CN116297284B - 傅里叶红外光谱仪 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及傅里叶红外光谱仪，包括红外光源、干涉仪、样品室、红外检测器、激光器、激光检测器、处理器和上位机，红外检测器用于输出红外检测信号，激光检测器用于输出激光检测信号，处理器包括FPGA、第一A/D转换器、第二A/D转换器和高通滤波器，激光检测信号输入高通滤波器以输出平均值为零附近的正弦波信号，红外检测信号和正弦波信号分别输入第一A/D转换器、第二A/D转换器，第一A/D转换器和第二A/D转换器的输出接入FPGA以采集取样点；FPGA将采集得到的取样点传输至上位机直至扫描结束，上位机对所有取样点构成的干涉图进行傅里叶变换，得到光谱图。本发明采用数字信号处理的方法实现干涉图信号采集。
Description
技术领域
本发明属于光学检测分析技术领域，具体涉及一种傅里叶红外光谱仪。
背景技术
傅里叶红外光谱仪主要由红外光源、干涉仪、样品池、检测器、计算机控制单元及光谱软件等组成。傅里叶红外光谱仪的核心部件是迈克尔逊干涉仪或其他各类改进型的干涉仪，并通过傅里叶数学变换，把时间域函数图变换为频率域函数图。
迈克尔逊干涉仪光学系统主要是由光源、固定反射镜（定镜）、移动反射镜（动镜）、分光束器及检测器等部件组成。传统的迈克尔逊干涉仪对光的调制是靠镜面的机械扫描运动来实现，从光源发出的红外光，经过分光束器分为两束，分别经定镜和动镜反射后抵达检测器并产生干涉现象。若光源发出一单色光，其波长为λ，频率为ν，通过分光束器，可将该束光一分为二，分别透过及反射到动镜和定镜上，随后两束反射光被检测器捕捉。当动镜、定镜反射光到达检测器的光程差为1/2λ的偶数倍时，相干光相互叠加，其强度为最大值；当动镜、定镜反射光到达检测器的光程差为1/2λ的奇数倍时，相干光抵消，其强度为最小值。
当连续改变动镜的位置时，可在检测器得到一个干涉强度对光程差和红外光频率的函数图，多色光源的图谱就是相对应于每个频率的单色光源的干涉谱之和，即红外光源的干涉图，再通过傅里叶变换数学运算最终得到被测组分的光谱图。由于计算机只能对数字化的干涉图进行傅里叶变换，因此需要进行间隔取点采样。
在光谱测量过程中，数据的采集通过He-Ne激光器（即氦氖激光器）控制。在干涉仪的动镜移动过程中，He-Ne激光光束和红外光光束一起通过分束器，有一个独立的检测器（光电二极管）检测从分束器出来的激光干涉信号。He-Ne激光的光谱带宽非常窄，有非常好的相干性。He-Ne激光干涉图在动镜移动过程中是一个不断延伸的余弦波，波长为0.6328μm。干涉图数据信号的采集是用激光干涉信号触发的，每经过一个He-Ne激光干涉图的余弦波采集一个数据点，数据点间隔的光程差为0.6328μm，即干涉仪的动镜每移动0.3164μm采集一个数据点。
激光干涉仪用于监测动镜的移动速度并决定动镜移动的距离。样品扫描测量中，动镜移动要平稳且需速度均匀，否则光谱噪声增加，谱图发生畸变。通常采用激光干涉仪和主干涉仪同轴设计，共用一个动镜。当动镜速度发生变化时，将会引起激光干涉图频率的改变，变化的信息即可传到驱动机构的伺服系统，控制器即会自动调整动镜速度，保证动镜平稳匀速运动，干涉仪动镜移动距离由激光干涉仪和一个二进制计数器来控制。扫描开始时，触发信号启动计数器工作，达到预定值，动镜返回，然后通过激光回扫相位差确定采样初始位置后，开始第二次扫描。针对上述传统的采样方法，动镜的移动速度必须相对匀速，且速度受限，通常不超过10cm/s。
发明内容
基于现有技术中存在的上述缺点和不足，本发明的目的之一是至少解决现有技术中存在的上述问题之一或多个，换言之，本发明的目的之一是提供满足前述需求之一或多个的一种傅里叶红外光谱仪。
为了达到上述发明目的，本发明采用以下技术方案：
一种傅里叶红外光谱仪，包括红外光源、干涉仪、样品室、红外检测器、激光器、激光检测器、处理器和上位机，红外检测器用于输出红外检测信号，激光检测器用于输出激光检测信号，所述处理器包括FPGA、第一A/D转换器、第二A/D转换器和高通滤波器，激光检测信号输入高通滤波器进行高通滤波以得到平均值为零附近的正弦波信号，红外检测信号和正弦波信号分别输入第一A/D转换器、第二A/D转换器，第一A/D转换器和第二A/D转换器的输出接入FPGA进行信号处理，以采集取样点；
FPGA将采集得到的取样点传输至上位机直至扫描结束，上位机对所有取样点构成的干涉图进行傅里叶变换，得到光谱图。
作为优选方案，所述FPGA具有五个寄存器，分别用于存储标志位m、红外信号波峰值max1、红外信号波谷值min1、激光信号波峰值max2、激光信号波谷值min2。
作为优选方案，所述FPGA进行信号处理的过程包括以下步骤：
（1）扫描开始前先对寄存器复位：m=0、max1=0、min1=0、max2=0、min2=0；
当正弦波信号进入正弦波下半周期，赋值m=1；当正弦波信号进入正弦波上半周期，赋值m=2；
