DK125169B - Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. - Google Patents

Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.

Info

Publication number
DK125169B
DK125169B DK173863AA DK173863A DK125169B DK 125169 B DK125169 B DK 125169B DK 173863A A DK173863A A DK 173863AA DK 173863 A DK173863 A DK 173863A DK 125169 B DK125169 B DK 125169B
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
layers
coating
substrate
different materials
exact thickness
Prior art date
Application number
DK173863AA
Other languages
Danish (da)
English (en)
Inventor
M Anderson
R Shrader
M Tyler
Original Assignee
Air Reduction
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Reduction filed Critical Air Reduction
Publication of DK125169B publication Critical patent/DK125169B/da

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
DK173863AA 1962-04-13 1963-04-10 Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde. DK125169B (da)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US187341A US3227133A (en) 1962-04-13 1962-04-13 Multiple layer coating and cleaning

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK125169B true DK125169B (da) 1973-01-08

Family

ID=22688579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK173863AA DK125169B (da) 1962-04-13 1963-04-10 Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.

Country Status (10)

Country Link
US (1) US3227133A (pl)
AT (1) AT247097B (pl)
BE (1) BE630728A (pl)
CH (1) CH414303A (pl)
DE (1) DE1298833B (pl)
DK (1) DK125169B (pl)
GB (1) GB979700A (pl)
LU (1) LU43540A1 (pl)
NL (1) NL291466A (pl)
SE (1) SE300173B (pl)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3277865A (en) * 1963-04-01 1966-10-11 United States Steel Corp Metal-vapor source with heated reflecting shield
US3467057A (en) * 1966-07-27 1969-09-16 Hitachi Ltd Electron beam evaporator
CA997228A (en) * 1972-06-27 1976-09-21 Hans-Juergen C. Blume Deposition of films
DE2917841A1 (de) * 1979-05-03 1980-11-13 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen
DE3200848C2 (de) * 1982-01-14 1984-09-27 GfO Gesellschaft für Oberflächentechnik mbH, 7070 Schwäbisch Gmünd Vorrichtung zum Beschicken von Verdampfern in Aufdampfanlagen
DE3316554C1 (de) * 1983-05-06 1984-07-12 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Verdampfervorrichtung mit Strahlheizung zum Aufdampfen mehrerer Materialien
CH663037A5 (de) * 1985-02-05 1987-11-13 Balzers Hochvakuum Dampfquelle fuer vakuumbeschichtungsanlagen.
GB8726639D0 (en) * 1987-11-13 1987-12-16 Vg Instr Groups Ltd Vacuum evaporation & deposition
DE102004006849B4 (de) * 2004-02-12 2011-06-01 Ald Vacuum Technologies Ag Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
DE102010017896A1 (de) * 2010-04-21 2011-10-27 Ald Vacuum Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten nach dem EB/PVD-Verfahren
EP2868768B1 (en) 2013-10-29 2021-06-16 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Shutter system

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE895086C (de) * 1942-04-15 1953-10-29 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung metallischer Niederschlaege durch thermische Verdampfung
DE882174C (de) * 1942-10-07 1953-07-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Verdampfen von Stoffen im Vakuum mittels Elektronenstrahlen
US2482329A (en) * 1946-05-27 1949-09-20 Rca Corp Apparatus for selective vapor coating
GB754102A (en) * 1951-06-22 1956-08-01 Edwards & Co London Ltd W Improvements in or relating to a method and apparatus for vapourising materials, forexample, metal in vacuum
CH311812A (de) * 1951-11-05 1955-12-15 Zeiss Carl Fa Aufdampfeinrichtung.
BE514927A (pl) * 1952-01-22
US2932588A (en) * 1955-07-06 1960-04-12 English Electric Valve Co Ltd Methods of manufacturing thin films of refractory dielectric materials
DE1072451B (de) * 1955-07-06 1960-06-02 English Electric Valve Company Limited, London Vorrichtung zur Herstellung von Überzügen durch Vakuumaufdampfen
DE1054802B (de) * 1956-03-05 1959-04-09 Westinghouse Electric Corp Verfahren zur Verdampfung von Stoffen, insbesondere zur Erzeugung der UEbergangszonen (junctions) von Transistoren
US3046936A (en) * 1958-06-04 1962-07-31 Nat Res Corp Improvement in vacuum coating apparatus comprising an ion trap for the electron gun thereof

Also Published As

Publication number Publication date
AT247097B (de) 1966-05-25
SE300173B (pl) 1968-04-08
LU43540A1 (pl) 1963-06-11
US3227133A (en) 1966-01-04
CH414303A (de) 1966-05-31
BE630728A (pl) 1963-11-04
DE1298833B (de) 1969-07-03
GB979700A (en) 1965-01-06
NL291466A (pl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK111008B (da) Fremgangsmåde ved formning af et ved varme blødgjort materiale til grupper af filamenter samt apparat til udøvelse af denne fremgangsmåde.
DK125169B (da) Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.
DK137438B (da) Fremgangsmåde til fremstilling af en hul genstand og apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK107900C (da) Fremgangsmåde til fremstilling af såkaldte sandwich-laminater samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK110100C (da) Fremgangsmåde til formaling af hårde materialer og apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.
DK125070B (da) Fremgangsmåde og apparat til overtrækning af en genstand med flere lag af flydende overtræksmaterialer.
DK115432B (da) Fremgangsmåde til automatisk og kontinuerlig måling af tykkelsen af et lag.
DK123001B (da) Fremgangsmåde til elektrostatisk påføring af et lag af et pulverformet materiale på en overflade samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK132787C (da) Fremgangsmade ved formning af en klods af trefinerer, samt apparat til udovelse af fremgangsmaden
DK121282B (da) Fremgangsmåde til tæt sammenføjning ag genstande af et tyndt foliemateriale, fortrinsvis en dåse og dennes låg samt apparat tol udøvelse af denne fremgangsmåde.
DK134470B (da) Fremgangsmåde til overtrækning af bevægede underlag med en termoplastisk folie, samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK105252C (da) Fremgangsmåde ved påføring af påsmeltningsmaterialer og apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK102935C (da) Fremgangsmåde ved skrælning og sonderdeling af finér samt apparat til udførelse af fremgangsmåden.
DK112888B (da) Apparat til dannelse af tynde lag af et metal på et isolerende underlag.
DK91681C (da) Fremgangsmåde og apparat til fremstilling af overtrukne tabletter.
DK107306C (da) Fremgangsmåde til chargevis overtrækning af pharmaceutiske tabletter og apparat til udførelse af fremgangsmåden.
DK108457C (da) Fremgangsmåde og apparat til overfladebelægning af elektriske komponenter.
DK98711C (da) Fremgangsmåde til fremstilling af flerelags rudeelementer og apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.
DK106599C (da) Fremgangsmåde til indpresning af en afstivningsvæske eller -grød i jordlag samt et apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK86248C (da) Fremgangsmåde ved overtrækning af overfladen på stive genstande med et lag formstof og apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK123832B (da) Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK97725C (da) Fremgangsmåde ved fremstilling af flerelags rudeelementer og apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.
DK93227C (da) Apparat til afsætning af et antal adskilte tynde lag af viskose materialer langs nøjagtigt begrænsede arealer på et ark.
DK95604C (da) Fremgangsmåde og apparat til formning af genstande af polytetraflourethylen-harpiks.
DK88515C (da) Fremgangsmåde ved udførelse af lokale bearbejdninger langs et kontinuerligt fremadbevæget materialebånd, samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.