EP0477511A1 - Heizkammer und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Heizkammer und Verfahren zu ihrer Herstellung Download PDF

Info

Publication number
EP0477511A1
EP0477511A1 EP19910113416 EP91113416A EP0477511A1 EP 0477511 A1 EP0477511 A1 EP 0477511A1 EP 19910113416 EP19910113416 EP 19910113416 EP 91113416 A EP91113416 A EP 91113416A EP 0477511 A1 EP0477511 A1 EP 0477511A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
heating chamber
heating
layer
boron nitride
conductor tracks
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP19910113416
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0477511B1 (de
Inventor
Klaus Müller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airbus Defence and Space GmbH
Original Assignee
Daimler Benz Aerospace AG
Erno Raumfahrttechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daimler Benz Aerospace AG, Erno Raumfahrttechnik GmbH filed Critical Daimler Benz Aerospace AG
Publication of EP0477511A1 publication Critical patent/EP0477511A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0477511B1 publication Critical patent/EP0477511B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62Heating elements specially adapted for furnaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02BINTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B77/00Component parts, details or accessories, not otherwise provided for
    • F02B77/02Surface coverings of combustion-gas-swept parts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00Furnaces of a kind not covered by any of groups F27B1/00 - F27B15/00
    • F27B17/02Furnaces of a kind not covered by any of groups F27B1/00 - F27B15/00 specially designed for laboratory use
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05CINDEXING SCHEME RELATING TO MATERIALS, MATERIAL PROPERTIES OR MATERIAL CHARACTERISTICS FOR MACHINES, ENGINES OR PUMPS OTHER THAN NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES
    • F05C2203/00Non-metallic inorganic materials
    • F05C2203/08Ceramics; Oxides
    • F05C2203/0804Non-oxide ceramics
    • F05C2203/0808Carbon, e.g. graphite
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05CINDEXING SCHEME RELATING TO MATERIALS, MATERIAL PROPERTIES OR MATERIAL CHARACTERISTICS FOR MACHINES, ENGINES OR PUMPS OTHER THAN NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES
    • F05C2253/00Other material characteristics; Treatment of material
    • F05C2253/16Fibres

Definitions

  • the invention relates to a heating chamber for heating systems for the controlled melting of metallic workpieces and samples, consisting of a cylindrical container, the wall of which consists of heating coils made of an electrically conductive material and of an insulation surrounding the heating coils, and also relates to a method for producing such a heating chamber.
  • HFT Heating Facility Turbineblades
  • the turbine blades are individually introduced into a heating chamber of the type mentioned at the outset and melted in a controlled manner in the latter and then cooled.
  • the heating chambers used usually consist of a spirally wound tantalum wire, on which beads made of aluminum oxide ceramics are drawn for insulation. By melting these beads on the tantalum wire, caused by the evaporation of the sample materials that are in the heating chamber, such a heating chamber can easily lead to electrical short circuits and thus to the failure of the entire system.
  • the object of the invention is therefore to design a heating chamber of the type mentioned at the outset in such a way that a reliable operating sequence is ensured and, moreover, that the specified temperature or temperature distribution is maintained as precisely as possible. It is also an object of the invention to provide a method for producing such a heating chamber.
  • the problem is solved by a heating chamber with the characterizing features of claim 1.
  • the heating chamber according to the invention also has the advantage that it can deliver a uniformly high heating output over a longer period of time.
  • FIGs 1 to c the manufacture of the inner wall layer 1 of the heating chamber consisting of pyrolytic boron nitrite is shown.
  • a negative form consisting of a graphite mandrel 2 serves as the starting point.
  • Boron nitride 3 is deposited on this in a vacuum vapor deposition system from the gas phase and then, also by vapor deposition, a graphite layer 4 is deposited, the upper edge surface and the end face being covered by a corresponding one Cover protected, not to be covered with graphite.
  • the resulting blank 5 is removed from the mandrel 2 after solidification and cooling.
  • FIGS. 2a to c The further stages of the manufacturing process are shown in FIGS. 2a to c.
  • the already cylindrical blank 5 has an initially continuous coating 4 made of graphite on the inner boron nitride carrier layer 1. Spiral heating tracks 6 are milled into these mechanically, as shown in FIG. 2b.
  • a second layer 7 made of boron nitride two contact shells 9, 10 made of carbon fiber-reinforced carbon (CFRP) are placed on the radially divided lower edge strips 8, 8 'of the graphite layer which have been left open during sealing by a corresponding cover a connection wire 11, 12 made of tantalum was previously soldered for the power supply. The latter takes place at a temperature of approximately 2500 ° C.
  • the two contact shells 9 and 10 are glued onto the divided conductor tracks 8 and 8 'by means of a graphite adhesive.
  • Fig. 3 shows the installation of the finished heating chamber 13 in a high temperature heating system.
  • the heating chamber 13 is inserted into a support tube 14 made of tantalum sheet and is fixed in the radial direction in this by an insulating ring 15, which bears against the contact shells 9 and 10 from the outside.
  • the support tube 14 is surrounded by several layers 16 of a tantalum foil.
  • the connecting wires 11 and 12 are provided with an insulation 17, 18 made of aluminum oxide beads, to an electrical supply unit, not shown in the figure.
  • the heating chamber 13 is through closed a flange 19 which also serves as a holder for a workpiece to be treated.
  • the heating chamber described above can also be operated at temperatures up to 2000 ° C. over a long period of time without mechanical failure or thermal output phenomena which would adversely affect the manufacturing process of a workpiece.
  • the heating device variable By vapor deposition of the graphite layer and the subsequent shaping of the heating windings, it is possible to make the heating device variable, the resistance can be changed by varying the layer thickness and the temperature distribution in the heating chamber can be influenced in a targeted manner by the shape of the milled tracks. In this way, a heating chamber with a particularly high power density can be produced, which is suitable, inter alia, for use in a system for processing and directional solidification of turbine blades.
  • the advantage here is the pyrolytic coating of the heating tracks, the heater is encapsulated and resistant to any evaporation of the sample materials.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

