
  • the drive shaft 20 is in the bottom of the cylinder bore 18 by a Pivot bearing 21 held so that the holder 19 about its axis 22nd is rotatable.
  • the drive axle 20 is not shown with gear means 23 provided e.g. with the drive for the Spindle shaft 2 are coupled.
  • a convex lens surface is provided for processing here, so that the upper side 15 of the cover part 6 is shaped correspondingly convex.
  • the axis 22 is in this case to the axis 17 of the spindle shaft 2 inclined.
  • the Axis 22 can be seen directed away from axis 17.
  • the different direction of the axes of rotation compared to the central Drive means can be formed by appropriately shaped bevel gears 24 Part of the gear resources 23 are balanced, which are not themselves Are part of the invention.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Aufnahmefutter für optische Bauteile zum Feinschleifen und/oder Polieren mit mehreren Stützelementen aus elastischem Material für die Bauteile und einer Anordnung zur Zuführung oder Abführung von Luft gegenüber der Rückseite des Stützelementes, wobei das Aufnahmefutter aus einem Grundkörper mit einem eine zentrale Bohrung aufweisenden Spindelschaft und einem Deckelteil zur Aufnahme der Stützelemente besteht.
Als optische Bauteile werden vorzugsweise sphärische konvex oder konkav gekrümmte Linsen vorgesehen.
Ein Aufnahmefutter dieser Art für Einzellinsenbearbeitung ist aus DE 198 12 186 A1 bekannt. Der Linsenhalter besteht aus einem rotationssymmetrischen Grundkörper mit einer Ausnehmung, in die eine zu bearbeitende Linse eingelegt wird und die zur anderen Seite hin mit einer Gummimembran abgeschlossen ist. Ober eine zentrale Bohrung im Schaft des Aufnahmefutters kann die Gummimembran an ihrer Rückseite mit Druckluft beaufschlagt werden. Wenn die Gummimembran sich dann ausdehnt, legt sie sich an die Linse und drückt diese gleichmäßig an das Polierwerkzeug heran. Dabei kommt es zu einer flächigen Berührung, da beide Teile gleichen Krümmungsradius haben. Durch Erzeugung eines Unterdrucks an der Membranfläche kann die Linse an die Membranfläche angesaugt und in eine hängende Position gebracht werden.
Aufgrund des Eigengewichts der Linse kann es zu unterschiedlichen Anlagedrucken durch die Membranfläche kommen. Da beim Polieren nicht nur die Oberflächenqualität verbessert wird, sondern auch noch Korrekturen in der Linsengeometrie im Feinbereich vorgenommen werden, führt ein unterschiedlicher Anlagedruck zu Ungenauigkeiten in der Linsenoberfläche. Vorzugsweise wird daher die hängende Aufnahme der Linse gewählt, so daß ihr Eigengewicht den Anlagedruck zum Polierwerkzeug unterstützt, nachdem die Membran für den Poliervorgang belüftet wurde. Bei liegender Aufnahme kann die Gleichmäßigkeit des Anlagedrucks z.B. durch unterschiedliche Dicken in der Membran unterstützt werden. Die zentral zugeführte Druckluftmenge kann der zu bearbeitenden Linse individuell angepaßt werden.
Bei dünneren Linsen, bei denen das Verhältnis zwischen Linsendurchmesser und Mittendicke groß ist, kann es aufgrund unterschiedlicher Anlagedrucke verstärkt zu einer asphärischen Deformation des Linsenkörpers kommen, die die Qualität des Polierergebnisses ebenfalls erheblich negativ beeinflußt.
Zur Vermeidung solcher Effekte ist aus der EP 0 169 931 A1 ein Aufnahmefutter bekannt, mit dem in der Membranfläche Stützzonen mit unterschiedlichem Anlagedruck durch die Zufuhr unterschiedlich geregelter Luftdrucke erzeugt werden können. Für das dort beschriebene Aufnahmefutter wird auch eine Ausführungsform zur gleichzeitigen Aufnahme mehrerer Linsen beschrieben.
