EP0276731B1 - Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit Energieselektion und Elektronenspektrometer - Google Patents

Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit Energieselektion und Elektronenspektrometer Download PDF

Info

Publication number
EP0276731B1
EP0276731B1 EP88100724A EP88100724A EP0276731B1 EP 0276731 B1 EP0276731 B1 EP 0276731B1 EP 88100724 A EP88100724 A EP 88100724A EP 88100724 A EP88100724 A EP 88100724A EP 0276731 B1 EP0276731 B1 EP 0276731B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
energy
dispersive
lens
focusing
specimen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP88100724A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0276731A2 (de
EP0276731A3 (en
Inventor
Harald Ibach
Heinz-Dieter Bruchmann
Sieghart Lehwald
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungszentrum Juelich GmbH
Original Assignee
Forschungszentrum Juelich GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Forschungszentrum Juelich GmbH filed Critical Forschungszentrum Juelich GmbH
Publication of EP0276731A2 publication Critical patent/EP0276731A2/de
Publication of EP0276731A3 publication Critical patent/EP0276731A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0276731B1 publication Critical patent/EP0276731B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements

Definitions

  • the invention relates to a method for electron beam guidance with focussing energy selection in an energy-dispersive system with different focussing in two mutually perpendicular directions (especially in the energy selection direction and perpendicular to it with systems focusing only in one plane), and to electron spectrometers with at least one energy-dispersive system with such a beam guidance.
  • Bundled electrons with a certain energy are used for the treatment and investigation of surfaces and gases.
  • energy-dispersive systems are known which are used either individually as analyzers or as monochromators or in combination of analyzer and monochromator as so-called electron impact spectrometers.
  • Energy-dispersive systems as analyzers are used, for example, in UV or X-ray photoelectron spectroscopy (also known under the name ESCA) and in Auger spectroscopy.
  • ESCA UV or X-ray photoelectron spectroscopy
  • Auger spectroscopy electrons emitted by the sample are transmitted through analyzes the analyzer for its kinetic energy.
  • a lens system located between the sample and the analyzer takes care of the beam transport, the adaptation of the electron energy to the transmission energy of the analyzer and the necessary enlargement or reduction of the image of the imaged area of the sample to adapt to the input slot of the analyzer.
  • Energy dispersive systems are also used to produce monochromatic electron beams, such as in inverse photoemission spectroscopy. Similar to the analyzer described above, lens systems are used between the monochromator and the sample for beam transport, for adjusting the energy and the image size.
  • the electrons emitted by a cathode are monochromatized in one or more monochromators and directed onto a sample through a lens system, the energy of the electrons on the sample usually being different from the energy in the monochromators.
  • the electrons hitting the sample are scattered by the sample and suffer characteristic energy losses, for example through excitation of oscillation quanta.
  • the scattered electrons are directed through a lens system onto the entrance slit of one or more energy-dispersive elements conducted, which analyze the scattered electrons with regard to their energy distribution, and detected in a detector.
  • Electron spectrometers of this type are used in particular for vibration spectroscopy and for the investigation of electronic losses on solid surfaces and are manufactured by a number of companies.
  • the invention is therefore based on the object of providing such a beam guide with focusing energy selection or an electron spectrometer, by means of which a high energy resolution with a high electron current is achieved on the sample or on the detector.