Eine Heizkammer für Heizanlagen zum kontrollierten Aufschmelzen bzw. gerichteten Erstarren metallischer Werkstücke besteht aus einer zylindrischen Heizkammer, deren Wand durch aus der Gasphase abgeschiedenes Bornitrit gebildet wird, auf das eine Graphitschicht aufgedampft ist, in die spiralförmig verlaufende Leitbahnen eingefräst sind. Eine Versiegelung aus ebenfalls pyrolytisch abgeschiedenen Bornitrit deckt die Leiterbahnen nach außen hin ab. Die Kontaktierung erfolgt durch auf die Leiterbahnen aufgeklebte Kontaktschalen aus kohlefaserverstärktem Kohlenstoff. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Heizkammer für Heizanlagen zum kontrollierten Aufschmelzen metallischer Werkstücke und Proben, bestehend aus einem zylindrischen Behälter, dessen Wand aus Heizwicklungen aus einem elektrisch leitenden Werkstoff sowie aus einer die Heizwicklungen umgebenden Isolierung besteht, ferner betrifft sie ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Heizkammer.
  • Für das kontrollierte Aufschmelzen von Werkstücken und Proben insbesondere auch aus höherschmelzenden Metallen bzw. intermetallischen Phasen werden spezielle Hochtemperatur-Heizanlagen eingesetzt, bei denen hohe Anforderungen, auch über einen längeren Zeitraum, an die Genauigkeit gestellt werden, mit der ein vorgegebener Temperaturverlauf einzuhalten ist. Die Heizkammern werden dabei entweder im isothermen Modus oder aber in einem gradienten Modus betrieben in der Isothermal Heating Facility (IHF).
  • Ein wichtiger Anwendungsfall ist die Herstellung von Turbinenschaufeln in der Heating Facility Turbineblades (HFT) für die Hochtemperatur-Stufen moderner Flugzeugtriebwerke, die durch gerichtetes Aufschmelzen einer Ausgangslegierung bei Temperaturen um 1700° C erfolgt. Die Turbinenschaufeln werden hierzu einzeln in eine Heizkammer der eingangs genannten Art eingebracht und in dieser kontrolliert aufgeschmolzen und anschließend abgekühlt. Die dabei verwendeten Heizkammern bestehen in der Regel aus einem spiralförmig gewickelten Tantaldraht, auf den zur Isolierung Perlen aus Aluminiumoxydkeramik aufgezogen sind. Durch Anschmelzen dieser Perlen an den Tantaldraht, verursacht durch das Abdampfen der Probenmaterialien, die sich in der Heizkammer befinden, kann es bei einer solchen Heizkammer leicht zu elektrischen Kurzschlüssen und damit zum Ausfall der gesamten Anlage kommen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Heizkammer der eingangs genannten Art so auszubilden, daß ein zuverlässiger Betriebsablauf gewährleistet ist und daß darüber hinaus eine möglichst exakte Einhaltung der vorgegebenen Temperatur bzw. Temperaturverteilung gegeben ist. Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Heizkammer anzugeben.
  • Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch eine Heizkammer mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1. Die erfindungsgemäße Heizkammer weist dabei zugleich noch den Vorteil auf, daß in ihr die Abgabe einer gleichmäßig hohen Heizleistung auch über einen längeren Zeitraum möglich ist.
  • Weiterhin wird ein Verfahren nach den Merkmalen des Anspruchs 5 vorgeschlagen, das eine einfache und kostengünstige Möglichkeit gewährleistet, eine derartige Heizkammer in relativ wenigen Arbeitsgängen herzustellen.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Heizkammer nach der Erfindung sowie des Verfahrens zu ihrer Herstellung sind in den weiteren Unterannsprüchen angegeben.
  • Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Es zeigen:
