JPH0766473A - ガスレーザ発振器 - Google Patents

ガスレーザ発振器

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JPH0766473A
JPH0766473A JP21124193A JP21124193A JPH0766473A JP H0766473 A JPH0766473 A JP H0766473A JP 21124193 A JP21124193 A JP 21124193A JP 21124193 A JP21124193 A JP 21124193A JP H0766473 A JPH0766473 A JP H0766473A
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JP
Japan
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mirror
gas laser
laser
gas
laser light
Prior art date
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Pending
Application number
JP21124193A
Other languages
English (en)
Inventor
Takuma Kato
琢磨 加藤
Hidehiko Karasaki
秀彦 唐崎
Hitoshi Motomiya
均 本宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Priority to DE1994614499 priority patent/DE69414499T2/de
Priority to EP19940113238 priority patent/EP0641050B1/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H01S3/076—Folded-path lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
    • H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザガス媒質によってガスレーザ発振器内
の粉末がレーザ光部分透過鏡・反射鏡へ付着すること及
び紫外線による劣化を防止できるようにしたガスレーザ
発振器の提供を目的とする。 【構成】 ガスレーザ媒質の供給口４を有するメインブ
ロック５とレーザ光部分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡
６と、その調整ユニット７と、レーザ管８と、スリット
９とを具備し、ガスレーザ媒質の供給口４とレーザ光部
分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡６との距離Ｌが１２０
mm以上確保された構成及び放電領域からレーザ光部分透
過鏡・反射鏡及び折り返し鏡６までの距離が１２０mm以
上離した構成を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガスレーザ媒質を循環さ
せ、放電励起してレーザ光を発するガスレーザ発振器に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ガスレーザ発振器は穴あけ、切
断、溶接、表面処理等に利用され、その需要は特にＦＡ
分野においてますます高いものとなってきている。
【０００３】以下に従来のガスレーザ発振器の構成を図
４に示す。ガスレーザ媒質を循環装置１により発振器内
を循環させ、これをパワー供給電源２により放電励起す
ることでレーザ光が発生する。これが光共振器３内を多
重反射して増幅され、発振に至る。図５は光共振器の中
の出力鏡部の一例を示すものである。ガスレーザ媒質導
入口４を有するメインブロック５、レーザ光部分透過鏡
６、調整ユニット７、レーザ管８、及びスリット９で構
成される部分においてレーザ光部分透過鏡６とガスレー
ザ媒質導入口４または放電領域との距離Ｌが１２０mm以
下の構造となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、循環しているガスレーザ媒質の分岐流
がレーザ光部分透過鏡・反射鏡・折り返し鏡に直接当た
ることによりガスレーザ発振器内の粒子が数多く付着す
るという問題を有していた。また、放電領域からの紫外
線により部分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡が劣化する
という問題もあった。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、レーザ光部分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡の汚染
または劣化を防止したガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のガスレーザ発振器はレーザ光部分透過鏡・反
射鏡及び折り返し鏡とガスレーザ媒質導入口または放電
領域との距離を１２０mm以上離した構造としている。
【０００７】
【作用】この構成によって、ガスレーザ媒質循環流のレ
ーザ光部分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡への分岐流が
弱まり、ガスレーザ発振器内の粒子のレーザ光部分透過
鏡・反射鏡及び折り返し鏡への粒子付着量が飛躍的に減
少する。
【０００８】また、紫外線によるレーザ光部分透過鏡・
反射鏡及び折り返し鏡の劣化も大幅に減少する。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１に示す。構成は図４
と同様、ガスレーザ媒質を循環装置１により発振器内を
循環させ、これをパワー供給電源２により放電励起する
ことでレーザ光が発生する。これが光共振器３内を多重
反射して増幅され、発振に至る。そして光共振器３の中
の出力鏡部であるレーザ光部分透過鏡６とガスレーザ媒
質導入口４との距離を１２０mm以上確保した構造として
いる。このようにすることで、レーザガス媒質の循環流
からのレーザ光部分透過鏡６への分岐流がレーザ管との
摩擦により減衰し、粉末の付着を軽減することができ
る。
【００１０】また、放電領域からレーザ光部分透過鏡６
までの距離も１２０mm以上にすることでレーザ光部分透
過鏡６での紫外線強度が減少することでレーザ光部分透
過鏡６の劣化も軽減できる。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明は、ガスレーザ媒質
導入口とレーザ光部分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡と
の距離を１２０mm以上確保することにより、レーザ光部
分透過鏡・反射鏡及び折り返し鏡の汚れにくい長寿命の
ガスレーザ発振器を実現できる。
【００１２】また、放電領域とレーザ光部分透過鏡・反
射鏡及び折り返し鏡を１２０mm以上離すことで、紫外線
による劣化も軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の光共振器の中の出力鏡部の断
面図
【図２】ガスレーザ媒質導入口からレーザ光部分透過鏡
・反射鏡及び折り返し鏡までの距離と粉末到達量の関係
を示すグラフ
【図３】放電領域からレーザ光部分透過鏡・反射鏡及び
折り返し鏡までの距離と紫外線強度の関係を示すグラフ
【図４】（ａ）従来のガスレーザ発振器の全体構成を示
す平面図 （ｂ）従来のガスレーザ発振器の全体構成を示す正面図
【図５】従来のガスレーザ発振器の光共振器の中の出力
鏡部の断面図
【符号の説明】
１ ガスレーザ媒質循環装置 ２ パワー供給電源 ３ 光共振器 ４ ガスレーザ媒質導入口 ５ メインブロック ６ レーザ光部分透過鏡または反射鏡 ７ 調整ユニット ８ レーザ管 ９ スリット

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 パワー供給電源、光共振器、ガスレーザ
    媒質、ガスレーザ媒質循環装置とを備え、光共振器のレ
    ーザ光部分透過鏡・反射鏡・折り返し鏡とガスレーザ媒
    質の導入口との距離を１２０mm以上確保したガスレーザ
    発振器。
  2. 【請求項２】 パワー供給電源、光共振器、ガスレーザ
    媒質、ガスレーザ媒質循環装置とを備え、光共振器のレ
    ーザ光部分透過鏡・反射鏡・折り返し鏡と放電領域との
    距離を１２０mm以上確保したガスレーザ発振器。
JP21124193A 1993-08-26 1993-08-26 ガスレーザ発振器 Pending JPH0766473A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21124193A JPH0766473A (ja) 1993-08-26 1993-08-26 ガスレーザ発振器
DE1994614499 DE69414499T2 (de) 1993-08-26 1994-08-24 Gas-Laser Oszillator
EP19940113238 EP0641050B1 (en) 1993-08-26 1994-08-24 Gas laser oscillator

Applications Claiming Priority (1)

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JP21124193A JPH0766473A (ja) 1993-08-26 1993-08-26 ガスレーザ発振器

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JPH0766473A true JPH0766473A (ja) 1995-03-10

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ID=16602631

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JP21124193A Pending JPH0766473A (ja) 1993-08-26 1993-08-26 ガスレーザ発振器

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EP (1) EP0641050B1 (ja)
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DE (1) DE69414499T2 (ja)

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DE69414499T2 (de) 1999-04-08
EP0641050A1 (en) 1995-03-01
EP0641050B1 (en) 1998-11-11
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