JP6113730B2 - 放出及び透過光学分光計 - Google Patents

放出及び透過光学分光計 Download PDF

Info

Publication number
JP6113730B2
JP6113730B2 JP2014529943A JP2014529943A JP6113730B2 JP 6113730 B2 JP6113730 B2 JP 6113730B2 JP 2014529943 A JP2014529943 A JP 2014529943A JP 2014529943 A JP2014529943 A JP 2014529943A JP 6113730 B2 JP6113730 B2 JP 6113730B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
emission
sample
infrared
accessory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014529943A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014526686A (ja
Inventor
フェデリコ イッジア
フェデリコ イッジア
マイケル エス ブラッドリー
マイケル エス ブラッドリー
Original Assignee
サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー
サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー, サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー filed Critical サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー
Publication of JP2014526686A publication Critical patent/JP2014526686A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6113730B2 publication Critical patent/JP6113730B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0202Mechanical elements; Supports for optical elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0235Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using means for replacing an element by another, for replacing a filter or a grating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/30Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/36Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/44Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • G01J3/453Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/65Raman scattering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/10Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、光学科学計測装置の分野に関する。更に詳しくは、本発明は、試料の化学組成を識別するために装置のハウジング内においてエミッション又は発光(例えば、ラマン及び蛍光)及び透過分光法を実行するように構成された光学計測器に関する。
ラマンなどの放出及び赤外線(InfraRed:IR)透過分光法は、適切に構成された場合に所与の試料の完全な振動スペクトルを計測する能力を有する相補的な技法である。現在、透過及び発光分光法は、標準的な光学計測器において実行することが可能であって、この場合に、例えば、フーリエ変換赤外線(Fourier Transform InfraRed:FT−IR)部分は、主に透過計測器としてセットアップされており、(例えば、FTラマンを含む)発光分光法部分は、試料コンパートメント領域内における空間制限に起因し、多くの場合に、計測器のハウジングの外部において1つ又は複数のアクセサリユニットとして構成された光源又は試料を有するように構成されている。しかしながら、この結果もたらされるこのような1つ又は複数のアクセサリは、非常に嵩張る可能性があり、且つ、単一のサンプルの透過及び放出スペクトルを計測するために、サンプリングコンパートメント間におけるユーザーによる試料の移動を必要とする可能性がある。
計測器のハウジングの外部において結合されたアクセサリによって試料コンパートメントの空間制限を克服するシステムに関する背景情報については、Gast他に対して1996年3月12日付けで発行された「FOURIER SPECTROMETER WITH EXCHANGEABLE ENTRANCE AND EXIT PORTS ALLOWING FOR BOTH INTERNAL AND EXTERNAL RADIATION PORTS」という名称の米国特許第5,499,095号明細書において記述され、且つ、特許請求されており、これは、「但し、これらの標準的な試料調製手段を用いて計測のために調製することができない複数の物質が存在している。これらに含まれるのは、気体試料であり、これらの試料は、冷却又は加熱を要し、或いは、その寸法が試料領域には大き過ぎる。この種の試料を分光計測するためには、試料をその内部に又は上部に配置することが可能であり、且つ、これにより、計測ビームを試料上に導入することができる適切なアクセサリを利用する必要がある。このようなアクセサリは、空間制限に起因して分光計オプティクスの試料領域内に収容することができないため、分光計ハウジングの外部に位置決めする必要があり、その結果、計測ビームが分光計オプティクスの外部において導波されることになる」という記述を含んでいる。
