DEP0012859DA - Elektrostatisches Objektiv - Google Patents

Description

Bei den elektrostatischen Objektiven üblicher Bauart ist, wie Fig. 1 an einem Beispiel zeigt, das Objekt 1 vor der Elektrode 2 angebracht, die in der Regel unmittelbar mit der bildseitigen Elektrode 3 verbunden ist. Zwischen beiden Elektronen befindet sind die Mittelelektrode, die gegenüber den beiden anderen Elektroden ein hohes negatives Potential aufweist. Zum Schutz gegen magnetische Störfelder wird das Gehäuse, das die Linsen 2 und 3 trägt, in der Regel aus Stahl hergestellt, und zusätzlich wird in Strahlrichtung hinter der Linse ein Metallzylinder 6 aus ferromagnetischem Material möglichst hoher Permeabilität, beispielsweise die unter der Handelsbezeichnung. Mu-Metall bekannte Legierung, zur Abschirmung vorgesehen. Gerade in dem Bereich der Linse, in dem die Elektronen sich am langsamsten bewegen und daher Störeinflüssen am stärksten unterworfen sind, d.h. zwischen den Elektroden, ist die Abschirmung durch das Linsengehäuse nur recht unvollkommen.

Dieser Nachteil der bekannten Anordnung wird bei dem elektrostatischen Objektiv gemäß der Erfindung in einfacher Weise dadurch vermieden, daß alle Elektroden nach der gleichen Seite vorgewölbt sind, wie Fig. 2 zeigt, und daß um die äußere Elektrode 2 und/oder im Innern der inneren Elektrode 3 Abschirmungen 5, 6 aus ferromagnetischem Material, vorzugsweise aus Mu-Metall, angebracht sind. Bei dieser Anordnung erreicht man eine zuverlässige Abschirmung gerade in dem Teil, in dem die Gefahr einer Beeinflussung der Elektronen durch magnetische Störfelder am größten ist. Die Anordnung ist gerade so spannungsfest wie die bekannte Anordnung, bei der das Anbringen von zusätzlichen Abschirmungen in der Nähe des besonders gefährdeten Teiles des Elektronenwegs wegen der großen Spannungsdifferenz zwischen den benachbarten Elektroden unmöglich wäre.

Bei der Anordnung gemäß der Erfindung kann das Gehäuse selbst aus unmagnetischem Material hergestellt werden. Der Zylinder 5 schirmt das Feld innerhalb der Linse ab, während der Zylinder 6 wie bisher zur Abschirmung des Strahlenganges hinter der Linse dient.

Falls es aus konstruktiven Gründen nicht möglich sein sollte, den auf der Bildseite vorgesehenen Abschirmungszylinder genügend tief in die Elektrode 3 einzuführen, kann es Vorteile bieten, im Innern des steilen Kegels der Mittelelektrode eine weitere Abschirmung vorzusehen. Zu diesem Zweck ist bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 die Mittelelektrode aus zwei Teilen 7, 8 zusammengesetzt und in dem steilen Teil die Abschirmung 9 untergebracht. Bei dieser Unterbringung leidet die Spannungsfestigkeit nicht, da das in der Regel schwer auf Hochglanz polierbare Abschirmmaterial ganz in das Material der Mittelelektrode eingebettet ist.

Claims (2)

1. Elektrostatisches Objektiv, insbesondere für Elektronenübermikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß alle Elektroden nach der gleichen Seite vorgewölbt sind, und daß um die äußere Elektrode (2) und/oder im Innern der inneren Elektrode (3) und/oder in der Wandung der Mittelelektrode (4, 7, 8) aus ferromagnetischem Material bestehende Abschirmungen (5, 6, 9) angebracht sind.

2. Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden nach der Objektseite vorgewölbt sind.