Ein solches Aufnahmefutter weist einen Grund- und einen damit verbundenen Unterstützungskörper auf. Der Unterstützungskörper ist mit einem kappenförmigen Überzug versehen, der durch einen Umfassungsring an dem Grundkörper gehalten wird. Symmetrisch zur Drehachse des Unterstützungskörpers sind in diesem mehrere Vertiefungen enthalten. Im Bereich dieser Vertiefungen bildet der kappenförmige Überzug eine elastische Membran, auf der die zu bearbeitenden Linsen mit ihrem zentralen Bereich aufliegen. Die Aufnahme der Linse insgesamt wird durch eine Einformung in dem kappenförmigen Überzug gebildet, die dem Linsendurchmesser angepaßt ist.
Der Grundkörper weist einen Schaft für die Halterung des Aufnahmefutters in einer Bearbeitungsmaschine auf. Im Bereich des Schaftes enthält der Grundkörper einen zentralen Durchbruch für die Luftzufuhr. Jede der Vertiefungen in dem Unterstützungskörper wird durch einen separaten Luftkanal mit dem zentralen Durchbruch im Grundkörper verbunden, wobei die jeweiligen Membranteile des Überzugs in der Vertiefung fixiert sind und diese luftdicht abschließen. Über einen von den anderen Luftkanälen getrennten Kanal innerhalb des zentralen Durchbruchs und durch den Unterstützungskörper hindurch kann die übrige Unterfläche des Überzugs mit Druckluft beaufschlagt werden. Auf diese Weise können innerhalb jeder Linsenauflage Stützzonen mit unterschiedlichem Druck erzeugt werden. Der Überzug ist komplex geformt und erfordert eine aufwendige Montage auf dem Unterstützungskörper. Während in den Membranteilen die Luftzufuhr auch individuell geregelt werden kann, ist der lokale Druckaufbau unter der übrigen Fläche des Überzugs über die zentrale Luftzufuhr nicht beeinflußbar.
Aus US 2 736 993 A ist ein einteiliges Aufnahmefutter mit mehreren Einsätzen zur Aufnahme von Linseneiementen bekannt. Jeder Einsatz weist am Boden eine ebene Stützmembran auf, die durch ein zylindrisches Ringelement in dem Einsatz gehalten ist. Unter jeder Stützmembran ist ein kleiner Hohlraum angeordnet, dessen Durchmesser dem Innendurchmesser des Ringelementes angepaßt ist. Über eine Bohrung im Spindelschaft des Aufnahmefutters kann in eine zentrale Verteilerleitung eine Flüssigkeit geleitet werde, die über separate Zuleitungen den Hohlraum unter jeder Stützmembran füllt und auf die Rückseite der Stützmembran einen einstellbaren Druck ausübt.
Aus der US 2 509 211 ist eine Vorrichtung bekannt, mit der auf einer konvexen Kalotte mehrere Linsen aufgenommen werden können. Die Kalotte enthält dazu mehrere Ausnehmungen, in die als wesentliche Funktionselemente justierbare Schneidenauflagen aus Metall eingesetzt sind. Die Kalotte ist als halbkugelförmige Schale ausgebildet, die mit einer Bodenplatte verschlossen ist. Von den Ausnehmungen führt eine Bohrung in den Kalotteninnenraum. An der Bodenplatte ist zentrisch ein Hohlschaft befestigt, der ebenfalls über eine Bohrung mit dem Kalotteninnenraum verbunden ist. Der Hohlschaft ist an eine Unterdruckleitung angeschlossen, so daß auf die Schneidenauflagen, aufgelegte Linsen vom Unterdruck gehalten werden. Die Vorrichtung dient dazu, die auf der Kalotte über die Schneidenauflagen vorjustierten Linsen in das Kittbett einer konkaven Schleif- oder Polierkalotte lageorientiert einzubringen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Aufnahmefutter zu schaffen, das eine Mehrfach-Aufnahme mit den Vorteilen einer Einfach-Aufnahme durch Verwendung von Serien-Membranelementen erlaubt und konstruktiv einfach gestaltet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 2 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Merkmalen der Unteransprüche 3 bis 5.
