EP1119709B1 - Pompe a vide a friction avec stator et rotor - Google Patents

Pompe a vide a friction avec stator et rotor Download PDF

Info

Publication number
EP1119709B1
EP1119709B1 EP99940068A EP99940068A EP1119709B1 EP 1119709 B1 EP1119709 B1 EP 1119709B1 EP 99940068 A EP99940068 A EP 99940068A EP 99940068 A EP99940068 A EP 99940068A EP 1119709 B1 EP1119709 B1 EP 1119709B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
rotor
stator
pump according
blades
pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP99940068A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP1119709A1 (fr
Inventor
Heinrich Engländer
Alexander Bosma
Hans-Rudolf Fischer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vakuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
Publication of EP1119709A1 publication Critical patent/EP1119709A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP1119709B1 publication Critical patent/EP1119709B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations

Definitions

  • the invention relates to a friction vacuum pump with a stator that is one of several rows of stator blades existing stator blade package includes, as well with a rotor that is one of several rows of rotor blades existing rotor blade package includes, the Stator blade rows and the rotor blade rows ready for operation intermeshed state.
  • the present invention is based on the object a friction vacuum pump of the type mentioned create which no longer have the disadvantages described Has.
  • this object is achieved in that the blades of one of the two blade packages Slots, their arrangement, depth and Width are selected so that the stator and rotor are in and are unscrewable.
  • a friction vacuum pump of this type it is no longer necessary
  • Stator and rotor can each be formed in one piece and are inexpensive to manufacture.
  • the handling of components of this type during assembly much easier.
  • the gap between rotor and Stator can be reduced drastically, as a result of the Reducing the number of parts significantly reduces the tolerance chain is smaller. This results in smaller ones Backflow losses or better pump properties.
  • the Tool costs for the manufacture of the stator are essential less, so more flexible stator designs no longer with particularly high cost increases are connected.
  • Blades on the inside of a rotor e.g. bell-shaped designed rotor can be provided correspond with stator blades of an inner stator.
  • Blade configurations of this type include the engine and the Storage room to protect against the use of aggressive media to evacuate. On separate sealing gas facilities can be dispensed with.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Claims (26)