運動可能なコンポーネントを使用しているが試料位置が固定されている組合せ型の赤外線/ラマン顕微鏡システムに関する背景情報については、Sostek他に対して1998年11月24日付けで発行された「OPTICAL INSTRUMENT PROVIDING COMBINED INFRARED AND RAMEN ANALYSIS OF SAMPLES」という名称の米国特許第5,841,139号明細書において記述され、且つ、特許請求されており、これは、「本発明は、分析のための試料のセットアップの後の試料の移動を伴うことなしに、同一の試料に対して顕微鏡赤外線分析及び顕微鏡ラマン分光法を同一の顕微鏡上において実行する能力を提供する」という記述を含んでいる。
従って、ハウジングの領域内において相対的に小型のアクセサリを受け入れるように構成された単一の試料コンパートメントによって提供される透過及び放出(例えば、ラマン及び蛍光)分光法の両方を提供することができる改善された光学分光計に対するニーズが存在している。本発明は、このようなニーズを対象としたものである。
本発明は、透過及び発光分光法において使用される光学計測器を対象としており、この光学計測器は、分光計ハウジングであって、前記分光計ハウジングの壁の内部に配設された単一の試料コンパートメントを有する分光計ハウジングと、単一の試料コンパートメントに結合されたアクセサリであって、第1試料プラットフォーム位置に結合された試料からエミッション(放出又は発光)を生成するように構成された励起源を更に有するアクセサリと、赤外線(IR)透過操作のために構成されるように、第1試料プラットフォーム位置からオフセットされた第2試料プラットフォーム位置と、赤外線(IR)の放射源と、赤外線(IR)の放射源から受け取った放出又は光のいずれかを変調するように、設計された光路に沿って適合された干渉計と、設計された光路に沿って受け取った放出を放出検出器に導波するように、又は赤外線(IR)の光源を設計された光路に沿って導波するように、構成された第1光学要素と、第2プラットフォーム位置に結合された試料を透過した導波された赤外線(IR)光を受け取るように構成されており、且つ、透過した赤外線(IR)光を1つ又は複数の赤外線(IR)検出器に導波するように更に適合されている第2光学要素と、を含む。
本発明の態様による分光計の斜視図を示す。 図1に示されている透過光学構成の更に一般化された図を示す。 図1に示されている放出光学構成の更に一般化された図を示す。 図1に示されているラマンアクセサリ放出光学構成の更に詳細な図を示す。
本明細書における本発明の説明においては、そうではないことが黙示的又は明示的に理解されるか又は主張されていない限り、単数形で出現する用語は、その複数形をも包含しており、且つ、複数形において出現する用語は、その単数形をも包含していることを理解されたい。更には、本明細書に記述されている任意の所与のコンポーネント又は実施形態の場合には、そのコンポーネントについて列挙されている可能な候補又は代替肢のすべては、そうではないことが黙示的又は明示的に理解されるか又は主張されていない限り、一般に、個別に又は相互の組合せにおいて、使用してもよいことを理解されたい。更には、本明細書に示されている図面は、必ずしも描画の縮尺が正確ではなく、要素のいくつかは、本発明の明瞭性のためにのみ、描かれている場合があることを理解されたい。又、対応する又は類似する要素を示すべく、参照符号が様々な図面において反復されている場合もある。更には、そのような候補又は代替肢の任意のリストは、そうではないことが黙示的又は明示的に理解されるか又は主張されていない限り、限定を目的としたものではなく、例示を目的としたものに過ぎないことを理解されたい。更には、そうではないと示されていない限り、本明細書及び請求項において使用されている成分、構成要素、反応条件、又はこれらに類似したものの量を表す数値は、「約」という用語によって修飾されているものと理解する必要がある。
従って、そうではないと示されていない限り、本明細書及び添付の請求項に記述されている数値パラメータは、本明細書において提示されている主題による獲得が求められている望ましい特性に応じて変化しうる近似値である。請求の範囲に対する均等論の適用を制限する試みとしてではないが、最低限、それぞれの数値パラメータは、少なくとも、報告されている有効桁数に鑑み、且つ、通常の丸め法を適用することにより、解釈する必要がある。本明細書に提示されている主題の広範な範囲を表す数値範囲及びパラメータは近似値ではあるが、具体的な例において記述されている数値は、可能な限り正確に報告されている。但し、あらゆる数値は、本質的に、その個々の試験計測において見出される標準偏差の結果として必然的にもたらされる特定の誤差を含んでいる。
図1は、例示用の分光計の光学構成の有益な平面図を示しており、この構成は、少なくとも0.125cm-1のスペクトル分解能により、遠IRにおける150〜400cm-1の、中IRにおける400−4000cm-1の、且つ、近IRにおける4000〜10000cm-1の、赤外線スペクトル範囲において計測するように、且つ、ラマンアクセサリを用いて、約0.8cm-1を上回るスペクトル分解能により、約50〜4000cm-1のスペクトル範囲のラマン信号を計測するように、構成することができる。但し、図1は、参照符号10によって総合的に表記されているように、光学コンポーネント及び経路の詳細を示すものではなく、本発明の原理による1つ又は複数の構成の有益な態様を概略的に示していることに留意されたい。
従って、分光計10は、一般に、分光計10のハウジング1内に、限定を伴うことなしに、ミケルソン干渉計12(破線ボックス内の下線の参照符号によって表記されている)などの変調器と、試料コンパートメント16(こちらも破線ボックス内の下線の参照符号によって表記されている)と、放出検出器20(好ましくは、例えば、液体窒素冷却型NXR Genieゲルマニウム検出器などのラマン検出器)とメインベンチ照射源18(例えば、赤外線源(IR))の間に配設された第1光学方向性手段17と、1つ又は複数のメインベンチ放出検出器24及び24’の間に配設された第2光学方向性手段23を含む。
