EP1101136A1 - Optoelektronische sende- und empfangseinheit - Google Patents

Optoelektronische sende- und empfangseinheit

Info

Publication number
EP1101136A1
EP1101136A1 EP99936534A EP99936534A EP1101136A1 EP 1101136 A1 EP1101136 A1 EP 1101136A1 EP 99936534 A EP99936534 A EP 99936534A EP 99936534 A EP99936534 A EP 99936534A EP 1101136 A1 EP1101136 A1 EP 1101136A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
unit
transmitter
optoelectronic
receiving unit
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP99936534A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1101136B1 (de
Inventor
Christian Eisenberger
Herbert Pronold
Peter Speckbacher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of EP1101136A1 publication Critical patent/EP1101136A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1101136B1 publication Critical patent/EP1101136B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4246Bidirectionally operating package structures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/10155Shape being other than a cuboid
    • H01L2924/10158Shape being other than a cuboid at the passive surface

Definitions

  • the present invention relates to an optoelectronic transmitter and receiver unit according to the preamble of claim 1, which is particularly suitable for bidirectional data transmission by means of optical fibers.
  • optoelectronic transmitting and receiving units or so-called transceivers are required at the respective ends of the optical fibers.
  • One possibility for designing such transceivers is known, for example, from EP 0 410 143 A2. It is provided there that an optoelectronic transmission unit and an optoelectronic reception unit are arranged at an angle of 90 ° relative to one another.
  • a suitable branching or beam splitter element ensures that the radiation emitted by the transmitting unit is coupled into an optical waveguide or that the radiation coming from the optical waveguide is deflected in the direction of the receiving unit.
  • JP 8-179169 from which the preamble of claim 1 is based in the following set of claims, provides for the transmitter unit and the receiver unit to be arranged along a common optical axis, this axis being aligned with the optical axis of the Optical fiber is identical.
  • the receiving unit is arranged adjacent to the exit surface of the optical waveguide; the transmitter unit follows behind or away from the optical fiber. This eliminates the need for the branching element, as was necessary in the arrangement from the publication cited above.
  • the radiation emitted by the transmitting unit is coupled into an SiO 2 waveguide layer on a carrier substrate, guided past the receiving unit and coupled into the optical waveguide from the waveguide layer.
  • the respectively active layer regions of the two semiconductor components are aligned in relation to the optical axis in such a way that this lies in the respective plane of the active regions or else in parallel is oriented towards this.
  • Adjustment problems result, for example, in the case of direct irradiation of this element via the optical waveguide.
  • a relatively narrow surface of the receiving element must then be aligned as highly precisely as possible relative to the end of the optical waveguide on the outcoupling side, which requires a corresponding outlay during assembly. If, on the other hand, an application is made via the coupling of the radiation of the optical waveguide into the waveguide layer on the substrate, then the losses or problems already discussed above arise when coupling this radiation in and out.
  • the object of the present invention is therefore to further develop the generic optoelectronic transmitting and receiving unit for bidirectional data transmission by means of optical fibers in such a way that, in particular, a further increase in insensitivity with regard to the adjustment of the individual elements relative to the optical fiber and thus a reduced assembly effort results. Furthermore, the simplest possible manufacture of such a device is desirable.
  • the active, radiation-sensitive layer region of the receiving unit perpendicular to the axis along which the receiving unit and the transmitting unit are arranged.
  • This axis is preferably predetermined by the optical axis of symmetry of the optical waveguide.
  • This arrangement is made possible in particular by the use according to the invention of special optoelectronic receiving units in which the active layer region is located in a thin membrane which can be irradiated by the transmitting unit.
  • the radiation-sensitive surface of the receiving unit is now relatively large compared to the end surface or exit surface of the optical waveguide, a correspondingly large tolerance range results, at least for the optoelectronic receiving unit, within which this element can be mounted correctly adjusted in front of the exit surface of the optical waveguide.
  • the transmission unit can also be arranged in relation to the optical axis in such a way that the plane of the active, light-emitting region is likewise oriented perpendicular to the optical axis. In principle, however, the exact alignment of this component is less critical due to the usual radiation characteristics with respect to the optical waveguide, so that this measure can optionally be provided.
  • the required optical waveguide in the device according to the invention is only relatively roughly aligned with the optoelectronic components and is attached to a suitable device. Housing must be fixed, for which purpose a suitable connector is preferably provided.
  • the variants according to the prior art required a separate module housing, from which the highly precisely adjusted optical waveguide is led out in the form of a so-called “pigtail”, which in turn must be connected to a subsequent optical waveguide via suitable coupling elements.
  • Figure 1 is a schematic representation of a first embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention
  • Figure 2 shows a second embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention in a schematic representation
  • Figure 3 shows a third embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention in a schematic representation
  • FIG. 4a and 4b show different views of a fourth embodiment of the optoelectronic transmitting and receiving unit according to the invention
  • Figure 5 shows a fifth embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention in a schematic representation
  • Figure 6 shows a sixth embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention in a schematic representation.
  • a suitable housing 1 has a carrier element 2 arranged, for example, in the form of a printed circuit board.
  • the essential elements of the present invention are arranged on the carrier element 2, the carrier element 2 also serving, in addition to the mechanical carrier and stabilization function, for contacting the optoelectronic components arranged thereon.
  • corresponding conductor tracks are provided in the carrier element 2, which, however, cannot be seen in FIG. 1.
  • a transmission unit 3 and a reception unit 4 are provided on the carrier element 2, which are oriented in a certain spatial relative orientation to an optical waveguide 5 or to its end surface 6, which is the optoelectronic transmission and Receiving unit is facing.
  • the optical waveguide 5 has a two-part construction, consisting of an optical waveguide core and an optical waveguide jacket.
  • the end face 6 of the optical waveguide is held in a fixed relative orientation with respect to the transmitting and receiving unit 3, 4 by means of suitable design measures.
  • suitable design measures Various options are available for this, for example suitable plug connections etc.
  • the transmitting unit 3 and the receiving unit 4 are now both arranged adjacent to one another along a common axis 12, which in the exemplary embodiment shown is defined by the optical axis of symmetry of the optical waveguide 5. Because of this arrangement, there is no need for an optical branching element, as is otherwise usually required for deflecting the radiation coming from the optical waveguide 5 onto the receiving unit 4 and for deflecting and coupling the radiation emitted by the transmitting unit 3 into the light guide 5.
  • the radiation-sensitive area of the receiving unit 4, which consequently corresponds to the areal extent of the active layer area 8, is thus in particular relatively large compared to the exit area of the respective optical waveguide, ie in the case shown in relation to the core area or the core area in the end face 6 due to this arrangement, therefore, a significantly reduced adjustment effort, which relates to the exact relative positioning of the receiving unit 4 to the radiation-emitting region of the end face 6 of the optical waveguide 5.
  • a conventional plug connection can be used, for example, since there are no high adjustment requirements result in the relative alignment of optical waveguide 5 and receiving unit 4.
  • the membrane area of the receiving unit 4 with the active, radiation-sensitive layer area 8 is in this case so thin, in one possible embodiment approximately in the order of magnitude around 2 ⁇ m, that it is possible for the transmitter unit 4 to radiate through this membrane area.
  • the transmitter unit 4 is accordingly also arranged along the optical axis 12, specifically behind the receiver unit 4, when the arrangement is viewed from the light guide 5.
  • a beam shaping lens 7 is provided in the radiation-emitting surface area of the transmission unit 3, which can be designed, for example, as a lens with suitable optical properties.
  • the beam shaping optics 7 could also be used as a Fresnel structure or as a grating structure on the underside of the membrane, i.e. be formed on the side of the receiving unit 4 facing the transmitting unit 3, which side would have to be structured accordingly for this purpose.
