DE897894C - Anordnung zur Erleichterung der Einstellung bestimmter Bildausschnitte von im Elektronenmikroskop untersuchten Objekten - Google Patents

Anordnung zur Erleichterung der Einstellung bestimmter Bildausschnitte von im Elektronenmikroskop untersuchten Objekten

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DE897894C
DE897894C DES7510D DES0007510D DE897894C DE 897894 C DE897894 C DE 897894C DE S7510 D DES7510 D DE S7510D DE S0007510 D DES0007510 D DE S0007510D DE 897894 C DE897894 C DE 897894C
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DE
Germany
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electron microscope
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Expired
Application number
DES7510D
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English (en)
Inventor
Fritz Dr Frey
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/02Details
    • H01J37/22Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • .Anordnung zur Erleichterung der Einstellung bestimmter Bildausschnitte von im Elektronenmikroskop untersuchten Objekten Bei der Untersuchung von Objekten 4m Elektronenmikroskop werden als Objektträger bekanntlich Blenden mit einer kreisförmigen Bohrung verwendet, deren Öffnungsdurchmesser etwa i o-1 mm beträgt. Dabei befindet sich das zu untersuchende Objekt auf einer über die Blendenöffnung- gespannten, nur schwach absorbierenden Trägerfolie (Membran). DieObjektträgerblenden mit der kreisförmigen B:ohrung sind in konstruktiver Hinsicht sehr einfach und deshalb für den vorliegenden Zweck allgemein üblich. Sie haben jedoch den, Nachteil, meine ausgezeichneten Stellen zu besitzen, die eine gute Orientierung auf dem Z,wischernbildleuchtschirm (etwa ioo,fache Vergrößerung) ermöglichen. Eine derartige Orientierung isst sehr erwünscht, sei es, um einen bestimmten, mit dem Lichtmikroskop ausgewählten Blenlden @ausschn@itt im Elektronenrnikroskop eingehend zu untersuchen oder um eine bestimmte Stelle des Objekts auch nach gelegentlich notwendigem Ausbau leicht wieder auffinden zu können. Eine äußere Kennzeichnung des Präparatträgers zur Festlegung einer bestimmten Orientierung vor dem Einsetzen in das Gerät würde die Handhabung sehr umstärndl-ich machen. Erfindungsgemäß wird, die bestehende Aufgabe dadurch gelöst, daß die O!bjektträgerblende an einer Stelle des Randes ihrer kreisrunden Bohrung eine Marke besitzt, ,die bei der Durchstrahlung der Trägerblende auf dem Zwischenbildleuchtschirmabgebildet wird. Man kann beispielsweise als Marke einen keilförmigen, auf der Trägerblende befestigten Span anwenden. Dieser Span wird vorzugsweise dann so befestigt, daß er etwa ein Zehntel des Blen:dendurchmesse,rs tid in die Blendenöffnung hineinragt. Eine streng regelmäßige und reproduzierbare Form der Marke mst meistens nicht erforderlich, insbesondere dann nicht, wenn man verschiedene Blenden an- der Form der Marke voneinander unterscheiden will.
  • Mit Hilfe der beschriebenen Markierung kann man insbesondere diejenigen in der Nähe der Markierung sitzenden- Teile des Präparats stets ohne Schwierigkeiten auf dem Z;#vischenbildleucht-schirm-und dann auch auf dem Endbildleuchtschirrn wieder auffinden. In den Fig. i und 2 ist im Querschnitt und in einer Ansicht von unten eine Objektträgerblende i .dargestellt, die für elektronenmikroskopische Untersuchungen Anwendung finden kann,. Mit 2 ist die innere- kreisringförmige Bohrung der Blende bezeichnet, durch die die Elektronenstrahlen bei der Abbildung des Objekts hindurchtreteu. Zur Markierung ist ein keilförmiger Span .3 in die Blende so eingesetzt, daß die Keilspitze um einen geringen Betrag in die Bleutdeuöffnung hineinragt; mit 4 -ist eine Klammer zum Festhalten des Keils 3 bezeichnet.
