EP0130346B1 - Gaslaser, insbesondere schnellströmender Axialstrom-Gastransportlaser - Google Patents

Gaslaser, insbesondere schnellströmender Axialstrom-Gastransportlaser Download PDF

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EP0130346B1
EP0130346B1 EP84105897A EP84105897A EP0130346B1 EP 0130346 B1 EP0130346 B1 EP 0130346B1 EP 84105897 A EP84105897 A EP 84105897A EP 84105897 A EP84105897 A EP 84105897A EP 0130346 B1 EP0130346 B1 EP 0130346B1
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gas laser
discharge tube
diffuser
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Eckhard Beyer
Lothar Dr. Bakowsky
Gerd Prof. Dr. Herziger
Peter Loosen
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Messer Griesheim GmbH
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Messer Griesheim GmbH
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    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

Definitions

  • the invention relates to a gas laser according to the preamble of claim 1.
  • the inside diameter of the discharge tube the optimum laser gas throughput with the smallest variation in the pressure drop between the gas inlet and outlet openings of the discharge tube and, on the other hand, the homogeneity of the discharge in the discharge tube should be ensured by swirling the laser gas, especially in the end head.
  • the invention has for its object to increase the laser output per meter of discharge tube length while maintaining the same size.
  • Another task is to improve the beam quality by homogenizing the laser gas discharge. This object is achieved in a generic gas laser by the characterizing features of claim 1.
  • the advantages achieved by the invention are, in particular, that with the sudden inconsistent widening of the discharge tube inner cross section and the orifices preferably arranged in the enlarged cross section with tangential laser inflow and slotted gas distribution, the homogenization of the gas discharge over the entire length of the discharge tube and thus the maximum output power of the gas laser per meter of discharge tube length can be increased from 500 watts to 1,000 watts without significantly increasing the unit size.
  • the invention and the temporal stabilization of the performance also above all involve an improvement in the quality and reproducibility of the welding results, and less mirror contamination.
  • an axial flow gas transport laser is illustrated at 10.
  • the laser 10 consists essentially of two laser discharge tubes 11, which are mounted in two end heads 12 and are connected to one another via a connecting head 20.
  • the end heads 12 and the connecting head 20 are connected to a high voltage source, not shown.
  • the positive pole of the high voltage source is connected to the interior 13 of the end heads 12 and the negative pole of the high voltage source is connected to the interior 14 of the connecting head 20.
  • end heads 12 or the connecting head 20 are made of aluminum.
  • the laser mirrors are designated 15 and 16.
  • a quantity of gas laser is supplied continuously to the laser 10 via lines 17 via the gas supply 18.
  • the laser gas is preferably a helium-nitrogen-carbon dioxide mixture.
  • the discharge tubes 11 are connected to a vacuum pump 19.
  • a laser gas inlet opening 21, 22 is provided on each of the end heads 12. Furthermore, the connection head 20 preferably has a laser gas outlet opening 23 in the middle. Gas inlet openings 21 and 22 and the gas outlet opening 23 are connected via lines 24, 25, 26 to a unit 27 for cooling and transporting the laser gas.
  • the cooling / transport unit 27 has a blower 29, which is preferably designed as a roots blower. Due to the tangential inflow of the laser gas at the end heads 12 and the suction on the connecting head 20, a flow direction against the laser mirror arrangement 15, 16 is achieved and the risk of contamination of the coupling plate and mirror 15, 16 is thus reduced.
  • a gas distribution 32 which is designed as a tube 33, is provided in the end heads 12 opposite the discharge tube ends 30, 31.
  • the gas distributions 32 are designed as cantilever arms, the end edges 37 of the free ends 36 are congruent with the central axes 38 of the gas inlet openings 21, 22.
  • the gas distributions 32 whose central axes 39 coincide with the discharge tube central axis 40, preferably have 3 slot-shaped recesses 41 at the free ends 36 of the cantilever arm.
  • the slot-shaped recesses 41 are preferably introduced into the glass tube 33 at a distance of 14 mm from the end edge 37.
  • the width of the slots 41 arranged at right angles to the central axis 39 on the circumference of the gas distribution 32 is advantageously 10 mm and the distance between the end edge 37 and the end face 42 of the laser gas discharge tubes 11 is also 10 mm.
  • the entire gas transport laser 10 is designed as a structural unit and is arranged in a common housing 43.
  • a cutting head 44 is fastened to the assembly / housing 43, in which the laser beam can be focused on a workpiece to be machined via mirrors and other optical devices.
  • the tangential laser gas inflow in the direction of arrow 45 into an end head 12 and the discharge tubes 11 are shown schematically in section.