Systematische Versuche mit einer direkten Luftzuführung zu einzelnen Stützelementen in einer Mehrfach-Aufnahme haben gezeigt, daß sich die Bearbeitungsqualitäten der gleichzeitig bearbeiteten Linsen deutlich voneinander unterscheiden. Überraschenderweise hat sich aber ergeben, daß durch ein gemeinsames Luftreservoir in dem Aufnahmefutter, an das die einzelnen Ausnehmungen mit den Stützelementen über einen oder mehrere kurze Luftkanäle angeschlossen sind, die Bearbeitungsqualität der gemeinsam bearbeiteten Linsen deutlich gleichmäßiger ausfällt. Über die Randhöhe des Grundkörpers kann das notwendige Topfvolumen für das Luftreservoir in einfacher Weise an unterschiedliche
Linsendurchmesser und Linsengewichte angepaßt werden. Die Deckelteile sind mit dem Grundkörper verschraubt und bilden durch eine O-Ring-Dichtung einen sicheren Verschluß des Luftreservoirs. Die Deckelteile sind auf diese Weise schnell austauschbar.
Die Ausnehmungen im Deckelteil können für handelsübliche elastische Stützelemente mit unterschiedlichen Abmessungen vorbereitet werden. Die Befestigung und Abdichtung über einen in eine Nut eingedrückten O-Ring erlaubt eine einfache Montage und wirkt außerdem als Überdrucksicherung. Sollte unbeabsichtigt ein Luftdruck auf die Membran gelangen, ohne daß eine Linse aufliegt und ein Polierwerkzeug an die Linse herangeführt ist, dann wird das Stützelement ohne Zerstörung aus der Halterung herausgedrückt.
Für die Bearbeitungsqualität der Linsenoberfläche und die Bearbeitungszeit sind neben einem gleichmäßigen Anlagedruck zwischen Linsenfläche und dem Polierwerkzeug auch deren Relativbewegungen zueinander von Bedeutung. Durch die Anordnung der Stützelemente in einem zylindrischen Halter, der in der Ausnehmung des Deckelteils drehbar gelagert ist, kann eine zusätzliche Relativbewegung der einzelnen Linsen auf dem gemeinsamen Aufnahmefutter realisiert werden. In vorteilhafter Weise kann der Halter mit einer Antriebsachse versehen werden, die in den Topfraum des Grundkörpers hineinreicht und hier getrieblich mit dem Antrieb für den Spindelschaft verbunden ist.
Ausführungsbeispiele des Aufnahmefutters sind in der Zeichnung schematisch dargestellt und werden anhand der Figuren näher beschrieben. Dabei zeigen:
Fig.1
ein Aufnahmefutter mit in das Deckelteil fest eingesetzten Stützelementen und
Fig.2
ein Aufnahmefutter mit in das Deckelteil drehbar eingesetzten Stützelementen.
Das Aufnahmefutter nach Fig.1 enthält einen Grundkörper 1 mit einem Spindelschaft 2, der in eine nicht weiter dargestellte Maschinenspindel zur Drehung des Aufnahmefutters eingesetzt wird. Der Spindelschaft 2 ist mit einer zentralen Bohrung 3 versehen, die mit einem ebenfalls nicht dargestellten Kompressor-Vakuum-System zur Luftversorgung verbunden ist. Der Grundkörper 1 weist einen umlaufenden Rand 4 auf, durch den im Grundkörper 1 ein topfförmiger Raum 5 gebildet wird, der sich über die gesamte Bodenfläche des Grundkörpers 1 erstreckt.