    • Fig. 1 Erstellung eines Heizer-Rohlings,
    • Fig. 2 Herstellungsprozeß einer Heizkammer und
    • Fig. 3 einen Längsschnitt durch eine Heizkammer.
  • In den Figuren 1 bis c ist zunächst die Herstellung der aus pyrolytischem Bornitrit bestehenden inneren Wandlage 1 der Heizkammer dargestellt. Als Ausgangspunkt dient eine Negativform, bestehend aus einer Graphit-Mandrille 2. Auf diese wird in einer Vakuum-Aufdampfanlage aus der Gasphase 3 Bornitrid und anschließend, ebenfalls durch Aufdampfen, eine Graphitschicht 4 abgeschieden, wobei die obere Randfläche sowie die Stirnfläche, durch eine entsprechende Abdeckung geschützt, nicht mit Graphit bedampft werden. Der so entstandene Rohling 5 wird nach dem Erstarren und Abkühlen von der Mandrille 2 abgezogen.
  • Die weiteren Stadien des Herstellungsprozesses ist in den Figuren 2a bis c dargestellt. Der bereits zylinderförmige Rohling 5 weist auf der inneren Bornitrit-Trägerlage 1 umfangsseitig eine zunächst durchgehende Beschichtung 4 aus Graphit auf. In diese werden auf mechanischem Wege spiralförmige Heizbahnen 6, wie in Fig. 2b dargestellt, eingefräst. Nachdem dieser Körper durch Aufdampfen einer zweiten Lage 7 aus Bornitrit versiegelt wurde, werden auf den bei der Versiegelung durch eine entsprechende Abdeckung freigebliebenen, radial geteilten unteren Randstreifen 8, 8' der Graphitschicht zwei Kontaktschalen 9, 10 aus kohlefaserverstärktem Kohlenstoff (CFK) aufgesetzt, in die zuvor jeweils ein Anschlußdraht 11, 12 aus Tantal für die Stromzuführung eingelötet wurde. Letzteres erfolgt bei einer Temperatur von etwa 2500° C. Die beiden Kontaktschalen 9 und 10 werden mittels eines Graphitklebers auf die geteilten Leiterbahnen 8 bzw. 8' aufgeklebt.
  • Fig. 3 zeigt den Einbau der fertigen Heizkammer 13 in eine Hochtemperatur-Heizanlage. Die Heizkammer 13 ist dabei in ein Stützrohr 14 aus Tantalblech eingesetzt und in diesem durch einen Isolierring 15, der von außen an den Kontaktschalen 9 und 10 anliegt, in radialer Richtung fixiert. Das Stützrohr 14 ist von mehreren Lagen 16 einer Tantalfolie umgeben. Die Anschlußdrähte 11 und 12 sind, mit einer Isolierung 17, 18 aus Aluminiumoxyd-Perlen versehen, zu einer in der Figur nicht dargestellten elektrischen Versorgungseinheit geführt. Die Heizkammer 13 wird durch einen Flansch 19 verschlossen, der zugleich als Halter für ein zu behandelndes Werkstück dient.
  • Durch die Verwendung pyrolytischen Bornitrits kann die vorstehend beschriebene Heizkammer auch über längere Zeit bei Temperaturen bis zum 2000° C betrieben werden, ohne daß es zu mechanischem Versagen bzw. zu thermischen Ausgangserscheinungen kommt, die den Herstellungsprozeß eines Werkstücks nachteilig beeinflussen würden. Durch das Aufdampfen der Graphitschicht und die nachfolgende Formgebung der Heizwicklungen ist es dabei möglich, die Heizvorrichtung variabel zu gestalten, wobei durch Variation der Schichtdicke der Widerstand verändert werden kann und durch die Form der gefrästen Bahnen zugleich die Temperaturverteilung in der Heizkammer gezielt beeinflußt werden kann. Auf diese Weise läßt sich eine Heizkammer mit einer besonders hohen Leistungsdichte herstellen, die sich unter anderen für den Einsatz in einer Anlage zur Prozessierung und gerichteten Erstarrung von Turbinenschaufeln eignet.
  • Hierbei besteht der Vorteil in der pyrolytischen Beschichtung der Heizbahnen, der Heizer ist gekapselt und gegen etwaiges Abdampfen der Probenmaterialien resistent.

