EP0768498A2 - Device for producing a clean and poor in turbulences air current, for supplying local clean-rooms - Google Patents

Device for producing a clean and poor in turbulences air current, for supplying local clean-rooms Download PDF

Info

Publication number
EP0768498A2
EP0768498A2 EP96107219A EP96107219A EP0768498A2 EP 0768498 A2 EP0768498 A2 EP 0768498A2 EP 96107219 A EP96107219 A EP 96107219A EP 96107219 A EP96107219 A EP 96107219A EP 0768498 A2 EP0768498 A2 EP 0768498A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
air
filter
fan
plenum chamber
outlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP96107219A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP0768498A3 (en
Inventor
Heinz Schneider
Klaus Schultz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Jenoptik Jena GmbH
Jenoptik AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jenoptik Jena GmbH, Jenoptik AG filed Critical Jenoptik Jena GmbH
Publication of EP0768498A2 publication Critical patent/EP0768498A2/en
Publication of EP0768498A3 publication Critical patent/EP0768498A3/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/007—Ventilation with forced flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/20—Casings or covers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
    • F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit

Definitions

  • Another disadvantage is that a possible vibration transmission is associated with the coupling of the air treatment systems to the device units, which is common in local cleanrooms. This vibration transmission has a particularly negative effect on imaging or processing devices and inspection devices. Without complex measures for vibration isolation with problems of coupling to the housing of the device unit and the separation of the environment from the enclosed clean room, work with these devices is not guaranteed.
  • the object of the invention is therefore to further reduce the overall depth of the air treatment system and, furthermore, to largely avoid a vibration transmission from the airflow-generating means to the device unit to be supplied.
  • the fan is adjacent to the filter in a direction perpendicular to the direction of the cleaned air flow.
  • the base frame can at the same time be the carrier of the device unit containing the local clean room, a vibration isolation system being provided between the base frame and the device unit.
  • the plenum 1 enclose the walls of a plenum chamber 1, which is supported by a base frame 2, a fan 3 and a high-performance particle filter 4. Except for an inlet opening 5 in one of the walls to which the fan 3 is connected and which the air supply from the Enables surrounding space, the plenum 1 is sealed air-tight from the environment.
  • the high-performance suspended matter filter 4 has a side 6 for the entry of unpurified air and encloses an outlet opening 9 with an opposite side 7 for the exit of a cleaned air stream 8. This allows the entry of the cleaned air into a device unit 10 coupled to the plenum chamber 1 via sealing elements 11 Generation and maintenance of a local clean room can only take place via the high-performance particle filter 3 in accordance with its degree of separation.
  • the wall of the plenum chamber 1 opposite the outlet opening 9 leaves a space 12 on the side 6 for the entry of the uncleaned air, which is in communication with the remaining space of the plenum chamber 1.
  • the features that limit the overall depth are the thickness of the high-performance particle filter 4 and the required width of the space 12, which must be dimensioned in such a way that the properties of a plenum are retained. A reduction of up to 40% compared to conventional arrangements is possible.
  • a corresponding selection of fans and filters allows the filter / fan unit to be varied within wide limits.
  • the fan 3 is separated from the walls of the plenum chamber 1 in terms of vibration.
  • vibration-damping sealing elements 13 are provided at the inlet opening 5 and a vibration-insulated outlet 14, which is airtight to avoid pressure losses from the environment, is attached to the base frame 2 of a holder 15 for the fan 3.
  • the filter-fan unit is connected to the device unit 10 directly or to sealing elements 11.
  • the device unit 10 has its own vibration isolation system 30, which is supported on the base frame 2.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

The equipment has a fan (3) and a filter (4). The latter has an intake on one side (6) for uncleaned air, and has an outlet on the opposite side for clean air. The equipment is enclosed by the walls of a plenum chamber (1), and one wall has an intake opening which is connected to the fan in order to suck in air. Another wall has an outlet opening (9), against which the filter outlet rests. The wall of the chamber which is opposite from the outlet, is adjacent to the side of the filter in which the intake is arranged, in order to form a space (12), which is connected with the remainder of the chamber. The fan may be adjacent to the filter in a direction which is perpendicular to the clean airflow.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume, bei der ein Lüfter und ein Filter, das eine Seite zum Eintritt von ungereinigter Luft und eine gegenüberliegende Seite zum Austritt des gereinigten Luftstromes aufweist, von Wänden einer Plenumkammer umschlossen sind, mit einer Einlaßöffnung in einer der Wände, an die der Lüfter zum Ansaugen von Luft angeschlossen ist und einer Auslaßöffnung in einer anderen Wand, an der das Filter mit der Seite des Austrittes des gereinigten Luftstromes anliegt.
Derartige technische Lösungen sind bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar und beispielsweise aus der DE 35 13 902 A1 bekannt.The invention relates to a device for generating a cleaned, low-turbulence air stream for supplying local clean rooms, in which a fan and a filter, which has one side for the entry of unpurified air and an opposite side for the outlet of the cleaned air flow, are enclosed by walls of a plenum chamber , with an inlet opening in one of the walls to which the fan for drawing in air is connected and an outlet opening in another wall against which the filter lies with the side of the outlet of the cleaned air flow.
Such technical solutions can be used in the production of integrated circuits and are known, for example, from DE 35 13 902 A1.

