AT247097B - Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten

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Robert Leland Shrader
Maurice Eugene Tyler
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Temescal Metallurgical Corp
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    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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