図1には示されていないが、この構成には、操作者の入力に応じて分光計の動作を制御するためのコンピュータ(図示せず)を含む、様々な個別のコンポーネント、多数のワイヤ配線、及びいくつかの集積回路(IC)を含む、電源、信号処理回路、制御回路などの従来の分光計電子回路を収容する1つ又は複数の印刷回路基板が含まれていることを理解されたい。又、図1には、更なる有益な技法を実現するための外部光学構成も示されてはおらず、これには、限定を伴うことなしに、近赤外(Near InfraRed:NIR)及びガスクロマトグラフ(Gas Chromatography:GC)結合型アクセサリ(図示せず)が含まれる。
但し、図1に明示的に示されているこのような1つのアクセサリ構成は、上流のコンポーネント(例えば、供給源18及び変調器12)からの変調済みの放射を受け取るようにその内部において構成されている減衰全内部反射(Attenuated Total Internal Reflection:ATR)アクセサリ52である。従って、変調済みのエネルギーは、構成された対物レンズ(図示せず)により、通常はATR組立体52からなるゲルマニウム半球体(図示せず)の底部との接触状態にある試料プレーンに位置した試料に対して合焦される。ゲルマニウム半球体と試料の間の境界面から反射した光線(この文脈においては図示せず)は、例えば、フリッパミラー41によってリダイレクトする(向きを変える)ことが可能であり、且つ、検出器プレーン(図示せず)に対して結像させることが可能であり、これは、試料の撮像に対応している。従って、Geの屈折率(n=4)が赤外線顕微鏡の公称倍率を上回る付加的倍率を提供することから、GeのATR技法により、2.5×2.5マイクロメートルの試料エリアなどのエリアからスペクトルを収集する能力を有する本明細書の一実施形態が実現される。重要な留意点として、ハウジング1内に配設されたフリッパミラー構成41により、例えば、先程簡潔に説明したATR、GC、又はNIRの例示用の実施形態などにおける必要に応じたビームの入出力が実現されている。
又、図1には示されていないが説明を要するものとして、変調器12の構成されたビームスプリッタを通じて且つこれから基準レーザービームを導波するためにレーザー電源によってエネルギー供給されているレーザー(例えば、ヘリウムネオンレーザー)が挙げられる。具体的には、基準レーザービームは、図1に示されているように、ミラー32、33の間におけるゼロ交差を、即ち、ゼロ経路差(Zero Path Difference:ZPD)を、判定するための正弦波の供給の際における位置クロックとして動作している。基準レーザービームによって供給される基準正弦波は、調査対象の1つ又は複数の試料のインターフェログラムを生成するための信号検出及び処理回路をトリガするために使用される。基準レーザービームの位相の正確な判定により、後述するように、任意の望ましい検出器位置におけるビーム波形の正確なサンプリングのための運動可能なコンポーネントの位置の正確な判定が実現される。
図1の説明に戻れば、変調器12は、高品質のインターフェログラムデータを生成するために、望ましくは安定した速度によって位相リターンミラー32及び33のいずれか又は両方などの走査部品を運動させるように構成された所与のサーボ制御システム(図示せず)を有する走査型ミケルソンFTIR干渉計として構成することができる。最良の性能を所望する際には、速度の誤差は、動的速度制御サーボシステムにより、限定を伴うことなしに、人々の動き、大声の会話、及び雑音生成装置などの外部振動について補正するための当業者には既知の技法を使用することにより、極小化される。
本出願の有益な透過態様の説明において、メインベンチ照射源18が、詳細に後述する赤外線源(IR、NIR))として構成されている際には、結果的に得られる放射は、第1光学方向性手段17(こちらも、詳細に後述される)を介してシステムアパーチャ36を通じて収束ビーム(図示せず)として導波され、且つ、コリメーティングミラー38によって受け取られる。IR源自体は、限定を伴うことなしに、当業者には既知である連続した帯域の光学放射を放出するように加熱されると共に供給源のハウジングに結合されたワイヤ、金属、又はセラミック要素などの当技術分野において利用されている任意のカスタマイズされた又は従来型の既知の供給源のうちから選択されたランプ又は加熱された赤外線源(参照符号18によって総合的に示されているもの)であってもよい。ミラー38(例えば、コリメーティングミラー)によって反射されたIRビームは、変調器12のビームスプリッタ(弁別可能ではない)に向かって導波される。
この後に、変調器12のビームスプリッタを通過すると共にこれによって反射されたIRビームの各部分は、ビームスプリッタにおいて再度合成され、且つ、コリメートされたビームとしてフラットミラー40まで導波される。ミラー40は、IRビームをプラットフォーム(図示せず)上に構成されている検査対象の試料46まで導波する。このIR検査ビームは、多くの場合に、ミラー50(例えば、パラボラ形ミラー)によって実現された収束ビームである。試料は、試料チャンバ内に、即ち、コンパートメント16内に、配設され、且つ、試料プラットフォーム(図示せず)により、定位置において維持されている。試料46を通過した後に、発散する例示用のIRビームは、第2光学方向性手段23(例えば、後程詳述するパラボラ形ミラー)上に入射し、この第2光学方向性手段23が、波長感度に応じて、このIRビームを、望ましい回路(図示せず)に更に結合されると共にこれと統合されている1つ又は複数のIR検出器24及び24’上に導波し、且つ、合焦する。具体的には、検出器24及び24’は、紫外線(Ultra−Violet:UV)から可視光を通じて最大で遠赤外線(IR)までの範囲をとることができる本発明の特定の波長/撮像などの用途のために使用可能な任意の検出器を有することができることに留意されたい。例示用の検出器は、限定を伴うことなしに、フォトダイオード、CCD、液体窒素冷却型CCDカメラ、二次元アレイ検出器、アバランシェCCD光検出器、及び/若しくは光電倍増管、並びに/又は、点ごとの走査の能力を有するフォトダイオードを含む。又、本明細書に記述されている検出器は、いずれも、検出された信号に対する分光計10の感度を増大させるように設計された望ましい信号処理回路に対して直接的に結合されていることにも留意されたい。更には、本明細書に記述されている供給源から生成される任意の熱は、迅速且つ効果的な放散のために分光計の基部(例えば、アルミニウム基部)内に導かれて伝導によって除去される。