Sinkende Strukturbreiten und die Forderung nach steigender Gutausbeute führen zu ständig steigenden Anforderungen an die Reinraumbedingungen in der Umgebung der zu bearbeitenden Objekte.
Mit Einführung neuer Technologien, wie z. B. dem Einsatz von SMIF-Systemen (Standard Mechanical Interface), ist die Anwendung von lokalen Reinräumen verbunden, die an die verschiedenen Geräteeinheiten gekoppelt sind.
Der Übergang von großen Reinräumen, in denen ein vertikaler laminarer Luftstrom zur Aufrechterhaltung der Reinraumbedingungen dient, zu kleinen lokalen Reinräumen, die häufig mit einem horinzontalen laminaren Luftstrom arbeiten, führt beim Einsatz bekannter technischer Lösungen zu überhöhten Geräteabmessungen.Sinking structural widths and the demand for increasing yield of good lead to constantly increasing demands on the clean room conditions in the environment of the objects to be processed.
With the introduction of new technologies, such as B. the use of SMIF systems (Standard Mechanical Interface), the use of local cleanrooms is connected, which are coupled to the various device units.
The transition from large clean rooms, in which a vertical laminar air flow serves to maintain the clean room conditions, to small local clean rooms, which often work with a horizontal laminar air flow, leads to excessive device dimensions when using known technical solutions.

Wurden zur Erzeugung von vertikalen Luftströmen die Luftaufbereitungsanlagen, bestehend aus Filter und Lüfter üblicherweise an der Decke bzw. über der Geräteeinheit angebracht, so erfordern lokale horizontale Luftströme deren Integration in die Geräte. Damit ergibt sich oft eine Vergrößerung der Aufstellfläche.If the air treatment systems, consisting of filter and fan, were usually installed on the ceiling or above the device unit to generate vertical air flows, then local horizontal air flows require their integration into the devices. This often results in an increase in the footprint.

Zur Luftaufbereitung setzt z. B. die in der DE 35 13 902 A1 offenbarte Lösung einen in das Plenum integrierten Zentrifugallüfter ein, dessen Luft insgesamt parallel zu der Fläche der Filterelemente abgegeben wird. Den Zentrifugallüfter umgebende Leitflächen erzeugen eine Luftströmung von den Randflächen zur Mitte des Filters.For air treatment z. B. the solution disclosed in DE 35 13 902 A1 a centrifugal fan integrated in the plenum, the air is emitted parallel to the surface of the filter elements. The centrifugal fan surrounding baffles create an air flow from the peripheral surfaces to the center of the filter.

Zur Erhöhung des Wirkungsgrades durch eine verwirbelungsarme gleichmäßige Anströmung der Filterfläche sind in der DE 42 36 031 A1 Einlaßöffnung und Axiallüfter durch eine rohrförmige Ummantelung vom Plenum bis auf einen Luftaustritt in Strömungsrichtung getrennt. In den Luftstrom gestellte Luftleitbleche wirken rotatorischen Luftstromkomponenten entgegen.In order to increase the efficiency due to a uniform flow with low turbulence in the filter surface, the inlet opening and axial fan in DE 42 36 031 A1 are separated from the plenum by a tubular jacket except for an air outlet in the flow direction. Air baffles placed in the air flow counteract rotary air flow components.

Neben der für viele Anwendungszwecke noch zu großen Bautiefe beider Lösungen, erfordert die Anwendung von Luftleitblechen einen hohen konstruktiven und fertigungstechnischen Aufwand, da einerseits eine genügende Stabilität der Luftleiteinrichtungen erreicht werden muß, um die Erzeugung von Schwingungen zu vermeiden, andererseits kommt es zu einer zusätzlichen Geräuschentwicklung an den Abreißkanten der Luftleitbleche.
Die teilweise Reduzierung der Bautiefe, die durch den Einsatz von Axiallüftern anstelle von Radiallüftern erreicht wird, ist in der Regel mit einem höheren Geräuschpegel verbunden, der sich natürlich störend auf das Bedienpersonal auswirkt.In addition to the depth of both solutions, which is still too great for many applications, the use of air baffles requires a high level of design and manufacturing effort, since on the one hand sufficient stability of the air baffle devices must be achieved to avoid the generation of vibrations, and on the other hand there is an additional noise development at the tear-off edges of the air baffles.
The partial reduction in the overall depth, which is achieved by using axial fans instead of radial fans, is usually associated with a higher noise level, which of course has a disruptive effect on the operating personnel.

Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß mit der bei lokalen Reinräumen üblichen Kopplung der Luftaufbereitungsanlagen an die Geräteeinheiten eine mögliche Schwingungsübertragung verbunden ist.
Besonders negativ wirkt sich diese Schwingungsübertragung bei bilderzeugenden oder -verarbeitenden Geräten und Inspektionsgeräten aus. Ohne aufwendige Maßnahmen zur Schwingungsisolation mit Problemen der Kopplung zum Gehäuse der Geräteeinheit und der Trennung der Umgebung vom eingeschlossenen Reinraum ist eine Arbeit mit diesen Geräten nicht gewährleistet.Another disadvantage is that a possible vibration transmission is associated with the coupling of the air treatment systems to the device units, which is common in local cleanrooms.
This vibration transmission has a particularly negative effect on imaging or processing devices and inspection devices. Without complex measures for vibration isolation with problems of coupling to the housing of the device unit and the separation of the environment from the enclosed clean room, work with these devices is not guaranteed.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, die Bautiefe der Luftaufbereitungsanlage weiter zu verringern und außerdem in einfacher Weise eine Schwingungsübertragung von den luftstromerzeugenden Mitteln auf die zu versorgende Geräteeinheit weitgehend zu vermeiden.The object of the invention is therefore to further reduce the overall depth of the air treatment system and, furthermore, to largely avoid a vibration transmission from the airflow-generating means to the device unit to be supplied.

Die Aufgabe wird durch eine Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume, bei der ein Lüfter und ein Filter, das eine Seite zum Eintritt von ungereinigter Luft und eine gegenüberliegende Seite zum Austritt des gereinigten Luftstromes aufweist, von Wanden einer Plenumkammer umschlossen sind, mit einer Einlaßöffnung in einer der Wände, an die der Lüfter zum Ansaugen von Luft angeschlossen ist und einer Auslaßöffnung in einer anderen Wand, an der das Filter mit der Seite des Austrittes des gereinigten Luftstromes anliegt, dadurch gelöst, daß die der Auslaßöffnung gegenüberliegende Wand der Plenumkammer zu der Seite des Eintrittes der ungereinigten Luft benachbart ist und einen Raum freiläßt, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer in Verbindung steht.The task is accomplished by a device for generating a cleaned, low-turbulence air stream for supplying local clean rooms, in which a fan and a filter, which has one side for the entry of unpurified air and an opposite side for the exit of the cleaned air flow, are enclosed by walls of a plenum chamber, with an inlet opening in one of the walls to which the fan for suction of air is connected and one Discharge opening in another wall, against which the filter lies with the side of the outlet of the cleaned air flow, solved in that the wall of the plenum chamber opposite the outlet opening is adjacent to the side of the inlet of the uncleaned air and leaves a space which is free with the rest Room of the plenum chamber communicates.

Der Lüfter ist dem Filter in einer Richtung senkrecht zur Richtung des gereinigten Luftstromes benachbart.The fan is adjacent to the filter in a direction perpendicular to the direction of the cleaned air flow.

Anstatt des Einsatzes eines Lüfters kann auch dem Filter in einer Richtung senkrecht zur Richtung des gereinigten Luftstromes mindestens ein Paar von Lüftern benachbart sein.
Werden zwei oder mehrere Lüfter eingesetzt ist es von Vorteil, wenn der zu der Seite des Eintrittes der ungereinigten Luft freigelassene Raum entsprechend der Anzahl der Lüfter in Teilräume geteilt ist, die von der Wand der Plenumkammer und Abschnitten der Seite des Eintrittes der ungereinigten Luft gebildet sind, wobei die Trennung an der Seite des Austrittes des gereinigten Luftstromes aufgehoben ist.Instead of using a fan, at least one pair of fans can also be adjacent to the filter in a direction perpendicular to the direction of the cleaned air flow.
If two or more fans are used, it is advantageous if the space left to the side of the inlet of the unpurified air is divided into sub-rooms according to the number of fans, which are formed by the wall of the plenum chamber and sections of the side of the inlet of the unpurified air , wherein the separation on the side of the outlet of the cleaned air flow is eliminated.