（2）扫描开始；
（3）判断正弦波信号的信号值ad2是否大于0，若是，则赋值m=2；之后将ad2与max2进行比较，若ad2>max2，则赋值max2=ad2；若ad2≤max2，则不赋值；直至判断至正弦波信号的波峰，将正弦波信号的波峰同步对应的红外检测信号的信号值ad1作为红外信号波峰值max1的赋值，并作为取样点；
判断正弦波信号的信号值ad2是否小于0，若是，则赋值m=1；之后将ad2与min2进行比较，若ad2<min2，则赋值min2=ad2；若ad2≥min2，则不赋值；直至判断至正弦波信号的波谷，将正弦波信号的波谷同步对应的红外检测信号的信号值ad1作为红外信号波谷值min1的赋值，并作为取样点；
当m=1且同时正弦波信号的信号值ad2>0时，为一个周期的终点，若满足，则上传寄存器中max1和min1的值至上位机；
重复上述步骤（3），直至扫描结束。
作为优选方案，所述激光器为氦氖激光器或半导体激光器。
作为优选方案，所述第一A/D转换器、第二A/D转换器的采样速率不小于10MHz。
作为优选方案，所述干涉仪为迈克尔逊干涉仪。
作为优选方案，所述迈克尔逊干涉仪的动镜的移动速度不小于100cm/s。
作为优选方案，所述迈克尔逊干涉仪的动镜的移动速度匀速或不匀速。
作为优选方案，傅里叶红外光谱仪用于气体、固体或液体分析。
本发明与现有技术相比，有益效果是：
本发明的傅里叶红外光谱仪采用数字信号处理的方法实现干涉图信号采集，有效提升采集能力，使动镜的移动速度不再需要匀速，且速度可达到100cm/s以上，有效提升检测分析效率。
附图说明
图1是本发明实施例1的傅里叶红外光谱仪的构架图；
图2是本发明实施例1的FPGA的信号处理的流程图；
图3是本发明实施例1的FPGA的采集取样点的原理示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施例，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
实施例1：
本实施例的傅里叶红外光谱仪用于气体的光谱分析，如图1所示，本实施例的傅里叶红外光谱仪，包括红外光源、干涉仪、待测气体室、红外检测器、激光器、激光检测器、处理器和上位机。
其中，激光器为氦氖激光器，干涉仪为迈克尔逊干涉仪。
本实施例的干涉仪的作用为：使红外光和激光都形成干涉。激光器和红外光源发出的激光和红外光都被分束器拆分成两束光，再经过动镜、定镜的反射，两束光又交汇在一起，而且由于动镜来回移动，相位一直在变化，定镜的相位固定不变，这样就形成了一个连续的不同相位差的干涉图谱。上述激光和红外光的干涉图分别被激光检测器和红外检测器记录得到激光检测信号和红外检测信号。上述各器件的具体结构以及工作原理可参考现有技术，在此不赘述。
本实施例的红外检测器输出的红外检测信号和激光检测器输出的激光检测信号传输至处理器进行信号处理，以进行取样点的采集。具体地，本实施例的处理器包括FPGA、第一A/D转换器、第二A/D转换器和高通滤波器，激光检测信号输入高通滤波器进行高通滤波以得到平均值为零附近的正弦波信号，红外检测信号和正弦波信号分别输入第一A/D转换器、第二A/D转换器，第一A/D转换器和第二A/D转换器的输出接入FPGA进行取样点的采集。
具体地，本实施例的FPGA具有五个寄存器，分别用于存储标志位m、红外信号波峰值max1、红外信号波谷值min1、激光信号波峰值max2、激光信号波谷值min2。
如图2和图3所示，上述FPGA采集取样点的过程具体包括以下步骤：
（1）扫描开始前先对寄存器复位：m=0、max1=0、min1=0、max2=0、min2=0；
当正弦波信号进入正弦波下半周期，赋值m=1；当正弦波信号进入正弦波上半周期，赋值m=2；
（2）扫描开始；
（3）判断正弦波信号的信号值ad2是否大于0，若是，则赋值m=2；之后将ad2与max2进行比较，若ad2>max2，则赋值max2=ad2；若ad2≤max2，则不赋值；直至判断至正弦波信号的波峰，即此时确定最终的激光信号波峰值max2，将正弦波信号的波峰同步对应的红外检测信号的信号值ad1作为红外信号波峰值max1的赋值（即max1=ad1），并作为取样点；
判断正弦波信号的信号值ad2是否小于0，若是，则赋值m=1；之后将ad2与min2进行比较，若ad2<min2，则赋值min2=ad2；若ad2≥min2，则不赋值；直至判断至正弦波信号的波谷，即此时确定最终的激光信号波谷值min2，将正弦波信号的波谷同步对应的红外检测信号的信号值ad1作为红外信号波谷值min1的赋值，并作为取样点；
当m=1且同时正弦波信号的信号值ad2>0时，为一个周期的终点，若满足，则上传寄存器中max1和min1的值至上位机；
重复上述步骤（3），直至扫描结束。
本实施例的上位机对所有取样点构成的干涉图进行傅里叶变换，得到光谱图。
其中，本实施例的第一A/D转换器、第二A/D转换器的采样速率不小于10MHz，实现高速采样，提升采样效率。
