EP0257671B1 - Procédé pour éliminer un revêtement comprenant du niobium sur un substrat - Google Patents

Procédé pour éliminer un revêtement comprenant du niobium sur un substrat Download PDF

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EP0257671B1 EP87201347A EP87201347A EP0257671B1 EP 0257671 B1 EP0257671 B1 EP 0257671B1 EP 87201347 A EP87201347 A EP 87201347A EP 87201347 A EP87201347 A EP 87201347A EP 0257671 B1 EP0257671 B1 EP 0257671B1
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/44—Compositions for etching metallic material from a metallic material substrate of different composition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10—Etching compositions
    • C23F1/14—Aqueous compositions
    • C23F1/32—Alkaline compositions
    • C23F1/38—Alkaline compositions for etching refractory metals

Definitions

  • the present invention relates to a method for removing a coating comprising niobium on a substrate.
  • Niobium and niobium alloys are known for their interesting chemical and electrical properties, in particular their resistance to corrosion vis-à-vis most corrosive substances at room temperature and especially their qualities of excellent conductor of heat and electricity.
  • niobium and its alloys are frequently used for the construction of chemical engineering apparatus and installations and also as a superconductive coating of electrodes.
  • the electrical resistivity of niobium and its alloys becomes almost zero below 8.3 ° K (Revue de la cios Royale Belge des In conurs et des Industriels -n ° 8/9 - 1969: R WINAND, "Properties and uses of refractory metals", pages 381 to 415).
  • the high price of niobium frequently encourages its use in the form of a coating on a substrate (R. Lescarts - Dictionary of non-ferrous metals - 1972 - p. 107).
  • the invention therefore aims to provide a method for quickly and effectively removing a coating comprising niobium on a substrate without giving rise to polluting and toxic discharges and, above all, without damaging the substrate, in particular when the latter is in copper.
  • the invention relates to a method for removing a coating comprising niobium on a substrate, according to which the coating is treated with a pickling bath consisting of an aqueous solution of alkali metal hydroxide and hydrogen peroxide; according to the invention, the bath according to the process should contain, per liter, at least 0.4 mole of alkali metal hydroxide and at least 7.5 ml of 100% hydrogen peroxide and at most 4 moles of alkali metal hydroxide and 155 ml of 100% hydrogen peroxide.
  • the alkali metal hydroxide can for example be sodium hydroxide or potassium hydroxide.
  • Sodium hydroxide is preferred.
  • alkali metal hydroxide and hydrogen peroxide in the process according to the invention depend on various parameters, in particular the temperature at which they are used, the desired attack speed, the thickness of the coating to be remove and material from the substrate.
  • baths which can be used in the process according to the invention are those containing, per liter, between 0.5 and 4 moles of alkali metal hydroxide and between 10 and 155 ml of 100% hydrogen peroxide.
  • the preferred baths are those containing, per liter, between 0.5 and 2 moles of alkali metal hydroxide and between 13 and 75 ml of 100% hydrogen peroxide.
  • the aqueous solution of the baths according to the process according to the invention may advantageously contain, in usual proportions, a stabilizer of hydrogen peroxide such as a derivative of gluconic acid or of a phosphonic acid, for example one of the products known under the brand name "DEQUEST" (Monsanto) which are derivatives of phosphonic acid. It may optionally contain additives commonly present in metal pickling baths, such as surfactants and corrosion inhibitors, for example.
  • the pickling baths according to the process according to the invention are suitable for removing a coating containing niobium on all types of substrates which are not likely to undergo local corrosion in contact with said baths. They are specially adapted for removing a coating comprising niobium on a copper or copper-based alloy substrate.
  • the coating can be pure niobium or a niobium alloy, for example an Nb-C-N alloy or an Nb-Al-Ge alloy, or else an Nb-Ti alloy.
  • the treatment of the coating with the bath can be carried out by any suitable technique, for example by immersion of the substrate with its coating in the bath, by coating or by spraying the bath on the coating.
  • the amount of bath used must be sufficient to dissolve the niobium coating. It depends in particular on the mass of the coating to be removed, its constitution, the composition of the bath and the temperature. It must be determined in each case.
  • the process according to the invention should be carried out at a temperature at which there is no risk of untimely decomposition of the bath.
  • the term of the reaction of the bath with the coating is detected, by a measurement of the electrochemical potential of the substrate in the bath.
  • the method according to the invention finds an application in particular in the construction and maintenance of particle accelerators such as cyclotrons for example, where it can be used to remove a superconductive coating of niobium or of niobium alloy from the wall.
  • particle accelerators such as cyclotrons for example
  • copper cavities forming the electrodes supplied with high frequency current for example an alloy of niobium and titanium as suggested in the document Research and Development - January 1986 - pages 49 and 50: "Physics - Magnet design brings breath of reality to SSC ").
  • a wafer was immersed in the bath at room temperature and the niobium removal process was followed by a measurement of the electrochemical potential of the wafer relative to a reference electrode of calomel saturated with KCl.
  • the weight of niobium removed was determined by measuring the weight of the wafer, before and after treatment, respectively; knowing the area of the wafer, the thickness of the eliminated niobium film has been deduced therefrom.
  • Table II Test No Duration of treatment (min) Potential of the brochure Nb film removed Initial (mV) Final (mV) Thickness ( ⁇ m) 1 10 -210 + 25 1.6 2 18 -250 - 3 0.46 3 51 -380 - 8 0.74
  • the platelets collected at the end of the tests were found to be completely stripped of their niobium coating. They had a uniformly polished surface, free of corrosion zones.