  • the inventive method of the type mentioned is characterized in that the different focusing of the electrons in the two mutually perpendicular directions is corrected by a non-circularly symmetrical lens system connected downstream or upstream of the energy-dispersive system in such a way that either the virtual or the real one Input aperture of the energy dispersive system on a given image level outside of the energy dispersive System or a sample outside the energy-dispersive system on the virtual or real output aperture of the same is mapped.
  • the lens systems to be used for this purpose described with different focusing in two mutually perpendicular directions are designed or dimensioned in consideration of the focus specification and the electron trajectories in the energy-dispersive system.
  • rectangular lens cross-sectional profiles can be used, in which the height and width are matched to one another in such a way that the described image occurs in cooperation with the different focusing of the electrons in the two mutually perpendicular directions within the energy-dispersive system.
  • the symmetry axes of the rectangular profile must then be parallel or perpendicular to the radial plane.
  • the required height and width of the lens cross-sectional profiles are calculated by solving the Laplace equation in three dimensions and calculating the electron orbits in three dimensions in the manner known to the person skilled in the art.
  • Devices with beam guidance include electron monochromators with a subsequent corrective lens system between the monochromator and sample, analyzers with an upstream corrective lens system between the sample and analyzer, and electron impact spectrometers with such a lens system between the monochromator and sample and / or between the sample and analyzer.
  • electron monochromators with a subsequent corrective lens system between the monochromator and sample analyzers with an upstream corrective lens system between the sample and analyzer
  • electron impact spectrometers with such a lens system between the monochromator and sample and / or between the sample and analyzer.
  • an electron impact spectrometer as described, consists of a monochromator part with a downstream lens system and an analyzer part with a preceding lens system
  • the invention can, however, also be used separately for the monochromator with a downstream lens system and the analyzer with an upstream lens system for the various applications.
  • plate capacitors can also be used, which also focus only in one plane. It is also possible to use energy-dispersive systems which have a different, in each case non-zero, focusing in two mutually perpendicular directions, in which case the lens system must be suitably adapted (selection of the height and width of the lens profiles) in such a way that the desired focusing occurs .
  • the electron impact spectrometer shown in Figure 1 comprises a cathode system 1, two monochromators 2 and 3, each a lens system consisting of three elements 4, 5 and 6 or 8, 9 and 10 between the monochromators and the sample 7 and between the sample 7 and the Analyzers 11 and 12, two analyzers 11 and 12 and a detector 13.
  • the two lens systems between the monochromator and the sample and between the sample and the analyzer are symmetrical to one another, so that the lens elements 4 and 10, 5 and 9 and 6 and 8 are identical to one another.
  • FIGS. 2 and 3 The cross-sectional profiles of these lens elements 4 to 6 (or 8 to 10) are shown in FIGS. 2 and 3: Of these, the lens element 4 is tapered in a trapezoidal or stepped manner and the elements 5 and 6 are designed in a rectangular shape.
  • the height and width of the profiles of the lens elements 8, 9 and 10 are coordinated so that in the radial plane the sample is imaged on the inlet slit of the first analyzer, perpendicularly the sample is imaged on the outlet slit of the last analyzer, so that a total of one image the sample is created at the exit slit of the second analyzer.
  • the monochromatic current achieved using the lens system according to the invention, measured on the detector, as a function of the resolution is shown in FIG. 5, curve a.
