EA038184B1 - Спектрофотометр - Google Patents

Спектрофотометр Download PDF

Info

Publication number
EA038184B1
EA038184B1 EA201900082A EA201900082A EA038184B1 EA 038184 B1 EA038184 B1 EA 038184B1 EA 201900082 A EA201900082 A EA 201900082A EA 201900082 A EA201900082 A EA 201900082A EA 038184 B1 EA038184 B1 EA 038184B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
photodetectors
rotation
unit
light beam
monochromator
Prior art date
Application number
EA201900082A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201900082A1 (ru
Inventor
Константин Николаевич КРИВЕЦКИЙ
Артем Александрович ФЕДОТКО
Тарас Станиславович ЛИСОВСКИЙ
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Эссентоптикс"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Эссентоптикс" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Эссентоптикс"
Priority to EA201900082A priority Critical patent/EA038184B1/ru
Priority to US17/422,744 priority patent/US20220128405A1/en
Priority to EP20741285.9A priority patent/EP3913339A4/en
Priority to KR1020217025728A priority patent/KR20210112383A/ko
Priority to JP2021540830A priority patent/JP7377874B2/ja
Priority to CN202080009118.4A priority patent/CN113544479A/zh
Priority to PCT/BY2020/000001 priority patent/WO2020146933A1/ru
Publication of EA201900082A1 publication Critical patent/EA201900082A1/ru
Publication of EA038184B1 publication Critical patent/EA038184B1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0278Control or determination of height or angle information for sensors or receivers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0267Sample holders for colorimetry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0208Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0224Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using polarising or depolarising elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0291Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0294Multi-channel spectroscopy
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J3/427Dual wavelengths spectrometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области оптического приборостроения и предназначено для использования при проведении анализов в заводских лабораториях и в научно-исследовательских целях для аналитических исследований спектральных характеристик различных материалов. Технический результат - повышение качества и точности угловых измерений и измерений сложных призм. Спектрофотометр содержит корпус 1, измерительный отсек 2 и источник монохроматического излучения 3, где установлен источник излучения 4, монохроматор 5, узел поляризаторов 6, зеркальный элемент 7, измерительный канал с узлом 8 фотоприемников 12 с объективом 13, опорный канал с узлом 9 фотоприемников 14 с объективом 15, поворотный предметный столик 10 с полой осью 16 вращения и образцами 11, устройства перемещения узла 8 измерительного канала фотоприемников 12 с вертикальной осью 17 вращения. Поворотный предметный столик 10 спектрофотометра выполнен с возможностью обеспечения тройной экспозиции образцов 11 при проведении измерений.