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Description

  • La présente invention concerne un procédé pour éliminer un revêtement comprenant du niobium sur un substrat.
  • Le niobium et les alliages de niobium sont connus pour leurs propriétés chimiques et électriques intéressantes, notamment leur résistance à la corrosion vis-à-vis de la plupart des substances corrosives à température ambiante et surtout leurs qualités d'excellent conducteur de la chaleur et de l'électricité. Il en résulte que le niobium et ses alliages sont fréquemment utilisés pour la construction d'appareils et d'installations de génie chimique et aussi comme revêtement supraconducteur d'électrodes. On sait, en effet, que la résistivité électrique du niobium et de ses alliages devient quasi nulle au-dessous de 8,3°K (Revue de la Société Royale Belge des Ingénieurs et des Industriels -n° 8/9 - 1969 : R. WINAND, "Propriétés et usages des métaux réfractaires", pages 381 à 415). Toutefois, le prix élevé du niobium incite fréquemment à l'utiliser sous la forme de revêtement sur un substrat (R. Lescarts - Dictionnaire des métaux non ferreux - 1972 - p. 107).
  • Dans la construction ou l'entretien d'électrodes ou d'autres organes portant un revêtement comprenant du niobium, on peut être amené à devoir procéder à la dissolution ou au décapage du revêtement afin de libérer le substrat totalement ou en partie.
  • Pour effectuer le décapage du niobium, on a proposé d'utiliser, à une température inférieure à 50°C, une solution décapante contenant 45 à 65 parties en volume d'eau, 30 à 50 parties en volume d'acide sulfurique concentré, 0,2 à 3,0 parties en volume d'une solution aqueuse concentrée de peroxyde d'hydrogène et 1,0 à 5,0 parties en volume d'acide fluorhydrique concentré (Central Patents Index, Basic Abstracts Journal, Section L, Week D.19, Derwent Publications Ltd., Londres, abrégé 33525D-L : demande de brevet JP-A-56029324 (Tokyo Shibaura Elec. Ltd)). Le décapage ainsi réalisé est généralement rapide et efficace, mais la présence d'acide fluorhydrique rend ces bains connus, toxiques et dangereux pour les utilisateurs et donne lieu, par conséquent, à des rejets polluants. Ces bains sont par ailleurs contre-indiqués dans le cas d'un substrat en cuivre, qu'ils risquent de corroder.
  • L'invention vise dès lors à fournir un procédé permettant d'éliminer rapidement et efficacement un revêtement comprenant du niobium sur un substrat sans donner naissance à des rejets polluants et toxiques et, surtout, sans endommager le substrat, notamment lorsque celui-ci est en cuivre.
  • En conséquence, l'invention concerne un procédé pour éliminer un revêtement comprenant du niobium sur un substrat, selon lequel on traite le revêtement avec un bain décapant consistant en une solution aqueuse d'hydroxyde de métal alcalin et de peroxyde d'hydrogène ; selon l'invention, il convient que le bain conforme au procédé contienne, par litre, au moins 0,4 mole d'hydroxyde de métal alcalin et au moins 7,5 ml de peroxyde d'hydrogène à 100 % et au plus 4 moles d'hydroxyde de métal alcalin et 155 ml de peroxyde d'hydrogène à 100 %.
  • Dans le procédé selon l'invention, l'hydroxyde de métal alcalin peut par exemple être de l'hydroxyde de sodium ou de l'hydroxyde de potassium. L'hydroxyde de sodium est préféré.
  • Les teneurs en hydroxyde de métal alcalin et en peroxyde d'hydrogène dans le procédé selon l'invention dépendent de divers paramètres, notamment de la température à laquelle on les utilise, de la vitesse d'attaque souhaitée, de l'épaisseur du revêtement à éliminer et du matériau du substrat. Des exemples de bains utilisables dans le procédé selon l'invention sont ceux contenant, par litre, entre 0,5 et 4 moles d'hydroxyde de métal alcalin et entre 10 et 155 ml de peroxyde d'hydrogène à 100 %. Les bains préférés sont ceux contenant, par litre, entre 0,5 et 2 moles d'hydroxyde de métal alcalin et entre 13 et 75 ml de peroxyde d'hydrogène à 100 %.
  • La solution aqueuse des bains conformes au procédé selon l'invention peut avantageusement contenir, en des proportions usuelles, un stabilisant du peroxyde d'hydrogène tel qu'un dérivé de l'acide gluconique ou d'un acide phosphonique, par exemple un des produits connus sous la marque "DEQUEST" (Monsanto) qui sont des dérivés d'acide phosphonique. Elle peut éventuellement contenir des additifs communément présents dans les bains de décapage des métaux, tels que des agents tensioactifs et des inhibiteurs de corrosion, par exemple.