  • curve b shows analog values for a spectrometer which does not have the lens system according to the invention, but is otherwise identical in terms of monochromators and analyzers.
  • the results refer to one Electron energy on the sample of 100 eV, while the energy of the electrons in the monochromators and analyzers (depending on the resolution) is less than 1 eV.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit fokussierender Energieselektion in einem energiedispersiven System mit unterschiedlicher Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen (speziell in Energieselektionsrichtung und senkrecht dazu bei nur in einer Ebene fokussierenden Systemen), sowie auf Elektronenspektrometer mit zumindest einem energiedispersiven System mit einer solchen Strahlführung.
  • Gebündelte Elektronen mit bestimmter Energie werden für die Behandlung und Untersuchung von Oberflächen und Gasen angewandt. Für eine fokussierende Energieselektion sind energiedispersive Systeme bekannt, die entweder einzeln als Analysatoren oder als Monochromatoren oder in Kombination von Analysator und Monochromator als sog. Elektronenstoßspektrometer zum Einsatz kommen.
  • Energiedispersive Systeme als Analysatoren werden zum Beispiel verwendet in der UV-oder Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (auch unter dem Namen ESCA bekannt) und in der Auger-Spektroskopie. Hierbei werden von der Probe emittierte Elektronen durch den Analysator bezüglich ihrer kinetischen Energie analysiert. Ein zwischen der Probe und dem Analysator befindliches Linsensystem sorgt dabei für den Strahltransport, die Anpassung der Elektronenenergie an die Durchlaßenergie des Analysators sowie die nötige Vergrößerung oder Verkleinerung des Bildes der abgebildeten Fläche der Probe zur Anpassung an den Eingangsschlitz des Analysators.
  • Energiedispersive Systeme werden auch verwendet zur Herstellung monochromatischer Elektronenstrahlen, wie zum Beispiel in der inversen Photoemissionsspektroskopie. Ähnlich wie beim vorbeschriebenen Analysator werden zum Strahltransport, zur Anpassung der Energie und der Bildgröße Linsensysteme zwischen Monochromator und der Probe eingesetzt.
  • In einem Elektronenstoßspektrometer werden die von einer Kathode emittierten Elektronen in ein oder mehreren Monochromatoren monochromatisiert und durch ein Linsensystem auf eine Probe gelenkt, wobei üblicherweise die Energie der Elektronen an der Probe verschieden sein kann von der Energie in den Monochromatoren. Die auf die Probe auftreffenden Elektronen werden von dieser gestreut und erleiden dabei charakteristische Energieverluste zum Beispiel durch Anregung von Schwingungsquanten. Die gestreuten Elektronen werden durch ein Linsensystem auf den Eintrittsspalt eines oder mehrerer energiedispersiver Elemente geleitet, die die gestreuten Elektronen hinsichtlich ihrer Energieverteilung analysieren, und in einem Detektor nachgewiesen. Elektronenspektrometer dieser Art werden insbesondere zur Schwingungsspektroskopie und zur Untersuchung elektronischer Verluste an Festkörperoberflächen eingesetzt und von einer Reihe von Firmen hergestellt.
  • In einem Elektronenstoßspektrometer wird die maximal erreichbare Intensität des auf die Probe fallenden Strahles und damit auch die Intensität des von diesem erzeugten Nutzsignales grundsätzlich durch die Raumladung im Monochromator begrenzt. Theoretische Rechnungen zeigen (H. Ibach, D.L. Mills, Electron Energy Loss Spectroscopy and Surface Vibrations, Academic Press, New York, 1982, p. 16 ff.), daß die Stärke des monochromatischen Stromes von der Energiebreite des durch den Monochromator hindurchgelassenen Elektronenstrahls abhängt und nur in relativ bescheidenem Umfang durch Auslegungsparameter des Systems beeinflußt werden kann.
  • Günstige Verhältnisse hinsichtlich der Raumladung ergeben sich insbesondere bei der Verwendung von einem oder mehreren Zylinderkondensatoren mit Schlitzen als Ein- bzw. Austrittsblende. Fokussierung der Elektronen von der Ein- auf die Austrittsblende und Energieselektion erfolgen dabei nur in radialer Richtung, während senkrecht dazu weder Fokussierung noch Energieselektion erfolgt. Die fehlende Fokussierung senkrecht zur Radialebene hat (ohne die erfindungsgemäße Strahlführung) nachteilige Auswirkungen auf die Intensität des Nutzsignals. Dasselbe gilt sinngemäß für den Analysator, wenn dort Zylinderkondensatoren eingesetzt werden.