Description

Изобретение относится к области оптического приборостроения и предназначено для использования при проведении анализов в заводских лабораториях и в научно-исследовательских целях для аналитических исследований спектральных характеристик различных материалов.
Из уровня техники известны различные типы спектрофотометров, конструктивно состоящие из оптико-механического и электронного узлов, установленных в одном корпусе, а общий принцип их действия основан на измерении отношения интенсивности излучения, прошедшего через исследуемый объект к интенсивности излучения, не прошедшего через этот объект. Приборы, как правило, дополнительно комплектуются приставками [1, 2, 3].
Так спектрофотометр Cary 7000 [1] снабжен дополнительным двухслойным детектором, который имеет возможность перемещаться вокруг образца, размещенного в центре приставки на вращающемся на 360° столике. Приставки также могут обеспечивать измерения отражения, выполняться в виде волоконно-оптического зонда или для других целей.
Спектрофотометр Agilent Cary 60 [2] снабжен монохроматором Черни-Тернера и имеет рабочий диапазон длин волн 190-1100 нм, фиксированную полосу длин волн 1,5 нм. В конструкции Cary 60 используется спаренный Si диодный детектор и кварцевая просветленная оптика, обеспечивается скорость развертки спектра до 24 000 нм/мин, частота выборки данных до 80 раз в секунду, прибор позволяет осуществлять перестройку длины волны при приостановке измерений и мало чувствителен к внешней засветке. Центральное управление Agilent Cary 60 осуществляется с помощью персонального компьютера с операционной системой Windows.
Известный однолучевой спектрофотометр УВИ-диапазона СФ-56 [3] обеспечивает автоматическое однократное и многократное выполнение измерений спектральных коэффициентов пропускания жидких и твердых прозрачных веществ для одного или нескольких образцов на заданных оператором длинах волн с заданным временным интервалом между циклами измерений, обзорное сканирование и вывод заданных участков спектра на видеомонитор для проведения качественного анализа, проведение кинетических измерений и математическую обработку результатов измерений, в том числе вычисление оптической плотности и концентрации, а также расчет цветовых характеристик исследуемых объектов. Управление спектрофотометром и обработка результатов измерения осуществляется при помощи специализированного контроллера с функциональной клавиатурой, монитором и принтером или с использованием внешней IBM-совместимой ЭВМ.
Недостатком известных аналогов является ограниченные возможности перемещения образцов на предметном столике при проведении измерений что, как следствие, снижает функциональность прибора и исключает возможность измерения пропускания или отражения излучения образцом без использования специальных приставок.
Известен спектрофотометр со смещаемым оптическим элементом [4]. Спектрофотометр содержит в качестве такого элемента оптический фильтр для удаления света более высокого порядка таким образом, который приводиться в действие механизмом привода поворота дифракционной решетки без необходимости использования специального привода. Схема управления оптическим фильтром или другими устройствами, используемыми в качестве механизма для съемной вставки в оптическом тракте, реализуется с использованием специального программного обеспечения. В механизме предусмотрен приводной рычаг, интегрированный с дифракционной решеткой спектрометра и приводимый во вращение с помощью дифракционной решетки. Опора для поддержки оптического элемента, расположенного с возможностью отсоединения оптического тракта, представляет собой ведомый рычаг. Приводной рычаг расположен в положении, соприкасающемся с ведущим рычагом, в диапазоне углов поворота за пределами диапазона поворота для длины волны, сканирование дифракционной решетки. Приводной рычаг составлен таким образом, что он приводится в движение посредством контакта с приводным рычагом, и смещается так, чтобы перемещать оптический элемент между положением на оптическом пути и положением вне оптического дорожка.
Недостатком аналога является ограниченность степеней свободы перемещения образцов предусмотренных схемой управления оптическим фильтром и другими устройствами, используемыми в качестве механизма для съемной вставки в оптическом тракте.
Наиболее близок к предлагаемому изобретению спектрофотометр с двухлучевым расщепления оптического луча, который принят в качестве прототипа [5]. Устройство расщепления пучка спектрофотометра содержит корпус с измерительным отсеком, где установлена оптическая система со светоотражающей частью, двигатель, вращающийся вал, выполненный с возможностью дополнительного поворота относительно центра вращающегося вала. Оптическая система включает источник излучения, монохроматор, зеркальный элемент, разделяющий выходящий из монохроматора луч света на измерительный канал с узлом фотоприемников и опорный канал с узлом фотоприемника, и комплекс устройств для перемещения образцов при проведении измерений, размещенных на поворотном предметном столе. При этом поворотный стол снабжен тремя структурами и первая структура предназначена для светопропускающей части, через которую непосредственно проходит луч света, вторая структура является отражающей частью отраженного светового пучка, а третья структура предназначена для блокировки светового пучка и поглощения темной части луча света. Участок передачи света, отражающий участок и темная