  • the laser gas is transported into the end head 12 via the lines 24, 26 and from there into the discharge tubes 11.
  • This tangential laser gas inflow 45 in conjunction with the slotted gas distribution 32 leads on the one hand to a homogenization in the end head 12.
  • the discharge starts homogeneously at the end entire inside of the head in the interior 13.
  • the tangential laser gas inflow 45 leads to a forced gas rotation, so that the discharge contracts towards the end of the tube.
  • the rotation generated with this forced angular momentum 46 of the laser gas leads in the discharge tubes 11 to a zone of low flow velocity, which leads to the formation of a macro vortex 47.
  • the discharge tubes 11 have sudden, discontinuous discharge tube cross-sectional extensions 48 (Carnot diffusers) at two points defined by the wavelength of the macro vortex 47.
  • metals, ceramics or glass have proven to be particularly advantageous diffuser materials.
  • the diffusers 57 shown in FIG. 3 form one piece with the adjacent laser discharge tube parts 58.
  • the sudden, discontinuous discharge tube cross-sectional enlargements 48 form very strong eddies, which leads to homogenization of the gas discharge over the entire length of the discharge tubes 11 and thus to an increase in the laser output power.
  • diaphragms 59 are provided, which are preferably rotated against the laser gas flow direction 60 at an angle of attack 62 of 15 to 30 °.
  • the orifices 59 in the laser gas flow direction 60 are firmly connected to the diffusers 57 in the rear region 61.
  • the orifices 59 in the diffusers 57 in an exchangeable and adjustable manner.
  • the diffuser 57 preferably has five screens 59 made of one of the materials metal, glass or ceramic.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Gaslaser nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Bei solchen Gaslasern soll zur Erhöhung der Laserausgangsleistung einerseits der Entladungsrohrinnendurchmesser den optimalen Lasergasdurchsatz bei geringster Variation des Druckabfalls zwischen den Gaseinlaß- und auslaßöffnungen des Entladungsrohres und andererseits durch eine Verwirbelung des Lasergases, insbesondere auch im Endkopf die Homogenität der Entladung im Entladungsrohr gewährleistet sein.
  • Es ist bekannt, zur Erfüllung dieser Erfordernisse bei einem schnellströmenden Gaslaser einerseits den Entladungsrohrinnenquerschnitt entsprechend dem Lasergasstrahldurchmesser auszubilden und andererseits die Homogenität der Lasergasentladung durch Maßnahmen zur Strömungsführung zu ermöglichen. Die Lasergasentladung erfolgt hierbei über in Endköpfen angeordnete Ringelektroden.
  • Bei dieser bekannten Entladungsrohrausbildung mit optimalem Rohrdurchmesser und Lasergaseinströmung an Ringelektroden ist von Nachteil, daß keine vollständige Homogenisierung erreicht wird.
  • Aus der DE-OS-3 027 321 ist ein langsamströmender Laser mit stabilisiertem Wirbelfluß bekannt geworden, bei dem mindestens ein Rippenring im Entladungsrohr konzentrisch zur Längsachse des Entladungsrohres und des Gasflußes angebracht ist.
  • Untersuchungen haben ergeben, daß ein derartiger, in dem Entladungsrohr angeordneter Rippenring, bei dem eingangs beschriebenen schnellströmenden Gaslaser zu keiner Erhöhung der Laserausgangsleistung führt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Laserausgangsleistung pro Meter Entladungsrohrlänge unter Beibehaltung gleicher Baugröße zu erhöhen.
  • Eine weitere Aufgabe besteht in der Verbesserung der Strahlqualität durch die Homogenisierung der Lasergasentladung. Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Gaslaser durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß mit der plötzlichen unstetigen Erweiterung des Entladungsrohrinnenquerschnitts und den vorzugsweise im erweiterten Querschnitt angeordneten Blenden bei tangentialer Lasereinströmung und geschlitzter Gasverteilung die Homogenisierung der Gasentladung über die gesamte Entladungsrohrlänge und damit die maximale Ausgangsleistung des Gaslasers pro Meter Entladungsrohrlänge von bisher 500 Watt auf 1 000 Watt ohne wesentliche Vergrößerung der Baueinheit erhöhbar ist. Mit der Erfindung und zeitlichen Stabilisierung der Leistung ist neben der Erhöhung der Bearbeitungsgeschwindigkeit vor allen Dingen auch eine Verbesserung von Qualität und Reproduzierbarkeit der Schweißergebnisse, sowie eine geringere Spiegelverschmutzung verbunden.
  • Ein Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgendem unter Hinweis auf weitere vorteilhafte Merkmale näher beschrieben.