  • Es ist versucht worden (siehe EP-PS 0013003), diesen bekannten Nachteil von Zylinderkondensatoren dadurch auszugleichen, daß die von der Kathode emittierten Elektronen in der Radialebene durch ein geeignetes Linsensystem auf den Eintrittsspalt des Monochromators fokussiert werden, während senkrecht dazu durch eine entsprechende Auslegung des Kathodensystems sowie des Linsensystems zwischen Monochromator und Probe und zwischen Probe und Analysator in einem näherungsweise parallelen Strahlengang ohne weiteren Zwischenfokus auf den Detektor fokussiert wird. Gegenüber einer freien nichtfokussierenden Strahlausbreitung bietet diese Strahlführung eine Verbesserung.
  • Eine analoge Art der Fokussierung wird in der US-PS 4 559 449 beschrieben.
  • Eine nähere Untersuchung zeigt jedoch, daß eine Reihe entscheidender Nachteile bestehen bleiben. So ist der Winkel des auf den Detektor gelangenden Strahlenbündels senkrecht zur Radialebene klein, wodurch gemäß den Grundsätzen der Optik die Intensität klein bleibt. Ferner ist senkrecht zur Radialebene der Strahlengang an der Probe nahezu parallel.
  • Dies bedeutet, daß nur ein kleiner Raumwinkel der gestreuten Elektronen erfaßt wird. Darüber hinaus ist die beschriebene Art der Strahlführung störanfällig für kleine Fehlpotentiale, wie sie bei den häufig verwendeten niedrigen Energien durch Inhomogenitäten der Austrittsarbeiten unvermeidbar sind.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine solche Strahlführung mit fokussierender Energieselektion bzw. ein Elektronenspektrometer vorzusehen, durch das eine hohe Energieauflösung bei hohem Elektronenstrom an der Probe bzw. am Detektor erzielt wird.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe ist das erfindungsgemäße Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gekennzeichnet, daß die unterschiedliche Fokussierung der Elektronen in den beiden zueinander senkrechten Richtungen durch ein dem energiedispersiven System nach- oder vorgeschaltetes nicht zirkular symmetrisches Linsensystem derart korrigiert wird, daß entweder die virtuelle oder reelle Eingangsblende des energiedispersiven Systems auf einer vorgegebenen Bildebene außerhalb des energiedispersiven Systems oder eine Probe außerhalb des energiedispersiven Systems auf der virtuellen oder reellen Ausgangsblende desselben abgebildet wird.
  • Die für diesen beschriebenen Zweck einzusetzenden Linsensysteme mit unterschiedlicher Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen werden unter Beachtung der Fokussierungsvorgabe und der Elektronenbahnen im energiedispersiven System gestaltet bzw. dimensioniert. In spezieller Ausgestaltung der Erfindung können rechteckförmige Linsenquerschnittsprofile verwendet werden, bei denen Höhe und Breite so aufeinander abgestimmt sind, daß im Zusammenwirken mit der unterschiedlichen Fokussierung der Elektronen in den zwei zueinander senkrechten Richtungen innerhalb des energiedispersiven Systems die beschriebene Abbildung eintritt. Bei Verwendung von Zylinderkondensatoren als energiedispersive Systeme müssen dann die Symmetrieachsen des Rechteckprofils parallel bzw. senkrecht zur Radialebene sein. Die erforderliche Höhe und Breite der Linsenquerschnittsprofile errechnen sich durch Lösung der Laplace-Gleichung in drei Dimensionen und Berechnung der Elektronenbahnen in drei Dimensionen in der dem Fachmann bekannten Weise.
  • Zur Korrektur von Bildfehlern, insbesondere des für die Abbildung eines Schlitzes wichtigen Astigmatismusfehlers, hat sich gezeigt, daß es zweckmäßig ist, bei ein oder mehreren Linsenelementen von der Rechteckform abzuweichen und Linsenquerschnittsprofile vorzusehen, bei denen die lichte Weite entlang einer Symmetrieachse eine zum Beispiel trapezförmige oder gestufte oder kurvenförmige Verjüngung aufweist.