  • Les bains décapants conformes au procédé selon l'invention conviennent pour éliminer un revêtement contenant du niobium sur tous types de substrats qui ne risquent pas de subir des corrosions locales au contact desdits bains. Ils sont spécialement adaptés à l'élimination d'un revêtement comprenant du niobium sur un substrat en cuivre ou en alliage à base de cuivre. Le revêtement peut être du niobium pur ou un alliage de niobium, par exemple un alliage Nb-C-N ou un alliage Nb-Al-Ge, ou encore un alliage Nb-Ti.
  • Dans le procédé selon l'invention, le traitement du revêtement avec le bain peut être exécuté par toute technique adéquate, par exemple par immersion du substrat avec son revêtement dans le bain, par enduction ou par pulvérisation du bain sur le revêtement.
  • La quantité de bain mis en oeuvre doit être suffisante pour dissoudre le revêtement de niobium. Elle dépend notamment de la masse du revêtement à éliminer, de sa constitution, de la composition du bain et de la température. Elle doit être déterminée dans chaque cas.
  • Il convient d'exécuter le procédé selon l'invention à une température à laquelle on ne risque pas une décomposition intempestive du bain. A cet effet, il est généralement opportun de mettre le bain en oeuvre à une température n'excédant pas 50°C, la température ambiante, comprise entre 15 et 25°C, étant la plus adéquate dans la plupart des cas.
  • Dans le procédé selon l'invention, il est important de pouvoir suivre l'évolution du processus d'élimination du revêtement du substrat, de manière à déceler avec précision l'instant opportun pour cesser le traitement avec le bain. A cet effet, dans une forme d'exécution avantageuse du procédé selon l'invention, on décèle le terme de la réaction du bain avec le revêtement, par une mesure du potentiel électrochimique du substrat dans le bain. Dans la mise en oeuvre de cette forme d'exécution du procédé, il suffit dès lors de coupler une cellule de mesure de potentiel entre le substrat muni de son revêtement et une électrode de référence, immergée dans le bain.
  • Le procédé selon l'invention trouve notamment une application dans la construction et l'entretien des accélérateurs de particules tels que les cyclotrons par exemple, où il peut être utilisé pour éliminer un revêtement supraconducteur de niobium ou d'alliage de niobium de la paroi en cuivre des cavités formant les électrodes alimentées en courant à haute fréquence (par exemple un alliage de niobium et de titane comme suggéré dans le document Research and Development - January 1986 - pages 49 et 50 : "Physics - Magnet design brings breath of reality to SSC").
  • L'intérêt de l'invention va ressortir des exemples dont la description suit.
  • Ces exemples concernent des essais dans lesquels des plaquettes en cuivre portant un revêtement de niobium ont été traitées conformément au procédé selon l'invention, pour éliminer le revêtement de niobium.
  • On a procédé à trois essais avec des bains conformes au procédé selon l'invention, dont la composition est donnée au tableau I. Tableau I
    Essai No Composition du bain
    NaOH (mole/l) H₂O₂ (100 %) (ml/l) Stabilisant : DTPMP à 50 % (*) (ml/l)
    1 1 76 2,5
    2 1 38 0
    3 0,5 25 2,5
    (*) Diethylenetriaminepenta(methylenephosphonic acid)
  • Dans chaque essai, on a immergé une plaquette dans le bain à la température ambiante et on a suivi le processus d'élimination du niobium par une mesure du potentiel électrochimique de la plaquette par rapport à une électrode de référence au calomel saturé en KCl. On a déterminé le poids de niobium éliminé au moyen d'une mesure du poids de la plaquette, respectivement avant et après le traitement; connaissant la superficie de la plaquette, on en a déduit l'épaisseur de la pellicule de niobium éliminée.
  • Les résultats des essais sont répertoriés au tableau II. Tableau II
    Essai N° Durée du traitement (min) Potentiel de la plaquette Pellicule de Nb éliminée
    Initial (mV) Final (mV) Epaisseur (µm)
    1 10 -210 + 25 1,6
    2 18 -250 - 3 0,46
    3 51 -380 - 8 0,74
  • Les plaquettes recueillies à l'issue des essais se sont avérées entièrement débarrassées de leur revêtement de niobium. Elles présentaient une surface uniformément polie, exempte de zones de corrosion.