Zur Vermeidung einer Schwingungsübertragung von den luftstromerzeugenden Mitteln auf die zu versorgende Geräteeinheit ist es von Vorteil, wenn an jedem Lüfter Halte- und Befestigungselemente angebracht sind, die abgedichtet und schwingungsisoliert aus der Plenumkammer herausgeführt, an einem Grundgestell außerhalb der Plenumkammer befestigt sind. Das Grundgestell kann gleichzeitig Träger der den lokalen Reinraum enthaltenden Geräteeinheit sein, wobei zwischen dem Grundgestell und der Geräteeinheit ein Schwingungsisolationssystem vorzusehen ist.In order to avoid vibrations being transmitted from the airflow-generating means to the device unit to be supplied, it is advantageous if holding and fastening elements are attached to each fan, which are led out of the plenum chamber in a sealed and vibration-isolated manner and are fastened to a base frame outside the plenum chamber. The base frame can at the same time be the carrier of the device unit containing the local clean room, a vibration isolation system being provided between the base frame and the device unit.

Durch diese Anordnung ist die Schwingungsisolation des Lüfters gegenüber dem lokalen Reinraum und der darin angeordneten Baueinheiten ohne größeren Aufwand möglich, und auch der durch Relativbewegungen des schwingungsisolierten Geräteteiles erforderliche Freiraum ist ohne die geometrische Vergrößerung der Filter-Lüfter-Einheit verfügbar.With this arrangement, the vibration isolation of the fan from the local clean room and the structural units arranged therein is possible without great effort, and also by relative movements of the fan Vibration-isolated device part required space is available without the geometric enlargement of the filter-fan unit.

Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1
eine Filter-Lüfter-Einheit, gekoppelt an eine Geräteeinheit mit lokalem Reinraum
Fig. 2
eine Filter-Lüfter-Einheit mit einer schwingungsisolierten Kupplung an die Geräteeinheit mit dem lokalen Reinraum
Fig. 3
eine Filter-Lüfter-Einheit mit einem Lüfterpaar
The invention will be explained below with reference to the schematic drawing. Show it:
Fig. 1
a filter-fan unit, coupled to a device unit with a local clean room
Fig. 2
a filter-fan unit with a vibration-isolated coupling to the device unit with the local clean room
Fig. 3
a filter-fan unit with a pair of fans

Gemäß Fig. 1 umschließen die Wände einer Plenumkammer 1, die von einem Grundgestell 2 getragen wird, einen Lüfter 3 und ein Hochleistungsschwebstoffilter 4. Bis auf eine Einlaßöffnung 5 in einer der Wände, an die der Lüfter 3 angeschlossen ist und die die Luftzufuhr aus dem umgebenden Raum ermöglicht, ist die Plenumkammer 1 gegenüber der Umgebung lufttechnisch dicht abgeschlossen. Das Hochleistungsschwebstoffilter 4 weist eine Seite 6 zum Eintritt ungereinigter Luft auf und umschließt mit einer gegenüberliegenden Seite 7 zum Austritt eines gereinigten Luftstromes 8 eine Auslaßöffnung 9. Dadurch kann der Eintritt der gereinigten Luft in eine, mit der Plenumkammer 1 über Dichtungselemente 11 gekoppelte Geräteeinheit 10 zur Erzeugung und Aufrechterhaltung eines lokalen Reinraumes nur über das Hochleistungsschwebstoffilter 3 entsprechend seinem Abscheidegrad erfolgen.1 enclose the walls of a plenum chamber 1, which is supported by a base frame 2, a fan 3 and a high-performance particle filter 4. Except for an inlet opening 5 in one of the walls to which the fan 3 is connected and which the air supply from the Enables surrounding space, the plenum 1 is sealed air-tight from the environment. The high-performance suspended matter filter 4 has a side 6 for the entry of unpurified air and encloses an outlet opening 9 with an opposite side 7 for the exit of a cleaned air stream 8. This allows the entry of the cleaned air into a device unit 10 coupled to the plenum chamber 1 via sealing elements 11 Generation and maintenance of a local clean room can only take place via the high-performance particle filter 3 in accordance with its degree of separation.

