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Magnetische Elektronenlinse Beil magnetischen Elektronenlinisen:,
wie sie beispielsweise in Elektronenmikroskopen gebraucht werden, verwemsdieit mani
Linsenfelder, die durch einen Spalt zwischen zwei magnetischen Teilen des Sysibemsi
gebildet werden. Wilil man dabei Linsten kurzer Brenn «reite, erzieleni, so werden
Polschuhsysteme angewendet, die so ausgeebildeit sind, diaß der das L.insienfeld
bi:ld#endei Spalt in der Achsnähe kleiner !ist alsi in[ einiger Entfernung davon.
Durch die Anwendung von Poleschiuhsysitemen dlieser Art halb man! extrem kurze,
Birennweiiten erzielen, können, wasi beispielsweise beim Objedebiv dies Elektronenmikroskops,
von ausisehlaggebend;er Bedeutung ist-. Die, erwähnten Polisehuhsytsiberne werden
vielfach als einheitlich zu, handhabende K,ärper ausgebildet, die in den Magnetkörper
der Linse vorzugsweise unter A.ntwend!ung konischer Pa,ßflächeni eiinz:uset:zen
sind. Solche leicht zu handhabenden Einsatzkörper sind deshalb besondle:rs, vorteilhaft,
weil mani sie leicht auswechseln, also geigen Einsaitzkörper mit anderen Poilschuh
fo-rm@mi austauschen kann. Man hat dadurch die Möglichkeit, die Brennweite der Linse
in mehr odler weniger gröben Stufen, zu regeln.
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Die Erfindung bebriffti einte magnetisidhe Elektronenlinse mit durch
einen Spalt zwischen zwei magneitischen Teilen des Linsensysiternisi gebiilldleten
Linseenfeld. Erfindungsge mäß isst der Spalt in dler
Nähe der Srtrahlach!se
größer ats. in e!iinem etwas weiner entfernt von der- St :rahilachse liegenden Bereich.
Diese von der bisher üblichen Formgebung abweichende Konstruktion bringt eine vielfach
erwünschee, einfache Möglichkeiit, eine Polachuhlinse größerer Br-eninwve,iite zu
schaffen, die auch leicht gegen ein Po!lschuhsystem kürzierer Bmennwei!te ausgelauscht
werden: kann. Von besonderer Bedeutung ist die, Erfindung, wenn: es sich darum handelt,
die Regelung zweier hintereinand:ir an"eu,rd,netter magnetischer Linsen stark verschiedener
Briemnweiten mietels einer gemeinsamen Spulen.wicklunig zu verbessern. Die Linse,
größerer B:rennweirüeerfordert weniger, Durchflutung, hier muß als,a zwilsch:en
dien Po,lschuhie:n. ein klioinerer magnetischer Widerstand herrschen, was sich mit
der neuartiigen Formgebung der Parlschuhe leiht erreichen läßit. Für die Linise
kleinerer Birennweite kann man, d!i-e Nisiher Übliche Polechuhform mitt engem Spalit
in der Achisnähie an,-wenden:, da hier infolge der sitiailien Feldkurve diie Brennweüte
bc,i gegebener Durchflwtung relativ kleiner ist. Wenn es sich um eine Anordnung
mit zwischen Poilschuben gebildetem. Linsenspalt kann man den, Polischuhteilen einten;
unm2gntätischen Abstandhalter zuordnen, der in der Nähe der Strahlachse eine größere,
axiale Länge- und, in, einem konzentrisch -dazu von der Strahlachse entfernter liegenden
Teil einte kleinere axiale Länge hat. Wendet man die Erfindung bei einem Doppielpolschuhsystern
an, also z. B. bei einer Linse!, dIe, ein gemeinsames E;rregermagneitisiys!tem,
vorzugsweise eine Erregerwicklung besitzt, so wird, eines der beiden dem System
zugeordneten Polschuhpaare ein Paar sein, liessen Spalt: in der Achsnähe kleiner
ist als uneiniger Entfernung davon, während das zweite! Polschuhpaa;r dann ein solches
stein wird, deis!s!en Spalt: in der Achsnähe größer is.t, a,ls in einiger Entfernung
davon. Dabei kann es vo,rteilhaft sein!, das Doppelpolschun!s.ysitem zu einem ein.-heitlichen
Einsatzkörper zusammenzufügen, wobei die beii.den; einander n@aheiliegenden, Polschuhe
der beiden Linsen aus einem Stück bestehen können.