  • the beam shaping optics 7 cause the radiation emitted by the optoelectronic transmitter unit 3 to be focused on the end face 6 of the optical waveguide 5.
  • reflections at the various interfaces or air gaps can also be avoided at this point, in each case would bring about a reduction in efficiency.
  • the geometric dimensioning of the active, radiation-sensitive area of the receiving Unit 4 further selected so that this area covers the required area of the transmission unit on the support member 2. In addition to simple assembly of the overall arrangement, this also gives the possibility of contacting the various optoelectronic components on the carrier element 2.
  • the transmission unit 3 e.g. LEDs, laser diodes etc.
  • both transmitter units 3 could be arranged along the optical axis 12, in which the active, radiation-emitting layer region is oriented parallel to or perpendicular to the extension of the optical axis 12.
  • the transmission and reception wavelengths can be used for bidirectional data transmission.
  • the emitted wavelength ⁇ s of the transmitter unit 3 or the response characteristic of the receiver unit 4 and thus its wavelength ⁇ E changes with maximum sensitivity.
  • the emitted wavelength ⁇ s of the transmission If possible, unit 2 does not coincide with the wavelength ⁇ ⁇ at which the receiving unit 4 primarily responds. If the respective wavelengths ⁇ s , ⁇ E were selected in this way, the so-called full duplex operation of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention would be possible, ie the simultaneous transmission and reception of data via the coupled optical waveguide 5.
  • the transmission and reception units 3, 4 are always contacted from the rear of the respective units.
  • the rear side is understood to mean that side which is oriented away from the optical waveguide 5.
  • contacting elements 13a, 13b are schematically indicated on the back of the transmission unit 3, via which the Transmitter unit 3 is connected to conductor tracks in the carrier element 2 and thus to a downstream control and evaluation unit, which is also not shown in FIG. 1.
  • the receiving unit 4 has contacting elements 9a, 9b, which in turn are connected to electrically conductive spacers 10a, 10b.
  • the spacers 10a, 10b are also connected to conductor tracks in the carrier element 2 via further contacting elements 11a, 11b, via which the electrical connection of the receiving unit to the above-mentioned control and evaluation unit is established.
  • Such contacting of the two semiconductor components 3, 4 proves to be advantageous insofar as they can be mounted on the carrier element 2 or the circuit board in a relatively simple manner using known SMD assembly methods.
  • FIG. 1 An alternative, second embodiment of the device according to the invention is shown schematically in FIG. This differs essentially only in the type of electrical contacting of the transmitting and receiving units 103, 104 arranged on the carrier element 102 in the housing 101. While the contacting of the transmitting unit 103 takes place again with the aid of the contacting elements 113a, 113b arranged on the rear, an alternative contacting variant is only provided for the receiving unit 104.
  • the receiving unit 104 is fastened to the carrier element 102 via insulating elements 116a, 116b, while the contacting takes place via bonding wires 115a, 115b, which are arranged on the receiving unit 104 on the side which is opposite to the radiation to be detected on the front.
  • this embodiment of the device according to the invention also corresponds to the previous variant with regard to the relative arrangement of the various elements with respect to the axis 112 etc.
  • a third embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention is shown schematically in FIG. This exemplary embodiment also differs primarily in the selected manner of contacting the transmitting and receiving unit 203, 204 from the previous variants and only offers certain advantages with regard to the possible fully automatic SM D assembly.
  • the optoelectronic receiving unit 204 is in turn contacted from that side and connected to the carrier element 202 which is oriented away from the optical waveguide 205 or its end face 206.
  • corresponding contacting elements 216a, 216b are provided between the rear of the receiving unit 204 and the carrier element 202 and the conductor tracks arranged therein.
  • this exemplary embodiment also corresponds to the variants already described above with regard to the arrangement of the individual components, etc.
  • FIGS. 4a and 4b show a fourth embodiment of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention in different ways Views. The essential differences from the previously described variants are again to be seen in the manner in which the transmitting and receiving units 303, 304 are contacted.
  • the transmitter unit 303 is thus arranged on a carrier element 302, rectangular contact elements 320a, 320b being provided both on the side of the transmitter unit 303 and on the side of the carrier element 302 for contacting this element 302.
  • the conductive connection to conductor tracks in the carrier element 302 is established via a conductive contact material 319b arranged between them, for example a suitable solder.
  • the contacting regions 320a, 320b are arranged on opposite sides of the transmission unit 303.
  • a further pair of contacting elements 309a, 309b rotated by 90 ° is provided for the receiving unit 304, between which in turn a conductive contacting material 310a, 310b is arranged.
  • contacting elements 309a, 309b accordingly serve to contact the receiving unit 304 arranged above the transmitting unit 303.
  • a total of three contacting elements 309a, 309b are arranged on each side, one each on the underside of the receiving unit 304, on the side face of the transmitting unit 303 and on the carrier element 302. To prevent, in particular, those on the side faces of the transmitter unit
  • U-shaped insulation elements 315a, 315b are arranged on the corresponding side surfaces of the transmission unit 303, which encompass this area.
  • FIG. 304 this embodiment also corresponds to the previously explained variants.
  • suitable beam shaping optics can in turn also be arranged between transmitting unit 303 and receiving unit 304, etc.
  • FIG. 304 A fifth variant of the optoelectronic transmitter and receiver unit according to the invention is shown schematically in FIG. In the following, only the special type of contacting of the various components will be discussed; the basic structure is identical to that of the previous embodiments.
  • a transmitting unit 403 is now arranged on a carrier element 402, the total area of which is larger than that of the receiving unit 404 arranged above it.
  • This arrangement makes it possible to contact the receiving unit 404 via bonding wires 421a, 42b, the different contacting elements 409a, 409b connect with each other.
  • the contacting elements 409a, 409b are arranged on the underside of the receiving unit 404, on partial areas of the upper side of the transmitting unit 403 and on the carrier element 402. A conductive connection between the contacting elements on the upper side of the transmission unit 403 and those on the carrier element 402 is established via the bond wires 421 a, 421 b.
  • An electrically conductive contacting material 410a, 410b is again provided between the contacting elements 409a, 409b on the underside of the receiving unit 404 and the contacting elements 409a, 409b arranged on the upper side of the transmitting unit 403.
  • the contacting of the transmission unit 403 takes place via contacting elements 420a, 420b, which are arranged on the one hand on the underside of the transmission unit 403 and on the carrier element 402; a conductive contacting material 419a, 419b is provided in between.
  • a fundamentally alternative embodiment would also be possible.
  • suitable bores or narrow holes could be made in the edge areas of the transmitter unit, which are filled with conductive contacting material and thus make contact with the receiver units at the top. enable through the transmitter unit.
  • the bores or holes required for this could be produced by a so-called thermal migration process or by drilling with a laser.
  • a sixth embodiment of the device according to the invention is finally explained with reference to FIG. 6 in a partial view. Only the arrangement of transmitter unit 603, receiver unit 604 and optical waveguide 605 located in a housing 601 is shown.
  • the optical waveguide 605 or its end face 606 is now arranged directly in a recess in the receiver unit 604.
  • the recess is provided in an area of the receiving unit 604 in which the membrane-like partial area of the receiving unit 604 is also located, in which the active layer area 608 is arranged.
  • the transmission unit 603 is arranged above the membrane with the active layer region 608.
  • the radiation-emitting surface of the transmission unit 603 is oriented in the direction of the recess or the end surface 606 of the optical waveguide 605.
  • the transmitter unit 603 is contacted with the aid of contacting elements (not shown) which are arranged between the light-emitting side of the transmitter unit 603 and the receiver unit.
  • the contacting elements of the receiving unit 604, which are also not shown, can be located next to them, e.g. on top of the receiving unit 604.
  • the contacting elements of the two optoelectronic components 603, 604 are then connected to the corresponding contacting elements on a carrier element in the housing, which is also not shown in FIG. 6.
  • Fixing the entire arrangement of optical waveguide 605 and the two units 603, 604 could e.g. by gluing or casting.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Amplifiers (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)

