DE904095C - Als Objektiv fuer ein Elektronenmikroskop dienende Elektronenlinse - Google Patents

Als Objektiv fuer ein Elektronenmikroskop dienende Elektronenlinse

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Publication number
DE904095C
DE904095C DES6734D DES0006734D DE904095C DE 904095 C DE904095 C DE 904095C DE S6734 D DES6734 D DE S6734D DE S0006734 D DES0006734 D DE S0006734D DE 904095 C DE904095 C DE 904095C
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DE
Germany
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objective
diaphragm
aperture
electron
electron microscope
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Expired
Application number
DES6734D
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English (en)
Inventor
Dr-Ing Ernst Ruska
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/52—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with simultaneous movement of head and record carrier, e.g. rotation of head
    • G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
I 5765 2.54

Claims (7)

PATENTANSPRÜCHE:
1. Als Objektiv für ein Elektronenmikroskop dienende Elektronenlinse mit einer Objektivblende an der Stelle des· bildseitigen Brennpunktes der Linse, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektivblende kleiner als- das Gegenstandsfeld ist.
2. Elektronenlinse nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen solchen Durchmesser der Blende, daß die Objektivblendenapertur gleich ist der Kondensatorapertur, vermehrt um die Beugungsapertur der noch aufzulösenden Einzelheiten.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dite Objektivblende in der Strahlrichtung zur Berücksichtigung verschiedener Brennweiten verschiebbar angeordnet ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verschiebung der Blende ein Antrieb dient, der so ausgestaltet ist, daß die Verschiebung beim Betrieb des Elektronenmikroskops durchgeführt werden kann.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende an einem rohrförmigen Halter befestigt ist, der an seiner Außenseite als Zahnstange ausgebildet ist, die mit einem dazugehörigen Zahnrad zusammenarbeitet.
6. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, däß der Antrieb zur Blendenverschiebung mittels Bowdenzuges. und/oder über Hebelübertragungen und/oder mittels Federkörper betätigt wird.
7. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende senkrecht zur Objektivachse, gegebenenfalls beim Betrieb des !Elektronenmikroskops, verschoben wenden kann.
105
Angezogene Druckschriften:
Annalen der Physik, Folge 5, .Bd. 26, 1936, S. 631 bis 644;
Annalen der Physik, Folge 5, Bd. 27, 1936, S. 75 bis 80;
Zeitschrift für Physik, Bd. 83, 1933, S. 187 bis 193;
Jahrbuch der AEG, Forschung, Bd'. 7, 1940, S- 43 bis 52.
DES6734D 1940-06-01 1940-06-01 Als Objektiv fuer ein Elektronenmikroskop dienende Elektronenlinse Expired DE904095C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1006984B (de) * 1952-09-16 1957-04-25 Philips Nv Polschuh fuer eine magnetische Elektronenlinse

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

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DE1006984B (de) * 1952-09-16 1957-04-25 Philips Nv Polschuh fuer eine magnetische Elektronenlinse

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