  • Zu Vorrichtungen mit erfindungsgemäßer Strahlführung gehören Elektronenmonochromatoren mit nachgeschaltetem korrigierenden Linsensystem zwischen Monochromator und Probe, Analysatoren mit vorgeschaltetem korrigierenden Linsensystem zwischen Probe und Analysator sowie Elektronenstoßspektrometer mit einem solchen Linsensystem zwischen Monochromator und Probe und/oder zwischen Probe und Analysator. Im nachfolgenden wird die Erfindung vornehmlich anhand eines bezüglich Monochromator und Analysator symmetrisch aufgebauten Elektronenstoßspektrometers erläutert. Da ein Elektronenstoßspektrometer, wie beschrieben, aus einem Monochromatorteil mit nachgeschaltetem Linsensystem und einem Analysatorteil mit vorgeschaltetem Linsensystem besteht, kann die Erfindung jedoch auch für den Monochromator mit nachgeschaltetem Linsensystem und den Analysator mit vorgeschaltetem Linsensystem getrennt mit Vorteil für die verschiedenen Anwendungsfälle eingesetzt werden.
  • Die unterschiedliche Fokussierung zwischen Monochromator und Probe bzw. Probe und Analysator unterscheidet die erfindungsgemäße Anordnung vom Spektrometer gemäß der US-PS 4 559 449, bei dem an dieser Stelle keine unterschiedliche Fokussierung in beiden Richtungen vorgesehen wird, sondern lediglich eine Auftrennung der Linsen zur Strahlablenkung.
  • Statt Zylinderkondensatoren als energiedispersive Systeme im Monochromator und/oder Analysator können auch Plattenkondensatoren verwendet werden, die ebenfalls nur in einer Ebene fokussieren. Es können auch energiedispersive Systeme verwendet werden, die eine unterschiedliche, jeweils von Null verschiedene Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen aufweisen, wobei dann eine entsprechend angepaßte Auslegung des Linsensystems (Auswahl von Höhe und Breite der Linsenprofile) so vorzunehmen ist, daß die gewünschte Fokussierung eintritt.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert; es zeigen schematisch:
    • Figur 1
    ein Elektronenstoßspektrometer mit je zwei Monochromatoren und Analysatoren.
    Figuren 2 und 3
    Querschnittsprofile der Linsenelemente der in Figur 1 angedeuteten Linsensysteme
    Figur 4
    die Elektronenbahnen zwischen Austrittsspalt des Monochromators und der Probe (a) in der Radialebene und (b) senkrecht dazu, und
    Figur 5
    ein Schaubild für den Verlauf des monochromatischen Stroms am Detektor in Abhängigkeit von der Energieauflösung mit und ohne erfindungsgemäße Strahlführung.
  • Das in Figur 1 gezeigte Elektronenstoßspektrometer umfaßt ein Kathodensystem 1, zwei Monochromatoren 2 und 3, je ein Linsensystem bestehend aus drei Elementen 4, 5 und 6 bzw. 8, 9 und 10 zwischen den Monochromatoren und der Probe 7 sowie zwischen der Probe 7 und den Analysatoren 11 und 12, zwei Analysatoren 11 und 12 und einen Detektor 13. Die beiden Linsensysteme zwischen Monochromator und Probe und zwischen Probe und Analysator sind zueinander symmetrisch, so daß sich die Linsenelemente 4 und 10, 5 und 9 sowie 6 und 8 untereinander gleichen.
  • Die Querschnittsprofile dieser Linsenelemente 4 bis 6 (bzw. 8 bis 10) sind in Figuren 2 und 3 dargestellt: Von diesen ist das Linsenelement 4 trapezförmig bzw. gestuft verjüngt und die Elemente 5 und 6 sind rechteckförmig gestaltet.
  • Die Höhe und Breite des lichten Profils der Linsenelemente 4, 5 und 6 sind so abgestimmt, daß in der Radialebene (=Zeichenebene in Figur 1) der Ausgangsspalt des Monochromators auf die Probe abgebildet wird (Figur 4a), senkrecht dazu jdoch der Eintrittsspalt (Figur 4b), so daß, im Zusammenwirken mit der Abbildung in der Radialebene durch die Zylinderkondensatoren, in beiden Richtungen ein Bild des Eintrittsspalts des ersten Monochromators an der Probe entsteht. Für diese Wirkungsweise ist es wesentlich, daß zwischen dem ersten und zweiten Monochromator keine Linsenelemente existieren. Vielmehr wird die geforderte Abbildung auf die Probe ausschließblich durch das Linsensystem 4 bis 6 im Zusammenwirken mit den Monochromatoren erzielt. In gleicher Weise sind Höhe und Breite der Profile der Linsenelemente 8, 9 und 10 so abgestimmt, daß in der Radialebene die Probe auf den Eintrittsspalt des ersten Analysators, senkrecht dazu die Probe auf den Austrittsspalt des letzten Analysators abgebildet wird, so daß insgesamt ein Bild der Probe am Austrittsspalt des zweiten Analysators entsteht.