  • Es veranschaulicht:
    • Fig. 1 einen schematischen Aufbau des Axialstrom-Gastransportlasers;
    • Fig. 2 eine schematische Schnittdarstellung der tangentialen Lasergaseinströmung;
    • Fig. 3 eine schematische Längsschnittdarstellung des Entladungsrohres nach der Erfindung mit einem Endkopf und einer Gasverteilung;
    • Fig. 4 eine perspektivische Darstellung des Entladungsrohres mit der Blendenanordnung im Diffusor.
  • In Fig. 1 ist mit 10 ein Axialstrom-Gastransportlaser veranschaulicht. Der Laser 10 besteht im wesentlichen aus zwei Laserentladungsrohren 11, die in zwei Endköpfen 12 gelagert und über einen Verbindungskopf 20 miteinander verbunden sind. Die Endköpfe 12 und der Verbindungskopf 20 sind an einer nicht näher dargestellten Hochspannungsquelle angeschlossen. Der Pluspol der Hochspannungsquelle ist mit den Innenräumen 13 der Endköpfe 12 und der Minuspol der Hochspannungsquelle mit dem Innenraum 14 des Verbindungskopfes 20 verbunden. In besonders vorteilhafter Weise werden Endköpfe 12 bzw. der Verbindungskopf 20 aus Aluminium hergestellt.
  • Die Laserspiegel sind mit 15 und 16 bezeichnet.
  • Über Leitungen 17 wird dem Laser 10 kontinuierlich eine Gaslasermenge über die Gasversorgung 18 zugeführt. Das Lasergas ist dabei bevorzugt ein Helium-Stickstoff-Kohlendioxid-Gemisch. Zur Aufrechterhaltung eines mittleren Druckes innerhalb der Entladungsrohre 11 von ca. 70 mbar sind die Entladungsrohre 11 mit einer Vakuumpumpe 19 verbunden.
  • An den Endköpfen 12 ist jeweils eine Lasergaseinlaßöffnung 21, 22 vorgesehen. Ferner weist der Verbindungskopf 20 vorzugsweise in der Mitte eine Lasergasauslaßöffnung 23 auf. Gaseinlaßöffnungen 21 und 22 sowie die Gasauslaßöffnung 23 sind über Leitungen 24, 25, 26 mit einer Einheit 27 zum Kühlen und Transportieren des Lasergases verbunden. Die Kühl/Transporteinheit 27 weist ein Gebläse 29 auf, welches vorzugsweise als Rootsgebläse ausgebildet ist. Durch die tangentiale Einströmung des Lasergases an den Endköpfen 12 und die Absaugung an dem Verbindungskopf 20 wird eine Strömungsrichtung entgegen der Laserspiegelanordnung 15, 16 erreicht und somit die Verschmutzungsgefahr von Auskoppelplatte und Spiegel 15, 16 verringert.
  • In den Endköpfen 12 ist den Entladungsrohrenden 30, 31 gegenüberliegend je eine Gasverteilung 32 vorgesehen, die als Rohr 33 ausgebildet ist. Die Gasverteilungen 32 sind als Kragarme ausgebildet, deren Abschlußkanten 37 der freien Enden 36 deckungsgleich zu den Mittelachsen 38 der Gaseinlaßöffnungen 21, 22 angeordnet sind. Die Gasverteilungen 32, deren Mittelachsen 39 mit der Entladungsrohrmittelachse 40 zusammenfallen, weisen an den freien Enden 36 des Kragarmes vorzugsweise je 3 schlitzförmige Ausnehmungen 41 auf. Die schlitzförmigen Ausnehmungen 41 sind vorzugsweise in einem Abstand von 14 mm von der Abschlußkante 37 entfernt in das Glasrohr 33 eingebracht. Die Breite der rechtwinklig zur Mittelachse 39 am Umfang der Gasverteilung 32 angeordneten Schlitze 41 beträgt vorteilhaft 10 mm und der Abstand zwischen der Abschlußkante 37 und der Stirnseite 42 der Lasergasentladungsrohre 11 ebenfalls 10 mm.
  • Wie die Fig. 1 ferner zeigt, ist der gesamte Gastransportlaser 10 als Baueinheit ausgebildet und in einem gemeinsamen Gehäuse 43 angeordnet. An der Baueinheit/Gehäuse 43 ist ein Schneidkopf 44 befestigt, in welchem über Spiegel und weitere optische Einrichtungen der Laserstrahl auf ein zu bearbeitendes Werkstück fokussiert werden kann.