Die Anordnung des Lüfters 3, der in diesem Ausführungsbeispiel als Radiallüfter ausgebildet ist, erfolgt zur Reduzierung der Bautiefe der Filter-Lüfter-Einheit in unüblicher Weise in einer Richtung senkrecht zur Richtung des gereinigten Luftstromes 8 benachbart zum Hochleistungsschwebstoffilter 4.
Die der Auslaßöffnung 9 gegenüberliegende Wand der Plenumkammer 1 läßt zu der Seite 6 für den Eintritt der ungereinigten Luft einen Raum 12 frei, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer 1 in Verbindung steht. Der freigelassene Raum 12 ist der Bereich der Plenumkammer 1, der als Stauraum vorwiegend zur Ausbildung des Plenums dient, so daß eine örtlich weitgehend gleichmäßige Durchströmung des Hochleistungsschwebstoffilters 4 und damit verbunden eine turbulenzarme Verdrängungsströmung am reinluftseitigen Austritt des gereinigten Luftstromes 8 gewährleistet ist.The arrangement of the fan 3, which is designed as a radial fan in this exemplary embodiment, takes place in an unusual manner to reduce the overall depth of the filter-fan unit in a direction perpendicular to the direction of the cleaned air flow 8 adjacent to the high-performance suspended matter filter 4.
The wall of the plenum chamber 1 opposite the outlet opening 9 leaves a space 12 on the side 6 for the entry of the uncleaned air, which is in communication with the remaining space of the plenum chamber 1. The vacated space 12 is the area of the plenum chamber 1, which mainly serves as storage space for the formation of the plenum, so that a locally largely uniform Flow through the high-performance suspended matter filter 4 and, associated therewith, a low-turbulence displacement flow at the clean air-side outlet of the cleaned air stream 8 is ensured.

Die die Bautiefe begrenzenden Merkmale sind die Dicke des Hochleistungsschwebstoffilters 4 und die erforderliche Breite des Raumes 12, der so dimensioniert sein muß, daß die Eigenschaften eines Plenums erhalten bleiben. Eine Reduzierung bis zu 40 % gegenüber herkömmlichen Anordnungen ist möglich.The features that limit the overall depth are the thickness of the high-performance particle filter 4 and the required width of the space 12, which must be dimensioned in such a way that the properties of a plenum are retained. A reduction of up to 40% compared to conventional arrangements is possible.

Durch eine entsprechende Auswahl von Lüfter und Filter, deren Größe und Geometrie an die Forderungen des lokalen Reinraumes angepaßt werden können, ist eine Variation der Filter-Lüfter-Einheit in weiten Grenzen möglich.A corresponding selection of fans and filters, the size and geometry of which can be adapted to the requirements of the local clean room, allows the filter / fan unit to be varied within wide limits.

In der Ausführung gemäß Fig. 2 ist der Lüfter 3 schwingungstechnisch von den Wänden der Plenumkammer 1 getrennt. Zu diesem Zweck sind schwingungsdämpfende Dichtungselemente 13 an der Einlaßöffnung 5 und ein schwingungsisolierter und zur Vermeidung von Druckverlusten gegenüber der Umgebung luftdichter Austritt 14 einer an dem Grundgestell 2 befestigten Halterung 15 für den Lüfter 3 vorgesehen.
Im Bereich der Auslaßöffnung 9 ist die Filter-Lüfter-Einheit mit der Geräteeinheit 10 direkt oder mit Dichtungselementen 11 verbunden. Die Geräteeinheit 10 verfügt über ein eigenes Schwingungsisolationssystem 30, das sich auf dem Grundgestell 2 abstützt.2, the fan 3 is separated from the walls of the plenum chamber 1 in terms of vibration. For this purpose, vibration-damping sealing elements 13 are provided at the inlet opening 5 and a vibration-insulated outlet 14, which is airtight to avoid pressure losses from the environment, is attached to the base frame 2 of a holder 15 for the fan 3.
In the area of the outlet opening 9, the filter-fan unit is connected to the device unit 10 directly or to sealing elements 11. The device unit 10 has its own vibration isolation system 30, which is supported on the base frame 2.

Bei der Ausführung gemäß Fig. 3 ist in einer Plenumkammer 16 mit Einlaßöffnungen 17, 18 und einer Auslaßöffnung 19 einem Filter 20 in einer Richtung senkrecht zur Richtung eines gereinigten Luftstromes 21 ein Paar von Lüftern 22, 23 benachbart. Die von jedem Lüfter 22, 23 angesaugte Luft ist auf durch Trennwände 24, 25 geteilte Teilräume 26, 27 gerichtet, die von der Wand der Plenumkammer 16 und Abschnitten 28, 29 der Seite des Eintrittes der ungereinigten Luft gebildet sind. In dieser Anordnung, die nicht auf ein Paar von Lüftern beschränkt sein muß, erzeugt jeder Lüfter sein eigenes Plenum. Da reinluftseitig keinerlei Trennung mehr vorhanden ist, wird eine einzige laminare bzw. turbulenzarme Strömung erzeugt.3, a pair of fans 22, 23 are adjacent to a filter 20 in a direction perpendicular to the direction of a cleaned air flow 21 in a plenum 16 with inlet openings 17, 18 and an outlet opening 19. The air sucked in by each fan 22, 23 is directed to partial spaces 26, 27 divided by partitions 24, 25, which are formed by the wall of the plenum chamber 16 and sections 28, 29 of the side of the inlet of the unpurified air. In this arrangement, which need not be limited to a pair of fans, each fan creates its own plenum. Since there is no longer any separation on the clean air side, a single laminar or low-turbulence flow is generated.