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Die Figur zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Schnitt
durch das Objielctiiv eines Elektronenmikroskops. Es handelt sich im vorliegenden
Fall um ein elektromagnetisches Abbi,ldung!sisysitem., bei dem eine gemeinsame Erregerwicklung
i das Magnotsystem zweier im Strahlen-,gang h:intereinandertiegender Li.nsienfelder
für eine zweistufige, Abbildung erregt. Die Wicklung i ist umgeben von den den magnetischen
Kreis bildenden re'ileJn 2, 3, . und dem urimagnetischen, Zwischenstück 5. In eine,
konische Bohrung dieses Spulen ,-körpers ist von unten her ein Poilschuuheins!attzköirp,eir
yingeführt, der aus den magnmitsahen, die Polschuhe bildenden Teülen 6, 7, 8 und
u.n;magnetiischen Ab-;tandhaltern 9 und io besttehiü Der Abis!tandhaker 9 tat in
der Nähe! der Strahlachise eine" verhälitnisnäßig große axiale Länge und in dem
konzentrisch jazu liicigen,de:ni Teil i i eine kleinere axialer Länge. Die angrenzenden
Bereiche der magnetischen Teile! 6 xn:d 7 bilden auf diese Weise ein, Polschuhpaar
für aine Proije!lztii.vl,inse größerer Brennweihe, während die an den Abista:ndhaltee
io angne!nzen!den Teile der magnetischen Körper 7 und 8 ein. Pol:s.chuhpaar der
bisher üblichen Formg>ebun!g bildet, dass, das kurzbrennweitige Objektiv des Elektronenmikroskops
bildet. Der untere, Polschuh des Objektivs und d,-,r obere Polschuh des, Projektivs
werden gemeinsam durch den Teil 7 gebildet. Mit Hilfe der Mwutern 12 und 13 i.se
der PoJ!schuhein!satzkörper- im Teil 2 fesrV-geschrauhtL Die Kanäle 1q. dienen zur
Erleichterung der Evakuierung. Die Bohrungen 15 und 16 können dazu dienen, im Bereich
unmittelbar vor dem Objektiv bzw. im Betreich zwischi°n den beiden Polschuhen von
außen her versitellbare- Blenden od. dgl. einzuführern Im -Strahlengang vor dem
Objektiv befindet sich die Schleuseinrichtunig und die Versitelleinrichtung für
die Objektpatrone. Der Objektverstell@tisch 17 ruht unrniittelb,ar auf einer
zbenen Gleitfläche des oberen Obje!ktivpolschuhesi B. Um ein gutes Gleiten bei dem:
Oueirbewegungen, der in der Figur nicht dargestellten Objektpatrone zu sichern,
bes:ieb der Tisch 17 einen Ring i8 aus, weichem Lagermaterial. Die Querbewegungen
der Objektpatrone, die in der Bet@rieb,s,laae in. die innere, konische Bohrung des
Tisches 17 eingeführt ist, werden mit Hilfe von Verseellstangen i9 und zugeo@rdmeten
Gegenfedern 2o durchgeführt. Das, zweite Paar von, Versitellsta:ng.en und Gegenfedern
isst um 9o° gegen i9, 2o versetzt angeordnet,.
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Im Schleusenkörper 21 befindet sich eint an sich bekanntte!s Hahnkük
en 22, im: das: ein. Verstellitrie!b 23, 25 für den Halter 24 der Objektpatrone
eingebaut ist. In das Gewinde 26 Beis Halters 24. wi:r@d die nicht darges-te!llte
Patrone eingeschra:ubttr. Durch die Öffnung 27 witrid die Pa.trüne ein- und ausgeschleustt.
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Der beim Ausiführun!gs.beispieil verwendete Polschwh.eins,atzkörper
ist, so, bemessen, daß bei der Herstellung von Beugungsibdldern der Beugungskegel
ungehindert durch das Projekti:vpolischuhsystem hindturchtreten kann.