図2は、本発明のこの態様の理解を促進するように、読者に対して異なる教示内容を提供するべく、この場合には参照符号200によって総合的に表記されている透過光学構成の更に一般化された図面を示している。従って、この分光計の透過態様は、一般的に、(いずれもが分光計のハウジング1内に位置した状態において)、ミケルソン干渉計12(破線ボックス内の下線の参照符号によって表記されている)と、試料コンパートメント16(こちらも、この場合にも、破線ボックス内の下線の参照符号によって表記されている)と、放出検出器20(好ましくは、ラマン検出器)とメインベンチ照射源18(例えば、近赤外源(NIR))の間に配設された第1光学方向性手段17と、1つ又は複数のメインベンチ放出検出器24及び24’の間に配設された第2光学方向性手段23を含む。
照射IR源18は、第1光学方向性手段17を介してシステムアパーチャ36を通じて収束ビームとして導波され、且つ、コリメーティングミラー38によって受け取られる。ミラー38(例えば、コリメーティングミラー)によって反射されたIRビームは、変調器12のビームスプリッタ30に向かって導波される。
この後に、変調器12のビームスプリッタを通過すると共にこれによって反射されたIRビームの各部分は、ビームスプリッタ30において再度合成され、且つ、コリメートされたビームとしてフラットミラー40まで導波される。ミラー40は、プラットフォーム(図示せず)上に構成された検査対象の試料46によって最終的に受けとられるように、IRビームをビーム経路Aに沿って導波する。このIR検査ビームは、多くの場合に、ミラー50(例えば、パラボラ形ミラー)によって実現された収束ビーム48である。試料は、試料チャンバ内に、即ち、コンパートメント16内に、配設され、且つ、試料プラットフォーム(図示せず)により、定位置において維持されている。試料46を通過した後に、発散する例示用のIRビームは、第2光学方向性手段23(例えば、パラボラ形の反射表面などの湾曲した表面7を有している)上に入射し、この第2光学方向性手段23は、軸を中心として回転することが可能であり、且つ、従って、用途ごとの設計波長感度に応じて、受け取ったIRビームを1つ又は複数のIR検出器24及び24’上に導波し、且つ、合焦することができる。
供給源からエネルギーを導波する際に、又は検出器を交互に変化させるべく、図2は、回転する(湾曲した二重矢印線によって表記された)モノリシックなギアを有する反射器装置として、第1及び第2光学方向性手段17、23を示している。但し、本発明の範囲を逸脱することなしに、フリップミラーなどのその他の方向性装置を利用することもできることに留意されたい。但し、図2に示されているモノリシックなギアを有する反射器の光学設計は、所与のビーム経路に沿って供給源からエネルギーを容易に導波するための、又は受け取ったエネルギーを1つ又は複数の既定の検出器に向かって導波するための、その適用性に起因し、非常に望ましい。このようなモノリシックなギアを有する反射器17、23は、多くの場合に、所与の円形の断面エリアを有するシャフト4と、コンピュータが結合された制御手段に結合された際に正確且つ望ましい回転を提供するべく第1ギアと噛合するように一体的に構成されたギア歯(図示せず)を有する環状成形部分2とを含む。このようなメカニズム構成によれば、本明細書において記述されると共に利用されているこのような回転自在の装置は、回転を開始することが可能であり、回転方向を変更することが可能であり、且つ、望ましい回転速度で運動することができる。又、反射器17、23は、任意の望ましいミラー化設計を有する焦点のペアF1及びF2(図示せず)を包含可能な設計により、即ち、例えば、パラボラ形、楕円形、又はその他の表面の曲がり7を示す所定程度の偏心度を有する設計により、表面の曲がり7を有するように実施されている。
機械的な支持を提供するべく、図2に示されているように、ギアを有する反射器17及び23から一体的に構成されたシャフト4には、ピン25によって回転自在に支持されるように、中空部分(具体的には表記されていない)が設けられている。又、シャフト4は、シャフト4の回転と、取付フランジ組立体(図示せず)との関係におけるセンタリングと、を実現する軸受組立体(図示されていない)によって更に支持されている。
図3を参照すれば、本発明の放出光学態様を簡単に示すべく、この場合には、参照符号300によって総合的に表記されているこの種の一般的な光学構成が提供されており、これは、図1に示されている構成全体の試料コンパートメント16領域内に装着されるアクセサリを含む。従って、図3は、このようなアクセサリを使用した本発明の放出光学構成部分の実用的な態様に関する相対的に簡単な理解を読者に対して提供するものである。従って、この例示を目的とした例においては、試料コンパートメント16内に位置決めされている試料46が光源56によって直接的に照射されており、この光源56は、多くの場合に、例えば、試料46の蛍光放出又はラマン散乱放出特性を実現するための構成された強力な光源(例えば、1064nmにおいて動作するレーザーなどのレーザー)である。例示用の有益なレーザー源(ファイバ結合されたもの及びオープンビームの両方)は、約630nmから最大で約2400nmの範囲の波長を供給することができるものである。