  • Der mit Verwendung des erfindungsgemäßen Linsensystems erzielte monochromatische Strom, gemessen am Detektor, als Funktion der Auflösung ist aus Figur 5, Kurve a ersichtlich. Im Vergleich dazu zeigt Kurve b analoge Werte für ein Spektrometer, welches das erfindungsgemäße Linsensystem nicht aufweist, ansonsten aber bezüglich der Monochromatoren und Analysatoren baugleich ist. Die Ergebnisse beziehen sich auf eine Elektronenenergie an der Probe von 100 eV, während die Energie der Elektronen in den Monochromatoren und Analysatoren (je nach Auflösung) unter 1 eV liegt.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit fokussierender Energieselektion in einem energiedispersiven System mit unterschiedlicher Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die unterschiedliche Fokussierung der Elektronen in den beiden zueinander senkrechten Richtungen durch ein dem energiedispersiven System nach- oder vorgeschaltetes nicht zirkular-symmetrisches Linsensystem derart korrigiert wird, daß entweder die virtuelle oder reelle Eingangsblende des energiedispersiven Systems auf einer vorgegebenen Bildebene außerhalb des energiedispersiven Systems oder eine Probe außerhalb des energiedispersiven Systems auf der virtuellen oder reellen Ausgangsblende desselben abgebildet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß Linsensysteme mit einem rechteckförmigen, insbesondere verjüngt rechteckförmigen Querschnittsprofil der Linsen verwendet werden.
  3. Elektronenspektrometer mit einem Emissionssystem und mit zumindest einem energiedispersiven System mit unterschiedlicher Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen,
    gekennzeichnet dadurch
    ein einem energiedispersiven System (2, 3) zur Energieselektion vor der Probe (7) nachgeordnetes Linsensystem (4 - 6) mit nicht zirkularer, in den beiden zueinander senkrechten Richtungen unterschiedlicher Fokussierung, das im Zusammenwirken mit den fokussierenden Eigenschaften des energiedispersiven Systems ein Bild der virtuellen oder reellen Eingangsblende des energiedispersiven Systems (2, 3) am Probenort erzeugt und/oder ein einem energiedispersiven Systems (11, 12) zur Energieselektion hinter einer Probe (7) vorgeschaltetes Linsensystem (8 - 10) mit nicht zirkularer, in den beiden zueinander senkrechten Richtungen unterschiedlicher Fokussierung, das im Zusammenwirken mit den fokussierenden Eigenschaften des energiedispersiven Systems das Bild am Probenort auf eine virtuelle oder reelle Ausgangsblende des energiedispersiven Systems (11, 12) abbildet.
  4. Elektronenspektrometer nach Anspruch 3,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß das energiedispersive System (2, 3) vor der Probe (7) und/oder das energiedispersive System (11, 12) hinter der Probe (7) nur in einer Richtung fokussiert.
  5. Elektronenspektrometer nach Anspruch 3 oder 4,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß ein oder mehrere lichte Linsenquerschnittsprofile der Linsenelemente (4 - 6 bzw. 8 - 10) eine nichtzirkulare Gestalt haben.
  6. Elektronenspektrometer nach Anspruch 5,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß ein oder mehrere lichte Linsenquerschnittsprofile rechteckig sind.
  7. Elektronenspektrometer nach Anspruch 5,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß ein oder mehrere lichte Querschnittsprofile der Linsenelemente entlang einer Achse eine trapezförmige, stufenförmige oder kurvenförmige Verjüngung aufweisen.
  8. Elektronenspektrometer nach einem der Ansprüche 3 bis 7,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß das energiedispersive System (2, 3) zur Energieselektion vor der Probe durch einen ersten und einen unmittelbar folgenden zweiten Monochromator gebildet wird.
  9. Elektronenspektrometer nach einem der Ansprüche 3 bis 8,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die energiedispersiven Systeme durch Zylinderkondensatoren gebildet werden.
EP88100724A 1987-01-30 1988-01-20 Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit Energieselektion und Elektronenspektrometer Expired - Lifetime EP0276731B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873702696 DE3702696A1 (de) 1987-01-30 1987-01-30 Verfahren zur elektronenstrahl-fuehrung mit energieselektion und elektronenspektrometer
DE3702696 1987-01-30

