DK125169B - Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. - Google Patents
Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.Info
- Publication number
- DK125169B DK125169B DK173863AA DK173863A DK125169B DK 125169 B DK125169 B DK 125169B DK 173863A A DK173863A A DK 173863AA DK 173863 A DK173863 A DK 173863A DK 125169 B DK125169 B DK 125169B
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- layers
- coating
- substrate
- different materials
- exact thickness
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US187341A US3227133A (en) | 1962-04-13 | 1962-04-13 | Multiple layer coating and cleaning |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DK125169B true DK125169B (da) | 1973-01-08 |
Family
ID=22688579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DK173863AA DK125169B (da) | 1962-04-13 | 1963-04-10 | Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3227133A (pl) |
AT (1) | AT247097B (pl) |
BE (1) | BE630728A (pl) |
CH (1) | CH414303A (pl) |
DE (1) | DE1298833B (pl) |
DK (1) | DK125169B (pl) |
GB (1) | GB979700A (pl) |
LU (1) | LU43540A1 (pl) |
NL (1) | NL291466A (pl) |
SE (1) | SE300173B (pl) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3277865A (en) * | 1963-04-01 | 1966-10-11 | United States Steel Corp | Metal-vapor source with heated reflecting shield |
US3467057A (en) * | 1966-07-27 | 1969-09-16 | Hitachi Ltd | Electron beam evaporator |
CA997228A (en) * | 1972-06-27 | 1976-09-21 | Hans-Juergen C. Blume | Deposition of films |
DE2917841A1 (de) * | 1979-05-03 | 1980-11-13 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen |
DE3200848C2 (de) * | 1982-01-14 | 1984-09-27 | GfO Gesellschaft für Oberflächentechnik mbH, 7070 Schwäbisch Gmünd | Vorrichtung zum Beschicken von Verdampfern in Aufdampfanlagen |
DE3316554C1 (de) * | 1983-05-06 | 1984-07-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Verdampfervorrichtung mit Strahlheizung zum Aufdampfen mehrerer Materialien |
CH663037A5 (de) * | 1985-02-05 | 1987-11-13 | Balzers Hochvakuum | Dampfquelle fuer vakuumbeschichtungsanlagen. |
GB8726639D0 (en) * | 1987-11-13 | 1987-12-16 | Vg Instr Groups Ltd | Vacuum evaporation & deposition |
DE102004006849B4 (de) * | 2004-02-12 | 2011-06-01 | Ald Vacuum Technologies Ag | Vorrichtung zum Beschichten von Substraten |
DE102010017896A1 (de) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | Ald Vacuum Technologies Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten nach dem EB/PVD-Verfahren |
EP2868768B1 (en) | 2013-10-29 | 2021-06-16 | Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon | Shutter system |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE895086C (de) * | 1942-04-15 | 1953-10-29 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung metallischer Niederschlaege durch thermische Verdampfung |
DE882174C (de) * | 1942-10-07 | 1953-07-06 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum Verdampfen von Stoffen im Vakuum mittels Elektronenstrahlen |
US2482329A (en) * | 1946-05-27 | 1949-09-20 | Rca Corp | Apparatus for selective vapor coating |
GB754102A (en) * | 1951-06-22 | 1956-08-01 | Edwards & Co London Ltd W | Improvements in or relating to a method and apparatus for vapourising materials, forexample, metal in vacuum |
CH311812A (de) * | 1951-11-05 | 1955-12-15 | Zeiss Carl Fa | Aufdampfeinrichtung. |
BE514927A (pl) * | 1952-01-22 | |||
US2932588A (en) * | 1955-07-06 | 1960-04-12 | English Electric Valve Co Ltd | Methods of manufacturing thin films of refractory dielectric materials |
DE1072451B (de) * | 1955-07-06 | 1960-06-02 | English Electric Valve Company Limited, London | Vorrichtung zur Herstellung von Überzügen durch Vakuumaufdampfen |
DE1054802B (de) * | 1956-03-05 | 1959-04-09 | Westinghouse Electric Corp | Verfahren zur Verdampfung von Stoffen, insbesondere zur Erzeugung der UEbergangszonen (junctions) von Transistoren |
US3046936A (en) * | 1958-06-04 | 1962-07-31 | Nat Res Corp | Improvement in vacuum coating apparatus comprising an ion trap for the electron gun thereof |
-
0
- NL NL291466D patent/NL291466A/xx unknown
-
1962