従って、試料によって放出される光は、ミラー50によって収集され、且つ、当業者には既知のように、必要に応じて、変調器12によって望ましい方式で変調されるように、ビーム経路B(こちらも、方向矢印によって表記されている)に沿って導波される。具体的には、放出ビームの各部分は、変調器12のビームスプリッタ30を通じて導波されると共にこれによって反射され、且つ、コリメートされたビームとしてミラー38まで導波されるように、ビームスプリッタ30において再度合成される。その後に、ミラー38が受け取ったこの変調済みの光は、システムアパーチャ25を通じて導波され、且つ、この受け取った光の検査のために適切な放出検出器20(例えば、ラマン検出器)まで導波されるように、第1光学方向性手段17(例えば、上述のものに類似したギアを有する反射器17)によって収集される。
図4は、この場合には参照符号400によって総合的に表記されている放出(例えば、ラマン)アクセサリの実施形態の更に具体的な図であり、これは、図3において概略的に示されていたものであり、且つ、図1に示されている試料コンパートメント領域16内において、且つ、ハウジング1の壁の領域内において、実装することができる。この更に詳細な図においては、強力な光源417(即ち、レーザー)は、例えば、TEM00空間モードにおいて少なくとも約500mwの光学パワーで1064nmにおいて動作する周波数安定化ダイオードレーザーであってもよい。不透明なパドルに接続された電気的に制御されるソレノイドなどの安全シャッタ(図示せず)が、エネルギー供給された際に、開放することが可能であり、且つ、適宜、閉鎖することができる。このようなシャッタは、シャッタのペアとして動作する際に、アクセサリ400用の安全なインターロックシステムを形成する。帯域通過フィルタ415が、しばしば、増幅誘導放出(Amplified Stimulated Emission:ASE)及びその他のスペクトルアーチファクトをレーザー417から除去するために、利用されている。更には、可変デンシティフィルタ414は、IR透過構成のために使用される試料プラットフォームからオフセットされた試料プラットフォーム上に取り付けられた試料46に対してレーザーパワー(矢印を有する相対的に細い破線によって示されている)を調節するべく、例えば、ステッパモーター(図示せず)によって駆動されるスライド上において運動するように構成されている(二重方向矢印線によって示されている)。この後に、試料46におけるレーザー417のエネルギーのデフォーカスを実現することにより、簡単に燃焼する試料の場合にパワー密度を低減すると共に不均質な試料に跨るなんらかの空間的平均化を提供するように、例えば、フリッパメカニズム(図示せず)により、デフォーカスレンズ413をレーザー417のビームライン中に挿入することができる。この後に、レーザー417からのエネルギーは、反射器412(例えば、ダイクロイック)によって受け取られ、この反射器412は、レーザー光を反射する能力を有するが、カメラ418によって受け取られるように可視光を透過する能力をも有する。更に示されているのは、レーザー417のエネルギーを試料46における焦点にまで導くように構成されたレーザー/ビデオレンズ411であるが、これは、ビデオカメラ(矢印を有する相対的に太い破線によって示されている)を同一の試料46のプレーンにおいて合焦する能力をも有する。ビデオカメラ418によって検査/アライメントされるように、試料46を照射するべく、LED419(例えば、白色光LED)などの光源が配置されている。光(即ち、放出)収集モードにおいては、中央にアパーチャ409’を有する軸外しパラボラ形ミラーなどのミラー409が蛍光/ラマン散乱光を収集する。ミラー409は、ミラー407によって受け取られるように、収集された放出を収束させる。この後に、このような放出は、例えば、エッジフィルタなどのレイリーフィルタ405及び406を通じて導波され、且つ、図1において上述したように、試料コンパートメント内に位置したラマンアクセサリの外部へのこのような放出の導波を可能にするために、折り畳みミラー404まで導かれる。ミラー50(例えば、軸外しの楕円形ミラー)は、図1、図2、及び図3にも示されているメインベンチオプティクスの一部であり、これは、結果的に得られる放出をコリメートされたビーム(Bとして表記されているもの)として変調器12に向って導波する。
最後に、図1に示されているシステム10及び特定のコンポーネントと、本明細書に開示されているその他の実施形態と、は、コンピュータ又はプロセッサ(図示せず)によって動作する能力を有しており、このコンピュータ又はプロセッサは、当業者には既知のように、専用のデジタルコンピュータ又はデジタル信号プロセッサであってもよいことに留意されたい。又、コンピュータ(図示せず)は、多くの場合に、表示画面やプリンタなどの1つ又は複数のその他の出力装置に対して且つ/又はキーボードやインターネット接続などの1つ又は複数のその他の入力装置に対して電子的に結合されている。
従って、結合されたコンピュータ又はプロセッサは、例えば、モノリシックなギアを有する反射器17及び23及び変調器12上において構成された可動ミラーなどの可動部品、センサ、光学要素(例えば、その他の反射器)の制御を調整することが可能であり、且つ/又は、図1の例示用のシステムに内蔵可能な供給源などの電源を投入することができる。又、機械可読媒体(例えば、コンピュータ可読媒体)上において提供されると共に保存されている命令を実行することもできる。本発明の態様によるコンピュータ可読媒体は、当業者によって既知であると共に理解される媒体を意味しており、機械及び/コンピュータによって読取可能な(即ち、走査/検知可能な)且つ機械/コンピュータのハードウェア及び/又はソフトウェアによって解釈可能な形態で提供された符号化された情報を有する。具体的には、コンピュータ可読媒体は、しばしば、限定を伴うことなしに、ローカルハードディスクドライブ、フロッピー(登録商標)ディスク、CD−ROM又はDVD、RAM、ROM、USBメモリ装置、並びに、当業者に既知であると共に当業者によって理解される任意のリモートメモリストレージ装置などのローカル又はリモートメモリストレージ装置でさえも含むことができる。
本明細書において様々な実施形態との関連において記述した特徴は、本発明の精神及び範囲を逸脱することなしに、任意の組合せにおいて混合及び整合させてもよいことを理解されたい。選択された様々な実施形態について詳細に図示及び記述されているが、これらは、例示を目的としており、且つ、本発明の精神及び範囲を逸脱することなしに、様々な置換形態及び変更形態が可能であることを理解されたい。