  • Bei der Untersuchung eines Objekts, das auf der in den Fig. i und 2 dargestellten Objektträgerblende befestigt, ist, bildet .sich auf dem Zwischenbildleuchtschirm .die in die Blendenbohrung hineinragende Keilspitze ab, so daß in der Nähe dieser Stelle liegende Objektbereiche jederzeit mit Leichtigkeit wieder aufgefunden werden können. Aber auch jede beliebige Stelle .des Präparats kann leicht festgelegt werden, wenn man den Zwischenbildleuchtschirm beispielsweise reit einem Koord:inntennetz versieht und ihn von außen mittels Schliff zentrisch drehbar anordnet. Eine Ausführungsform für einen derartigen Zwischenhildleuchtschirm zeigen die Fing. 3 und 4. Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf den Leuchtschirm 5, auf dem ein Koordinatennetz 6 angeordnet ist. Mit 7 ist die mittlere Durchbohrung des Leuchtschirms bezeichnet, ,durch welche die zur Abbildung des Endhildes dienenden Strahlen hindurchfallen. In der Fig. 3 ist der Fall dargestellt, diaß die Elektronenstrahlen eine Objektträgerblende gemäß Fing. i und 2 durchstrahlen. Auf den Zwischenbildleuchtschirm ist ,demgemäß der kreisrunde Rand der Blendenbohrung bei 8 deutlich abgebildet, ebenso ist die durch den keilförmigen Span: 3 gegelbene Markierung g auf dem Zwischen'bildleuchtschirm gut erkennbar. Fig. 4 zeigt die Halterung des Leuchtschirms 5 und den ihm zugeordneten Antrieb, mit dessen Hilfe der Leuchtschirm um die optische Achse des Systems gedreht werden kann. Der Antrieb erfolgt mit Hilfe des am Schliff i i befestigten Zahnrades io und des unten am Zwischernbildleuchtschirm 5 angeordneten Zahnkranzes 12.
  • Um mit dem Elektronenmikroskop Beugungsaufnahm-eu machen zu können., wird man den Zwischenbildleuchtschirm so einrichten, daß er aus dem Strahlengang herausgeklapptwerden kann. Für diesen Zweck kann man die. Anordnung so wählen, daß der Zwischeubildleuchtschirm nach Drehung in eine bestimmte Lage .mittels des äußeren Antriebs, beispielsweise durch Weiterdrehen des letzteren, hochgeklappt wird, so daß er außerhalb .der Elektronenstrahlibahn liegt. Man kann z. B: einen geeignet angeordneten Stift verwenden, der an der betreffenden Stelle in,das Triebwerk eingreift. Die Konstruktion des Triebwerks wird also dann etwas von der dargestellten Anordnung abweichen.

Claims (4)

  1. PATENTANSPRÜCIIR: i. Anordnung zur Einstellung bestimmter Bildausschnitte von im Elektronenmikroskop untersuchten Objekten, die von einer Trägerblende gehalten werden, dadurch gekennzeichnet, daß die, Objektträgerblende an einer Stelle -des Randes ihrer kreisrunden. Bohrung eine Marke besitzt, die bei der Durchstrahlung der Trägerblende, auf dem Zwischenbildleuchtschirm abgebildet wird.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß .die Marke durch einen keilförmigen, auf derTrägerblende befestigten.Span gebildet wird.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch i oder 2, da-,durch gekennzeichnet, daß der Zwischenbildleuchtschirm mit einem Koordinatennetz versehen und zentrisch durch. äußeren Antrieb drehbar angeardnet ist.
  4. 4. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenbildleuchtschirm nach Drehung in eine bestimmte Lage mittels des äußeren Antriebs, beispielsweise .durch Weiterdrehen des letzteren, hochgeklapptwird, so daß er außerhalb derElektronenstrahlbhahn liegt,
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