Claims (6)

Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume, bei der ein Lüfter und ein Filter, das eine Seite zum Eintritt von ungereinigter Luft und eine gegenüberliegende Seite zum Austritt des gereinigten Luftstromes aufweist, von Wänden einer Plenumkammer umschlossen sind, mit einer Einlaßöffnung in einer der Wände, an die der Lüfter zum Ansaugen von Luft angeschlossen ist und einer Auslaßöffnung in einer anderen Wand, an der das Filter mit der Seite des Austrittes des gereinigten Luftstromes anliegt,
dadurch gekennzeichnet, daß
die der Auslaßöffnung (9, 19) gegenüberliegende Wand der Plenumkammer (1, 16) zu der Seite (6) des Eintrittes der ungereinigten Luft benachbart ist und einen Raum (12, 26, 27) freiläßt, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer (1, 16) in Verbindung steht.Device for generating a cleaned, low-turbulence air stream for supplying local clean rooms, in which a fan and a filter, which has one side for the entry of unpurified air and an opposite side for the outlet of the cleaned air stream, are enclosed by walls of a plenum chamber, with an inlet opening in one of the walls to which the fan for sucking in air is connected and an outlet opening in another wall to which the filter lies with the side of the outlet of the cleaned air flow,
characterized in that
the wall of the plenum chamber (1, 16) opposite the outlet opening (9, 19) is adjacent to the side (6) of the entry of the uncleaned air and leaves a space (12, 26, 27) free which connects with the remaining space of the plenum chamber ( 1, 16) is connected. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lüfter, (3) dem Filter (4) in einer Richtung senkrecht zur Richtung des gereinigten Luftstromes (8) benachbart ist.Device according to claim 1, characterized in that the fan (3) is adjacent to the filter (4) in a direction perpendicular to the direction of the cleaned air flow (8). Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Filter (20) in einer Richtung senkrecht zur Richtung des gereinigten Luftstromes (21) mindestens ein Paar von Lüftern (22, 23) benachbart ist.Device according to claim 1, characterized in that the filter (20) is adjacent to at least one pair of fans (22, 23) in a direction perpendicular to the direction of the cleaned air flow (21). Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der zu der Seite des Eintrittes der ungereinigten Luft freigelassene Raum entsprechend der Anzahl der Lüfter (22, 23) in Teilräume (26, 27) geteilt ist, die von der Wand der Plenumkammer (16) und Abschnitten (28, 29) der Seite des Eintrittes der ungereinigten Luft gebildet sind, wobei die Trennung an der Seite des Austrittes des gereinigten Luftstromes aufgehoben ist.Device according to claim 3, characterized in that the space left to the side of the entry of the unpurified air is divided according to the number of fans (22, 23) into sub-rooms (26, 27) which are separated from the wall of the plenum chamber (16) and Sections (28, 29) of the side of the inlet of the unpurified air are formed, the separation on the side of the outlet of the cleaned air stream being eliminated. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem Lüfter (3, 22, 23) Halte- und Befestigungselemente (15) angebracht sind, die abgedichtet und schwingungsisoliert aus der Plenumkammer (1, 16) herausgeführt, an einem Grundgestell (2) außerhalb der Plenumkammer (1, 16) befestigt sind.Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that holding and fastening elements (15) are attached to each fan (3, 22, 23) and are led out from the plenum chamber (1, 16) in a sealed and vibration-isolated manner on a base frame (2) outside the plenum chamber (1, 16) are attached. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Grundgestell (2) gleichzeitig Träger der den lokalen Reinraum enthaltenden Geräteeinheit (10) ist, wobei zwischen dem Grundgestell (2) und der Geräteeinheit (10) ein Schwingungsisolationssystem (30) vorgesehen ist.Device according to claim 5, characterized in that the base frame (2) is at the same time the carrier of the device unit (10) containing the local clean room, a vibration isolation system (30) being provided between the base frame (2) and the device unit (10).
EP96107219A 1995-10-13 1996-05-07 Device for producing a clean and poor in turbulences air current, for supplying local clean-rooms Withdrawn EP0768498A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19538040A DE19538040C2 (en) 1995-10-13 1995-10-13 Device for generating a cleaned, low-turbulence air stream to supply local clean rooms
DE19538040 1995-10-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0768498A2 true EP0768498A2 (en) 1997-04-16
EP0768498A3 EP0768498A3 (en) 1999-11-24

Family

ID=7774679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP96107219A Withdrawn EP0768498A3 (en) 1995-10-13 1996-05-07 Device for producing a clean and poor in turbulences air current, for supplying local clean-rooms