- 1 038184 часть распределены по окружности в заданном порядке. Вращающийся диск дополнительно содержит вращающийся элемент, который вращается вокруг центра вращающегося вала, причем вращающийся элемент снабжен измерительным сквозным отверстием для вращающегося периода или выемкой, при этом период вращения определяется множеством сквозных отверстий или вырезов и множеством периодов вращения. Проходное отверстие или углубление равномерно распределены по краю вращающейся детали, дополнительно содержит фотоэлектрический переключатель, который снабжен канавкой, встроенной в край вращающейся детали, и соответственно принимающей светочувствительный прием с обеих сторон вращающегося элемента и излучающей свет источник света. Светочувствительная принимающая часть и излучающая часть источника света, соответственно, расположены противоположно по обеим сторонам на стенках канавки и выполнены с возможностью определения периода вращения сквозного отверстия или выреза. Двигатель подключен к вращающемуся валу с возможностью вращения вращающегося элемента и вращающегося колесо с обеспечением синхронного вращения с заданной скоростью через вращающийся вал. Отражающая часть содержит первое зеркало, второе зеркало и третье зеркало, которые соответственно расположены на передней и задней сторонах поворотного стола. Первое зеркало и третье зеркало расположены на одной и той же стороне поворотный стол, при этом первое зеркало используется для отражения светового луча в направлении поворотного стола, и световой луч, отраженный от первого зеркала, образующий опорный световой пучок, имеющий заданную последовательность посредством передачи части светового пучка на второе зеркало. Луч, отраженный первым зеркалом, образует пробоотборный луч, имеющий заданную последовательность через отражающую часть и третье зеркало, и луч, отраженный первым зеркалом, поглощается темной частью, образует окклюзионный пучок, имеющий заданную последовательность. Первая структура поворотного стола представляет собой светопропускающую часть, через которую непосредственно проходит световой пучок, а вторая - это часть отраженного луча, а третья структура предназначена для блокировки светового пучка и поглощения его темновой части. Передающая свет часть, отражающая часть и темная часть распределены по окружности на поворотном столе в заданном порядке, при этом часть передачи света, отражающая часть и темная часть, расположенные попарно и расположеные симметрично.
Недостатком прототипа является ограниченность возможности измерения исследуемых образцов в следствии перемещения поворотного столика в одной плоскости, что снижает корректность поведения измерений.
Целью изобретения является повышение технологичности и точности измерений исследуемых образцов.
Техническим результатом изобретения является повышение качества и точности угловых измерений и измерений сложных призм вне зависимости от толщины детали или геометрической сложности призм.
Технический результат достигается тем, что в спектрофотометре, содержащем корпус, в котором размещены измерительный отсек и источник монохроматического излучения, включающий источник излучения, монохроматор, узел поляризаторов, зеркальный элемент, разделяющий выходящий из монохроматора луч света на измерительный канал с узлом смены фотоприемников, опорный канал с узлом смены фотоприемников и объективом, поворотный предметный столик с образцом для проведении измерений, согласно изобретению, поворотный предметный столик выполнен с возможностью обеспечения тройной экспозиции образца при проведении измерений, при этом поворотный предметный столик выполнен вращающимся вокруг собственной оси вращения по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения торцевой стороной образца луча света, выходящего из монохроматора, а узел измерительного канала выполнен с возможностью поворота вокруг оси вращения поворотного предметного столика по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения с лучом света, выходящего из монохроматора, и с одновременным независимым вращением узла фотоприемников измерительного канала вокруг собственной оси вращения, параллельной оси вращения поворотного предметного столика по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения с лучом света, попадающим в объектив фотоприемников измерительного канала с обеспечением приема светового луча в объектив фотоприемников и проходящего через измеряемый образец или отраженного от измеряемого образца луча света точно по нормали, со смещением или без смещения луча света.
Узел фотоприемников измерительного канала выполнен с одним или несколькими фотоприемниками.