Description

Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optoelektronische Sende- und Empfangseinheit gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 , die insbesondere zur bidirektionalen Datenübertragung mittels Lichtwellenleitern geeignet ist.
Zur bidirektionalen Datenübertragung über Lichtwellenleiter sind an den jeweiligen Enden der Lichtwellenleiter optoelektronische Sende- und Empfangseinheiten bzw. sogenannte Transceiver erforderlich. Eine Möglichkeit zur Ausgestaltung derartiger Transceiver ist z.B. aus der EP 0 410 143 A2 bekannt. Dort ist vorgesehen, eine optoelektronische Sendeeinheit und eine optoelektronische Empfangseinheit in einem Winkel von 90° relativ zueinander anzuordnen. Über ein geeignetes Verzweiger- oder Strahlteilerelement wird sichergestellt, daß die von der Sendeeinheit emittierte Strahlung in einen Lichtwellenleiter eingekoppelt wird bzw. die vom Lichtwellenleiter kommende Strahlung in Richtung der Empfangseinheit umgelenkt wird. Derartige Transceiver erfordern jedoch einen großen Aufwand hinsichtlich der exakten Justage bzw. Anordnung der beiden Sende- und Empfangseinheiten in Be- zug auf das Verzweigerelement und den Lichtwellenleiter. Außerdem erfordert diese Anordnung stets ein entsprechendes Verzweigerelement, d.h. die Anzahl nötiger Bauteile ist hoch.
In der JP 8-179169, von der bei der Bildung des Oberbegriffes des Anspruches 1 im nachfolgenden Anspruchssatz ausgegangen wird, ist aus diesem Grund deshalb vorgesehen, die Sendeeinheit und die Empfangseinheit entlang einer gemeinsamen optischen Achse anzuordnen, wobei diese Achse mit der optischen Achse des Lichtwellenleiters identisch ist. Benachbart zur Austrittsfläche des Lichtwellenleiters ist hierbei die Empfangseinheit angeordnet; dahinter bzw. abgewandt vom Lichtwellenleiter folgt die Sendeeinheit. Derart erübrigt sich das Verzweigerelement, wie es etwa in der Anordnung aus der oben zitierten Druckschrift nötig war. Die von der Sendeeinheit emittierte Strahlung wird in eine SiO2-Wellenleiterschicht auf einem Träger- Substrat eingekoppelt, an der Empfangseinheit vorbeigeführt und von der Wellenleiterschicht in den Lichtwellenleiter eingekoppelt. Desweiteren wird vorgeschlagen, die Empfangs- bzw. Sendewellenlänge der beiden -einheiten aufeinander abzustimmen. So emittiert die entsprechende Sendeeinheit bei einer Wellenlänge, bei der die jeweilige Empfangseinheit nicht anspricht. Problematisch an einer derartigen Anordnung ist nunmehr der erforderliche hohe fertigungstechnische Aufwand, da auf das Halbleiter-Trägersubstrat zunächst die Wellenleiterschicht aufgebracht werden muß und darauf wiederum die Halbleiterschichtstapel der Sende- und Empfangseinheiten. Es sind somit aufwendige Halbleiter-Herstellungstechniken zur Fertigung dieser Baueinheit erforderlich. Desweiteren resultieren bei der vorgeschlagenen Anordnung Probleme, wenn die von der Sendeeinheit emittierte Strahlung in die Wellenleiterschicht und von dieser in den Lichtwellenleiter eingekoppelt wird. Einkoppelverluste lassen sich an diesen Stellen kaum vermeiden, wo- unter wiederum die Gesamteffizienz dieser Anordnung leidet. Desweiteren ist aufzuführen, daß die jeweils aktiven Schichtbereiche der beiden Halbleiterbauelemente derart in Bezug zur optischen Achse ausgerichtet sind, daß diese in der jeweiligen Ebene der aktiven Bereiche liegt oder aber parallel hierzu orientiert ist. Abhängig von der Art und Weise der Beaufschlagung dieses Elementes mit der Strahlung, die die Austrittsfläche des Lichtwellenleiters verläßt, ergeben sich zusätzliche Probleme. So resultieren etwa im Fall einer direkten Bestrahlung dieses Elementes über den Lichtwellenleiter Justageprobleme. Es muß dann eine relativ schmale Fläche des Empfangselementes relativ zum auskoppelseitigen Ende des Lichtwellenleiters möglichst hochexakt ausgerichtet werden, was bei der Montage einen entsprechenden Aufwand erfordert. Ist hingegen eine Beaufschlagung über die Ein- kopplung der Strahlung des Lichtwellenleiters in die Wellenleiterschicht auf dem Substrat vorgesehen, so ergeben sich wiederum die bereits oben diskutierten Verluste bzw. Probleme beim Ein- und Auskoppeln dieser Strahlung.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher die gattungsgemäße opto- elektronische Sende- und Empfangseinheit zur bidirektionalen Datenübertragung mittels Lichtwellenleitern derart weiterzubilden, daß insbesondere eine nochmals gesteigerte Unempfindlichkeit hinsichtlich der Justierung der einzelnen Elemente relativ zum Lichtwellenleiter und damit ein verringerter Montageaufwand resultiert. Desweiteren ist eine möglichst einfache Ferti- gung einer derartigen Vorrichtung wünschenswert.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine optoelektronische Sende- und Empfangseinheit mit den Merkmalen im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1.
Vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit ergeben sich aus den Maßnahmen in den abhängigen Patentansprüchen.
Erfindungsgemäß wird nunmehr vorgesehen, zumindest den aktiven, strahlungsempfindlichen Schichtbereich der Empfangseinheit senkrecht zu derjenigen Achse anzuordnen, entlang der die Empfangseinheit und die Sende- einheit angeordnet sind. Vorzugsweise ist diese Achse durch die optische Symmetrieachse des Lichtwellenleiters vorgegeben. Diese Anordnung wird insbesondere durch die erfindungsgemäße Verwendung spezieller optoelektronischer Empfangseinheiten möglich, bei denen sich der aktive Schichtbereich in einer dünnen Membran befindet, die von der Sendeeinheit durchstrahlt werden kann. Da die strahlungsempfindliche Fläche der Empfangseinheit nunmehr relativ groß gegenüber der Endfläche bzw. Austrittsfläche des Lichtwellenleiters ist, resultiert zumindest für die optoelektronische Empfangseinheit ein entsprechend großer Toleranzbereich, innerhalb dessen dieses Element korrekt justiert vor der Austrittsfläche des Lichtwellenleiters montiert werden kann.
Darüberhinaus kann auch die Sendeeinheit derart in Bezug auf die optische Achse angeordnet werden, daß die Ebene des aktiven, lichtemittierenden Bereiches ebenfalls senkrecht zur optischen Achse orientiert ist. Grundsätzlich ist exakte Ausrichtung dieses Bauteiles aufgrund der üblichen Abstrahlcharakteristiken in Bezug auf den Lichtwellenleiter jedoch weniger kritisch, so daß diese Maßnahme optional vorgesehen werden kann.
Da desweiteren ein unmittelbares Durchstrahlen der Empfangseinheit durch die von der Sendeeinheit emittierte Strahlung vorgesehen ist, entfallen die oben diskutierten Probleme im Zusammenhang mit der ansonsten erforderlichen Wellenleiterschicht auf einem Trägersubstrat.
Es existieren grundsätzlich eine Reihe von Möglichkeiten, wie die beiden Sende- und Empfangseinheiten relativ zueinander geeignet angeordnet werden können und wie insbesondere die Kontaktierung der jeweiligen Sende- und Empfangseinheiten erfolgen kann.