  1. Pompe à vide à friction (1) comprenant un stator (3) qui comporte un paquet de palettes de stator constitué de plusieurs rangées de palettes de stator, ainsi qu'un rotor qui comporte un paquet de palettes de rotor constitué de plusieurs rangées de palettes de rotor, les rangées de palettes de stator et les rangées de palettes de rotor s'engrenant les unes dans les autres dans l'état monté prêt à fonctionner, caractérisée en ce que les palettes de l'un des deux paquets de palettes sont munies de fentes (61), dont la disposition, la profondeur et la largeur sont choisies de telle sorte, que le stator (9) et le rotor (8) peuvent être vissés et dévissés.
  2. Pompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que les angles d'inclinaison des palettes du paquet de palettes dont les palettes traversent les fentes (61) dans les palettes de l'autre paquet de palettes lors du vissage ou du dévissage du stator (9) et du rotor (8) sont identiques.
  3. Pompe selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que le rotor (8) et le stator (9) sont respectivement formés d'une seule pièce.
  4. Pompe selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisée en ce que le stator (9) et le carter (2) sont formés d'une seule pièce.
  5. Pompe selon les revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le rotor (8) présente la forme d'une cloche, et en ce qu'il est muni de palettes de rotor (41) sur sa surface intérieure.
  6. Pompe selon la revendication 5, caractérisée en ce qu'elle présente deux étages, en ce que le rotor (8) porte des palettes de rotor (41, 41') sur ses surfaces intérieure et extérieure, et en ce qu'une douille de stator intérieure (16) et une douille de stator extérieure (17) sont prévues, qui portent des palettes de stator (42, 42') complémentaires.
  7. Pompe selon la revendication 6, caractérisée en ce qu'un troisième étage de pompe (41'', 42") prolonge les deux étages de pompe, qui se trouve entre l'arbre (11) et la douille intérieure (16).
  8. Pompe selon la revendication 7, caractérisée en ce que l'étage de pompe (41'', 42") est prolongé par une section au niveau de laquelle se trouve le moteur d'entraínement (13, 14), et en ce que le stator de moteur (14) et le rotor de moteur (13) sont pourvus de configurations de surfaces actives de pompage.
  9. Pompe selon la revendication 8, caractérisée en ce que le stator de moteur (14) et le rotor de moteur (13) présentent des configurations actives de pompage à géométrie anglaise.
  10. Pompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les palettes (41, 42), du moins dans la zone côté pression, présentent une longueur qui correspond à la profondeur de filet connue des pompes de Holweck (géométrie anglaise).
  11. Pompe selon la revendication 10, caractérisée en ce que la configuration des palettes passe - de préférence continûment - du principe de turbo à la configuration anglaise.
  12. Pompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'épaisseur des palettes de rotor (41) est différente de l'épaisseur des palettes de stator (42), et en ce que les palettes présentant la plus grande épaisseur sont munies des fentes (61).
  13. Pompe selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le stator et le rotor sont couplés l'un à l'autre par technique oscillante, et en ce que le système (3) constitué de l'unité de stator et de l'unité de rotor est maintenu conjointement dans le carter (2, 7) à l'aide d'éléments oscillants (4, 5).
  14. Pompe selon la revendication 13, caractérisée en ce que des paliers mécaniques (23, 36) sont prévus, et en ce que le rotor et le stator sont couplés l'un à l'autre à l'aide des paliers mécaniques.
  15. Pompe selon la revendication 13 ou 14, caractérisée en ce que le stator (9) et le rotor (8) sont rigidement couplés l'un à l'autre par technique oscillante.
  16. Pompe selon la revendication 15, caractérisée en ce qu'entre l'unité de rotor (8) et le palier (23, 36) et/ou le palier (23, 36) et l'unité de stator (9) un ajustage coulissant axial (22, 35) est prévu.
  17. Pompe selon la revendication 14, caractérisée en ce qu'entre l'un des paliers et l'unité de stator est disposé un joint torique (63) servant à rattraper un jeu d'ajustage.
  18. Pompe selon l'une des revendications 13 à 17, caractérisée en ce que le carter (2) forme une douille de serrage qui, conjointement avec un couvercle (7) frontal, accouple le système rotor-stator.
  19. Pompe selon l'une des revendications 13 à 18, caractérisée en ce qu'un arbre central (11) ainsi qu'un rotor (12) sont des composants de l'unité de rotor (8), et en ce que l'unité de rotor (8) s'appuie dans l'unité de stator (9) à l'aide des paliers (23, 36).
  20. Pompe selon l'une des revendications 13 à 19, caractérisée en ce que des douilles (15, 16, 17) ainsi que des logements pour des éléments oscillants (4, 5, 24, 32) sont des composants de l'unité de stator (9) à l'aide desquels le système rotor-stator (3) s'appuie dans le carter (2, 7).
  21. Pompe selon la revendication 20, caractérisée en ce que l'unité de stator (9) forme un deuxième carter intérieur.
  22. Pompe selon la revendication 21, caractérisée en ce que le carter intérieur est étanche au vide, et en ce que le carter extérieur (2) est muni de fentes d'aération (39).
  23. Pompe selon la revendication 19 ou 20, caractérisée en ce que son rotor (12) présente la forme d'une cloche, et en ce qu'il existe trois étages de pompe.
  24. Pompe selon la revendication 23, caractérisée en ce que le stator (9) comprend trois douilles (15, 16, 17) dont une est disposée côté pression et deux sont disposées côté aspiration, à savoir respectivement l'une à l'extérieur et l'une à l'intérieur de la paroi de rotor (18).
  25. Pompe selon la revendication 24, caractérisée en ce que la douille (15) côté pression et la douille (16) côté aspiration intérieure sont munies de bords (26, 28) extérieurs accouplés l'un à l'autre à l'aide d'un écrou-raccord (27) pouvant être vissé sur le côté pression de la douille extérieure.
  26. Procédé de montage d'une pompe à vide à friction (1) comprenant un stator (3) qui comporte un paquet de palettes de stator consistant en plusieurs rangées de palettes de stator (42, 42', 42"), ainsi qu'un rotor qui comporte un paquet de palettes de rotor consistant en plusieurs rangées de palettes de rotor, les rangées de palettes de stator et les rangées de palettes de rotor s'engrenant les unes dans les autres dans l'état monté prêt à fonctionner, les palettes de l'un des deux paquets de palettes étant munies de fentes (61), dont la disposition, la profondeur et la largeur sont choisies de telle sorte, que le stator (3) et le rotor (8) peuvent être vissés et dévissés, caractérisé en ce que le montage du système stator-rotor (3) est réalisé en vissant le stator (9) et le rotor (8, 12) l'un dans l'autre.
EP99940068A 1998-10-07 1999-07-28 Pompe a vide a friction avec stator et rotor Expired - Lifetime EP1119709B1 (fr)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19846188A DE19846188A1 (de) 1998-10-07 1998-10-07 Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor
DE19846188 1998-10-07
PCT/EP1999/005394 WO2000020762A1 (fr) 1998-10-07 1999-07-28 Pompe a vide a friction avec stator et rotor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1119709A1 EP1119709A1 (fr) 2001-08-01
EP1119709B1 true EP1119709B1 (fr) 2003-05-07

Family

ID=7883694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP99940068A Expired - Lifetime EP1119709B1 (fr) 1998-10-07 1999-07-28 Pompe a vide a friction avec stator et rotor

