DE969465C - Halbleiterelement mit scharfen p-n- oder p-n-p-UEbergaengen - Google Patents

Halbleiterelement mit scharfen p-n- oder p-n-p-UEbergaengen

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DE969465C
DE969465C DES34551A DES0034551A DE969465C DE 969465 C DE969465 C DE 969465C DE S34551 A DES34551 A DE S34551A DE S0034551 A DES0034551 A DE S0034551A DE 969465 C DE969465 C DE 969465C
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Dr Karl Siebertz
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15—External mechanical adjustment of electron or ion optical components
    • H10P14/61—
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