Als weiterer Vorteil ist aufzuführen, daß der erforderliche Lichtwellenleiter in der erfindungsgemäßen Vorrichtung lediglich relativ grob gegenüber den optoelektronischen Bauteilen ausgerichtet und an einem geeigneten Ge- häuse fixiert werden muß, wozu vorzugsweise eine geeignete Steckverbindung vorgesehen wird. Demgegenüber erforderten die Varianten gemäß dem Stand der Technik ein separates Modulgehäuse, aus dem der hochpräzise justierte Lichtwellenleiter in Form eines sog. „pigtails" herausgeführt wird, der wiederum über geeignete Kopplungselemente mit einem nachfolgenden Lichtwellenleiter verbunden werden muß.
Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung verschiedener Ausführungsbeispiele anhand der beiliegenden Figuren.
Dabei zeigt
Figur 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit;
Figur 2 eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit in einer schematischen Darstellung;
Figur 3 eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit in einer schematischen Darstellung;
Figur 4a und 4b verschiedene Ansichten einer vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit; Figur 5 eine fünfte Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit in einer schematischen Darstellung;
Figur 6 eine sechste Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit in einer schematischen Darstellung.
Anhand der schematisierten Darstellung von Figur 1 sei nachfolgend eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit erläutert.
Hierbei ist einem geeigneten Gehäuse 1 ein Trägerelement 2 angeordnet, das beispielsweise als Leiterplatte bzw. Platine ausgebildet ist. Die wesentlichen Elemente der vorliegenden Erfindung sind auf dem Trägerelement 2 angeordnet, wobei das Trägerelement 2 neben der mechanischen Trägerund Stabilisierungsfunktion desweiteren auch zur Kontaktierung der darauf angeordneten optoelektronischen Bauteile dient. Hierzu sind entsprechende Leiterbahnen im Trägerelement 2 vorgesehen, welche in Figur 1 jedoch nicht erkennbar sind. Als wesentliche funktionsrelevante Bauteile der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit sind auf dem Trägerelement 2 eine Sendeeinheit 3 sowie eine Empfangseinheit 4 vorgesehen, die in einer bestimmten räumlichen Relativorientierung zu einem Lichtwellenleiter 5 orientiert sind bzw. zu dessen Endfläche 6, die der optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit zugewandt ist. Der Lichtwellenleiter 5 weist in diesem Ausführungsbeispiel einen zweiteiligen Aufbau auf, bestehend aus einem Lichtwellenleiter-Kern und einem Lichtwellenleiter- Mantel. Die Endfläche 6 des Lichtwellenleiters wird durch geeignete kon- struktive Maßnahmen in einer festen Relativorientierung in Bezug auf die Sende- und Empfangseinheit 3, 4 gehalten. Hierfür kommen verschiedenste Möglichkeiten in Betracht, beispielsweise geeignete Steckverbindungen etc. Verschiedene Möglichkeiten existieren dabei selbstverständlich auch im Zusammenhang mit dem Aufbau des jeweils eingesetzten Lichtwellenleiters.
Die Sendeeinheit 3 als auch die Empfangseinheit 4 sind nunmehr beide be- nachbart entlang einer gemeinsamen Achse 12 angeordnet, die im dargestellten Ausführungsbeispiel durch die optische Symmetrieachse des Lichtwellenleiters 5 definiert ist. Aufgrund dieser Anordnung erübrigt sich ein optisches Verzweiger- Element, wie es ansonsten üblicherweise zum Umlenken der vom Lichtwellenleiter 5 kommenden Strahlung auf die Empfangseinheit 4 sowie zum Umlenken und Einkoppeln der von der Sendeeinheit 3 emittierten Strahlung in den Lichtleiter 5 erforderlich ist.
Darüberhinaus ist insbesondere aufgrund der Wahl einer bestimmten Empfangseinheit 4 und der entsprechenden Anordnung derselben in Bezug auf die optische Achse 12 sichergestellt, daß die Relativausrichtung der Empfangseinheit 4 zur Endfläche 6 des Lichtwellenleiters 5 mit relativ großen Toleranzen möglich ist. So weist die gewählte optoelektronische Empfangseinheit 4 einen - lediglich schematisch angedeuteten - strahlungsempfindlichen Schichtbereich 8 auf, der in der Ebene einer dünnen Membran liegt und senkrecht zur optischen Achse 12 angeordnet ist. Die Ebene des aktiven Schichtbereiches 8 bzw. die strahlungsempfindliche Fläche, in der durch den Einfall der angedeuteten Strahlung die Signalerzeugung erfolgt, ist also senkrecht zur Zeichenebene orientiert. Die strahlungsempfindliche Fläche der Empfangseinheit 4, die demzufolge der flächigen Ausdehnung des akti- ven Schichtbereiches 8 entspricht, ist somit insbesondere relativ groß gegenüber der Austrittsfläche des jeweiligen Lichtwellenleiters, d.h. im gezeigten Fall gegenüber dem Kernbereich bzw. der Kernfläche in der Endfläche 6. Insgesamt resultiert aufgrund dieser Anordnung deshalb ein deutlich verringerter Justieraufwand, was die exakte Relativpositionierung der Empfangs- einheit 4 zum Strahlungsemittierenden Bereich der Endfläche 6 des Lichtwellenleiters 5 betrifft. An dieser Stelle kann etwa eine übliche Steckverbindung eingesetzt werden, da keine hohen Justageanforderungen in Bezug auf die Relativausrichtung von Lichtwellenleiter 5 und Empfangseinheit 4 resultieren.
Wie bereits erwähnt, wird dies in erster Linie durch die erfindungsgemäße Wahl der optoelektronischen Empfangseinheit 4 ermöglicht. Im Hinblick auf eine detaillierte Beschreibung dieses Bauelementes sei an dieser Stelle ausdrücklich auf die WO 96/36999 der Anmelderin verwiesen.
Der Membranbereich der Empfangseinheit 4 mit dem aktiven, strahlungs- empfindlichen Schichtbereich 8 ist hierbei derart dünn ausgebildet, in einer möglichen Ausführungsform etwa in der Größenordnung um 2μm, daß ein Durchstrahlen dieses Membranbereiches durch die Sendeeinheit 4 möglich ist. Die Sendeeinheit 4 ist demzufolge ebenfalls entlang der optischen Achse 12 angeordnet, und zwar hinter der Empfangseinheit 4, wenn die Anordnung vom Lichtleiter 5 aus betrachtet wird. Im Strahlungsemittierenden Oberflächenbereich der Sendeeinheit 3 ist im gezeigten Ausführungsbeispiel eine Strahlformungsoptik 7 vorgesehen, die etwa als Linse mit geeigneten optischen Eigenschaften ausgebildet sein kann. Alternativ hierzu wäre es auch möglich, die Strahlformungsoptik 7 an dieser Stelle mit einem sog. optischen Gel auszubilden. Daneben könnte die Strahlformungsoptik 7 auch als Fresnelstruktur oder als Gitterstruktur auf der Membranunterseite, d.h. auf der der Sendeeinheit 3 zugewandten Seite der Empfangseinheit 4 ausgebildet werden, die zu diesem Zweck entsprechend zu strukturieren wäre. Im wesentlichen bewirkt die Strahlformungsoptik 7 eine Fokussierung der von der optoelektronischen Sendeeinheit 3 emittierten Strahlung auf die Endfläche 6 des Lichtwellenleiters 5. Desweiteren lassen sich im Fall der Verwendung eines optischen Gels an dieser Stelle auch Reflexionen an den verschiedenen Grenzflächen bzw. Luftspalte vermeiden, die jeweils eine Veringerung des Wirkungsgrades bewirken würden.
