DE963089C - Absperrventil fuer Vakuumanlagen von elektrischen Entladungsgefaessen od. dgl. - Google Patents

Description

AUSGEGEBEN AM 2. MAI 1957

S 39748 VIII c 1 2ig

Die Erfindung bezieht sich auf ein Absperrventil für Evakuierungsanlagen von elektrischen Entladungsgefäßen od. dgl., welches vorzugsweise selbsttätig bei NetzausfaM oder Lufteinbruch eine Verbindung zwischen zwei oder mehreren empfindlichen Teilen der Vakuumleitung absperrt. Bei den üblichen Evakuierungsanlagen gibt es keine Vorrichtungen, die es ermöglichen, daß mehrere öldiffusionspumpen über eine gemeinsame öldampfstrahlpumpe an ein Vorvakuumnetz angeschlossen werden können. Ein Lufteinbruch an einer öldiffusionspumpe würde das Vorvakuum für die übrigen Öldiffusionspumpen zusammenbrechen lassen und die Pumpen außer Betrieb setzen. Es mußte deshalb bisher stets eine gesonderte Vorvakuumpumpe für jede ÖldifTfusionspumpe vorgesehen werden.

Langwierige, eventuell über Nacht laufende Pumpprozesse können nie ohne eine Wartung durchgeführt werden, weil es keine geeigneten Sicherheitseinrichtungen gibt, welche die Vakuumleitung zwischen der unter Umständen wertvollen Röhre und der Diffusionspumpe oder der Diffusionspumpe und dem Vorvakuum bei Netzausfall oder bei Lufteinbrüchen selbsttätig absperren.

Eine solche Sicherheitsvorrichtung müßte die Vakuumleitung gegen Atmosphärendruck absperren und sollte zur Aufrechterhaltung des Vakuums im

nicht, betroffenen Teil keine durch die Vakuumswand führenden mechanischen Verbindungen aufweisen.

Es ist bereits eine selbsttätige Sicherheitsabsperrvorrichtung für Rohrleitungen zur Begrenzung der Strömungsgeschwindigkeit innerhalb eines beliebig bestimmten Bereiches bekanntgeworden, bei der ein Absperrorgan durch einen Kraftantrieb bewegt und das Kraftmittel durch ein

ίο Steuerorgan gesteuert wird, das dem Einfluß eines durch eine Druck- oder Niveaudifferenz beaufschlagten Impulsgebers unterliegt. Das Steuerorgan ist dabei aus seiner der normalen Betriebsstellung entsprechenden Lage nach beiden Seiten beweglich und steuert bei Bewegung nach beiden Richtungen das Kraftmittel im Sinne des Schließens und bei Rückbewegung in die Ausgangsstelle im Sinne des Wiederöffnens des Absperrorgans. Ferner ist bereits ein von einem Elektromotor angetriebenes Ventil bekanntgeworden. Bei diesem Ventil ist zwischen dem verstellbaren Ventilverschlußkörper und dessen Antrieb eine elektromagnetische Kupplungseinrichtung vorgesehen, die beim Ausbleiben des elektrischen Stromes entkuppelt wird, wodurch sich das Ventil unter der Wirkung einer Rückstellkraft schließt. Derartige Sicherheitsvorrichtungen sind jedoch für den vorliegenden Fall völlig unzureichend. Gemäß der Erfindung schließt das Absperrventil für die genannten Zwecke mechanisch

selbsttätig nach zwei oder mehreren Seiten. Das Ventil kann auf elektromagnetischem Wege geöffnet und offen gehalten werden. Ferner läßt sich die Magnetkraft auf eine bestimmte Größe beschränken, so daß das Ventil nur geöffnet werden kann, wenn in den Vakuumleitungen auf beiden Seiten des Ventils ein bestimmter geringer Druckunterschied herrscht und die Steuerung des Magnetstromes durch Vakuummeßeinrichtungen od. dgl. beeinflußt wird.

Ein Ausführungsbeispiel für die Erfindung besteht in einem nach zwei Seiten wirkenden magnetischen Absperrventil (s. Zeichnung). Zwei geschliffene oder mit Gummi od. dgl. belegte Platten 1 werden durch eine Feder 2 auf zwei geschliffene oder mit Gummi od. dgl, ausgelegte Flächen 3 des Gehäuses 4 gepreßt. An die Flächen 3 schließen sich die Vakuumleiturgen 6 an. Gehäuse 4 und Vakuumleitungen 6 sind aus unmagnetischen Werkstoffen gefertigt. In den Vakuumleitungen 6 gleiten Rohr-

stücke 5 aus magnetischem Werkstoff. Die Rohrstücke 5 sind in geeigneter Weise mit den Platten 1 fest verbunden. Sobald die beiden auf den Vakuumleitungen 6 befestigten Magnetspuien 7 an Spannung gelegt werden, bewegen sich die Rohrenden S mit den Platten 1 gegeneinander, und das Ventil öffnet.

Fällt das Netz aus oder werden die beiden Magnetspulen durch einen zweckmäßig durch eine Vakuummeßeinrichtung od. dgl. beeinflußten Steuerkreis stromlos gemacht, so schließen die Ventile infolge der auf ihre Platten wirkenden Federkraft. Ein Druckanstieg in der einen Vakuumleitung überwindet zwar die Federkraft und öffnet das dieser Seite zugekehrte Ventil. Die verstärkte Federkraft und der ansteigende Druck dagegen bewirken eine um so festere Anpressung des Gegenventils.

Die Größe des Magnetfeldes wird zweckmäßig so gewählt, daß das Ventil zwar mit Sicherheit, aber nur bei annähernd gleichen Drücken auf beiden Seiten des Ventils geöffnet werden kann. Es ist zweckmäßig, eine Umschaltung des Steuerkreises auf Handbetrieb vorzunehmen (Anpumpen, Dichtigkeitsprüfungen u. dgl.). Bei geeigneter Auswahl der Vakuumtneßeinrichtung und des Steuerkreises kann die Steuerung so eingestellt werden, daß das Ventil bei kleinsten Drücken, z. B. io~ ¹ oder io"² oder 10— ³ usw. Torr, anspricht. Die Erfindung kann ohne weiteres auf Zwei- oder Mehrwegeventile angewendet werden.

Claims (4)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Absperrventil für Evakuierungsanlagen von elektrischen Entladungsgefäßen od. dgl., welches vorzugsweise selbsttätig bei Netzausfall oder Lufteinbruch eine Verbindung zwischen zwei oder mehreren empfindlichen Teilen der Vakuumleitung absperrt, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrventil selbsttätig nach gc zwei oder mehreren Seiten mechanisch schließt.

2. Absperrventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil auf elektromagnetischem Wege geöffnet und offen gehalten werden kann.

3. Absperrventil nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetkraft auf eine Größe beschränkt ist, daß das Ventil nur geöffnet werden kann, wenn in den Vakuuraleitungen auf beiden Seiten des Ventils ein bestimmter geringer Druckunterschied herrscht.

4. Absperrventil nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung des Magnetstromes durch Vakuummeßeinrichtungen od. dgl. beeinflußt wird.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 538 952, 844 386.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen