DE758363C - Objekttraeger aus einem zentral durchbohrten Koerper, in dessen Innerem das Objekt untergebracht ist, zur Verwendung in Korpuskularstrahl-gefaessen, insbesondere Elektronenmikroskopen - Google Patents

Objekttraeger aus einem zentral durchbohrten Koerper, in dessen Innerem das Objekt untergebracht ist, zur Verwendung in Korpuskularstrahl-gefaessen, insbesondere Elektronenmikroskopen

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DE758363C
DE758363C DEL99570D DEL0099570D DE758363C DE 758363 C DE758363 C DE 758363C DE L99570 D DEL99570 D DE L99570D DE L0099570 D DEL0099570 D DE L0099570D DE 758363 C DE758363 C DE 758363C
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Germany
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electron microscopes
corpuscular beam
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Application number
DEL99570D
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English (en)
Inventor
Hans Dr-Ing Mahl
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AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Objektträger aus einem zentral durchbohrten Körper, indessen Innerem das Objekt untergebracht ist, zur Verwendung in Korpuskularstrahlgefäßen, insbesondere Elektronenmikroskopen Bei Verwendung von empfindlichen- Objekten, die in ein Korpuskularstrahlgefäß eingeschleust werden sollen, treten in der Praxiseine Reihe von Schwierigkeiten auf. Es . ist zunächst erforderlich, derartige Objekte vor mechanischen Beschädigungen zu schützen. Zudem sind die zur Untersuchung gelangenden Objekte vielfach besonders wärme- oder lichtempfindlich. Das Problem, das Objekt zu schützen, tritt ferner insbesondere bei infiziösen Objekten auf, da diese nur unter Beachtung größter Vorsichtsmaßregeln zur Beobachtung gelangen dürfen. Aber nicht nur der Schutz, des Objektes spielt beim Einschleusen in Korpuskularstrahlgefäßen eine Rolle, sondern besondere Aufmerksamkeit -muß beim Korpuskularstrahlgefäß der Möglichkeit einer Justierung des Objektträgers gewidmet werden. Es ist im allgemeinen unvermeidlich, das Objekt in axialer Richtung beweglich anzuordnen, um eine Einstellung der erzielbaren Vergrößerung zu gewährleisten, ferner auch in einer zur Achse senkrechten Ebene, um den abzubildenden Ausschnitt des Objektes einstellen zu können.
  • Es ist bereits bekannt, als Objektträger eine Hülse zu verwenden, in deren Innerem das Objekt zwischen zwei Blenden liegend untergebracht ist. Zur Halterung ist die bekannte - Hülse mit einer Einschnappvorrichtung versehen, welche aus einem auf einer Feder gelagerten Dorn besteht. Bei dem häufigen Einführen bzw.. Herausholen des Objektträgers in das bz-w. aus denn Korpuskularstrahlgefäß wird die Einschnappvorrichtung leicht versagen, da die: Feder durch die häufige Biegung an Elastizität verlieren wird.
  • Dieser Sachteil wird bei dem Objektträger aus einem zentral durchbohrten Körper, in dessen Innerem das Objekt untergebracht ist, dadurch vermieden, daß erfindungsgemäß der Körper wenigstens teilweise aus einem zur Halterung dienenden konischen Teil besteht, der in eine entsprechend konisch ausgeführte Bohrung der Halterungsvorrichtung eingreift. Es wird somit eine äußerst einfache, dabei jedoch sichere Zentrierung gewährleistet. Ferner zeichnet sich ein derartiger Körper dadurch aus, daß er in äußerst einfacher Weise aus dem Korpuslularstrahlgefäß zu entfernen bzw. in die Justiervorrichtung einzusetzen ist. Beispielsweise erfolgt das Einbz-%v. Ausführen des Objektträgers durch Befestigung desselben an einem im.Korpuskula.rstrahlgefäß angeordneten, von außen beweglichen Hebel. Durch die Anordnung des Objektes innerhalb des Objektträgers wird das Objekt vor äußeren Einwirkungen geschützt.
  • Die Oberfläche des Objektträgers wird vorzugsweise mit einem Leuchtschirm versehen, so daß mit der Bewegung des Objektträgers gleichzeitig der Leuchtschirm bewegt werden kann. Durch den beweglichen Leuchtschirm gelingt es in äußerst einfacher Weise, den Objektträger zu zentrieren.
  • In der Abbildung ist in zum Teil schematischer «reise ein Ausführungsbeispiel nach derErfindung dargestellt. DerObjektträger i, welcher mit einer zentralen Durchbohrung 2 versehen ist, befindet sich in der Zentriervorrichtung S. Auf der Stirnfläche des Objektträgers ist ein Leuchtschirm 3 angeordnet. Um das Objekt 6 in den Objektträger einbringen bzw. aus dem Objektträger entfernen zu können, ist der untere Teil. des Objektträgers lösbar, beispielsweise durch eine Schraubverbindung, an dem Körper i befestigt. In dem Zwischenraum zwischen dem Körper i und dem Körper. befindet sich das Objekt 6. In entsprechender Weise kann der obere Teil 5 von dem Körper i gelöst werden, um eine Blende 9 in den Objektträger einlegen zu können. Bei dem dargestellten Beispiel ist lediglich der untere Teil des Objektträgers konischausgebildet. Selbstverständlich kann auch der gesamte Objektträger eine konische Gestalt aufweisen. Der Objektträger ist nach Einführen in die Justiervorrichtung derart in dein Elektronenmikroskop angeordnet, daß die LinsenelektrOde 7 direkt an dem Objektträger angreift.

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE:. i. Objektträger aus einem zentral durchbohrten Körper, in dessen Innerem das Objekt untergebracht. ist, zur Ver-`vendung in Korpuskularstrahlgefäßen, insbesondere Elektronenmikroskopen, dadurch gekennzeichnet, da.ß der Körper wenigstens teilweise aus einem zur Halterung dienenden konischen Teil besteht, der in eine entsprechend konisch ausgeführte Bohrung der Halterungsvorrichtung eingreift.
  2. 2. Objektträger nach Anspruch i, gekennzeichnet durch einen auf der Stirnfläche der Hülse angeordneten Leuchtschirm.
  3. 3. Objektträger nach Anspruch i oder 2, gekennzeichnet durch eine in dem der Elektronenquelle zugewandten Teil angebrachte auswechselbare Blende (9). q..
  4. Objektträger nach Anspruch i oder einem der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülse aus wenigstens zwei Teilen besteht, die vorzugsweise durch Verschrauben miteinander verbunden sind.
  5. 5. Objektträger nach Anspruch q., dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt bzw. die Blende sich zwischen den miteinander verbundenen Teilen befindet.
DEL99570D 1939-12-02 1939-12-02 Objekttraeger aus einem zentral durchbohrten Koerper, in dessen Innerem das Objekt untergebracht ist, zur Verwendung in Korpuskularstrahl-gefaessen, insbesondere Elektronenmikroskopen Expired DE758363C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1205635B (de) * 1962-04-19 1965-11-25 Siemens Ag Quer zur Strahlachse zentrierbarer Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlgeraete

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