Im dargestellten, ersten Ausfführungsbeispiel wurde die geometrische Dimensionierung der aktiven, strahlungsempfindlichen Fläche der Empfangs- einheit 4 desweiteren so gewählt, daß diese Fläche die benötigte Fläche der Sendeeinheit auf dem Trägerelement 2 überdeckt. Dadurch ergibt sich neben einer einfachen Montage der Gesamtanordnung auch eine Möglichkeit zur Kontaktierung der verschiedenen optoelektronischen Bauelemente auf dem Trägerelement 2.
Als Sendeeinheit 3 kommen grundsätzlich verschiedenste optoelektronische Halbleiter-Bauelemente in Betracht, z.B. LEDs, Laserdioden etc.
Da die Relativjustierung der Sendeeinheit 3 zum Lichtwellenleiter 5 aufgrund der üblichen Abstrahlcharakteristik derartiger Bauteile in der Regel weniger problematisch ist als die Justierung - konventioneller - Empfangseinheiten, ist es im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht zwingend erforderlich, daß auch die aktiven, Strahlungsemittierenden Schichtbereiche der Sende- einheit 3 senkrecht zur optischen Achse 12 ausgerichtet werden. Es könnten demzufolge sowohl Sendeeinheiten 3 entlang der optischen Achse 12 angeordnet werden, bei denen der aktive, Strahlungsemittierende Schichtbereich in Verlängerung der optischen Achse 12, parallel oder aber senkrecht hierzu orientiert ist.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung können zur bidirektionalen Datenübertragung verschiedenste Kombinationen der Sende- und Empfangs- Wellenlängen eingesetzt werden. So ist es beispielsweise möglich, die Sende- und Empfangseinheit 3, 4 der- art auszuwählen und damit die entsprechenden Sende- und Empfangs- Wellenlängen λs, λE, daß diese möglichst jeweils nicht die andere Einheit beeinflußen. Je nach verwendeten Halbleitermaterialien in den beiden optoelektronischen Bauteilen ändert sich die emittierte Wellenlänge λs der Sendeeinheit 3 bzw. die Ansprechcharakteristik der Empfangseinheit 4 und da- mit deren Wellenlänge λE mit maximaler Ansprechempfindlichkeit.
So kann in einer möglichen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung vorgesehen werden, daß die emittierte Wellenlänge λs der Sende- einheit 2 möglichst nicht mit der Wellenlänge λε zusammenfällt, bei der die Empfangseinheit 4 primär anspricht. Im Fall einer derartigen Wahl der jeweiligen Wellenlängen λs, λE wäre der sog. Voll-Duplex-Betrieb der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit möglich, d.h. das gleichzeitige Senden und Empfangen von Daten über den angekoppelten Lichtwellenleiter 5.
Alternativ ist jedoch auch möglich, die jeweiligen Wellenlängen λs, λE bzw. Wellenlängenbereiche nicht derart aufeinander abzustimmen und durch eine geeignete zeitliche Ansteuerung der beiden Halbleiter-Bauelemente 3, 4 sicherzustellen, daß im Verlauf der Signalübertragung entweder nur gesendet oder nur empfangen wird. Dies entspräche dann einem sog. Halb-Duplex- Betrieb der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit.
In einer möglichen Ausführungsform beim Halb-Duplex-Betrieb wäre z.B. eine Sendeeinheit 2 vorgesehen, für die λs = 850nm gilt. Die maximale Empfindlichkeit der Empfangseinheit 4 liegt dann im gleichen Wellenlängenbereiche, d.h. λE = 850nm. Die Dicke des strahlungsempfindlichen Schichtberei- ches in der Empfangseinheit 4 würde in diesem Fall dann etwa 2 μm gewählt, was im Membranbereich einen Transmissionsgrad von 50% bei den gewählten Wellenlängen λs, λg = 850nm zur Folge hat.
In Bezug auf die optoelektronischen Sende- und Empfangseinheiten 3, 4 existieren im Rahmen der vorliegenden Erfindung somit eine Reihe von Wahlmöglichkeiten.
Im Ausführungsbeispiel der Figur 1 erfolgt die Kontaktierung der Sende- und Empfangseinheit 3, 4 stets von der Rückseite der jeweiligen -einheiten her. Unter Rückseite sei dabei diejenige Seite verstanden, die abgewandt zum Lichtwellenleiter 5 orientiert ist. So sind auf der Rückseite der Sendeeinheit 3 schematisch Kontaktierungselemente 13a, 13b angedeutet, über die die Sendeeinheit 3 mit Leiterbahnen im Trägerelement 2 und damit mit einer nachgeordneten Ansteuer- und Auswerteeinheit verbunden ist, welche in Fig.1 ebenfalls nicht gezeigt ist. Ebenfalls auf ihrer Rückseite weist die Empfangseinheit 4 Kontaktierungselemente 9a, 9b auf, die wiederum mit elektrisch leitenden Abstandshaltern 10a, 10b verbunden sind. Am entgegengesetzten Ende sind die Abstandshalter 10a, 10b über weitere Kontaktierungselemente 11a, 11 b ebenfalls mit Leiterbahnen im Trägerelement 2 verbunden, über die die elektrische Verbindung der Empfangseinheit mit der erwähnten Ansteuer- und Auswerteeinheit hergestellt werden. Eine derartige Kontaktierung der beiden Halbleiter-Bauelemente 3, 4 erweist sich insofern als vorteilhaft, als diese hierbei relativ einfach über bekannte SMD-Bestückungsverfahren auf dem Trägerelement 2 bzw. der Platine montiert werden können.
Eine alternative, zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist in Figur 2 schematisch dargestellt. Diese unterscheidet sich im wesentlich nur in der Art der elektrischen Kontaktierung der auf dem Trägerelement 102 im Gehäuse 101 angeordneten Sende- und Empfangseinheiten 103, 104. Während hierbei die Kontaktierung der Sendeeinheit 103 wie- derum mit Hilfe der rückseitig angeordneten Kontaktierungselemente 113a, 113b erfolgt, ist lediglich für die Empfangseinheit 104 eine alternative Kon- taktierungsvariante vorgesehen. So ist die Empfangseinheit 104 über isolierende Elemente 116a, 116b auf dem Trägerelement 102 befestigt, während die Kontaktierung über Bonddrähte 1 15a, 115b erfolgt, die bei der Emp- fangseinheit 104 auf derjenigen Seite angeordnet sind, die der zu detektie- renden Strahlung entgegengerichtet sind, also auf deren Vorderseite.
Ansonsten entspricht auch diese Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung der vorhergehenden Variante in Bezug auf die Relativanordnung der verschiedenen Elemente bezüglich der Achse 112 etc.. Eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit ist in Figur 3 schematisch gezeigt. Auch dieses Ausführungsbeispiel unterscheidet sich primär in der gewählten Art und Weise der Kontaktierung der Sende- und Empfangseinheit 203, 204 von den vorhergehenden Varianten und bietet lediglich hinsichtlich der möglichen vollautomatischen SM D-Bestückung bestimmte Vorteile.
So ist nunmehr ein Trägerelement 203 im Gehäuse 201 vorgesehen, das in einem Teilbereich eine Öffnung bzw. Aussparung 220 aufweist. Im Bereich dieser Öffnung sind die Sendeeinheit 203 als auch die Empfangseinheit 204 angeordnet. Hierbei erfolgt die Anordnung der Sendeeinheit 203 auf derjenigen Seite des Trägerelementes 202, die abgewandt zum Lichtwellenleiter 205 orientiert ist. Im Bereich der Öffnung 220 ist die als Linse ausgebildete Strahlformungsoptik 207 angeordnet. Die Kontaktierung der Sendeeinheit 204 wird über Kontaktierungselemente 2013a, 213b vorgenommen, die auf der Vorderseite der Sendeeinheit 204 angeordnet sind, d.h. auf derjenigen Seite, die dem Lichtwellenleiter 205 zugewandt ist. Die Sendeeinheit 204 wird in dieser Ausführungsform demzufolge frontseitig kontaktiert. Die optoelektronische Empfangseinheit 204 hingegen wird wiederum von derjenigen Seite her kontaktiert und mit dem Trägerelement 202 verbunden, die abgewandt zum Lichtwellenleiter 205 bzw. dessen Endfläche 206 orientiert ist. Hierzu sind zwischen der Rückseite der Empfangseinheit 204 und dem Trägerelement 202 und den darin angeordneten Leiterbahnen entspre- chende Kontaktierungselemente 216a, 216b vorgesehen.