Claims (7)

1. Heizkammer für Heizanlagen zum kontrollierten Aufschmelzen metallischer Werkstücke und Proben, bestehend aus einem zylindrischen Behälter, dessen Wand aus Heizwicklungen aus einem elektrisch leitenden Werkstoff sowie aus einer die Heizwicklungen umgebenden Isolierung besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die Behälterwand aus einer inneren Lage (1) aus einem aus der Gasphase abgeschiedenen keramischen Werkstoff, einer auf diese aufgebrachten, spiralförmig verlaufenden Schicht (4) eines elektrisch leitenden Materials sowie einer äußeren Lage (7) des keramischen Werkstoffs besteht.
2. Heizkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die innere und äußere Lage (1, 7) aus pyrolytisch abgeschiedenen Bornitrit bestehen.
3. Heizkammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht (4) aus Graphit besteht.
4. Heizkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Kontaktierung über Kontaktbuchsen (9, 10) aus kohlefaserverstärktem Kohlenstoff erfolgt.
5. Verfahren zur Herstellung der Heizkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Negativform (2) zunächst aus der Gasphase eine innere Lage (1) aus Bornitrit abgeschieden wird, auf die anschließend eine Graphitschicht (4) aufgedampft wird, daß in letztere spiralförmig verlaufende Leiterbahnen (6) eingefräst werden und daß anschließend eine Versiegelung mit erneut pyrolytisch abgeschiedenen Bornitrit erfolgt.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf von der Versiegelung ausgesparte Endbereiche (8, 8') der Leiterbahnen (6) Kontaktschalen (9, 10) aus kohlefaserverstärktem Kohlenstoff aufgeklebt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Herstellung in einer Vakuum-Aufdampfanlage erfolgt.
EP19910113416 1990-09-27 1991-08-09 Heizkammer und Verfahren zu ihrer Herstellung Expired - Lifetime EP0477511B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4030540 1990-09-27
DE19904030540 DE4030540C1 (de) 1990-09-27 1990-09-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0477511A1 true EP0477511A1 (de) 1992-04-01
EP0477511B1 EP0477511B1 (de) 1995-07-05

Family

ID=6415073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP19910113416 Expired - Lifetime EP0477511B1 (de) 1990-09-27 1991-08-09 Heizkammer und Verfahren zu ihrer Herstellung

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0477511B1 (de)
DE (1) DE4030540C1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103192062A (zh) * 2013-04-01 2013-07-10 东方电气集团东方汽轮机有限公司 一种用于高温合金单晶叶片制造的模壳

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2174207C1 (ru) * 2000-04-14 2001-09-27 Волгоградский государственный технический университет Устройство для получения и исследования проб жидких сплавов

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2119019A1 (de) * 1970-04-28 1971-11-11 United Aircraft Corp., East Hartford, Conn. (V.St.A.) Einrichtung zur Herstellung von Gußstücken unter gerichteter Erstarrung
EP0193192A2 (de) * 1985-02-28 1986-09-03 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Formkörper aus pyrolytischem Bornitrid und Verfahren zu seiner Herstellung
GB2192643A (en) * 1986-07-14 1988-01-20 Universal High Technologies Method of coating refractory vessels with boron nitride
US4775565A (en) * 1985-05-23 1988-10-04 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Vessel for refractory use having multi-layered wall
DE3915116C1 (en) * 1989-05-09 1990-11-15 Sintec Keramik Gmbh, 8959 Buching, De Electrically non-conducting crucible - includes pyrolytic carbon layer and aluminium nitride or aluminium oxide-contg. ceramic

