DE914294C - Elektronenmikroskop, bei dem das Objekt zur Erzielung zweier stereoskopischer Teilbilder um geeignete Winkel gegen die Achse des Mikroskops geschwenkt werden kann - Google Patents

Elektronenmikroskop, bei dem das Objekt zur Erzielung zweier stereoskopischer Teilbilder um geeignete Winkel gegen die Achse des Mikroskops geschwenkt werden kann

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DE914294C
DE914294C DEA2478D DEA0002478D DE914294C DE 914294 C DE914294 C DE 914294C DE A2478 D DEA2478 D DE A2478D DE A0002478 D DEA0002478 D DE A0002478D DE 914294 C DE914294 C DE 914294C
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DE
Germany
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microscope
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DEA2478D
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Manfred Von Ardenne
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • HELECTRICITY
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15External mechanical adjustment of electron or ion optical components

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
0524 6.54

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Elektronenmikroskop, bei dem das Objekt zur Erzielung zweier stereoskopischer Teilbilder um geeignete Winkel gegen die Achse des Mikroskops geschwenkt werden kann, gekennzeichnet durch eine solche Ausbildung der Verstellvorrichtung, daß das Objekt unabhängig von Schleusendichtungen verstellt werden kann.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß außer der Schwenkeinrichtung noch eineVorrichtung zum Justieren des schwenkbaren Objekthalters vorgesehen ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger, auf welchem das Objekt selbst unmittelbar befestigt ist, in seinem Halter schwenkbar ist.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger in dem Halter durch eine gekrümmte Gleitfläche geführt ist.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger an die Gleitfläche mit Hilfe einer Feder angedrückt wird.
6. Anordnung nach Anspruch 3 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der schwenkbare Objektträger mit seinem Halter in den einen Polschuh der Objektivlinse eingesetzt ist.
DEA2478D 1939-02-21 1940-01-28 Elektronenmikroskop, bei dem das Objekt zur Erzielung zweier stereoskopischer Teilbilder um geeignete Winkel gegen die Achse des Mikroskops geschwenkt werden kann Expired DE914294C (de)

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DEA2478D DE914294C (de) 1939-02-21 1940-01-28 Elektronenmikroskop, bei dem das Objekt zur Erzielung zweier stereoskopischer Teilbilder um geeignete Winkel gegen die Achse des Mikroskops geschwenkt werden kann

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DE2305458X 1939-02-21
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DE (1) DE914294C (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1224851B (de) * 1962-07-06 1966-09-15 Siemens Ag Objektpatrone fuer Korpuskularstrahlgeraete, insbesondere zur stereoskopischen Untersuchung von Objekten in Elektronenmikroskopen

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DE1224851B (de) * 1962-07-06 1966-09-15 Siemens Ag Objektpatrone fuer Korpuskularstrahlgeraete, insbesondere zur stereoskopischen Untersuchung von Objekten in Elektronenmikroskopen

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