  • In Fig. 2 ist die tangentiale Lasergaseinströmung entsprechend Pfeilrichtung 45 in einen Endkopf 12 und die Entladungsrohre 11 schematisch im Schnitt dargestellt. Dabei erfolgt der Transport des Lasergases in den Endkopf 12 über die Leitungen 24, 26 und von dort in die Entladungsrohre 11. Diese tangentiale Lasergaseinströmung 45 führt in Verbindung mit der geschlitzten Gasverteilung 32 einerseits zu einer Homogenisierung im Endkopf 12. Die Entladung setzt homogen an der gesamten Kopfinnenseite in den Innenräumen 13 ein. Andererseits führt die tangentiale Lasergaseinströmung 45 zu einer erzwungenen Gasrotation, so daß sich die Entladung zum Rohrende hin zusammenzieht.
  • Die mit diesem erzwungenen Drehimpuls 46 des Lasergases erzeugte Rotation führt in den Entladungsrohren 11 zu einer Zone kleiner Strömungsgeschwindigkeit, die zur Ausbildung eines Makrowirbels 47 führt. Wie Fig. 3 zeigt, weisen die Entladungsrohre 11 an zwei durch die Wellenlänge des Makrowirbels 47 definierten Stellen plötzliche, unstetige Entladungsrohrquerschnittserweiterungen 48 (Carnot-Diffusoren) auf.
  • Empirische Untersuchungen ergaben bei einer wahlweisen Entladungsrohrlänge 49 von 600 bzw. 460 mm einen Abstand 50 von 50 mm zwischen Endkopflagerwand 51 und Anfang 52 der ersten Entladungsrohrquerschnittserweiterung 48. Als bevorzugte Länge 53 der in einem Entladungsrohrdiffusorteil 57 vorgesehenen Entladungsrohrquerschnittserweiterungen 48 wurden 40 mm ermittelt. Der Abstand 54 zwischen erstem und zweiten Diffusor 57 beträgt vorteilhaft 220 mm. Bei einem Innenquerschnitt 55 der Entladungsrohrmodule 11 von 28 mm betrug der erweiterte Entladungsrohrquerschnitt 40 mm.
  • Als besonders vorteilhafte Diffusorwerkstoffe erwiesen sich im Bezug auf die Haltbarkeit bzw. Wärmeableitung Metalle, Keramik oder Glas.
  • Die in Fig. 3 dargestellten Diffusoren 57 bilden mit dem angrenzenden Laserentladungsrohrteilen 58 einstückig ein Ganzes.
  • Selbstverständlich ist es auch möglich, die Diffusoren 57 austauschbar mit den Entladungsrohren 11 zu verbinden, so daß bei sich ändernden Betriebsbedingungen und sich ändernder Ausbildung des Makrowirbels 47 die Abstände 50, 54 sowie die konstruktive Ausbildung der Entladungsrohrteile 58 und der Diffusoren 57 diesen neuen Betriebsbedingungen in einfachster Art und Weise angepaßt werden können.
  • Durch die plötzlichen unstetigen Entladungsrohrquerschnittserweiterungen 48 bilden sich sehr starke Wirbel, die zu einer Homogenisierung der Gasentladung über die gesamte Läge der Entladungsrohre 11 und damit zu einer Steigerung der Laserausgangsleistung führt.
  • In den plötzlichen unstetigen Entladungsrohrquerschnittserweiterungen 48 sind Blenden 59 vorgesehen, die gegen die Lasergasströmungsrichtung 60 vorzugsweise unter einem Anstellwinkel 62 von 15 bis 30° verdreht angeordnet sind. Wie die Figuren 3 und 4 zeigen, sind die Blenden 59 in Lasergasströmungsrichtung 60 im hinteren Bereich 61 fest mit den Diffusoren 57 verbunden.
  • Selbstverständlich ist es auch vorteilhaft möglich, die Blenden 59 in den Diffusoren 57 austauschbar und verstellbar anzuordnen. Wie hierbei erste Versuche in der Praxis aufzeigten, ist es besonders sinnvoll, den Anstellwinkel 62 sowie die Höhe und die Lage der Blenden 59 am Umfang des Diffusors 57 verstellbar auszubilden. Wie insbesondere Fig. 4 zeigt, weist der Diffusor 57 bevorzugt fünf aus einem der Werkstoffe Metall, Glas oder Keramik bestehende Blenden 59 auf.
  • Mit dem eingangs beschriebenen Axialstrom-Gastransportlaser 10 nach der Erfindung mit zwei Entladungsrohren 11 wurde eine Ausgangsleistungssteigerung von bisher 500 Watt auf 1 000 Watt bei gleicher Baugröße und gleicher Entladungsrohrlänge erreicht.