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5814116A (en)
EP (1) EP0768498A3 (en)
JP (1) JP3091412B2 (en)
KR (1) KR0173766B1 (en)
DE (1) DE19538040C2 (en)
SG (1) SG88724A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102788400A (en) * 2011-05-18 2012-11-21 松下电器产业株式会社 Backflow prevention apparatus of clean room
CN111271870A (en) * 2020-02-24 2020-06-12 东莞市利人净化科技有限公司 Fan filter unit with static pressure box

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010113901A (en) 1999-04-28 2001-12-28 스트라토테크 코포레이션 Adjustable clean-air flow environment
US20020071954A1 (en) * 2000-12-08 2002-06-13 Nelson Christopher R. Cellulose gypsum based substrate with increased water resistance and strength by surface application of polymeric diphenylmethane diisocyanate
DE10351848A1 (en) 2003-11-06 2005-06-09 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh System for the detection of macro defects
DE102004062592B3 (en) * 2004-12-24 2006-06-08 Leica Microsystems Jena Gmbh Disk-shaped substrate testing system, has suction unit arranged at side of housing and spaced from mounting plate, and opening provided in suction unit, where opening has width that corresponds to distance of plate to wall of housing
CN107883508A (en) * 2016-09-29 2018-04-06 殷晓冬 Assembled and the weak turbulent flow consentrated air supply device of assembly type

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3513902A1 (en) * 1984-04-17 1985-10-24 Environmental Air Control, Inc., Hagerstown, Md. SPACE-SAVING FAN AND FILTER ARRANGEMENT FOR USE IN CLEAN AIR AREAS
EP0340433A2 (en) * 1988-04-30 1989-11-08 BABCOCK-BSH AKTIENGESELLSCHAFT vormals Büttner-Schilde-Haas AG Tunnel module for creating a clean space by the laminar flow technique
DE4122582A1 (en) * 1991-07-08 1993-01-14 Babcock Bsh Ag MODULE FOR BUILDING A CLEANROOM CEILING
US5413527A (en) * 1992-08-31 1995-05-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Environmental control apparatus
US5413524A (en) * 1993-02-09 1995-05-09 Kabushiki Kaisha Nikko Method of taking out viscera of fish and apparatus thereof

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3251177A (en) * 1963-05-15 1966-05-17 Arthur K Baker Dust-free bench
US3301167A (en) * 1964-05-04 1967-01-31 Ray Products Company Inc Anticontaminant work bench
US3290866A (en) * 1964-08-26 1966-12-13 Schonrock Verlie Evaporative cooler
US3284148A (en) * 1965-02-24 1966-11-08 Ramniceanu Tiberiu Justinian Blower-contained vibration-free work bench
DE2138985A1 (en) * 1971-08-04 1973-02-15 Buettner Schilde Haas Ag VENTILATION DEVICE
US3828530A (en) * 1971-09-01 1974-08-13 M Peters Filter system
US3935803A (en) * 1972-10-12 1976-02-03 Flanders Filters, Inc. Air filtration apparatus
CA988357A (en) * 1973-01-26 1976-05-04 Her Majesty The Queen, In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Back table clean station
US3838556A (en) * 1973-04-06 1974-10-01 Med Assists Inc Air filtration device with oriented output
JPS5520886B2 (en) * 1974-04-26 1980-06-05
JPS51136570A (en) * 1975-05-22 1976-11-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Coarse packed bed
JPS52142851A (en) * 1976-05-22 1977-11-29 Hosokawa Kankiyou Enjiniaringu Distribution controlled air feeder assembled in interior building structure
US4412849A (en) * 1981-04-09 1983-11-01 Klenzaids Engineers Private Limited Method and apparatus for control of gas-borne particulates
DE3484603D1 (en) * 1983-12-16 1991-06-20 Nitta Co AIR CLEANER.
JPS6171829A (en) * 1984-09-14 1986-04-12 Fuji Electric Co Ltd Moving magnetic field type treatment apparatus
JPS61175834A (en) * 1985-01-31 1986-08-07 Toshiba Corp Data processor provided with microprogram debug function
JPS61175834U (en) * 1985-04-22 1986-11-01
JPS62183832A (en) * 1985-10-23 1987-08-12 Hitachi Ltd Apparatus for preparing semiconductor
US5053065A (en) * 1988-05-16 1991-10-01 Garay Charles J Low-profile blower and filter apparatus for supplying clean air
JPH02183832A (en) * 1989-01-11 1990-07-18 Nec Corp Inference processor
DE4303805A1 (en) * 1992-02-12 1993-09-09 Helios Klima Kaelte Supporting frame for air conditioning plant - comprises inner frame attached to outer frame by continuous rubber bead or by six rocker bolts
JP3309416B2 (en) * 1992-02-13 2002-07-29 松下電器産業株式会社 Connected clean space device
DE4236031C2 (en) * 1992-10-24 1996-07-11 Jenoptik Jena Gmbh Device for generating a clean air stream
DE4238895C1 (en) * 1992-11-19 1993-12-16 Howatherm Klimatech Gmbh Electric ventilation fan for air-conditioning duct - has peripheral seal for suction plate and vibration damping of fan motor mounting, to reduce noise