Auf dem Rand 4 des Grundkörpers 1 liegt ein Deckelteil 6, das mit dem Grundkörper 1 verschraubt und über eine O-Ring-Dichtung 7 den Topfraum 5 verschließt. Das Deckelteil 6 weist eine zylinderförmige Ausnehmung 8 auf. Auf dem Boden der Ausnehmung 8 liegt ein gummielastisches Stützelement, das hier als hutförmiges Membranteil 9 mit nach außen weisendem Hutrand 10 ausgebildet ist. Solche Membranteile 9 sind als Serienteile für Einzellinsenaufnahmen verfügbar. Der Hutrand 10 greift in eine Nut 11 in der Ausnehmung 8 ein und wird hier durch einen O-Ring 12 fest auf den Boden der Ausnehmung 8 gedrückt. Der unter dem Membranteil 9 liegende Raumbereich der Ausnehmung 8 ist über eine Bohrung 13 mit dem Topfboden 5 strömungsmäßig verbunden. Selbstverständlich können für eine schnellere Luftversorgung bei Bedarf weitere Bohrungen, auch von unterschiedlichem Durchmesser, vorgesehen sein. Auf das Membranteil 9 ist eine zu bearbeitende Linse 14 mit ihrer konvexen Linsenseite aufgelegt. Die zu bearbeitende Linsenfläche ist hier leicht konkav. Die Oberseite 15 des Deckelteils 6 ist in üblicher Weise mit einem geringfügig größeren Radius an die konkave Linsenfläche angepaßt, so daß die schematisch angedeutete Polierkalotte 16 die Linsenfläche ungehindert bearbeiten kann. Dazu wird über das im Topfraum 5 aufgebaute Luftreservoir und die Bohrung 13 ein Überdruck in dem Raum unter dem Membranteil 9 erzeugt, der das Membranteil 9 elastisch verformt bis es an der konvexen Fläche der Linse 14 formschlüssig anliegt.
Symmetrisch zur Achse 17 des Spindelschafts 2 sind in dem Deckelteil 6 weitere Ausnehmungen 8 mit in gleicher Weise eingelegten Membranteilen 9 vorgesehen. Vorzugsweise werden gleichzeitig drei Linsen 14 bearbeitet.
Das in Fig.2 dargestellte Ausführungsbeispiel geht von derselben Grundkonstruktion wie in Fig.1 aus. Gleiche Teile sind mit denselben Bezugszeichen versehen. Die zylinderförmige Ausnehmung 8 ist hier jedoch als Zylinderbohrung 18 ausgeführt, in die ein zylindrischer Halter 19 eingesetzt ist, der dieselben Halteelemente für das Membranteil 9 aufweist wie in Fig.1. Der Halter 19 ist mit einer Antriebsachse 20 versehen, die mit einer Bohrung 13 zur strömungsmäßigen Verbindung mit dem Topfraum 5 versehen ist und in den Topfraum 5 hineinreicht. Die Antriebsachse 20 wird im Boden der Zylinderbohrung 18 von einem Drehlager 21 gehalten, so daß der Halter 19 um seine Achse 22 drehbar ist. Die Antriebsachse 20 ist mit nicht weiter dargestellten getrieblichen Mitteln 23 versehen, die z.B. mit dem Antrieb für den Spindelschaft 2 gekoppelt sind.
Zur Bearbeitung ist hier eine konvexe Linsenfläche vorgesehen, so daß die Oberseite 15 des Deckelteils 6 entsprechend konvex geformt ist.
Die Achse 22 ist in diesem Fall zur Achse 17 des Spindelschafts 2 geneigt. Für die Bearbeitung einer konkaven Linsenfläche würde die Achse 22 ersichtlich von der Achse 17 weg gerichtet sein. Die unterschiedliche Richtung der Drehachsen gegenüber den zentralen Antriebsmitteln kann durch entsprechend geformte Kegelräder 24 als Teil der getrieblichen Mittel 23 ausgeglichen werden, die selbst nicht Teil der Erfindung sind.