Claims (16)

  1. 透過及び発光分光法において使用される光学計測器であって、
    分光計ハウジングであって、前記分光計ハウジングの壁の内部に配設された単一の試料コンパートメントを有する分光計ハウジングと、
    前記単一の試料コンパートメントに結合されたアクセサリであって、放出試料プラットフォームに結合された試料から放出を生成するように構成された励起源を更に有するアクセサリと、
    赤外線(IR)透過操作のために構成されるように、前記放出試料プラットフォームからオフセットされた透過試料プラットフォームと、
    赤外線(IR)の放射源と、
    前記放出又は前記赤外線(IR)の放射源から受け取った光のいずれかを変調するように、設計された光路に沿って適合された干渉計と、
    前記設計された光路に沿って受け取った前記放出を放出検出器まで導波するように、又は前記赤外線(IR)の放射源の光を前記設計された光路に沿って導波するように、構成された第1光学要素と、
    前記透過プラットフォームに結合された試料を透過する導波された赤外線(IR)光を受け取るように構成されており、且つ、透過した前記赤外線(IR)光を1つ又は複数の赤外線(IR)検出器まで導波するように更に適合されている第2光学要素と、
    を有する光学計測器。
  2. 前記アクセサリと共に構成された前記励起源は、約630nmから最大で約2400nmまでの放出波長を供給するように構成された供給源を有する請求項1に記載の光学計測器。
  3. 前記アクセサリと共に構成された前記励起源は、約1064nmの放出波長を供給するように構成されたダイオードレーザーを有する請求項2に記載の光学計測器。
  4. 放出試料プラットフォームに結合された前記試料において前記励起源から受け取った光の相互作用によって誘導される前記放出は、蛍光及びラマン光のうちから選択された少なくとも1つの誘導放出を有する請求項1に記載の光学計測器。
  5. 前記アクセサリは、前記励起源から結果的にもたらされるパワーを調節するためのニュートラルデンシティフィルタを更に有する請求項1に記載の光学計測器。
  6. 前記アクセサリは、前記放出試料プラットフォームに結合された前記試料におけるパワー密度を低減するように、前記励起源と共に構成されたデフォーカスレンズを更に有する請求項1に記載の光学計測器。
  7. 前記アクセサリは、増幅された誘導放出及びスペクトルアーチファクトを除去するための望ましい帯域通過フィルタを更に有する請求項1に記載の光学計測器。
  8. 前記アクセサリは、前記望ましい光路に沿って導かれる放出を可能にするため、前記放出試料プラットフォームに結合された前記試料の検査又は前記放出試料プラットフォームに結合された前記試料のアライメントを可能にするように構成された白色光照射源を更に有する請求項1に記載の光学計測器。
  9. 前記アクセサリは、既定の折り畳みオプティクスによって望ましいフィルタリング済みの放出を前記アクセサリの外部へ且つ前記設計された光路に沿うように導くことを可能にするための1つ又は複数のエッジフィルタを更に有する請求項1に記載の光学計測器。
  10. 前記1つ又は複数の赤外線(IR)検出器は、フォトダイオード、CCD、液体窒素冷却型CCDカメラ、二次元アレイ検出器、アバランシェCCD光検出器、光電倍増管、及び点ごとに走査する能力を有するフォトダイオードのうちから選択された少なくとも1つの検出器を有する請求項1に記載の光学計測器。
  11. 前記放出検出器は、ラマン検出器を有する請求項1に記載の光学計測器。
  12. 前記ラマン検出器は、ゲルマニウム検出器を有する請求項11に記載の光学計測器。
  13. 前記第1光学要素及び前記第2光学要素は、ギアを有する反射器を更に有する請求項1に記載の光学計測器。
  14. 前記ギアを有する反射器は、楕円形表面、パラボラ形表面、ドーナツ形表面、及び平坦な表面のうちから選択された少なくとも1つの表面を有する光反射表面を更に有する請求項13に記載の光学計測器。
  15. 前記光学計測器は、少なくとも約0.125cm-1のスペクトル分解能により、遠赤外線(IR)における150cm-1〜約400cm-1の、中赤外線(IR)における約400cm-1〜約4000cm-1の、且つ、近赤外線における約4000cm-1〜約10000cm-1の、赤外線スペクトル範囲内において計測するように構成されている請求項1に記載の光学計測器。
  16. 前記アクセサリを用いて、前記光学計測器は、少なくとも約0.8cm-1のスペクトル分解能により、約50cm-1〜約4000cm-1の範囲のラマン信号を計測するように構成されている請求項1に記載の光学計測器。
JP2014529943A 2011-09-08 2012-09-10 放出及び透過光学分光計 Active JP6113730B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161532505P 2011-09-08 2011-09-08
US61/532,505 2011-09-08
PCT/US2012/054456 WO2013036927A1 (en) 2011-09-08 2012-09-10 Emission and transmission optical spectrometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014526686A JP2014526686A (ja) 2014-10-06
JP6113730B2 true JP6113730B2 (ja) 2017-04-12