Узел фотоприемников опорного канала выполнен с одним или несколькими фотоприемниками.
Ось вращения поворотного предметного столика выполнена полой с возможностью прокладки кабеля питания через полость для обеспечения дистанционного управлением вращением поворотного предметного столика и перемещения образцов относительно луча света, выходящего из монохроматора, без открытия измерительного отсека.
Сущность изобретения поясняется чертежами на фиг. 1-3.
На фиг. 1 представлена принципиальная оптическая схема спектрофотометра.
На фиг. 2 - узел фотоприемников измерительного канала.
На фиг. 3 - узел фотоприемников опорного канала.
- 2 038184
Спектрофотометр содержит корпус 1, измерительный отсек 2 и источник монохроматического излучения 3, где установлен источник излучения 4, монохроматор 5, узел поляризаторов 6, зеркальный элемент 7, измерительный канал с узлом 8 фотоприемников 12 с объективом 13, опорный канал с узлом 9 фотоприемников 14 с объективом 15; поворотный предметный столик 10 с полой осью 16 вращения и 11 образцами; устройства перемещения узла 8 измерительного канала фотоприемников 12 с вертикальной осью 17 вращения.
Спектрофотометр работает следующим образом. В соответствии с инструкцией включают прибор и приводят его готовность. Предварительно на поворотный предметный столик 10 для проведения измерений устанавливают образец 11 внутри измерительного отсека 3 в корпусе 1. Образец 11 фиксируют и закрывают измерительный отсек 2. При проведении измерений обеспечивают тройную экспозицию образца 11. Для этого поворотный предметный столик 10 с образцом 11 вращают вокруг оси 16 вращения по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения торцевой стороной образца 11 луча света, излучаемого источником 4 и далее проходящего через поляризатор 6 и выходящего из монохроматора 5. При этом часть светового потока зеркальным элементом 7 направляют в объектив 15 на фотоприемники 14 узла 9 опорного канала, а другую часть светового потока направляют на образец 11 и после пропускания или отражения светового луча он поступает по измерительному каналу через объектив 13 в фотоприемники 12 узла 8. Одновременно выполняют вращение узла 8 с фотоприемниками 12 вокруг вертикальной оси вращения 17 по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения с лучом, попадающим в объектив 13 на фотоприемники 12 и независимое вращение узла 8 с фотоприемниками 12 вокруг оси вращения 16 поворотного предметного столика 10 с обеспечением приема светового луча в объектив 13 фотоприемников 12 и прошедшего через измеряемый образец 11 или отраженного от измеряемого образца 11 луча света точно по нормали со смещением или без смещения луча света.
Поворотный предметный столик 10 смонтирован на оси 16 вращения, которая выполнена полой (на чертеже не показано) таким образом, чтобы через полость оси 16 обеспечить прокладку кабеля питания (на чертеже не показано) и возможность дистанционного управления поворотным предметным столиком 10 с образцом 11 относительно луча света, выходящего из монохроматора 5 без открытия измерительного отсека 2. Также спектрофотометр снабжен набором поворотных предметных столиков 10, являющихся сменными с моторизированными приводами (на чертеже не показано). Поворотный предметный столик 10 имеет ответный электрический разъем (на чертеже не показано), который устанавливается в ответную часть узла для его установки (например, в виде ласточкиного хвоста). При установке моторизированного поворотного столика 10 через электрический разъем обеспечивается подача питания на электрическую схему платы управления с контроллером и компьютерное дистанционное управление поворотным предметным столиком 10 без открытия измерительного отсека 2.
Внутри корпусов (на чертеже не показаны) узла 8 с фотоприемниками 12 измерительного канала и узла 9 с фотоприемниками 14 опорного канала установлен наборы фотоприемников 12 и 14 соответственно (от 1 до 4 штук в различной комбинации, например, РМТ, Si, InGaAs, PbS, PbSe, MCT и т.д., с охлаждением и без охлаждения) и механизм (на чертеже не показано) автоматического позиционирования фотоприемников 12 и 14 на ось луча, которые используются в зависимости от требуемого спектрального диапазона измерений.
Реализация тройной экспозиции образцов 11 при проведении измерений за счет комбинации вращений поворотного предметного столика 10 ответствующих поворотов узла 8 с фотоприемниками 12 обеспечивает достижение заявленного технического результата и, как следствие, повышает качество и точность угловых и поляризационных измерений пропускания и отражения, а также измерений сложных призм вне зависимости от толщины образцов или геометрической сложности призм.
Источники информации:
1. Новый универсальный спектрофотометр Cary 7000. ООО АЛСИ-ХРОМ, http://www.alsichrom.com, © 2014.
2. Спектрофотометр Agilent Cary 60. Бизнес-цент North House. Компания Миллаб, www.millab.ru, 2018.
3. УВИ-спектрофотометр СФ-56. ООО ОКБ СПЕКТР, http://okb-spectr.ru/products/sf/sf56/, 2018.
4. JP № 2010160025 (А), 22.07.2010.
5. CN № 107796514 (А), 24.11.2017 (прототип).