本实施例的傅里叶红外光谱仪采用上述数字信号处理方法实现干涉图信号采集，如此设计，迈克尔逊干涉仪的动镜的移动速度不再需要匀速，且移动速度可达到100cm/s以上，具体移动速度可根据硬件配置性能进行确定。
实施例2：
本实施例的傅里叶红外光谱仪与实施例1的不同之处在于：
迈克尔逊干涉仪的动镜的移动速度也可以匀速，具体可根据实际应用需求进行确定；
其他构架可以参考实施例1。
实施例3：
本实施例的傅里叶红外光谱仪与实施例1的不同之处在于：
傅里叶红外光谱仪还可以用于固体或液体的分析，相应的样品室以及相关器件进行调整即可，具体可参考现有技术中针对固体或液体光谱分析的器件；激光器还可选用半导体激光器；
其他构架可以参考实施例1。
以上所述仅是对本发明的优选实施例及原理进行了详细说明，对本领域的普通技术人员而言，依据本发明提供的思想，在具体实施方式上会有改变之处，而这些改变也应视为本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种傅里叶红外光谱仪，包括红外光源、干涉仪、样品室、红外检测器、激光器、激光检测器、处理器和上位机，红外检测器用于输出红外检测信号，激光检测器用于输出激光检测信号，其特征在于，所述处理器包括FPGA、第一A/D转换器、第二A/D转换器和高通滤波器，激光检测信号输入高通滤波器进行高通滤波以得到平均值为零附近的正弦波信号，红外检测信号和正弦波信号分别输入第一A/D转换器、第二A/D转换器，第一A/D转换器和第二A/D转换器的输出接入FPGA进行信号处理，以采集取样点；
FPGA将采集得到的取样点传输至上位机直至扫描结束，上位机对所有取样点构成的干涉图进行傅里叶变换，得到光谱图；
所述FPGA具有五个寄存器，分别用于存储标志位m、红外信号波峰值max1、红外信号波谷值min1、激光信号波峰值max2、激光信号波谷值min2；
所述FPGA进行信号处理的过程包括以下步骤：
（1）扫描开始前先对寄存器复位：m=0、max1=0、min1=0、max2=0、min2=0；
当正弦波信号进入正弦波下半周期，赋值m=1；当正弦波信号进入正弦波上半周期，赋值m=2；
（2）扫描开始；
（3）判断正弦波信号的信号值ad2是否大于0，若是，则赋值m=2；之后将ad2与max2进行比较，若ad2>max2，则赋值max2=ad2；若ad2≤max2，则不赋值；直至判断至正弦波信号的波峰，将正弦波信号的波峰同步对应的红外检测信号的信号值ad1作为红外信号波峰值max1的赋值，并作为取样点；
判断正弦波信号的信号值ad2是否小于0，若是，则赋值m=1；之后将ad2与min2进行比较，若ad2<min2，则赋值min2=ad2；若ad2≥min2，则不赋值；直至判断至正弦波信号的波谷，将正弦波信号的波谷同步对应的红外检测信号的信号值ad1作为红外信号波谷值min1的赋值，并作为取样点；
当m=1且同时正弦波信号的信号值ad2>0时，为一个周期的终点，若满足，则上传寄存器中max1和min1的值至上位机；
重复上述步骤（3），直至扫描结束。
2.根据权利要求1所述的一种傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述激光器为氦氖激光器或半导体激光器。
3.根据权利要求1所述的一种傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述第一A/D转换器、第二A/D转换器的采样速率不小于10MHz。
4.根据权利要求1所述的一种傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述干涉仪为迈克尔逊干涉仪。
5.根据权利要求4所述的一种傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪的动镜的移动速度不小于100cm/s。
6.根据权利要求4所述的一种傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪的动镜的移动速度匀速或不匀速。
7.根据权利要求1所述的一种傅里叶红外光谱仪，其特征在于，用于气体、固体或液体分析。
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116662789B (zh) * | 2023-07-31 | 2023-10-27 | 杭州泽天春来科技有限公司 | 傅里叶红外光谱仪的信号处理方法、系统及可读存储介质 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006125971A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Jasco Corp | フーリエ変換分光光度計 |