Family

ID=46940595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014529943A Active JP6113730B2 (ja) 2011-09-08 2012-09-10 放出及び透過光学分光計

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9121755B2 (ja)
JP (1) JP6113730B2 (ja)
CN (1) CN103782141B (ja)
DE (1) DE112012003756B4 (ja)
GB (1) GB2508563B (ja)
WO (1) WO2013036927A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10088464B2 (en) * 2015-06-16 2018-10-02 Lunatech, Llc Systems and methods for analyzing pharmaceuticals
JP6107915B1 (ja) * 2015-10-30 2017-04-05 株式会社Sumco 顕微ラマン分光分析装置による分析方法
DE102016226212A1 (de) * 2016-12-23 2018-06-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Analyseeinrichtung
WO2018102470A1 (en) * 2016-11-29 2018-06-07 Anasys Instruments Corporation Method and apparatus for chemical imaging atomic force microscope infrared spectroscopy
NL2018855B1 (en) 2017-05-05 2018-11-14 Illumina Inc Laser line illuminator for high throughput sequencing
CN107091828B (zh) * 2017-05-23 2020-10-20 国家纳米科学中心 一种冷冻低波数拉曼光谱测试系统及其测试方法
CN110770551B (zh) * 2017-07-14 2022-04-15 热电科学仪器有限公司 用于红外光谱测定的高级参考检测器
WO2019092772A1 (ja) * 2017-11-07 2019-05-16 株式会社島津製作所 赤外分光光度計用付属品
CN118076879A (zh) * 2021-08-31 2024-05-24 株式会社岛津制作所 显微拉曼装置
CN118159811A (zh) * 2021-09-14 2024-06-07 株式会社岛津制作所 傅里叶变换红外分光光度计
WO2024073815A1 (en) * 2022-10-06 2024-04-11 Rapid Phenotyping Pty Limited Reflective optical element and uses thereof
CN116297284B (zh) * 2023-05-18 2023-08-11 杭州泽天春来科技有限公司 傅里叶红外光谱仪