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422333C2 (de) * 1984-06-15 1986-04-24 Seico Industrie-Elektrowärme GmbH, 3012 Langenhagen Isolierte Wärmekammer, insbesondere Hochtemperatur-Anlagen
DE8431735U1 (de) * 1984-10-30 1985-02-07 Linn Elektronik GmbH, 8459 Hirschbach Schmelztiegel zum schmelzen kleiner mengen eines metalles oder einer metall-legierung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2119019A1 (de) * 1970-04-28 1971-11-11 United Aircraft Corp., East Hartford, Conn. (V.St.A.) Einrichtung zur Herstellung von Gußstücken unter gerichteter Erstarrung
EP0193192A2 (de) * 1985-02-28 1986-09-03 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Formkörper aus pyrolytischem Bornitrid und Verfahren zu seiner Herstellung
US4775565A (en) * 1985-05-23 1988-10-04 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Vessel for refractory use having multi-layered wall
GB2192643A (en) * 1986-07-14 1988-01-20 Universal High Technologies Method of coating refractory vessels with boron nitride
DE3915116C1 (en) * 1989-05-09 1990-11-15 Sintec Keramik Gmbh, 8959 Buching, De Electrically non-conducting crucible - includes pyrolytic carbon layer and aluminium nitride or aluminium oxide-contg. ceramic

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103192062A (zh) * 2013-04-01 2013-07-10 东方电气集团东方汽轮机有限公司 一种用于高温合金单晶叶片制造的模壳

Also Published As

Publication number Publication date
DE4030540C1 (de) 1991-11-28
EP0477511B1 (de) 1995-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3725614C2 (de)
EP1459332B1 (de) Verfahren zum herstellen einer elektrisch leitenden widerstandsschicht sowie heiz- und/oder kuehlvorrichtung
EP0744472B1 (de) Verbundkörper aus vakuumbeschichtetem Sinterwerkstoff und Verfahren zu seiner Herstellung
DE3703498C2 (de)
DE19941038A1 (de) Elektrische Heizung für Heißkanalsysteme und Verfahren zur Herstellung einer solchen Heizung
DE3206622C2 (de)
EP2977690B1 (de) Verfahren zum vakuumdichten Verschließen eines doppelwandigen Glasrohrs
DE2433382C2 (de) Vorrichtung zur Aufdampfung von dünnen Schichten unter Vakuum
DE2732960C2 (de) Glühkathode und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP0000866A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter
EP0477511B1 (de) Heizkammer und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE68908298T2 (de) Innenrohr für einen Halbleiter-Diffusionsofen.
WO2019137972A1 (de) Verfahren zum herstellen eines bauteils mit einem hohlraum
EP0089079B1 (de) Küvette für die Atomabsorptionsspektrometrie
DE1916292C3 (de) Verfahren zum Beschichten von Niob mit Kupfer
DE2011215A1 (de) Isoliertes Heizgerät mit Metallverkleidung und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69018886T2 (de) Nichtorganisch isoliertes Heizelement, dessen Herstellungsverfahren und ein solches Element verwendende Kathodenstrahlröhre.
DE1218072B (de) Sekundaerelektronenvervielfacher und Verfahren zur Herstellung des Vervielfachers
EP0592797B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines rotationssymmetrischen Formteiles eines Hochtemperatursupraleiters
DE69024628T2 (de) Verfahren zur herstellung eines metallischen komplexes sowie so erzeugte komplexe
DE102012214055B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines gesteuerten Hochspannungsisolators und eine dazugehörige medizintechnische Vorrichtung
WO1989008332A1 (fr) Procede et dispositif pour le depot de couches d&#39;un materiau supraconducteur a haute temperature sur des substrats
EP0088475A2 (de) Cuvette für die Atom-Absorptions-Spektrometrie
DE68908908T2 (de) Vorrichtung zum Trennen von Uranisotopen.
DE3047849C2 (de) Heizelement für einen Hochtemperaturofen

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): FR IT

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: MUELLER, KLAUS

17P Request for examination filed

Effective date: 19920331

17Q First examination report despatched

Effective date: 19940411

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: DAIMLER-BENZ AEROSPACE AKTIENGESELLSCHAFT

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): FR IT

ITF It: translation for a ep patent filed
ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CD

Ref country code: FR

Ref legal event code: CA

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20010823

Year of fee payment: 11

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20030430

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20050809