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3513902A1 (en) * 1984-04-17 1985-10-24 Environmental Air Control, Inc., Hagerstown, Md. SPACE-SAVING FAN AND FILTER ARRANGEMENT FOR USE IN CLEAN AIR AREAS
EP0340433A2 (en) * 1988-04-30 1989-11-08 BABCOCK-BSH AKTIENGESELLSCHAFT vormals Büttner-Schilde-Haas AG Tunnel module for creating a clean space by the laminar flow technique
DE4122582A1 (en) * 1991-07-08 1993-01-14 Babcock Bsh Ag MODULE FOR BUILDING A CLEANROOM CEILING
US5413527A (en) * 1992-08-31 1995-05-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Environmental control apparatus
US5413524A (en) * 1993-02-09 1995-05-09 Kabushiki Kaisha Nikko Method of taking out viscera of fish and apparatus thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102788400A (en) * 2011-05-18 2012-11-21 松下电器产业株式会社 Backflow prevention apparatus of clean room
CN102788400B (en) * 2011-05-18 2014-11-05 松下电器产业株式会社 Backflow prevention apparatus of clean room
US9217576B2 (en) 2011-05-18 2015-12-22 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Backflow prevention apparatus of clean room
CN111271870A (en) * 2020-02-24 2020-06-12 东莞市利人净化科技有限公司 Fan filter unit with static pressure box

Also Published As

Publication number Publication date
SG88724A1 (en) 2002-05-21
KR970022014A (en) 1997-05-28
DE19538040A1 (en) 1997-04-17
DE19538040C2 (en) 1998-08-13
JPH09126511A (en) 1997-05-16
EP0768498A3 (en) 1999-11-24
JP3091412B2 (en) 2000-09-25
KR0173766B1 (en) 1999-03-20
US5814116A (en) 1998-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3513902C2 (en)
DE3023630C2 (en)
DE3316978A1 (en) Construction system for dissipating the heat losses from electronic assemblies which are arranged in containers or cabinets
EP0415076B1 (en) Suction cleaner
DE69930956T2 (en) AIR CLEANER
DE3882241T2 (en) Fine part collector arrangement for vacuum pumps.
DE2442072B2 (en) COMBUSTION ENGINE WITH SOUND-INSULATING CASING
DE7834992U1 (en) DEVICE FOR SEVERAL SOUND AND / OR HEAT-RELEASING MACHINES TO BE SET UP IN A WORKPLACE
EP0768498A2 (en) Device for producing a clean and poor in turbulences air current, for supplying local clean-rooms
EP0340433A2 (en) Tunnel module for creating a clean space by the laminar flow technique
DE3921388A1 (en) AIR CLEANER AND AIR FILTER
DE2836708A1 (en) Mobile clean air supply unit - has fan installed between noise dampers on suction and discharge sides
DE202008012988U1 (en) Cooling arrangement of a power electronics device
EP0533078B1 (en) Portable room-air cleaning device
DE4236031C2 (en) Device for generating a clean air stream
EP3189760A1 (en) Floor cleaning machine
DE69916087T2 (en) FILTER FOR FAN WITH HIGH FILTER PERFORMANCE, LOW ENERGY CONSUMPTION AND LOW NOISE EXHAUST
DE112019006755T5 (en) Outdoor unit for air conditioning
JPH07310941A (en) Clean room
DE2234228A1 (en) PORTABLE AIR PURIFICATION DEVICE
JPS6099943A (en) Clean room
DE202013001963U1 (en) Room air cleaner
DE807297C (en) Extraction fan with antechamber
JPH06178907A (en) Clean bench and its arrangement structure
DE9014160U1 (en) Fan unit

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB IE IT LI NL

RHK1 Main classification (correction)

Ipc: F24F 3/16

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB IE IT LI NL

17P Request for examination filed

Effective date: 20000515

17Q First examination report despatched

Effective date: 20020411

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RTI1 Title (correction)

Free format text: ASSEMBLY COMPRISING A DEVICE FOR PRODUCING A CLEAN AND POOR IN TURBULENCES AIR CURRENT AND A DEVICE WITH LOCAL CLEAN-ROOM

RTI1 Title (correction)

Free format text: ASSEMBLY COMPRISING A DEVICE FOR PRODUCING A CLEAN AND POOR IN TURBULENCES AIR CURRENT AND A DEVICE WITH LOCAL CLEAN-ROOM

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20031015