Ansonsten entspricht auch dieses Ausführungsbeispiel in Bezug auf die Anordnung der einzelnen Komponenten etc. den bereits oben beschriebenen Varianten.
Eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit zeigen die Figuren 4a und 4b in verschiedenen Ansichten. Die wesentlichen Unterschiede zu den vorher beschriebenen Varianten sind wiederum in der Art und Weise der Kontaktierung der Sende- und Empfangseinheit 303, 304 zu sehen.
So erfolgt die Anordnung der Sendeeinheit 303 auf einem Trägerelement 302, wobei zur Kontaktierung dieses Elementes 302 rechteckförmige Kontaktierungelemente 320a, 320b sowohl auf Seiten der Sendeeinheit 303 als auch auf Seiten des Trägerelementes 302 vorgesehen sind. Über ein dazwischen angeordnetes leitfähiges Kontaktierungsmaterial 319b, etwa ein ge- eignetes Lot, wird die leitende Verbindung zu Leiterbahnen im Trägerelement 302 hergestellt. Die Kontaktierungsbereiche 320a, 320b sind hierbei an gegenüberliegenden Seiten der Sendeeinheit 303 angeordnet. Um 90° verdreht hierzu ist ein weiteres Paar von Kontaktierungselementen 309a, 309b für die Empfangseinheit 304 vorgesehen, zwischen denen jeweils wiederum ein leitfähiges Kontaktierungsmaterial 310a, 310b angeordnet wird. Diese Kontaktierungselemente 309a, 309b dienen demzufolge zur Kontaktierung der über der Sendeeinheit 303 angeordneten Empfangseinheit 304. Auf jeder Seite sind dabei insgesamt drei Kontaktierungselemente 309a, 309b angeordnet, jeweils eines an der Unterseite der Empfangseinheit 304, an der Seitenfläche der Sendeeinheit 303 sowie auf dem Trägerelement 302. Um zu verhindern, daß insbesondere die an den Seitenflächen der Sendeeinheit
303 angeordneten Kontaktierungselemente 309a, 309b in Kontakt mit der Sendeeinheit 303 kommen, sind an den entsprechenden Seitenflächen der Sendeeinheit 303 U-förmige Isolierungselemente 315a, 315b angeordnet, die diesen Bereich umgreifen.
In Bezug auf den weiteren, prinzipiellen Aufbau, also etwa der Anordnung des strahlungsempfindlichen Schichtbereiches 308 in der Empfangseinheit
304 entspricht auch dieses Ausführungsbeispiel den vorab erläuterten Varianten. Selbstverständlich kann dabei auch wiederum eine geeignete Strahl- formungsoptik zwischen Sendeeinheit 303 und Empfangseinheit 304 angeordnet werden etc.. Eine fünfte Variante der erfindungsgemäßen optoelektronischen Sende- und Empfangseinheit ist in Figur 5 schematisch dargestellt. Nachfolgend sei lediglich auf die spezielle Art der Kontaktierung der verschiedenen Bauelemente eingegangen; der grundsätzliche Aufbau ist identisch mit dem der vorhergehenden Ausführungsformen.
In diesem Fall ist nunmehr eine Sendeeinheit 403 auf einem Trägerelement 402 angeordnet, dessen Gesamtfläche größer ist als die der darüber angeordneten Empfangseinheit 404. Aufgrund dieser Anordnung ist die Kontaktierung der Empfangseinheit 404 über Bonddrähte 421a, 42b möglich, die ver- schiedene Kontaktierungselemente 409a, 409b miteinander verbinden. Die Kontaktierungselemente 409a, 409b sind hierbei auf der Unterseite der Empfangseinheit 404, auf Teilbereichen der Oberseite der Sendeeinheit 403 sowie auf dem Trägerelement 402 angeordnet. Über die Bonddrähte 421 a, 421 b wird eine leitfähige Verbindung zwischen den Kontaktierungselemen- ten auf der Oberseite der Sendeeinheit 403 und denjenigen auf dem Trägerelement 402 hergestellt. Zwischen den Kontaktierungselementen 409a, 409b auf der Unterseite der Empfangseinheit 404 und den auf der Oberseite der Sendeeinheit 403 angeordneten Kontaktierungselementen 409a, 409b ist wiederum ein elektrisch leitfähiges Kontaktierungsmaterial 410a, 410b vorgesehen. Die Kontaktierung der Sendeeinheit 403 erfolgt über Kontaktierungselemente 420a, 420b , die zum einen auf der Unterseite der Sendeeinheit 403 und auf dem Trägerelement 402 angeordnet sind; dazwischen ist jeweils ein leitfähiges Kontaktierungsmaterial 419a, 419b vorgesehen.
Während in sämtlichen vorhergehenden Ausführungbeispielen die Kontaktierung der Empfangseinheit durch eine geeignete geometrische Ausbildung und/oder Anordnung der beiden Einheiten sowie durch eine geeignete Anordnung verschiedener Kontaktierungselemente etc. erfolgte, wäre auch eine grundlegend alternative Ausführungsform hierzu möglich. So könnten z.B. geeignete Bohrungen oder schmale Löcher in Randbereichen der Sendeeinheit angebracht werden, die mit leitfähigem Kontaktierungsmaterial gefüllt werden und derart ein Kontaktieren der oben liegenden Empfangsein- heit durch die Sendeeinheit hindurch ermöglichen. Die hierzu erforderlichen Bohrungen bzw. Löcher könnten durch ein sog. Thermomigrationsverfahren oder aber durch Bohren mittels Laser hergestellt werden.
Eine sechste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sei abschließend anhand der Figur 6 in einer Teilansicht erläutert. Gezeigt ist hierbei lediglich die in einem Gehäuse 601 befindliche Anordnung aus Sendeeinheit 603, Empfangseinheit 604 und Lichtwellenleiter 605. Der Lichtwellenleiter 605 bzw. dessen Endfläche 606 ist nunmehr direkt in einer Aussparung der Empfangseinheit 604 angeordnet. Die Aussparung ist hierbei in einem Bereich der Empfangseinheit 604 vorgesehen, in der sich auch der membranartige Teilbereich der Empfangseinheit 604 befindet, in dem der aktive Schichtbereich 608 angeordnet ist. Oberhalb der Membran mit dem aktiven Schichtbereich 608 wird die Sendeeinheit 603 angeordnet. Die Strahlungsemittierende Fläche der Sendeeinheit 603 ist in Richtung der Aussparung bzw. der Endfläche 606 des Lichtwellenleiters 605 orientiert. Eine Kontaktierung der Sendeeinheit 603 erfolgt mit Hilfe von - nicht gezeigten - Kontaktierungselementen, die zwischen der lichtemittierenden Seite der Sendeeinheit 603 und der Empfangseinheit angeordnet sind. Die - ebenfalls nicht dargestellten - Kontaktierungselemente der Empfangseinheit 604 können beispielsweise daneben, d.h. auf der Oberseite der Empfangseinheit 604, angeordnet werden.
Die Kontaktierungselemente der beiden optoelektronischen Bauteile 603, 604 werden dann noch mit den entsprechenden Kontaktierungselementen auf einem Trägerelement im Gehäuse verbunden, welches in Figur 6 ebenfalls nicht gezeigt ist.
Eine Fixierung der gesamten Anordnung aus Lichtwellenleiter 605 und den beiden Einheiten 603, 604 könnte z.B. durch Verkleben oder aber Vergießen erfolgen.
Wie anhand der vorhergehenden Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele deutlich wurde, existieren somit eine Reihe von Möglichkeiten, die vorliegende Erfindung vorteilhaft auszugestalten. Die im Zusammenhang mit den verschiedenen Ausführungsbeispielen erläuterten Maßnahmen lassen sich hierbei selbstverständlich auch geeignet kombinieren, so daß letztlich vielfältige Möglichkeiten zur Realisierung der vorliegenden Erfindung resul- tieren.