- 1962-04-13 US US187341A patent/US3227133A/en not_active Expired - Lifetime
-
1963
- 1963-03-28 AT AT248863A patent/AT247097B/de active
- 1963-04-02 GB GB13026/63A patent/GB979700A/en not_active Expired
- 1963-04-02 SE SE3631/63A patent/SE300173B/xx unknown
- 1963-04-05 CH CH436763A patent/CH414303A/de unknown
- 1963-04-06 DE DET23798A patent/DE1298833B/de active Pending
- 1963-04-08 BE BE630728D patent/BE630728A/xx unknown
- 1963-04-10 DK DK173863AA patent/DK125169B/da unknown
- 1963-04-11 LU LU43540D patent/LU43540A1/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AT247097B (de) | 1966-05-25 |
SE300173B (pl) | 1968-04-08 |
LU43540A1 (pl) | 1963-06-11 |
US3227133A (en) | 1966-01-04 |
CH414303A (de) | 1966-05-31 |
BE630728A (pl) | 1963-11-04 |
DE1298833B (de) | 1969-07-03 |
GB979700A (en) | 1965-01-06 |
NL291466A (pl) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DK111008B (da) | Fremgangsmåde ved formning af et ved varme blødgjort materiale til grupper af filamenter samt apparat til udøvelse af denne fremgangsmåde. | |
DK125169B (da) | Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. | |
DK137438B (da) | Fremgangsmåde til fremstilling af en hul genstand og apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK107900C (da) | Fremgangsmåde til fremstilling af såkaldte sandwich-laminater samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK110100C (da) | Fremgangsmåde til formaling af hårde materialer og apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. | |
DK125070B (da) | Fremgangsmåde og apparat til overtrækning af en genstand med flere lag af flydende overtræksmaterialer. | |
DK115432B (da) | Fremgangsmåde til automatisk og kontinuerlig måling af tykkelsen af et lag. | |
DK123001B (da) | Fremgangsmåde til elektrostatisk påføring af et lag af et pulverformet materiale på en overflade samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK132787C (da) | Fremgangsmade ved formning af en klods af trefinerer, samt apparat til udovelse af fremgangsmaden | |
DK121282B (da) | Fremgangsmåde til tæt sammenføjning ag genstande af et tyndt foliemateriale, fortrinsvis en dåse og dennes låg samt apparat tol udøvelse af denne fremgangsmåde. | |
DK134470B (da) | Fremgangsmåde til overtrækning af bevægede underlag med en termoplastisk folie, samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK105252C (da) | Fremgangsmåde ved påføring af påsmeltningsmaterialer og apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK102935C (da) | Fremgangsmåde ved skrælning og sonderdeling af finér samt apparat til udførelse af fremgangsmåden. | |
DK112888B (da) | Apparat til dannelse af tynde lag af et metal på et isolerende underlag. | |
DK91681C (da) | Fremgangsmåde og apparat til fremstilling af overtrukne tabletter. | |
DK107306C (da) | Fremgangsmåde til chargevis overtrækning af pharmaceutiske tabletter og apparat til udførelse af fremgangsmåden. | |
DK108457C (da) | Fremgangsmåde og apparat til overfladebelægning af elektriske komponenter. | |
DK98711C (da) | Fremgangsmåde til fremstilling af flerelags rudeelementer og apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. | |
DK106599C (da) | Fremgangsmåde til indpresning af en afstivningsvæske eller -grød i jordlag samt et apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK86248C (da) | Fremgangsmåde ved overtrækning af overfladen på stive genstande med et lag formstof og apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK123832B (da) | Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. | |
DK97725C (da) | Fremgangsmåde ved fremstilling af flerelags rudeelementer og apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. | |
DK93227C (da) | Apparat til afsætning af et antal adskilte tynde lag af viskose materialer langs nøjagtigt begrænsede arealer på et ark. | |
DK95604C (da) | Fremgangsmåde og apparat til formning af genstande af polytetraflourethylen-harpiks. | |
DK88515C (da) | Fremgangsmåde ved udførelse af lokale bearbejdninger langs et kontinuerligt fremadbevæget materialebånd, samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. |