Claims (29)

1. Gaslaser, insbesondere schnellströmender Axialstrom-Gastransportlaser, mit einem lasergasdurchstömten Entladungsrohr
dadurch gekennzeichnet, daß das
lasergasdurchströmte Entladungsrohr (11) mindestens eine plötzliche, unstetige Entladungsrohrquerschnittserweiterung (48) aufweist.
2. Gaslaser nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungsrohrquerschnittserweiterung (48) in Abhängigkeit von Drehimpuls (46) und Massendurchsatz im Entladungsrohr (11) angeordnet ist.
3. Gaslaser nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der erweiterte Entladungsrohrquerschnitt (48) das 1,2 bis 1,6 fache des Innenquerschnitts (55) des Entladungsrohres (11) beträgt.
4. Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erweiterte Entladungsrohrquerschnitt (48) in einem Entladungsrohrdiffusorteil (57) vorzugsweise mit einer Länge (53) von 40 Millimetern vorgesehen ist.
5. Gaslaser nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Diffusor (57) mit den angrenzenden Entladungsrohrteilen (58) einstückig ein Ganzes bildet.
6. Gaslaser nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Diffusor (57) austauschbar mit den angrenzenden Entladungsrohrteilen (58) verbunden ist.
7. Gaslaser nach einem der Ansprüche 4 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff des Diffusors (57) Metall ist.
8. Gaslaser nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff des Diffusors (57) Keramik ist.
9. Gaslaser nach einem der Ansprüche 4 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff des Diffusors (57) Glas ist.
10. Gaslaser nach einem der Ansprüche 4 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß in dem Diffusor (57) Blenden (59) angeordnet sind.
11. Gaslaser nach Anspruche 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) gegen die Lasergasströmungsrichtung (60) vorzugsweise unter einem Anstellwinkel (62) zwischen 15° und 30° verdreht angeordnet sind.
12. Gaslaser nach Anspruch 10 oder 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) in Lasergasströmungsrichtung (60) im hinteren Bereich (61) des Diffusors (57) angeordnet sind.
13. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) fest in dem Diffusor (57) angeodnet sind.
14. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) austauschbar in dem Diffusor (57) vorgesehen sind.
15. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) verstellbar in dem Diffusor (57) angeordnet sind.
16. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, daß der Anstellwinkel
(62) der Blenden (59) verstellbar ist.
17. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 16,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) am Umfang des Diffusors (57)
positionsverschiebbar angeordnet sind.
18. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 17,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) zur Mittelachse (40) des Diffusors (57) hin höhenverstellbar sind.
19. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (59) aus einem der Werkstoffe Metall, Glas, Keramik oder einer Kombination dieser Werkstoffe bestehen.
20. Gaslaser nach einem der Ansprüche 10 bis 19,
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine, vorzugsweise fünf Blenden (59) in dem Diffusor (57) angeordnet sind.
21. Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 20,
dadurch gekennzeichnet, daß das Entladungsrohr (11) an zwei Endköpfen (12, 20) mit tangentialer Lasergaseinlaß- (21, 22) bzw. Lasergasauslaßöffnungen (23) angeschlossen ist.
22. Gaslaser nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet, daß in dem einen Endkopf (12) eine Gasverteilung (32) vorgesehen ist.
23. Gaslaser nach Anspruch 21 oder 22,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mittelachse (38) der Gaseinlaßöffnung (21, 22) deckungsgleich zur Abschlußkante (37) eines freien Endes (36) der Gasverteilung (32) angeordnet ist.
24. Gaslaser nach Anspruch 23,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gasverteilung (32) als Rohr (33) ausgebildet ist.
25. Gaslaser nach Anspruch 23 oder 24,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mittelachse (39) der Gasverteilung (32) mit der Entladungsrohrmittelachse (40) zusammenfällt.
26. Gaslaser nach einem der Ansprüche 23 bis 25,
dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand (54) zwischen Abschlußkante (37) und der Stirnseite (42) des Entladungsrohrs (11) mindestens 3 mm und höchstens 20 mm beträgt.
27. Gaslaser nach einem der Ansprüche 22 bis 26,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gasverteilung (32) aus einem nichtleitenden Werkstoff, vorzugsweise Glas, besteht.
28. Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 27,
dadurch gekennzeichnet, daß an zwei Endköpfen (12), vorzugsweise deren Innenräumen (13, 14), des Entladungsrohres (11) ein Hochspannungspotential anliegt.
EP84105897A 1983-07-02 1984-05-24 Gaslaser, insbesondere schnellströmender Axialstrom-Gastransportlaser Expired EP0130346B1 (de)

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