Claims

Ansprüche
1. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit zur bidirektionalen Datenübertragung mittels Lichtwellenleitern, bestehend aus einer optoelektronischen Sendeeinheit und einer optoelektronischen Empfangseinheit, die beide jeweils mindestens einen aktiven strahlungsempfindli- chen oder Strahlungsemittierenden Schichtbereich aufweisen, wobei die
Sende- und Empfangseinheit entlang einer optischen Achse angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der aktive strahlungsempfindliche Schichtbereich (8; 108; 208; 308; 408; 608) der Empfangseinheit (4; 104; 204; 304; 404; 604) senkrecht zur optischen Achse (12; 112; 212; 312; 412) angeordnet sind.
2. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 1 , da- durch gekennzeichnet, daß sich der aktive Schichtbereich (8; 108; 208;
308; 408; 608) der Empfangseinheit (4; 104; 204; 304; 404; 604) in einer dünnen Membran befindet, die unmittelbar vor dem lichtemittierenden Bereich der Sendeeinheit (3; 103; 203; 303; 403; 603) angeordnet ist und derart zumindest ein Teil der emittierten Strahlung die Membran in Richtung des Lichtwellenleiters (5; 105; 205; 305; 405; 605) durchtritt.
3. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Membran und dem lichtemit- tierenden Bereich der Sendeeinheit (3; 103; 203) ein optisches Strahlformungselement (7; 107; 207) angeordnet ist.
4. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 3 da- durch gekennzeichnet, daß das optische Strahlformungselement (7;
107; 207) als Linse mit fokussierender Wirkung ausgebildet ist.
5. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Strahlformungselement (7; 107; 207) aus einem optischen Gel gebildet ist.
6. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß Sende- und Empfangseinheit auf einem Trägerelement (2; 102; 202; 302; 402) angeordnet sind und desweiteren elektrisch leitfähige Kontaktierungselemente (9a, 9b, 11a, 11 b, 13a, 13b;
113a, 113b, 115a, 115b; 216a, 216b, 213a, 213b; 309a, 309b, 320a, 320b) zwischen der Sende- und Empfangseinheit einerseits und und elektrischen Leiterbahnen im Trägerelement (2; 102; 202; 302; 402) andererseits vorhanden sind.
7. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die strahlungsempfindliche Fläche der Empfangseinheit (4; 104; 204; 304; 404; 604) groß gegenüber dem Strahlungsemittierenden Teilbereich der Endfläche des Lichtwellenleiters (5; 105; 205; 305; 405; 605) ausgebildet ist, aus der die zu detektie- rende Strahlung ausgekoppelt wird.
8. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß auch der aktive lichtemittierende Schichtbe- reich der Sendeeinheit senkrecht zur optischen Achse angeordnet ist.
9. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangseinheit (4; 104) brückenartig über der Sendeeinheit (3; 103) angeordnet ist, wobei die Kontaktierung der Sendeeinheit (3; 103) von derjenigen Seite her erfolgt, die abge- wandt zum Lichtwellenleiter (5; 105) orientiert ist.
10. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (202) eine Ausparung aufweist und der Strahlungsemittierende Bereich der Sendeeinheit (203) als auch zumindeste ein Teil des aktive Schichtbereiches (208) der
Empfangseinheit (204) im Bereich dieser Aussparung angeordnet ist, wobei die Sende- und Empfangseinheit (203, 204) auf den beiden unterschiedlichen Seiten des Trägerelementes (202) angeordnet sind.
11. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangseinheit (304) als auch die Sendeeinheit (303) in etwa flächenmäßig gleich groß ausgebildet sind und die Kontaktierung der oberhalb der Sendeeinheit (303) angeordneten Empfangseinheit (304) durch Kontaktierungselemente (309a, 309b) erfolgt, die an den Seitenflächen der Sendeeinheit (303) angeordnet sind.
12. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangseinheit (404) flächenmäßig kleiner als die Sendeeinheit (303) ausgebildet ist und oberhalb derselben angeordnet ist, wobei zur Kontaktierung der Empfangseinheit (404) Bonddrähte zwischen Kontaktierungselementen (409a, 409b) und Kontaktierungselementen (409a, 409b) auf dem Trägerelement (402) angeordnet sind.
13. Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Endfläche (606) des Lichtwellenleiters (605) in einer Aussparung der Empfangseinheit (604) angeordnet ist, in der sich auch die Membran mit dem aktiven Schichtbereich (608) befindet, wobei auf der dem Lichtwellenleiter (605) entgegengesetzten Seite der Empfangseinheit (604) die Sendeeinheit (603) angeordnet ist.
EP99936534A 1998-07-29 1999-07-14 Optoelektronische sende- und empfangseinheit Expired - Lifetime EP1101136B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19834090A DE19834090A1 (de) 1998-07-29 1998-07-29 Optoelektronische Sende- und Empfangseinheit
DE19834090 1998-07-29
PCT/EP1999/004972 WO2000007052A1 (de) 1998-07-29 1999-07-14 Optoelektronische sende- und empfangseinheit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1101136A1 true EP1101136A1 (de) 2001-05-23
EP1101136B1 EP1101136B1 (de) 2007-06-27

Family

ID=7875672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP99936534A Expired - Lifetime EP1101136B1 (de) 1998-07-29 1999-07-14 Optoelektronische sende- und empfangseinheit