Claims (7)

  1. Procédé pour éliminer un revêtement comprenant du niobium sur un substrat, selon lequel on traite le revêtement avec un bain décapant consistant en une solution aqueuse de 7,5 à 155 ml de peroxyde d'hydrogène et 0,4 à 4 moles d'hydroxyde de métal alcalin par litre.
  2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'hydroxyde de métal alcalin est de l'hydroxyde de sodium.
  3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la solution aqueuse contient, par litre, entre 13 et 75 ml de peroxyde d'hydrogène et entre 0,5 et 2 moles d'hydroxyde de métal alcalin.
  4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la solution aqueuse contient un stabilisant du peroxyde d'hydrogène, sélectionné parmi les dérivés de l'acide gluconique et des acides phosphoniques.
  5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'on met le bain en oeuvre à une température comprise entre 15 et 25°C.
  6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il est appliqué à l'élimination d'un revêtement de niobium ou d'alliage de niobium sur un substrat en cuivre ou en alliage de cuivre.
  7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'on décèle le terme de la réaction du bain avec le revêtement, par une mesure du potentiel électro-chimique du substrat dans le bain.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5269850A (en) * 1989-12-20 1993-12-14 Hughes Aircraft Company Method of removing organic flux using peroxide composition
WO1992007110A1 (fr) * 1990-10-19 1992-04-30 Union Carbide Coatings Service Technology Corporation Bain de decapage et procede servant a decaper des composes de titane sur des metaux de base
US5232619A (en) * 1990-10-19 1993-08-03 Praxair S.T. Technology, Inc. Stripping solution for stripping compounds of titanium from base metals
US5201997A (en) * 1991-12-31 1993-04-13 United Technologies Corporation Chemical milling of niobium
US6074961A (en) * 1998-06-18 2000-06-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Caro's cleaning of SOG control wafer residue
US20110017608A1 (en) * 2009-07-27 2011-01-27 Faraday Technology, Inc. Electrochemical etching and polishing of conductive substrates
US8836120B2 (en) 2011-04-19 2014-09-16 Infineon Technologies Ag Semiconductor device with a layer including niobium, and/or tantalum overlying a contact pad or a metal layer
CN105018934A (zh) * 2015-07-15 2015-11-04 安徽多晶涂层科技有限公司 一种硬质涂层用退涂粉、配置的退涂液及退涂方法
JP7297623B2 (ja) * 2019-09-24 2023-06-26 株式会社東芝 線材の処理方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1999807A (en) * 1934-06-25 1935-04-30 Harold L Gibbs Extraction of values from ores
US3394063A (en) * 1965-10-22 1968-07-23 Matthew C. Blume Electrolytic stripping of copper, zinc and tin based coatings from a ferrous base using an alkaline pyrophosphate electrolyte
US3492210A (en) * 1967-10-16 1970-01-27 Hamilton Cosco Inc Electrolytic stripping of nonferrous metals from a ferrous metal base
JPS4829638A (fr) * 1971-08-20 1973-04-19
US3802973A (en) * 1972-08-09 1974-04-09 Pennwalt Corp Aluminum etching process
DE2239425C3 (de) * 1972-08-10 1978-04-20 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Verfahren zur elektrolytischen Behandlung von Nioboberflächen für Wechselstromanwendungen
US4304762A (en) * 1978-09-27 1981-12-08 Lever Brothers Company Stabilization of hydrogen peroxide
US4497725A (en) * 1980-04-01 1985-02-05 Interox Chemicals Ltd. Aqueous bleach compositions
US4495158A (en) * 1984-02-29 1985-01-22 Gte Products Corporation Process for the recovery of tantalum values

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ATE74971T1 (de) 1992-05-15
EP0257671A1 (fr) 1988-03-02
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DE3778246D1 (de) 1992-05-21

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