| CN102192784A (zh) * | 2010-02-16 | 2011-09-21 | 安捷伦科技有限公司 | 干涉仪阶梯扫描系统和方法 |
| WO2013179572A1 (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | コニカミノルタ株式会社 | フーリエ変換型分光計およびフーリエ変換型分光方法 |
| CN103782141A (zh) * | 2011-09-08 | 2014-05-07 | 热电科学仪器有限公司 | 发射和透射光谱仪 |
| CN109186767A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-11 | 天津大学 | 一种软件触发的傅里叶变换光谱仪中干涉图采样方法 |
| CN109781650A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-21 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种基于ftir光谱仪的数据采集装置 |
| CN112345077A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-02-09 | 中北大学南通智能光机电研究院 | 一种弹光调制型傅里叶变换光谱仪光程差实时定标方法 |
| CN112567196A (zh) * | 2018-09-03 | 2021-03-26 | 株式会社岛津制作所 | 干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪 |
| CN115389445A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-11-25 | 杭州泽天春来科技有限公司 | 傅里叶红外干涉仪的控制方法、系统及可读存储介质 |
-
2023
- 2023-05-18 CN CN202310559329.0A patent/CN116297284B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006125971A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Jasco Corp | フーリエ変換分光光度計 |
| CN102192784A (zh) * | 2010-02-16 | 2011-09-21 | 安捷伦科技有限公司 | 干涉仪阶梯扫描系统和方法 |
| CN103782141A (zh) * | 2011-09-08 | 2014-05-07 | 热电科学仪器有限公司 | 发射和透射光谱仪 |
| WO2013179572A1 (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | コニカミノルタ株式会社 | フーリエ変換型分光計およびフーリエ変換型分光方法 |
| CN112567196A (zh) * | 2018-09-03 | 2021-03-26 | 株式会社岛津制作所 | 干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪 |
| CN109186767A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-11 | 天津大学 | 一种软件触发的傅里叶变换光谱仪中干涉图采样方法 |
| CN109781650A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-21 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种基于ftir光谱仪的数据采集装置 |
| CN112345077A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-02-09 | 中北大学南通智能光机电研究院 | 一种弹光调制型傅里叶变换光谱仪光程差实时定标方法 |
| CN115389445A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-11-25 | 杭州泽天春来科技有限公司 | 傅里叶红外干涉仪的控制方法、系统及可读存储介质 |
Non-Patent Citations (1)
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| 郝建明 ; 鲁昌华 ; 蒋薇薇 ; .傅里叶变换红外光谱仪干涉信号采集技术研究.自动化技术与应用.2016,(第10期),第2-3节. * |
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