Claims (4)

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Спектрофотометр, содержащий корпус (1), в котором размещены измерительный отсек (2) и источник монохроматического излучения (3), включающий источник излучения (4), монохроматор (5), узел поляризаторов (6), зеркальный элемент (7), разделяющий выходящий из монохроматора (5) луч света на измерительный канал с узлом (8) фотоприемников (12), опорный канал (9) с узлом фотоприемников (14) и объективом (15), поворотный предметный столик (10) с образцом (11) для проведения измерений, отличающийся тем, что поворотный предметный столик (10) выполнен с возможностью обеспечения тройной экспозиции образца (11) при проведении измерений, при этом поворотный предметный столик (10)
2. Спектрофотометр по п.1, отличающийся тем, что узел (8) фотоприемников измерительного канала выполнен с одним или несколькими фотоприемниками (12).
3. Спектрофотометр (1) по п.1, отличающийся тем, что узел (9) фотоприемников опорного канала выполнен с одним или несколькими фотоприемниками (14).
- 3 038184 выполнен вращающимся вокруг собственной оси (16) вращения по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения торцевой стороной образца (11) луча света, выходящего из монохроматора (5), а узел (8) измерительного канала выполнен с возможностью поворота вокруг оси (16) вращения поворотного предметного столика (10) по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения с лучом света, выходящего из монохроматора (5), и с одновременным независимым вращением узла (8) фотоприемников (12) измерительного канала вокруг собственной оси (17) вращения, параллельной оси (16) вращения поворотного предметного столика (10), по часовой или против часовой стрелки до момента пересечения с лучом света, попадающим в объектив (13) фотоприемников (12) измерительного канала (8) с обеспечением приема светового луча в объектив (13) фотоприемников (12) и проходящего через измеряемый образец (11) или отраженного от измеряемого образца (11) луча света точно по нормали, со смещением или без смещения луча света.
4. Спектрофотометр (1) по п.1, отличающийся тем, что ось (16) вращения поворотного предметного столика (10) выполнена полой с возможностью прокладки кабеля питания через полость для обеспечения дистанционным управлением вращения поворотного предметного столика (10) и перемещения образцов (11) относительно луча света, выходящего из монохроматора (5), без открытия измерительного отсека (2).
EA201900082A 2019-01-14 2019-01-14 Спектрофотометр EA038184B1 (ru)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EA201900082A EA038184B1 (ru) 2019-01-14 2019-01-14 Спектрофотометр
US17/422,744 US20220128405A1 (en) 2019-01-14 2020-01-08 Spectrophotometer
EP20741285.9A EP3913339A4 (en) 2019-01-14 2020-01-08 SPECTROPHOTOMETER
KR1020217025728A KR20210112383A (ko) 2019-01-14 2020-01-08 분광 광도계
JP2021540830A JP7377874B2 (ja) 2019-01-14 2020-01-08 分光光度計
CN202080009118.4A CN113544479A (zh) 2019-01-14 2020-01-08 分光光度计
PCT/BY2020/000001 WO2020146933A1 (ru) 2019-01-14 2020-01-08 Спектрофотометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EA201900082A EA038184B1 (ru) 2019-01-14 2019-01-14 Спектрофотометр

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201900082A1 EA201900082A1 (ru) 2020-07-31
EA038184B1 true EA038184B1 (ru) 2021-07-20

Family

ID=71613444

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201900082A EA038184B1 (ru) 2019-01-14 2019-01-14 Спектрофотометр

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20220128405A1 (ru)
EP (1) EP3913339A4 (ru)
JP (1) JP7377874B2 (ru)
KR (1) KR20210112383A (ru)
CN (1) CN113544479A (ru)
EA (1) EA038184B1 (ru)
WO (1) WO2020146933A1 (ru)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1282867A (zh) * 2000-09-01 2001-02-07 浙江大学 液晶投影机中的分色合色元件的光谱检测仪
JP5274843B2 (ja) * 2005-01-21 2013-08-28 カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト スペクトル領域光コヒーレンス断層放射線写真システムにおける交差分散分光計
US8988678B2 (en) * 2010-08-30 2015-03-24 MKS Technology Spectrometer