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6619911B1 (fr)
EP (1) EP1119709B1 (fr)
JP (1) JP2002526720A (fr)
DE (2) DE19846188A1 (fr)
WO (1) WO2000020762A1 (fr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10149366A1 (de) 2001-10-06 2003-04-17 Leybold Vakuum Gmbh Axial fördernde Reibungsvakuumpumpe
DE10210404A1 (de) * 2002-03-08 2003-09-18 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Herstellung des Rotors einer Reibungsvakuumpumpe sowie nach diesem Verfahren hergestellter Rotor
DE10256086A1 (de) * 2002-11-29 2004-06-17 Leybold Vakuum Gmbh Kugellager und mit einem Lager dieser Art ausgerüstete Vakuumpumpe
US7300261B2 (en) * 2003-07-18 2007-11-27 Applied Materials, Inc. Vibration damper with nested turbo molecular pump
DE102004047930A1 (de) * 2004-10-01 2006-04-06 Leybold Vacuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe
DE102005003091A1 (de) * 2005-01-22 2006-07-27 Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Seitenkanalverdichter
JP7188884B2 (ja) * 2014-12-04 2022-12-13 レスメド・プロプライエタリー・リミテッド 空気送出用のウェラブルデバイス
US9976561B2 (en) 2016-04-11 2018-05-22 Borgwarner Inc. Method for securing stator in high speed electric motors
GB2583938A (en) * 2019-05-14 2020-11-18 Edwards Ltd Vacuum rotor blade
JP7396209B2 (ja) * 2020-06-03 2023-12-12 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプのロータおよびステータ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2224009A5 (fr) * 1973-03-30 1974-10-25 Cit Alcatel
IT1032818B (it) * 1975-05-06 1979-06-20 Rava E Perfezionamento alle pompe turbomo lecolari
DE3204750C2 (de) * 1982-02-11 1984-04-26 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Magnetisch gelagerte Turbomolekularpumpe
US4732529A (en) 1984-02-29 1988-03-22 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump
DE3728154C2 (de) 1987-08-24 1996-04-18 Balzers Pfeiffer Gmbh Mehrstufige Molekularpumpe
DE3891201T1 (de) 1988-01-05 1990-01-11 Valerij Borisovic Solochov Vakuum-molekularpumpe
JPH031297U (fr) * 1989-05-30 1991-01-09
JPH05272488A (ja) * 1992-03-27 1993-10-19 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
FR2735535B1 (fr) 1995-06-16 1997-07-11 Cit Alcatel Pompe turbomoleculaire
DE19632375A1 (de) 1996-08-10 1998-02-19 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002526720A (ja) 2002-08-20
DE59905492D1 (de) 2003-06-12
DE19846188A1 (de) 2000-04-13
EP1119709A1 (fr) 2001-08-01
WO2000020762A1 (fr) 2000-04-13
US6619911B1 (en) 2003-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69734028T3 (de) Vakuumpumpe
EP1462658B1 (fr) Ventilateur radial
DE3322295C2 (de) Axialventilator
DE4216237A1 (de) Gasreibungsvakuumpumpe
DE102010046565A1 (de) Handgeführtes Blasgerät
DE69921404T2 (de) Dichtungsanordnung mit automatischer Spieleinstellung
WO2017041997A1 (fr) Turbo-ventilateur comprenant un corps de refroidissement
EP1119709B1 (fr) Pompe a vide a friction avec stator et rotor
DE3740295A1 (de) Axiales magnetlager
DE10004263A1 (de) Dynamische Dichtung
WO1999060275A1 (fr) Pompe a vide a friction dotee d'un stator et d'un rotor
DE60035842T2 (de) Vakuumpumpen
EP0675289A1 (fr) Pompe à effet visqueux
EP3657021A1 (fr) Pompe à vide
DE3722164C2 (de) Turbomolekularpumpe
EP1937980A1 (fr) Rotor pour une turbomachine et turbomachine pourvue dudit rotor
DE60319585T2 (de) Vakuumpumpe
EP0363503A1 (fr) Etage de pompage pour une pompe à vide élevé
DE3924281A1 (de) Vorrichtung zum foerdern eines gasfoermigen mediums
DE102007044945A1 (de) Vakuumpumpe
DE2352335A1 (de) Siebkoerper zum abscheiden von feststoffen aus gasfoermigen medien
DE19913950A1 (de) Seitenkanalverdichter
EP1519049A2 (fr) Compresseur à canal latéral avec carter annulaire
EP4212730A1 (fr) Pompe à vide avec étage de pompage de holward optimisé pour compenser la perte de performance liée à la température
DE60023087T2 (de) Vakuumpumpe mit eigenantrieb

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20010303

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE FR GB IT

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: GERMAN

REF Corresponds to:

Ref document number: 59905492

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20030612

Kind code of ref document: P

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)
REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

Ref document number: 1119709E

Country of ref document: IE

ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20040210

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20090716

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20090720

Year of fee payment: 11

Ref country code: DE

Payment date: 20090722

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20090727

Year of fee payment: 11

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20100728

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20110331

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20110201

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 59905492

Country of ref document: DE

Effective date: 20110201

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100728

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100802

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100728