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7058309B1 (de)
EP (1) EP1101136B1 (de)
AT (1) ATE365931T1 (de)
DE (2) DE19834090A1 (de)
WO (1) WO2000007052A1 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10032796A1 (de) * 2000-06-28 2002-01-17 Infineon Technologies Ag Optomodul
DE10121529B4 (de) * 2001-05-03 2004-09-30 Infineon Technologies Ag Lichtleiteranordnung zur seriellen, bidirektionalen Signalübertragung und optische Leiterplatine
GB2378069A (en) * 2001-07-12 2003-01-29 Bookham Technology Plc Vertically integrated optical transmitter and receiver
DE50111575D1 (de) * 2001-09-14 2007-01-11 Infineon Technologies Ag Sende- und empfangsanordnung für eine bidirektionale optische datenübertragung
DE10322757B4 (de) * 2003-05-19 2012-08-30 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optoelektronische Sende- und/oder Empfangsanordnungen
US20050058407A1 (en) * 2003-09-17 2005-03-17 Richard Huang Duplex optical transmission-reception module
DE102005021991A1 (de) 2005-05-09 2006-11-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optoelektronische Anordnung und Verfahren zu deren Herstellung
US7606499B2 (en) * 2005-08-01 2009-10-20 Massachusetts Institute Of Technology Bidirectional transceiver assembly for POF application
DE102007017016B4 (de) * 2007-04-11 2012-02-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Optoelektronische Vorrichtung und Verfahren zu deren Aufbau
CN102375185B (zh) * 2010-08-20 2013-11-13 国碁电子(中山)有限公司 光收发器及其制造方法
US20130334537A1 (en) * 2012-06-14 2013-12-19 The Curators Of The University Of Missouri Optically Controlled Power Devices
DE202013101190U1 (de) 2013-03-20 2014-06-24 Zumtobel Lighting Gmbh Anordnung zur Lichtabgabe mit einer LED, einer Platine und einem optischen Element
US9735869B2 (en) * 2014-02-03 2017-08-15 Luxtera, Inc. Method and system for a bi-directional multi-wavelength receiver for standard single-mode fiber based on grating couplers
WO2016028226A1 (en) * 2014-08-19 2016-02-25 Heptagon Micro Optics Pte. Ltd. Transceiver module including optical sensor at a rotationally symmetric position
GB2580143A (en) * 2018-12-21 2020-07-15 Ngpod Global Ltd Apparatus for coupling radiation into and out of an optical fiber

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2629356C2 (de) * 1976-06-30 1983-07-21 AEG-Telefunken Nachrichtentechnik GmbH, 7150 Backnang Elektrooptischer Wandler zum Senden oder Empfangen
US4292512A (en) 1978-06-19 1981-09-29 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical monitoring photodiode system
FR2443071A1 (fr) * 1978-11-30 1980-06-27 Cometa Sa Dispositif optoelectronique coaxial monte dans un meme boitier
DE3046140A1 (de) * 1980-12-06 1982-07-15 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt "signaluebertragungsverfahren, ein halbleiter-bauelement sowie ein elektro-optisches bauelement zur durchfuehrung des verfahrens"
DE3109887C2 (de) * 1981-03-14 1983-03-31 Kabelwerke Reinshagen Gmbh, 5600 Wuppertal Optisches Gegensprech-System
GB2136239B (en) * 1983-03-03 1986-11-19 British Telecomm Optical fibre transmission systems
DE3309396A1 (de) * 1983-03-16 1984-09-20 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Schaltungsanordnung zur pegelanpassung
DE3311038A1 (de) * 1983-03-25 1984-09-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optische sender- und empfaengervorrichtung
DE3406424A1 (de) * 1984-02-22 1985-02-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optoelektronisches modulgehaeuse
EP0290242A3 (de) * 1987-05-08 1989-05-03 Simmonds Precision Products Inc. Sender/Empfänger für optische Fasersysteme
DE3809396A1 (de) 1988-03-21 1989-10-05 Siemens Ag Optischer sende- und empfangsmodul
DE3811723A1 (de) * 1988-04-08 1989-10-19 Maier & Cie C Elektro-optischer umsetzer
DE3925128A1 (de) 1989-07-28 1991-01-31 Hirschmann Richard Gmbh Co Optoelektrische sende- und empfangsvorrichtung
US5140152A (en) * 1991-05-31 1992-08-18 The University Of Colorado Foundation, Inc. Full duplex optoelectronic device with integral emitter/detector pair
US5262884A (en) * 1991-10-09 1993-11-16 Micro-Optics Technologies, Inc. Optical microphone with vibrating optical element
US5555334A (en) 1993-10-07 1996-09-10 Hitachi, Ltd. Optical transmission and receiving module and optical communication system using the same
JPH08179169A (ja) 1994-12-22 1996-07-12 Hitachi Ltd 双方向光モジュール
DE19618593A1 (de) 1995-05-19 1996-11-21 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Strahlungsempfindliches Detektorelement und Verfahren zur Herstellung desselben
EP0773591A3 (de) * 1995-11-13 1998-09-16 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Lichtemittierende und lichtdetektierende Vorrichtung
DE19727632C2 (de) * 1997-06-28 1999-10-28 Vishay Semiconductor Gmbh Sende-/Empfangsgerät zur optischen Datenübertragung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO0007052A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE19834090A1 (de) 2000-02-03
WO2000007052A1 (de) 2000-02-10
DE59914393D1 (de) 2007-08-09
US7058309B1 (en) 2006-06-06
ATE365931T1 (de) 2007-07-15
EP1101136B1 (de) 2007-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1101136B1 (de) Optoelektronische sende- und empfangseinheit
DE102005019562B4 (de) Optisches Sende- und Empfangsmodul
DE19621124A1 (de) Optoelektronischer Wandler und dessen Herstellungsverfahren
DE60022558T2 (de) Methode der Herstellung einer optoelektrischen Leiterplatte
DE3390103C2 (de)
DE3902579C2 (de) Optoelektronisches Bauteil
EP0961372B1 (de) Hochfrequenz-Lasermodul und Verfahren zur Herstellung desselben
WO2011117185A1 (de) Halbleiterlaserlichtquelle
DE10312500B4 (de) Anordnung zum Multiplexen und/oder Demultiplexen optischer Signale einer Mehrzahl von Wellenlängen
DE68929527T2 (de) Optische Übertragungsvorrichtung
DE69734559T2 (de) Optischer Koppler
EP1535372A1 (de) Elektrische steckbuchse
DE4106721C2 (de)
DE69015588T2 (de) Optischer Kopf integrierbar in einem hybriden Schaltkreis.
EP1379903A1 (de) Sendemodul für eine optische signalübertragung
DE10121529B4 (de) Lichtleiteranordnung zur seriellen, bidirektionalen Signalübertragung und optische Leiterplatine
DE10160508B4 (de) Anordnung zur Detektion von optischen Signalen mindestens eines optischen Kanals eines planaren optischen Schaltkreises und/oder zur Einkopplung optischer Signale in mindestens einen optischen Kanal eines planaren optischen Schaltkreises
DE10214223B4 (de) Anordnung mit einem Steckverbindungselement für opto-elektrische Bauelemente oder Baugruppen und einer Leiterplatte
WO2002073275A1 (de) Anordnung zur detektion von optischen signalen eines planaren optischen schaltkreises
DE60308975T2 (de) Polarisationskompensiertes optisches Abzweigelement
EP0033474A2 (de) Vorrichtung zur Kopplung einer Infrarotdiode mit einer als Lichtwellenleiter verwendeten Einzelglasfaser
DE10321257A1 (de) Metallträger (Leadframe) zur Aufnahme und Kontaktierung elektrischer und/oder optoelektronischer Bauelemente
WO2005096682A2 (de) Vollintegrierte hybride optisch-elektrische leiterplatte
DE69117620T2 (de) Kompaktes Bilderzeugungsgerät mit verbesserten optischen Eigenschaften für elektronische Endoskope
DE10106623C2 (de) Optische Signalübertragungsvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20010228

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

17Q First examination report despatched

Effective date: 20061120

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REF Corresponds to:

Ref document number: 59914393

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20070809

Kind code of ref document: P

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070927

NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]

Effective date: 20070627

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

BERE Be: lapsed

Owner name: DR. JOHANNES HEIDENHAIN G.M.B.H.

Effective date: 20070731

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20071127

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20071008

EN Fr: translation not filed
REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070731

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070731

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070928

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070731

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

26N No opposition filed

Effective date: 20080328

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20080222

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070731

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20080722

Year of fee payment: 10

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070714

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070627

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070714

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100202