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH071229B2 (ja) * 1989-12-01 1995-01-11 日本電子株式会社 フーリエ変換ラマン散乱分光測定における励起光照射法
DE4233192C2 (de) 1992-10-02 1996-07-11 Bruker Analytische Messtechnik Fourierspektrometer
US5553616A (en) * 1993-11-30 1996-09-10 Florida Institute Of Technology Determination of concentrations of biological substances using raman spectroscopy and artificial neural network discriminator
US5455673A (en) * 1994-05-27 1995-10-03 Eastman Chemical Company Apparatus and method for measuring and applying a convolution function to produce a standard Raman spectrum
US5841139A (en) * 1997-02-28 1998-11-24 Bio-Rad Laboratories, Inc. Optical instrument providing combined infrared and Ramen analysis of samples
US6198531B1 (en) * 1997-07-11 2001-03-06 University Of South Carolina Optical computational system
US6061134A (en) * 1998-05-22 2000-05-09 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Modulated Fourier Transform Raman fiber-optic spectroscopy
JP2002005835A (ja) * 2000-06-23 2002-01-09 宏夫 ▲浜▼口 ラマン分光測定装置及びそれを用いた生体試料分析方法
TW510964B (en) * 2001-11-21 2002-11-21 Ind Tech Res Inst Spectrum measuring device for infrared spectrum, Raman spectrum and fluorescent spectrum
JP4237457B2 (ja) * 2002-09-03 2009-03-11 日本分光株式会社 赤外顕微鏡
JP2004125712A (ja) * 2002-10-04 2004-04-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 分光分析装置
JP2004279352A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Tochigi Nikon Corp テラヘルツ光を用いた測定装置
WO2004111621A1 (en) * 2003-06-19 2004-12-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Analysis apparatus and method comprising auto-focusing means
US7158545B2 (en) * 2003-09-12 2007-01-02 Massachusetts Institute Of Technology Terahertz lasers and amplifiers based on resonant optical phonon scattering to achieve population inversion
US7518728B2 (en) * 2005-09-30 2009-04-14 Intel Corporation Method and instrument for collecting fourier transform (FT) Raman spectra for imaging applications
WO2008042766A1 (en) * 2006-09-29 2008-04-10 Chemimage Corporation Spectral imaging system
GB0812926D0 (en) * 2008-07-15 2008-08-20 Assaymetrics Ltd Spectrometer and method of operating a spectrometer
EP2361377B1 (en) * 2008-10-31 2018-01-31 Biomerieux, Inc Method for identification of microorganisms using raman spectroscopy

Also Published As

Publication number Publication date
CN103782141A (zh) 2014-05-07
DE112012003756T5 (de) 2014-09-18
CN103782141B (zh) 2017-05-17
GB201404949D0 (en) 2014-04-30
DE112012003756B4 (de) 2022-03-10
US9121755B2 (en) 2015-09-01
GB2508563B (en) 2018-04-11
US20130063714A1 (en) 2013-03-14
JP2014526686A (ja) 2014-10-06
WO2013036927A1 (en) 2013-03-14
GB2508563A (en) 2014-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6113730B2 (ja) 放出及び透過光学分光計
JP5092104B2 (ja) 分光測定装置、及び分光測定方法
US7595873B1 (en) Rapid spatial averaging over an extended sample in a Raman spectrometer
Nevas et al. Gonioreflectometer for measuring spectral diffuse reflectance
JP2001033384A (ja) 多走査ビーム反射率を用いる粒子評価のための方法および装置
WO2020075548A1 (ja) 顕微分光装置、及び顕微分光方法
US8514394B2 (en) Spectrograph having multiple wavelength ranges for high resolution raman spectroscopy
US20100014076A1 (en) Spectrometric apparatus for measuring shifted spectral distributions
JP2006194812A (ja) 分光蛍光光度計
US20170045397A1 (en) Device for analysing a specimen and corresponding method
CN113552090A (zh) 一种基于微型扫描光栅微镜的近红外荧光光谱仪
US9551612B2 (en) Tandem dispersive range monochromator
US9295420B2 (en) Transmission-reflectance swappable Raman probe for physiological detections
WO2020094429A1 (en) Multicolor optical resonator for imaging methods
Morris et al. Portable high-resolution laser monochromator–interferometer with multichannel electronic readout
Kirchner et al. All-reflective UV-VIS-NIR transmission and fluorescence spectrometer for μm-sized samples
JP2006300808A (ja) ラマン分光測定装置
JP2013148542A (ja) 蛍光測定装置
JP5363976B2 (ja) 反射率測定による特性評価の測定装置と方法
Shaw et al. The design of the new NPL reference spectrofluorimeter
Zarobila et al. Supercontinuum fiber laser source for reflectance calibrations in remote sensing
CN204064886U (zh) 远红外光谱扫描仪
Otto et al. Packaging and characterization of miniaturized spectral sensing devices
RU2640751C2 (ru) Устройство для регистрации эмиссии образца в среднем диапазоне инфракрасного спектра
SU991272A1 (ru) Фокусирующий спектрометр ультрам гкого рентгеновского излучени

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150903

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160623

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160629

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160929

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170213

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170315

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6113730

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250