Bezugszeichenliste:
1
Grundkörper
2
Spindelschaft
3
zentrale Bohrung
4
Rand
5
Topfraum
6
Deckelteil
7
O-Ring-Dichtung
8
Ausnehmung
9
Membranteil
10
Hutrand
11
Nut
12
O-Ring
13
Bohrung
14
Linse
15
Deckelteil Oberseite
16
Polierkalotte
17
Spindelschaft Achse
18
Zylinderbohrung
19
Halter
20
Antriebsachse
21
Drehlager
22
Halter-Achse
23
getriebliche Mittel
24
Kegelrad

Claims (5)

  1. Aufnahmefutter für optische Bauteile zum Feinschleifen und / oder Polieren mit mehreren Stützelementen (9) aus elastischem Material für die Bauteile und einer Anordnung zur Zuführung oder Abführung von Luft gegenüber der Rückseite des Stützelementes (9), wobei das Aufnahmefutter aus einem Grundkörper (1) mit einem eine zentrale Bohrung (3) aufweisenden Spindelschaft (2) und einem Deckelteil (6) zur Aufnahme der Stützelemente (9) besteht, dadurch gekennzeichnet, daß
    a) der Grundkörper (1) topfförmig mit einem umlaufenden Rand (4) ausgebildet ist,
    b) auf den Rand (4) das mit einer ebenen Basisfläche versehene Deckelteil (6) luftdicht aufgesetzt ist,
    c) die Deckeloberseite (15) symmetrisch zur Achse (17) des Spindelschaftes (2) liegende zylinderförmige Ausnehmungen (8) zum Einsetzen der elastischen Stützelemente (9) aufweist, wobei jede der Ausnehmungen (8) über mindestens eine Bohrung (13) mit einem gemeinsamen Topfraum (5) des Grundkörpers (1) strömungsmäßig verbunden ist und
    d) das elastische Stützelement als hutförmiges Membrantell (9) ausgebildet ist, dessen nach außen weisender Hutrand (10) auf dem Boden der Ausnehmung (8) aufliegt und über einen O-Ring (12) in einer Nut (11) der Ausnehmung (8) luftdicht gehalten wird.
  2. Aufnahmefutter für optische Bauteile zum Feinschleifen und / oder Polieren mit mehreren Stützelementen (9) aus elastischem Material für die Bauteile und einer Anordnung zur Zuführung oder Abführung von Luft gegenüber der Rückseite des Stützelementes (9), wobei das Aufnahmefutter aus einem Grundkörper (1) mit einem eine zentrale Bohrung (3) aufweisenden Spindelschaft (2) und einem Deckelteil (6) zur Aufnahme der Stützelemente (9) besteht, dadurch gekennzeichnet, daß
    a) der Grundkörper (1) topfförmig mit einem umlaufenden Rand (4) ausgebildet ist,
    b) auf den Rand (4) das mit einer ebenen Basisfläche versehene Deckelteil (6) luftdicht aufgesetzt ist,
    c) die Deckeloberseite (15) symmetrisch zur Achse (17) des Spindelschaftes (2) liegende zylinderförmige Ausnehmungen (8) zum Einsetzen der elastischen Stützelemente (9) aufweist, wobei jede der Ausnehmungen (8) über mindestens eine Bohrung (13) mit einem gemeinsamen Topfraum (5) des Grundkörpers (1) strömungsmäßig verbunden ist, und
    d) das elastische Stützelement (9) In einen zylindrischen Halter (19) eingesetzt ist, der in der Ausnehmung (8) in einem Drehlager (23) geführt ist.
  3. Aufnahmefutter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Stützelement als hutförmiges Membranteil (9) ausgebildet ist, dessen nach außen weisender Hutrand (10) auf dem Boden des Halters (19) aufliegt und Ober einen O-Ring (12) in einer Nut (11) des Halters (19) luftdicht gehalten wird.
  4. Aufnahmefutter nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter (19) eine in den Topfraum (5) führende Antriebsachse (20) aufweist.
  5. Aufnahmefutter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsachse (20) über getriebliche Mittel (23) mit dem Antrieb des Spindelschafts (2) gekoppelt ist.
EP01913524A 2000-01-27 2001-01-19 Aufnahmefutter für optische bauteile zum feinschleifen und/oder polieren Expired - Lifetime EP1165286B1 (de)

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