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0276731A2 EP0276731A2 (de) 1988-08-03
EP0276731A3 EP0276731A3 (en) 1990-01-24
EP0276731B1 true EP0276731B1 (de) 1993-03-10

Family

ID=6319818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP88100724A Expired - Lifetime EP0276731B1 (de) 1987-01-30 1988-01-20 Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit Energieselektion und Elektronenspektrometer

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4845361A (de)
EP (1) EP0276731B1 (de)
JP (1) JP2529712B2 (de)
DE (2) DE3702696A1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0470299B1 (de) * 1990-08-08 1996-06-26 Koninklijke Philips Electronics N.V. Energiefilter für Ladungsträgervorrichtung
JP2636113B2 (ja) * 1992-03-26 1997-07-30 広島大学長 帯域フィルター型逆光電子分光検出装置
US5466933A (en) * 1992-11-23 1995-11-14 Surface Interface, Inc. Dual electron analyzer
DE19633496B4 (de) * 1996-08-20 2006-06-08 Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh Monchromator für die Elektronenoptik, insbesondere Elketronenmikroskopie
ATE440275T1 (de) * 2000-03-27 2009-09-15 Ellcie Maintenance Gmbh Elektronenspektrometer mit ablenkeinheit
KR20060088272A (ko) * 2005-02-01 2006-08-04 삼성전자주식회사 Ｘ-선 광전자 분광분석장치

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2856244A1 (de) * 1978-12-27 1980-07-03 Kernforschungsanlage Juelich Elektronenstosspektrometer
US4559449A (en) * 1984-05-23 1985-12-17 Indiana University Foundation High resolution particle spectrometer
US4742223A (en) * 1984-05-23 1988-05-03 Indiana University Foundation High resolution particle spectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
JP2529712B2 (ja) 1996-09-04
DE3702696A1 (de) 1988-08-11
DE3878939D1 (de) 1993-04-15
US4845361A (en) 1989-07-04
EP0276731A2 (de) 1988-08-03
JPS63276861A (ja) 1988-11-15
EP0276731A3 (en) 1990-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102016009641B4 (de) Detektor- und Schlitzkonfiguration in einem lsotopenverhältnis-Massenspektrometer
DE3144860C2 (de)
DE3532699A1 (de) Elektronenenergiefilter vom omega-typ
DE112011102323B4 (de) Ionendetektionsanordnung
EP1057204B1 (de) Anordnung zur korrektur des öffnungsfehlers dritter ordnung einer linse, insbesondere der objektivlinse eines elektronenmikroskops
EP0617451A1 (de) Abbildendes Elektronenenergiefilter
DE3913965A1 (de) Direkt abbildendes sekundaerionen-massenspektrometer mit laufzeit-massenspektrometrischer betriebsart
DE2730985C2 (de) Bestrahlungsvorrichtung unter Verwendung geladener Teilchen
DE19838600B4 (de) Energiefilter und Elektronenmikroskop mit Energiefilter
EP0466956A1 (de) Computertomograph
EP0218921B1 (de) Elektronenenergiefilter vom Alpha-Typ
DE102020119770A1 (de) Spektroskopie- und bildgebungssystem
DE2011491A1 (de) Magnetischer Spektrograph
DE2512468A1 (de) Elektronenmikroskop mit energieanalysator
DE3045013C2 (de)
DE1498646B2 (de) Ionen mikroanalysevorrichtung
DE2137510C3 (de) Elektronenoptische Anordnung mit einer Energieselektionsanordnung
EP1559126B9 (de) BILDGEBENDER ENERGIEFILTER FüR ELEKTRISCH GELADENE TEILCHEN UND VERWENDUNG DES BILDGEBENDEN ENERGIEFILTERS
EP0276731B1 (de) Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit Energieselektion und Elektronenspektrometer
EP0603555A1 (de) Verfahren zur Beleuchtung mit einem fokussierten Elektronenstrahl und zugehöriges elektronen-optisches Beleuchtungssystem
EP1451847B1 (de) Teilchenoptischer korrektor
DE2213208A1 (de) Korpuskularstrahloptisches abbildungssystem
EP0013003B1 (de) Verfahren zur Elektronenstrahl-Untersuchung und Elektronenstossspektrometer zur Durchführung des Verfahrens
EP1124251B1 (de) Elektronenerergiefilter mit magnetischen Umlenkbereichen
DE10235981B9 (de) Teilchenoptische Vorrichtung und Elektronenmikroskop

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

RAP3 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH

17P Request for examination filed

Effective date: 19900219

17Q First examination report despatched

Effective date: 19920407

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI

REF Corresponds to:

Ref document number: 3878939

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19930415

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19930405

ET Fr: translation filed
ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: STUDIO JAUMANN

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20070104

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20070123

Year of fee payment: 20

Ref country code: GB

Payment date: 20070123

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20070504

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20070118

Year of fee payment: 20

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20080119