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2165920C3 (de) * 1971-12-31 1975-09-18 Nowosibirskij Institut Organitscheskoj Chimii Sibirskowo Otdelenija Akademii Nauk, Nowosibirsk (Sowjetunion) Spektralphotometer
JPS5442705Y2 (ru) * 1973-12-31 1979-12-11
JPS53161681U (ru) * 1977-05-23 1978-12-18
JPS59100224U (ja) * 1982-07-02 1984-07-06 スガ試験機株式会社 三次元自動変角反射透過測色計
US7262844B2 (en) * 2005-01-13 2007-08-28 The Curators Of The University Of Missouri Ultrasensitive spectrophotometer
JP2007078603A (ja) * 2005-09-16 2007-03-29 Shimadzu Corp 分光光度計
CN2835992Y (zh) * 2005-11-08 2006-11-08 杭州科汀光学技术有限公司 样品室温度可控的分光光度计
CN100554936C (zh) * 2005-11-08 2009-10-28 杭州科汀光学技术有限公司 样品室温度可控的分光光度计
GB2431232B (en) * 2005-12-14 2007-10-10 Zinir Ltd Spectrophotometer
US7548317B2 (en) * 2006-05-05 2009-06-16 Agc Flat Glass North America, Inc. Apparatus and method for angular colorimetry
CN101158600A (zh) * 2007-06-05 2008-04-09 杭州远方光电信息有限公司 分布光度计
CN101592519B (zh) * 2008-05-26 2011-08-10 杭州远方光电信息股份有限公司 一种同步反射分布光度计
CN101387552A (zh) * 2008-10-28 2009-03-18 重庆大学 基于空间光调制器的光谱探测方法及光谱仪
JP2010160025A (ja) 2009-01-07 2010-07-22 Shimadzu Corp 分光光度計
RU2423684C2 (ru) * 2009-05-13 2011-07-10 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) Способ оптических измерений для материала
JP2016138828A (ja) * 2015-01-28 2016-08-04 ミツミ電機株式会社 生体成分情報測定装置
JP6686281B2 (ja) * 2015-03-12 2020-04-22 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置、画像形成装置
US10945676B2 (en) * 2015-09-25 2021-03-16 Sanmina Corporation System and method for blood typing using PPG technology
CN107796514A (zh) * 2017-11-24 2018-03-13 武汉量谱精密仪器有限公司 双光束分光光度计的分束装置以及转盘

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1282867A (zh) * 2000-09-01 2001-02-07 浙江大学 液晶投影机中的分色合色元件的光谱检测仪
JP5274843B2 (ja) * 2005-01-21 2013-08-28 カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト スペクトル領域光コヒーレンス断層放射線写真システムにおける交差分散分光計
US8988678B2 (en) * 2010-08-30 2015-03-24 MKS Technology Spectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
EA201900082A1 (ru) 2020-07-31
JP7377874B2 (ja) 2023-11-10
KR20210112383A (ko) 2021-09-14
EP3913339A1 (en) 2021-11-24
CN113544479A (zh) 2021-10-22
US20220128405A1 (en) 2022-04-28
WO2020146933A1 (ru) 2020-07-23
EP3913339A4 (en) 2022-12-14
JP2022517037A (ja) 2022-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6113730B2 (ja) 放出及び透過光学分光計
EP0146781B1 (en) Photometric apparatus with multi-wavelength excitation
JP2000275173A (ja) アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法
JPH052931B2 (ru)
US9395245B2 (en) Data knitting tandem dispersive range monochromator
US9551612B2 (en) Tandem dispersive range monochromator
EP3913339A1 (en) Spectrophotometer
JPS62266439A (ja) 分光偏光測定装置
KR100403440B1 (ko) 분광분석장치
CN104316629A (zh) 一种液相多通道检测器装置
JPS6073343A (ja) 分光光度計
US3669547A (en) Optical spectrometer with transparent refracting chopper
CN111855611A (zh) 一种光程可调气体吸收池及气体检测装置
KR100961138B1 (ko) 분광분석기
JP4486805B2 (ja) 分光分析装置
Merenda et al. Portable NIR/MIR Fourier-transform spectrometer based on a common path lamellar grating interferometer
US3723008A (en) Differential spectrophotometer
JPH11101739A (ja) エリプソメトリ装置
RU2247969C1 (ru) Спектральный эллипсометр
KR890004719B1 (ko) 더블빔 형식의 색측정용 광학필터 분광 광도계
SU1672312A1 (ru) Оптическое измерительное устройство
SU1067449A1 (ru) Когерентный оптический анализатор пространственных спектров двумерных сигналов
JPS6321850B2 (ru)
JP2007078603A (ja) 分光光度計
JPS6388430A (ja) 絶対反射率測定装置